JPWO2010016212A1 - 電界効果トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ゲート電極が形成される領域の一方の側で、前記電子走行層から前記電子障壁層よりも前記基板側の領域に亘って前記積層構造に電子伝導領域を形成する工程と、
前記電子走行層上に前記ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極が形成される領域の他方の側における前記電子走行層上にソース電極を形成する工程と、
前記電子伝導領域の前記基板側の一端と電気的に接続されるドレイン電極を形成する工程と、
を備える電界効果トランジスタの製造方法が提供される。
また、この出願は、2008年8月6日に出願された日本出願特願2008−203487を基礎とする優先権を主張し、その開示のすべてをここに取り込む。
図2は、本発明に係る第1の実施形態の電界効果トランジスタ10の断面構造を概略的に示す図である。この電界効果トランジスタ10は、基板101上に、バッファ層102、高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、p型電子障壁層105、電子走行層106および電子供給層107がこの順に積層された積層構造を有している。この積層構造は絶縁膜111で被覆されている。電子供給層107上において絶縁膜111に形成された開口部にゲート電極112が形成されている。
(a)基板101上に、バッファ層102、高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、電子障壁層105、電子走行層106および電子供給層107をそれぞれ構成する複数の化合物半導体層をこの順に含む積層構造を連続的にエピタキシャル成長させる工程。
(b)ゲート電極112が形成される領域の左右両側のうちの一方の側(ゲート電極112が形成される領域の側方)で、積層構造をエッチングして、電子走行層106の一端から電子障壁層105よりも基板101側の領域に亘ってエッチング加工面を形成する工程。
(c)当該エッチング加工面に電子伝導領域108を形成する工程。
(d)ゲート電極112が形成される領域の当該左右両側のうちの他方の側(ゲート電極112が形成される領域の側方であって、電子伝導領域108が形成される側と反対側)における電子走行層106上に電子供給層107を介してソース電極109を形成する工程。
(e)電子伝導領域108の基板101側の一端と電気的に接続されるドレイン電極110を形成する工程。
(f)パターニングされた絶縁膜111を形成する工程。
(g)電子走行層106上における絶縁膜111の開口部にゲート電極112を形成する工程。
(h)電極表面の一部を除く素子全体を被覆する保護膜113を形成する工程。
なお、工程(d)は、工程(b)の前段で実施してもよい。
基板101としては、本実施形態では、GaNやAlNなどのIII族窒化物系化合物半導体基板を使用するが、これに限定されるものではない。たとえば、シリコン基板、サファイア基板あるいは炭化シリコン基板を基板101に使用してもよい。この基板101上には、有機金属気相成長(MOVPE)法や分子線エピタキシャル成長(MBE)法により、バッファ層102、高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、電子障壁層105、電子走行層106および電子供給層107を構成する複数の化合物半導体層を連続的にエピタキシャル成長させる。
ここで、複数の化合物半導体層を連続的に成長させるとは、バッファ層102の成長工程、高濃度n型半導体層103の成長工程、ドリフト層104の成長工程、電子障壁層105の成長工程、電子走行層106の成長工程および電子供給層107の成長工程の一連の成長工程を連続して実施することである。すなわち、積層順に各層を連続してエピタキシャル成長させることであり、従来のように、層の成長工程の途中で、成長を止め、エッチング等で開口を形成し、その開口から層を再成長することは実施しない。なかでも、各層を同一装置内で連続成長させる、すなわち、各層を成長させるための装置から出さずに、各層を連続成長させることが好ましい。
電子走行層106は、フォトリソグラフィやドライエッチングなどのプロセス工程を経ずに、一つの成長工程で、連続的に形成されたものである。
本実施形態では、電子伝導領域108は、電子供給層107側からドリフト層104側に延在し、一方の端部が、電子供給層107および電子走行層106に接し、他方の端部が電子障壁層よりも基板側に位置する領域(本実施形態では、ドリフト層104)に接している。より詳細に説明すると、電子伝導領域108は、電子供給層107、電子走行層106、電子障壁層105、ドリフト層104に接して設けられ、電子供給層107側からドリフト層104の厚みの途中位置まで延在している。
