JPWO2009113469A1 - 光デバイス、その製造方法とそれを用いた光集積デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
LiNbO3を用いた光変調器は、単結晶LiNbO3基板上にTi拡散法によりマッハツエンダー型導波路を形成したものに電極を組み合わせて形成されている。この光変調器は、電圧を印加することで、導波路の屈折率を変化させ、光信号のON/OFFを行うことができる。しかし、この変調器は、単結晶基板を用いる必要があることから高価である。また、LiNbO3の電気光学効果が小さく、プレナー電極構造であることから長い導波路が必要になり、素子サイズがcm台と非常に大きい。
透明セラミックスであるPb1−xLax(ZryTi1−y)O3(PLZT)は、現行の光変調器に用いられているLiNbO3単結晶より二桁近く電気光学係数が大きい。それゆえ、PLZTを用いることで、光素子の小型化及びそれによる低コスト化、低消費電力化、および高速化が期待でき、これまでゾルゲル法によるPLZTの薄膜化の検討がなされてきている(非特許文献1、非特許文献2)。
今後に期待される革新的な技術として、光とエレクトロニクスの1チップ上の集積を可能とするシリコンフォトニックデバイスが研究されている。これを実現することでCPU、メモリー等のLSIと光スイッチ等の能動光学素子とを同一基板上に形成することができ、LSIの高速化が可能となる。また、LSI形成技術を光通信デバイスの製造プロセスに適用できることから、光デバイスの低価格化が可能となる。
しかし、シリコンが間接遷移型の半導体のため、レーザー等の発光素子をシリコン基板上に直接形成することは困難である。このため、電気信号を光信号に変換する光変調器をシリコン基板上に形成することが重要になる。このLSI光配線用の光変調器は、LSIの動作条件で駆動できる低電圧、低消費電力で、小型であることが求められている。
この要求を満足する光変調器として、シリコンで構成されたリング共振器型が研究されている(非特許文献3)。シリコン・リング型共振器は、光の導波層にキャリアを注入することで屈折率を変化させ、共振波長を変化させることで変調動作を行う。
K.D.Preston and G.H.Haertling:Appl.Phys.Lett.60(1992)2831. K.Nashimoto,K.Haga,M.Watanabe,S.Nakamura and E.Osakabe:Appl.Phys.Lett.75(1999)1054. A.Liu,L.Liao,D.Rubin,H.Nguyen,B.Ciftcioglu,Y.Chetrit,N.Izhaky,M.Paniccia:Opt.Exp.,15(2007)660. Yasuo Kokubun,Shigeru Yoneda,and Shinnosuke Matsuura:IEICE Trans.Electron.Vol.E81−C,No.8(1998)1187. H.Tanobe,Y.Kondo,H.Yasaka and Y.Yoshikuni:IEEE Photo.Technol.Lett.Vol.8,No.11,(1996)1489. Y.Inoue,A.Kaneko,F.Hanawa,H.Takahashi,K.Hattori and S.Sumida:Electron.Lett.Vol.33,No.23,(1997)1945.
これは、温度変動による屈折率の変化、すなわち熱光学効果により、リングの光路長によって定まる共鳴波長が変動するためである。この共鳴波長が温度により変動すると、消光比の低下を引き起こし、デバイスとしての機能を著しく低下させてしまう。このため、光通信分野では、変調器にペルチェ素子等の温度保持機構を付加している。それゆえ、リング共振器を用いる変調器には、高価、大型で、かつ消費電力が大きいといった課題がある。
このリング共振器の課題を解決するために、温度無依存型のリング共振器構造として、コア材料とクラッド材料の屈折率の温度係数、dn/dT、を逆符号にする構造が提案されている(非特許文献4)。ここでは、コア材料であるTiO2−SiO2のdn/dTは正であり、クラッド材料として用いているPMMA−TFMAのdn/dTは負である。このように、温度による屈折率変化を補償する構造がとられている。
しかし、コア材料とクラッド材料の熱光学効果の符合を変えることで、温度補償するためにはクラッドに多くの導波光を染み出させる必要がある。染み出し光が多い導波路は必然的に光閉じ込めの弱い導波路となり、リング径を小さくすると放射損が大きくなる。このため、リング共振器は、小型化が困難で、集積化が難しく、また、変調に必要な電力が大きくなり、高速化ができない。
