JPWO2010001449A1 - Grinレンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Lens)を融着した光ファイバコリメータは、半導体レーザと光ファイバとを高効率で結合でき、また接続損失の少ないコネクタとするなど、種々の光通信部品として有用である。
このようなGRINレンズの製造方法として、イオン交換法、気相CVD法などがあるが、低温合成法を基板としたゾルゲル法が優れているといわれている。ゾルゲル法によるGRINレンズの製造方法は、例えば下記特許文献1、2に開示されている。これは、ケイ素のアルコキシド(Si(OR)4(R:アルキル基))を主成分とするアルコール溶液に、溶媒として酸または塩基を添加し加水分解することでゾルとし、このゾルをさらに重縮合反応させて熟成することで、架橋反応を進行させウェットゲルを作製している。GRINレンズを作製する場合には、ドーパント(屈折率分布を付与する金属成分)に濃度分布を形成することが必要となる。ドーパントの濃度が濃い部分は屈折率が大きくなるから、GRINレンズの中心部の濃度を濃くし、外側ほど濃度が薄くなるようにする。ドーパントの原料として金属アルコキシド、金属塩を用いる方法、更には分子スタッフィング法などがあるが、Ti、Ta、Sb又はZrのアルコキシドを用いるのがきわめて有用である。濃度分布を形成するためには、リーチングを行うのが一般的である。これは、ウェットゲルを酸の溶液に浸漬し、外周部のドーパントを溶出させて濃度分布を付与するものである。そして、得られたウェットゲルを乾燥し、ゲル中の溶媒を除去後、焼結することで屈折率分布が付与された緻密な円柱状のガラス母材を作製し、これを細く線引きしてGRINレンズを製造する。
従来この嵩密度は、リーチング時の塩酸濃度やリーチング時間、リーチング温度等を制御することでコントロールする試みがなされていたが、所望の屈折率分布を形成しつつ嵩密度を下げるという、いわば2つの効果を同時に達成させることは不可能であり、必然的に良好な屈折率分布の付与を優先させるため、嵩密度が大きくなる問題があった。
これにより、リーチングのステップにおいて、殆どのアルミニウムがウェットゲルから溶出して気孔率が増加し、これを乾燥させたドライゲルも気孔率が大きいものとなる。この気孔率の大きなドライゲルを焼結すると、ゲル内部に存在する気体が気孔から外部に抜け、内部にほとんど気体が存在しないガラス母材ができる。従って、ゲル内部気体の膨脹による割れが無くなり、かつ、この母材を線引きしても発泡することが無くなり、焼結、線引き時の歩留まりが大幅に改善される。
本発明は、ウェットゲルを調合する際の作業を容易に、安定して行うことができ、しかもドライゲルの気孔率が大きく、焼結の際の母材の割れ、線引きの際の発泡を防ぐGRINレンズの製造方法を開発することを目的とするものである。
1モル%に満たないと、ドライゲルの気孔率が十分大きくならず発泡を抑制する効果が低減する。
15モル%を越えると、リーチング後にウェットゲルからほう素が溶出した後の細孔径が大きくなりすぎて、焼結により細孔を塞ぐプロセスが困難となり、その結果、細孔が完全に閉じていない状態になってしまう。この状態では、線引きの前処理として行う母材と石英棒との接合の際、接合部分に白濁や発泡が生じ、線引き不能の状態に陥ってしまう。また、ほう素の多量添加は、後の熟成工程の時間増加をもたらし、かつ、ゲル強度の低下をもたらす点で好ましくない。
なお、本発明においてケイ素、ドーパント又はほう素について使用する「モル%」の表示は、これら単体の(ケイ素単体+ドーパント単体+ほう素単体)に対する濃度(元素の数の割合)である。
ほう素のアルコキシドを添加したウェットゲルからGRINレンズを製造する場合、リーチングのステップにおいてほとんどのほう素が溶出するので、気孔率が高くなり発泡が抑制される。この時、GRINレンズ中に残存するほう素酸化物の量は、ほう素単体換算で0.1モル%未満程度(平均)である。屈折率分布付与の観点からはほう素の存在は好ましくなく、実質上0モル%になっても全く問題ない。
ケイ素のアルコキシドとほう素のアルコキシドの加水分解反応が若干進んだ段階で、ドーパントのアルコキシドを添加する。これは先述した通り、ドーパントのアルコキシドが反応性に富むため、ケイ素やほう素のアルコキシドと同時に添加すると先にドーパントのみが選択的にゲル化してしまい、結果ケイ素とほう素リッチなガラス相とドーパントリッチなガラス相に分離してしまうからである。
また、ほう素のアルコキシドの粘性は、他の原料とほぼ等しく、容易に秤量することができ、かつ、ゲル加速度もドーパントのそれに比べて圧倒的に遅い。したがって、特に熟達した作業者でなくとも、ウェットゲルを作製する際の秤量・調合作業を容易に行うことができ、その結果安定して高い歩留まりでGRINレンズを製造できる。
テトラメトキシシラン(TMOS)42.37g、トリブチルボレート(B(OBu)3)1.15g、エタノール17.05g及びジメチルホルムアミド(DMF)24.37gの混合液に0.54mol/l塩酸5.21gを添加し、60分撹拌した。