電子伝導領域108は、積層構造のエッチング加工面から当該積層構造にn型不純物を導入し、当該導入されたn型不純物を熱処理により活性化することで形成することができる。エッチング加工面は、基板101上の積層構造をドライエッチングすることで得られる。たとえば、このエッチング加工面から積層構造にシリコンなどのn型不純物をイオン注入し、当該注入されたイオンを熱処理で活性化することで電子伝導領域108を形成することができる。あるいは、たとえばCVD法により、エッチング加工面にアモルファスまたは多結晶のシリコンを堆積した後、当該堆積されたシリコンを熱処理で積層構造に拡散させることで電子伝導領域108を形成することもできる。なお、熱処理によりシリコンが拡散した不純物拡散領域だけでなく、積層構造内に拡散されないシリコンも、導電膜として電子伝導領域108を構成する。エッチング加工面にシリコンを固相拡散させてもよい。
電子伝導領域108を、化合物半導体層を再成長させて形成する際、電子伝導領域の結晶性が悪くなってしまうような場合であっても、非常に高濃度に不純物をドープし、低抵抗化すればよい。
なお、電子走行層の場合には、非常に高濃度に不純物をドープして低抵抗化することは難しいため、結晶性が良好なものが必要とされるのである。
電子伝導領域108の形成後、リフトオフ工程によりソース電極109とドレイン電極110とを形成する(工程(d),(e))。これらソース電極109とドレイン電極110は、それぞれ、電子供給層107と高濃度n型半導体層103とにオーミック接触する。より具体的には、ドライエッチングにより高濃度n型半導体層103の上面の一部を露出させて、ドレイン電極110が形成されるべき領域を形成する。次いで、フォトリソグラフィを用いて積層構造上にレジストパターンを形成し、その後、スパッタ法によりレジストパターンと積層構造の上に金属層を成膜する。その後、レジストパターンと当該レジストパターン上の金属材料とを同時に除去することで、ソース電極109とドレイン電極110の各電極パターンを形成することができる。
第1の実施形態の製造方法は、基板101上で電子障壁層105と電子走行層106を連続的にエピタキシャル成長させ、その後に、ゲート電極112の側方であってソース電極109から離れた位置にエッチング加工面を形成し、このエッチング加工面に電子伝導領域108を形成する。言い換えれば、電子障壁層105と電子走行層106とをエピタキシャル成長させた後に、これら電子障壁層105と電子走行層106の一部をエッチングし、その加工面上に電子走行層を再成長させるという製造工程を行わずに、ソース電極109からの注入電子が縦方向へ移動できる経路(電子伝導領域)108を形成することが可能である。よって、電子走行層106は、他の層とともに連続してエピタキシャル成長したものであり、成長を止めてフォトリソグラフィやドライエッチングなどのプロセス工程を経た後、再成長させたものはないので、結晶性の良好な電子走行層106とすることができ、この電子走行層106と電子供給層107とのヘテロ接合界面およびその近傍での電子移動度が高く、チャネル領域の抵抗(チャネル抵抗)が低い電界効果トランジスタ10を作製することができる。
図3は、上記第1の実施形態の変形例である電界効果トランジスタ10Aの断面構造を概略的に示す断面図である。この電界効果トランジスタ10Aは、電子伝導領域108のドリフト層104と反対側に電位制御絶縁膜(絶縁膜)114を介して電位制御電極115が形成されている。
電位制御絶縁膜114としては、アルミ、珪素、ハフニウム、ジルコニウム、タンタル、チタンのうち少なくとも1種と、酸素と窒素のうち少なくとも1種を含むことが好ましい。
なかでも、後述する容量C1を大きく確保する観点から、電位制御絶縁膜116は誘電率が6以上であることが好ましい。
たとえば、電位制御絶縁膜116としては、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化チタン等を使用することが好ましい。
また、電位制御絶縁膜116の厚みは、絶縁膜の絶縁破壊防止の観点から、10nm以上であることが好ましい。また、容量C1が小さくなることを抑制するために、400nm以下であることが好ましい。
電子伝導領域108の電位Vcをドレイン電圧Vdよりも低くした場合、ドリフト層104で電圧降下が起きると考えられる(なお、高濃度n型半導体層103の電位は、ドレイン電圧Vdと略同じ程度である)。
従って、ドリフト層104にて電界を集中させることができ、ゲート電極のドレイン端への電界集中を抑制することができることからオフ耐圧を向上することができる。電子伝導領域が半導体材料で形成されている場合にも、電子伝導領域108の電位制御絶縁膜114側の電位をVcとみなすことができ、同様の効果が期待できる。
なお、電位制御電極をゲート電極と接続させた場合も同様にオフ耐圧を向上することができる。更にオン抵抗を低減する効果もあるが、一方でゲート容量の増大により利得が低下する可能性もある。
なお、電位制御絶縁膜114、電位制御電極115は、電子伝導領域108を形成した後に形成すればよい。すなわち、電子伝導領域108を形成した後に、電位制御絶縁膜114を形成し、その後、電位制御絶縁膜114上に電位制御電極115を形成すればよい。その後、電位制御電極115を接地し、または、ゲート電極と接続すればよい。