また、温度無依存型の光デバイスの構成として、マッハツエンダー型導波路の光フィルターで、実効屈折率の熱光学効果が異なる材料からなり長さが異なる二本の導波路からなる構造が提案されている(非特許文献5)。しかし、この構造はマッハツエンダー型では有効だが、共振型では有効ではない。
さらに、温度無依存型の光デバイスの構成として、arrayed−waveguide grating(AWG)で、arrayed−waveguideの一部にグルーブを設け、そこにarrayed−waveguideを構成するシリカとは屈折率の熱光学効果が逆符号のシリコーンを充填する構造が提案されている(非特許文献6)。この構造では、導波路の曲率半径が小さなリング構造では、導波損失が大きくなってしまう。
本発明は上記の如き事情に鑑みてなされたものであって、温度による特性変動が小さな共振型光デバイス、特に小型、低消費電力で、高速な安価な光デバイスを提供することを目的とする。また、本発明は、この光デバイスを備えた光集積デバイスを提供することをもう一つの目的とする。
本発明の一形態によれば、共振構造の光導波路を有する光デバイスであって、光導波路の少なくとも一部を構成する第一の部分のコア層が、光の進行方向に沿って第1の部分に連続する第二の部分のコア層に接続されており、第1の部分のコア層の少なくとも一部分を構成する光学材料と第2の部分のコア層の少なくとも一部分を構成する第2の光学材料が、互いに異なる符号の熱光学効果をもつ光デバイスが提供される。
また、本発明の他の形態によれば、リング状光導波路と入出力光導波路を有し、リング状光導波路の共振波長を変化させる光デバイスであって、導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部が、リング状光導波路の一部分に具備され、屈折率制御部が、該屈折率制御部以外のリング状光導波路の部分に用いられる光学材料の熱光学効果と異なる符号の熱光学効果をもつ光学材料を含む光デバイスが提供される。
また本発明の更に他の形態によれば、上記光デバイスの製造方法であって、前記屈折率制御部の少なくとも一部が、光学材料をエアロゾルデポジション法で堆積させる工程を含む光デバイスの製造方法が提供される。
本発明によれば、温度による特性変動が小さな共振型光デバイス、特に、低消費電力で安価な光デバイスが得られ、また、この光デバイスを備えた光集積デバイスが得られる。
図2Aは、リング共鳴型変調器のPLZTコア部を持つ屈折率制御部のTE基本モードにおける電界分布の計算結果を示す図であり、図2Bはその幅方向の電界分布を示すグラフである。
図3Aは、リング共鳴型変調器のTiO2コア部を持つ光導波路のTE基本モードの計算結果を示す図であり、図3Bはその幅方向の電界分布を示すグラフである。
図4は、リング共鳴型変調器の透過光量の波長スペクトルの計算結果を示す図である。
図5は、本発明による実施例の光デバイスの屈折率制御部を示す断面模式図である。
図6は、本発明による実施例で用いた成膜装置の概略図である。
図7は、本発明による実施例の光デバイスの屈折率制御部以外のリング状導波路の光導波路部を示す断面模式図である。
以下に、シミュレーションを行った本実施の形態について説明する。
図1は、本発明の一実施の形態によるリング共鳴型変調器の模式図である。リング共鳴型変調器10は、入出力光導波路1と、長円形のリング状光導波路2とを備えている。リング状光導波路2は、屈折率制御が可能な部分である屈折率制御部3と、屈折率制御部3以外の光導波路部4とを備えている。
入出力光導波路1はその中心にコア層からなる第1のコア部11とその周囲に設けられたクラッド部14を有している。
導波光は一端部11aから入力され、他端部11bから出力される。リング状光導波路2の屈折率制御が可能な部分である屈折率制御部3の中心には、コア層からなる第2のコア部12が設けられ、その周囲はクラッド部14が設けられている。また、屈折率制御部3以外の光導波路部4の中心には、コア層からなる第3のコア部13が設けられ、その周囲もクラッド部14で覆われている。
屈折率制御部3の第2のコア部12の屈折率の温度係数は、リング状光導波路2の屈折率制御部3以外の部分である光導波路部4の第3のコア部13の温度係数と逆符合になっている。