DMFを加える主な理由は乾燥ゲルにおける細孔径分布を適切な状態に導くためであり、溶媒への適した分散性、比重、沸点等を持ち合わせた物質として選択している。しかるに、同等の効果をもたらす物質であればこれに限定する必要はなく、例えばEEP(3−エトキシプロピオン酸エチル;沸点=153度、比重=0.968)なども使用可能と考えられる。
また塩酸については、アルコキシド原料の加水分解反応および重縮合反応を適切に行わせるために添加するいわば触媒にあたる物質であり、他の酸(例えば酢酸など)でも良いし、逆にアルカリ(例えばアンモニア水)等でも良い。ただし、乾燥ゲル中における細孔径分布を適正なものにするには酸の方が優れている。
なお、この操作にて生じた細孔径が適正に制御できなかった場合、後に行う焼結工程にて内包する水分や有機物等の除去が不十分となり、割れや線引き時の発泡という不具合が生じてしまう。
ゲル化は加水分解反応と重縮合反応により進むため、過度の反応を防止する目的でエタノールと純水の添加速度ならびに撹拌速度を決めなければならず、その速度は操作を行う環境、すなわち温度や湿度等を勘案して決定するのがよい。
その後、ウェットゲルを3mol/l塩酸中に5時間浸漬し、外周部からチタン及びほう素を溶出させることでリーチングを行い、ゲル中にチタンの濃度分布を付与した。
その後、ウェットゲルを70℃で4日間、120℃で3日間乾燥させ、直径約7mmのドライゲルを得た。このときの嵩密度はほう素添加量が1.5モル%の場合に約0.824(g/cm3)、ほう素添加量が3モル%の場合には約0.807(g/cm3)となり、ほう素の添加量に比例して気孔率が高くなることが確認された。
得られたドライゲルを、室温から550℃までは酸素雰囲気中で9℃/hrで昇温し、その後1250℃までヘリウム雰囲気中で7℃/hrで昇温して焼結し、透明なガラス母材を得た。
このGRINレンズに残存するほう素単体の量(平均)は約0.05モル%未満であった。
テトラメトキシシラン(TMOS)47.19g、トリブチルボレート(B(OBu)3)3.84g、エタノール18.57g及びジメチルホルムアミド(DMF)24.37gの混合液に1.53mol/l塩酸5.86gを添加し、60分撹拌した。その後、チタニウムテトラnブトキシド(Ti(OBu)4)2.27g、エタノール21.35g及びDMF12.18gの混合液を添加し、さらにエタノール18.44gと純水18.44gを徐々に加えながら撹拌し、ケイ素93モル%、チタン2モル%、ほう素5モル%のウェットゲル(実施例2)を得た。同様にしてほう素含量が6モル%、チタン含量が2モル%のウェットゲル(実施例2−2)を作製し、このこれらのウェットゲルを60℃で6日間熟成した。
その後、ウェットゲルを1.53規定mol/l塩酸中に16時間浸漬し、外周部からチタン及びほう素を溶出させることでリーチングを行い、ゲル中にチタンの濃度分布を付与した。
その後、ウェットゲルを70℃で4日間、120℃で3日間乾燥させ、直径約7mmのドライゲルを得た。このときの嵩密度はほう素添加量が5モル%の場合には約0.784(g/cm3)、ほう素添加量が6モル%の場合には約0.762(g/cm3)となり、実施例1の時と同様、ほう素の添加量に比例して気孔率が高くなることが確認された。
得られたドライゲルを、室温から550℃までは酸素雰囲気中で9℃/hrで昇温し、その後1250℃までヘリウム雰囲気中で7℃/hrで昇温して焼結し、透明なガラス母材を得た。この焼結ステップで、ガラス母材に割れ、発泡は生じず、歩留まりは100%であった。
この円筒状のガラス母材を、直径125ミクロンのGRINレンズに線引きした。線引きステップにおいて、発泡は見られず、歩留まり100%で透明なGRINレンズを得ることができた。
Claims (5)
- ケイ素のアルコキシド、ドーパントのアルコキシド及びほう素のアルコキシドを主成分とするアルコール溶液からウェットゲルを作製するステップと、リーチングにより前記ウェットゲル外周面からドーパント及びほう素を溶出させて屈折率分布を付与するステップと、前記ウェットゲルを乾燥させてドライゲルを作製するステップと、前記ドライゲルを焼結してガラス母材を形成するステップと、前記母材を線引きするステップを有することを特徴とするGRINレンズの製造方法。
- 前記ウェットゲルを作製するステップにおいて、ほう素単体の(ケイ素単体+ドーパント単体+ほう素単体)に対する濃度が1〜15モル%である請求項1に記載のGRINレンズの製造方法。
- 請求項1又は2に記載のGRINレンズ製造方法において、リーチング後のドライゲル中に残存するほう素の(ケイ素単体+ドーパント単体+ほう素単体)に対する濃度が0.1モル%未満となることを特徴とするGRINレンズの製造方法。
- 前記ドーパントがTi、Ta、Sb及びZrから選択される1種又は2種以上である請求項1、2又は3に記載のGRINレンズの製造方法。
- 前記ケイ素のアルコキシド、ドーパントのアルコキシド及びほう素のアルコキシドを主成分とするアルコール溶液からウェットゲルを作製するステップを、ケイ素のアルコキシド及びほう素のアルコキシドを含むアルコール溶液を10〜150分撹拌した後、これにドーパントのアルコキシドを含むアルコール溶液を加えてさらに撹拌して行う請求項1〜4のいずれかに記載のGRINレンズの製造方法。
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