次に、本発明に係る第2の実施形態について説明する。図4は、第2の実施形態の電界効果トランジスタ20の断面構造を概略的に示す図である。この電界効果トランジスタ20は、基板201上に、高濃度n型半導体層203、ドリフト層204、電子障壁層205、電子走行層206および電子供給層207がこの順に積層された積層構造を有している。この積層構造上には絶縁膜211が形成されている。電子供給層207上において絶縁膜211に形成された開口部にゲート電極212が形成されている。
電子走行層206の上面は、電子供給層207にヘテロ接合されており、電界効果トランジスタ20の動作時には、そのヘテロ接合界面およびその近傍に2次元電子ガスのチャネル領域が形成される。このとき、ソース電極209から注入された電子は、チャネル領域と電子伝導領域208とを介してドレイン電極210へ移動することができる。
(a)基板201上に、高濃度n型半導体層203、ドリフト層204、電子障壁層205、電子走行層206および電子供給層207をそれぞれ構成する複数の化合物半導体層をこの順に含む積層構造を連続的にエピタキシャル成長させる工程。
(b)ゲート電極212が形成される領域の左右両側のうちの一方の側(ゲート電極212が形成される領域の側方)で、積層構造をエッチングして、電子走行層206の一端から電子障壁層205よりも基板201側の領域に亘ってエッチング加工面を形成する工程。
(c)当該エッチング加工面に電子伝導領域208を形成する工程。
(d)ゲート電極212が形成される領域の当該左右両側のうちの他方の側(ゲート電極212が形成される領域の側方であって、電子伝導領域208が形成される側と反対側)における電子走行層206上に電子供給層207を介してソース電極209を形成する工程。
(e)基板201の裏面にドレイン電極210を形成する工程。
(f)パターニングされた絶縁膜211を形成する工程。
(g)電子走行層206上における絶縁膜211の開口部にゲート電極212を形成する工程。
(h)ソース電極209を除く素子全体を被覆する保護膜213を形成する工程。
なお、工程(d)は、工程(b)の前段で実施してもよい。
複数の化合物半導体層を連続的に成長させるとは、バッファ層202の成長工程、高濃度n型半導体層203の成長工程、ドリフト層204の成長工程、電子障壁層205の成長工程、電子走行層206の成長工程および電子供給層207の成長工程の一連の成長工程を連続して実施することである。すなわち、積層順に各層を連続してエピタキシャル成長させることであり、各層の成長工程の途中で、成長を止め、フォトリソグラフィやドライエッチングなどのプロセス工程を経た後、再成長することは実施しない。なかでも、各層を同一装置内で連続成長させることが好ましい。
高濃度n型半導体層203、ドリフト層204、電子障壁層205、電子走行層206および電子供給層207は、それぞれ、第1の実施形態の高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、電子障壁層105、電子走行層106および電子供給層107と同じ料および組成で構成すればよい。電子走行層206内の不純物濃度が高くなり過ぎると、クーロン散乱の影響が大きくなり、電子移動度が低下するため、不純物濃度は1×1017cm−3以下であることが望ましい。また、電子供給層207から電子走行層206へ電子が供給されるために、電子供給層207は、電子走行層206よりも小さな電子親和力を持つ材料または組成からなる。
本実施形態では、電子伝導領域208と同様の構成であるが、電子供給層207側からドリフト層204側に延在し、一方の端部が、電子供給層207および電子走行層206に接し、他方の端部が電子障壁層よりも基板側に位置する領域(本実施形態では、ドリフト層203)に接している。より詳細に説明すると、電子伝導領域208は、電子供給層207、電子走行層206、電子障壁層205、ドリフト層204に接して設けられている。電子伝導領域208は、ドリフト層204の厚みの途中位置まで形成されている。
電子伝導領域208は、上記第1の実施形態の電子伝導領域108とほぼ同じ製造工程を用いて形成することができる。すなわち、電子伝導領域208は、積層構造に形成されたエッチング加工面から積層構造内にn型不純物を拡散させることで形成される。この代わりに、積層構造表面からドリフト層204の領域に達する深さまで、積層構造内にn型不純物をイオン注入し熱処理を施すことにより電子伝導領域208を形成してもよい。イオン注入の際の加速電圧は、n型不純物イオンの打ち込み深さがドリフト層204に達するように制御される。なお、第1の実施形態においても、積層構造内にn型不純物をイオン注入し熱処理を施すことにより電子伝導領域108を形成してもよい。