リング状光導波路2の第3のコア部13は、入出力光導波路1の第1のコア部11を構成する材料と同じ材料から形成されている。
有限要素法を用い、屈折率制御部3及びリング状光導波路2の光導波路部4のそれぞれについてTE基本モードの計算を行った。屈折率制御部3の第2のコア部12は電気光学材料であるPLZT((Pb0.95La0.05)(Zr0.3Ti0.7)O3)、屈折率制御部3以外の第3のコア部13は、酸化チタンTiO2、コア部12及び13の周囲のクラッド部14はSiO2とした。
下記表1に、計算に用いた各材料の屈折率の温度依存を示す。PLZTの屈折率の温度係数、dn/dT、は、正であり、TiO2のdn/dTは負であって、符号が互いに異なっている。
図3A及び図3Bは、リング状光導波路2の光導波路部4のTE基本モードにおける電界分布の計算結果である。波長は同じく1550nmとした。図3Aは、TiO2コアを、高さを400nm、幅を800nmのチャネル型導波路としたときの電界分布を、図3Bは幅方向の電界分布をそれぞれ示す。このときの実効屈折率neffは1.753276であった。なお、単一モード条件と実効屈折率整合の観点でPLZTコア断面をTiO2コアより小さくしている。
次に、リング半径を10μmとした場合の導波特性の計算結果について説明する。PLZT部の損失は5dB/mm、TiO2部の損失は1dB/mmを仮定し、温度依存性がなくなるよう、PLZT部とTiO2部の導波路長をそれぞれ29.48μm、53.34μmに調整した。方向性結合器の結合比は、共振が最も強くなるよう(いわゆるcritical coupling)に調整した。
下記表2は、仮定した損失とパワー透過率の計算結果を示している。
以上、説明したように、リング状光導波路2と入出力光導波路1を有し、リング状光導波路2の共振波長を変化させる光デバイスにおいて、導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部3が、リング状光導波路2の一部分に具備され、屈折率制御部3のコア部が、屈折率制御部3以外のリング状光導波路の光導波路部4のコア部を構成する光学材料の熱光学効果と異なる符号の熱光学効果をもつ光学材料で形成されることで、温度による特性変動が小さく、低電圧駆動のリング共鳴型変調器10が実現可能であることが明らかである。この結果を利用することで、高い性能の光デバイス、光集積デバイスを安価に形成することができる。
ここでは、リング状光導波路2の計算結果について示したが、他の共振型光導波路デバイス、たとえばファブリペロー型光導波路デバイスにおいても同様な効果が得られることは明らかである。
また、チャネル構造のリング導波路の計算結果について示したが、リッジ構造、逆リッジ構造等の異なる導波路構造においても同様の効果が得られることは、明らかである。
上記構成を有する本実施の形態における光デバイスにおいて、リング状光導波路2の屈折率制御部3のコア部は、当該リング状光導波路2の屈折率制御部3以外の光導波路部4のコア部と熱光学効果の符号の異なる光学材料で形成されている。この屈折率制御部3のコア部に用いる光学材料は、電圧等による屈折率可変性が大きく、熱光学効果が小さいことが望ましい。消光比等の動作特性を重視した場合、屈折率可変性が大きいことが重要となるが、その場合、屈折率化変性が大きく熱光学効果が十分小さい材料を選択することが困難になる。屈折率制御部3のコア部に、屈折率変化性は大きいが熱光学効果はそれほど小さくない光学材料を用いる場合であっても、屈折率制御部3以外のリング状光導波路の光導波路部4のコア部に、屈折率制御部3を構成する光学材料の熱光学効果とは異なる符号の熱光学効果をもつ光学材料を用いることで、温度による特性変動が小さく、消光比の大きな光デバイスを形成することが可能になる。
また、リング状光導波路2において、屈折率制御部3と屈折率制御部3以外のリング状光導波路2の光導波路部4の実効的長さ、屈折率や構造を、温度変化による共振波長の変動を補償する関係にすることができる。これにより、温度による特性変動が小さく、消光比の大きな光デバイスを形成することが可能になる。
リング状導波路2において、屈折率制御部3と他の光導波路部4との光路長の比(屈折率制御部3/他の光導波路部4)は、十分な消光比等の動作特性を得る点から、1/10以上が好ましく、1/8以上がより好ましく、1/7以上がさらに好ましい。一方、温度による特性変動を十分に小さく抑える点から、屈折率制御部3と他の光導波路部4との光路長の比は、1/0.5以下であることが好ましく、1/0.8以下であることがより好ましく、1/1以下であることがさらに好ましい。