上記第1の実施形態と同様に、第2の実施形態の製造方法は、基板201上で電子障壁層205と電子走行層206を連続的にエピタキシャル成長させ、その後に、ゲート電極212の側方であってソース電極209から離れた位置にエッチング加工面を形成し、このエッチング加工面に電子伝導領域208を形成する。言い換えれば、電子障壁層205と電子走行層206とをエピタキシャル成長させた後に、これら電子障壁層205と電子走行層206の一部をエッチングし、その加工面上に電子走行層を再成長させるという製造工程を行わずに、ソース電極209からの注入電子が縦方向へ移動できる経路(電子伝導領域)208を形成することが可能である。よって、結晶性の良好な電子走行層206を形成できるので、この電子走行層206と電子供給層207とのヘテロ接合界面およびその近傍での電子移動度が高く、チャネル領域の抵抗が低い電界効果トランジスタ20を作製することができる。
また、ゲート電極212とドレイン電極210間に高電圧を印加して電界効果トランジスタ20を動作させたとき、電界効果トランジスタ20は電子伝導領域208を介して縦方向にキャリアが流れる構造を有するため、電界効果トランジスタ20の電子供給層207と絶縁膜211との界面に生じた固定電荷の影響を受けることなく、キャリアの移動経路における局所的な電界集中を抑制することができる。これにより、耐圧の向上が可能となる。また、GaNの絶縁破壊耐圧の物性値(=約3.3×106V/cm)に近い最大電界強度を期待することが可能である。
さらに、ゲート電極212の電子伝導領域208側の庇部分は、ゲート電極212のソース電極209側の庇部分よりも長いので、ゲート電極212の近傍の電界集中を緩和することができる。よって、さらなる耐圧の向上が可能である。
図5は、上記第2の実施形態の変形例である電界効果トランジスタ20Aの断面構造を概略的に示す断面図である。この電界効果トランジスタ20Aの構造は、電子伝導領域208のドリフト層203と反対側に電位制御絶縁膜114を介して電子伝導領域208の電位を制御するための、電位制御電極115が配されている。
このような電界効果トランジスタ20Aでは、第一の実施形態の変形例と同様の効果を奏することができる。
なお、電位制御電極をゲート電極と接続させた場合も同様にオフ耐圧を向上することができる。更にオン抵抗を低減する効果もあるが、一方でゲート容量の増大により利得が低下する可能性もある。
なお、電位制御絶縁膜114、電位制御電極115は、第1の実施形態の変形例と同様、電子伝導領域208を形成した後に形成すればよい。
第1実施例の電界効果トランジスタは、第1の実施形態の電界効果トランジスタ10と同じ構造を有し、第1の実施形態と同様の方法で作成した。基板101として、(111)面を主面とするシリコン基板を使用した。バッファ層102としてAlN層(膜厚:100nm)を、高濃度n型半導体層103としてSiを添加したn型GaN層(不純物濃度:1×1019cm−3、膜厚:500nm)を、ドリフト層104としてSiを添加したn型GaN層(不純物濃度:3×1017cm−3、膜厚:4000nm)を、電子障壁層105としてMgを添加したGaN層(不純物濃度1×1019cm−3、膜厚:300nm)を、電子走行層106としてGaN層(膜厚:100nm)を、電子供給層107としてAlxGa1−xN層(Al組成比:x=0.2、膜厚:40nm)を、ソース電極109およびドレイン電極110としてTi/Al積層構造(Ti層の膜厚:10nm、Al層の膜厚:200nm)を、絶縁膜111としてSiN膜(膜厚:120nm)を、ゲート電極112としてNi/Au積層構造(Ni層の膜厚:15nm、Au層の膜厚:400nm)を、保護膜113としてSiON膜(膜厚80nm)を、それぞれ使用した。
基板101上に、バッファ層102、高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、電子障壁層105、電子供給層107の順に各層を連続的に成長させて積層構造を得た。
なお、ここでは、MOVPE法により同一装置内にて各層を連続成長している。
その後、ゲート電極112,ソース電極109およびドレイン電極110を形成した。
このように作製された第1実施例の電界効果トランジスタ10は、高い電子移動度(=約2×103cm2/V/sec)を有し、電子走行層106と電子供給層107の結晶性が良好であることが確認された。
第2実施例の電界効果トランジスタは、第1の実施形態の変形例の電界効果トランジスタ10Aと同じ構造を有する。基板101として、Si面を主面とする炭化珪素基板を使用した。バッファ層102としてAlN層(膜厚:50nm)を、高濃度n型半導体層103としてSiを添加したn型GaN層(不純物濃度:2×1019cm−3、膜厚:500nm)を、ドリフト層104としてSiを添加したn型GaN層(不純物濃度:5×1016cm−3、膜厚:4000nm)を、電子障壁層105としてMgを添加したGaN層(不純物濃度1×1019cm−3、膜厚:300nm)を、電子走行層106としてGaN層(膜厚:200nm)を、電子供給層107としてAlxGa1−xN層(Al組成比:x=0.2、膜厚:40nm)を、ソース電極109およびドレイン電極110としてTi/Al/Nb/Au積層構造(Ti層の膜厚:15nm、Al層の膜厚:60nm、Nb層の厚さ:35nm、Au層の厚さ:50nm)を、絶縁膜111としてSiN膜(膜厚:120nm)を、ゲート電極112としてNi/Au積層構造(Ni層の膜厚:15nm、Au層の膜厚:400nm)を、保護膜113としてSiON膜(膜厚80nm)を、それぞれ使用した。
基板101上に、バッファ層102、高濃度n型半導体層103、ドリフト層104、電子障壁層105、電子供給層107の順に各層を連続的に成長させて積層構造を得た。
ここでは、MOVPE法により同一装置内にて、各層を連続成長している。
その後、電位制御絶縁膜114としてAl2O3膜(膜厚:100nm)をスパッタ法にて形成し、電位制御電極415としてTi/Pt/Au積層構造(Ti層の膜厚:10nm、Pt層の膜厚:80nm、Au層の膜厚:300nm)をスパッタ法にて形成した。
その後、ゲート電極112,ソース電極109およびドレイン電極110を形成した。
このように作製された第2実施例の電界効果トランジスタ10Aは、高い電子移動度(=約2×103cm2/V/sec)を有し、電子走行層106と電子供給層107の結晶性が良好であることが確認された。また、第1実施例と比較してさらに高い耐圧特性とを有することが確認された。
第3実施例の電界効果トランジスタは、第2の実施形態の電界効果トランジスタ20と同じ構造を有し、第2の実施形態と同様の方法で作成した。基板201として、(0001)面を主面とするn型GaN基板を使用した。高濃度n型半導体層203としてSiを添加したGaN層(不純物濃度:1×1019cm−3、膜厚:500nm)を、ドリフト層204としてSiを添加したGaN層(不純物濃度::3×1016cm−3、膜厚:4000nm)を、電子障壁層205としてMgを添加したGaN層(不純物濃度:2×1019cm−3、膜厚:200nm)を、電子走行層206としてGaN層(膜厚:100nm)を、電子供給層207としてAlxGa1−xN層(Al組成比:x=0.25、膜厚:25nm)を、ソース電極209ドレイン電極210としてTi/Al積層構造(Ti層の膜厚:10nm、Al層の膜厚:200nm)を、絶縁膜211としてSiN膜(膜厚:120nm)を、ゲート電極212としてNi/Au積層構造(Ni層の膜厚:15nm、Au層の膜厚:400nm)を、保護膜213としてSiON膜(膜厚:80nm)を、それぞれ使用した。
基板201上に、バッファ層202、高濃度n型半導体層203、ドリフト層204、電子障壁層205、電子供給層207の順に各層を連続的に成長させて積層構造を得た。
ここでは、MOVPE法により同一装置内にて、各層を連続成長している。
電子伝導領域208は、エッチング加工面にSiをイオン注入(注入エネルギー:200KeV、注入量:5×1014cm−2)し、1200℃1時間の熱処理により活性化アニールを行うことにより形成された。
その後、ゲート電極112,ソース電極109およびドレイン電極110を形成した。
このように作製された第3実施例の電界効果トランジスタ20は、高い電子移動度(=約2×103cm2/V/sec)を有し、電子走行層206と電子供給層207の結晶性が良好であることが確認された。
第4実施例の電界効果トランジスタは、第2の実施形態の変形例の電界効果トランジスタ20Aと同じ構造を有し、第2の実施形態の変形例と同様の方法で作成した。基板201として、(0001)面を主面とするn型GaN基板を使用した。高濃度n型半導体層203としてSiを添加したGaN層(不純物濃度:1×1019cm−3、膜厚:500nm)を、ドリフト層204としてSiを添加したGaN層(不純物濃度::3×1016cm−3、膜厚:4000nm)を、電子障壁層205としてMgを添加したGaN層(不純物濃度:2×1019cm−3、膜厚:200nm)を、電子走行層206としてGaN層(膜厚:100nm)を、電子供給層207としてAlxGa1−xN層(Al組成比:x=0.25、膜厚:25nm)を、ソース電極209ドレイン電極210としてTi/Al積層構造(Ti層の膜厚:10nm、Al層の膜厚:200nm)を、絶縁膜211としてSiN膜(膜厚:120nm)を、ゲート電極212としてNi/Au積層構造(Ni層の膜厚:15nm、Au層の膜厚:400nm)を、保護膜213としてSiON膜(膜厚:80nm)を、それぞれ使用した。
ここでは、MOVPE法により同一装置内にて、各層を連続成長している。
電子伝導領域208は、エッチング加工面にSiをイオン注入(注入エネルギー:200KeV、注入量:5×1014cm−2)し、1200℃1時間の熱処理により活性化アニールを行うことにより形成された。
その後、電位制御絶縁膜214としてZrO2膜(膜厚:300nm)をスパッタ法にて形成し、電位制御電極415としてTi/Pt/Au積層構造(Ti層の膜厚:10nm、Pt層の膜厚:80nm、Au層の膜厚:300nm)をスパッタ法にて形成した。
その後、ゲート電極112,ソース電極109およびドレイン電極110を形成した。
このように作製された第4実施例の電界効果トランジスタ20Aは、高い電子移動度(=約2×103cm2/V/sec)を有し、電子走行層206と電子供給層207の結晶性が良好であることが確認された。また、第3実施例と比較してさらに高い耐圧特性とを有することが確認された。
上記第1の実施形態の電界効果トランジスタ10は、電子走行層106と電子供給層107とのヘテロ接合界面を有し、このヘテロ接合界面およびその近傍に2次元電子ガスのチャネルが形成されるが、これに限定されるものではない。たとえば、電界効果トランジスタ10において、電子供給層107と電子走行層106の組み合わせの代わりに単一の電子走行層を有する形態もあり得る。第2の実施形態の電子走行層206と電子供給層207の組み合わせについても、同様である。
上記第1および第2の実施形態において、ゲート電極112,212としてショットキー電極を用いる場合には、ゲートリーク電流を抑制するために、電子供給層107,207にBe,C,Mgなどのp型不純物を導入してもよい。
このトランジスタは、複数のソース電極109,ゲート電極112を備えている。具体的には、基板面側からみて、ソース電極109に隣接して、ゲート電極112が配置され、このゲート電極112の隣に電子伝導領域108が配置され、さらに、電子伝導領域108の隣に、ゲート電極112Aが配置され、このゲート電極112Aの隣にソース電極109Aが配置されている。電子伝導領域108は、一対のソース電極109,109Aに挟まれるように配置されている。
このようなトランジスタは、前記各実施形態と同様、基板上に、電子障壁層と電子走行層とをこの順に含む積層構造を構成する各層を連続的にエピタキシャル成長させた後、電子伝導領域108を形成すればよい。
Claims (21)
- 基板上に、電子障壁層と電子走行層とをこの順に含む積層構造を構成する各層を連続的に成長させる工程と、
ゲート電極が形成される領域の一方の側で、前記電子走行層から前記電子障壁層よりも前記基板側の領域に亘って前記積層構造に電子伝導領域を形成する工程と、
前記電子走行層上に前記ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極が形成される領域の他方の側における前記電子走行層上にソース電極を形成する工程と、
前記電子伝導領域の前記基板側の一端と電気的に接続されるドレイン電極を形成する工程と、
を備える電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記積層構造を構成する各層を連続的に成長させる工程は、
前記電子障壁層と、前記電子走行層と、前記電子走行層にヘテロ接合する電子供給層とを連続的に成長させる工程を含む、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1または2に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記ドレイン電極を形成する前記工程では、
前記ドレイン電極を、前記基板の表面側に形成する、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1または2に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記ドレイン電極を形成する前記工程では、
前記ドレイン電極を、前記基板の裏面に形成し、前記基板を介して前記電子伝導領域と電気的に接続する、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1から4のうちのいずれか1項に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記ゲート電極が形成される領域の一方の側で前記積層構造をエッチングして、前記電子走行層から前記電子障壁層よりも前記基板側の領域に亘ってエッチング加工面を形成する工程をさらに備え、
前記電子伝導領域は前記エッチング加工面に形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項5に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電子伝導領域は、前記エッチング加工面から前記積層構造にn型不純物を導入し、当該導入されたn型不純物を熱処理により活性化することで形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項6に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電子伝導領域は、前記エッチング加工面にn型不純物をイオン注入し、当該注入されたn型不純物を熱処理で活性化させることで形成される、電界効果トランジスタ。 - 請求項6に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電子伝導領域は、前記エッチング加工面にアモルファスまたは多結晶のシリコンを堆積し、当該堆積されたシリコンを前記n型不純物として前記積層構造に導入することで形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項8に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
当該堆積されたシリコンは熱処理により前記積層構造に導入される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項5に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電子伝導領域は、前記エッチング加工面に導電膜を形成することで形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項10に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記導電膜は、金属膜であり、
前記電子伝導領域は、前記金属膜と前記積層構造とを熱処理により相互反応させることで形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項11に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記金属膜は、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、白金(Pt)、ニオブ(Nb)、アルミニウム(Al)、金(Au)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)からなる群から選択された1種または2種以上の金属材料からなる、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1から4のうちのいずれか1項に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電子伝導領域は、前記電子障壁層よりも前記基板側の領域に達する深さまで前記積層構造にn型不純物をイオン注入することにより形成される、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1から13のうちのいずれか1項に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記積層構造は、複数のIII族窒化物系化合物半導体層からなる、電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項1から14に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
電子伝導領域を形成する前記工程の後段で、
前記電子伝導領域の基板側の一端と反対側の他端上に絶縁膜を形成する工程と、
該絶縁膜上に電位制御電極を形成する工程を実施する電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電位制御電極を、前記ゲート電極と接続する電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15に記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電位制御電極を接地する電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15から17のいずれかに記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記絶縁膜の誘電率が6以上である電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15から18のいずれかに記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記絶縁膜が、アルミ、珪素、ハフニウム、ジルコニウム、タンタル、チタンのうち少なくとも1種と、酸素と窒素のうち少なくとも1種を含む電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15から19のいずれかに記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記絶縁膜の膜厚が10nm以上であることを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。 - 請求項15から20のいずれかに記載の電界効果トランジスタの製造方法であって、
前記電位制御絶縁膜の膜厚が400nm以下であることを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
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