また、リング状導波路2において、屈折率制御部3のコア部と他の光導波路部4のコア部との屈折率の温度係数、dn/dT、の比(屈折率制御部3/他の光導波路部4)は、温度による特性変動を十分に小さく抑える点から、符号が異なるとともにその絶対値が1/10以上、10以下が好ましく、1/8以上、8以下がより好ましく、1/7以上、7以下がさらに好ましい。
屈折率制御部3のコア部は、電気光学材料で形成することができる。これにより、高速で低消費電力の光変調器等の光デバイスを形成することができる。この電気光学材料としては、ジルコン酸チタン酸鉛、またはランタンが添加されたジルコン酸チタン酸鉛が挙げられる。この電気光学材料として、Pb1−xLax(ZryTi1−y)O3(0≦x<1、0<y<1)で表されるジルコン酸チタン酸鉛を好適に用いることができる(x=0のとき「PZT」、0<xのとき「PLZT」)。このような材料を用いることにより、小型で低電圧駆動の光変調器等の能動素子、デバイスの形成が可能となる。
リング状光導波路2における屈折率制御部3以外の光導波路部4のコア部は、TiO2、PbMoO4から選ばれる材料で形成することができる。いずれの材料も負の屈折率の温度係数、dn/dTを有している。また、リング状光導波路2の屈折率制御部3とリング状光導波路2の他の光導波路部4および入出力導波路1のコア部の屈折率の差は小さいほうが、変調器等の光デバイスの特性上望ましい。屈折率制御部3のコア部を、例えば屈折率2.2〜2.5の電気光学材料で形成した場合、屈折率制御部3以外のリング状導波路2の光導波路部4のコア部の屈折率も同様の屈折率を有することが望ましい。上記の光学材料を用いることで、高い性能の光デバイスが形成可能となる。
以上説明した本発明による一実施の形態では、リング状光導波路2に電界を形成する電極を設け、この電極に電気信号を印加することで光を制御する光変調器または光スイッチとして動作させることができる。これにより、高速応答可能で、小型化もしくは低消費電力化が可能な光変調器、光スイッチを提供することができる。
また、本発明による一実施の形態では、上述した光デバイス(第1の光デバイス)と、他の光デバイス(第2の光デバイス)とを同一基板上に有する光集積デバイスを提供できる。第2のデバイスとしては、レーザー、電気光変換器、光電気変換器、光増幅器、光スイッチ、光フィルターのいずれかを適用することができる。基板としては、シリコン基板を使用することができる。
また、本発明による一実施の形態では、上記の光デバイスと電子回路とを同一基板上に有する光集積デバイスを提供できる。この基板としては、シリコン基板を使用することができる。
本発明の一実施の形態による光学デバイスの製造においては、屈折率制御部3のコア部を構成する光学材料を、エアロゾルデポジション法で堆積させることができる。このような製造方法を用いることで、Si等の任意の基板上に、温度による特性変動が小さく、低電圧駆動の光変調器等の光デバイス、及びこの光デバイスを備えた光集積デバイスを実現することができる。
図5は、本発明の実施例による光デバイスの屈折率制御部3を示す断面模式図である。本実施例では導波路構造として逆リッジ型構造を採用した。この光デバイスの平面模式図は図1と同様である。
屈折率制御部3とリング状光導波路の他の光導波路部4との光路長の比は3:5とした。リング状導波路2の周回長は800μmである。
シリコン基板31上に、SiO2層32を形成し、金属下部電極として、Ti層33、Au層34、Ti層35を、DCマグネトロンスパッタ法で形成した。 その上に、下部透明電極層36としてITO層をDCマグネトロンスパッタ法(スパッタガス:Arガス)により形成した。
次に、クラッド層141としてSrTiO3層を成膜した。次いで、このSrTiO3層(クラッド層141)を、イオンミリング法でエッチングした。
次に、SiO2層372、373を形成した。
次に、凹構造を形成し、この凹構造を埋め込むようにエアロゾルデポジション法によりコア層(コア部12)を形成した。具体的な成膜方法は後に説明する。次いで、600℃で30分、大気中でアニール後、表面研磨を行い、コア層の平坦化を行った。
その上に、上部クラッド層142としてSrTiO3を膜厚に形成し、次いで上部透明電極層38としてITO層を形成した。その後に、金属上部電極として、Ti層39、Au層41を形成した。上部クラッド層142、上部透明電極層38、金属上部電極39、41の形成方法は、前記の下部側の構造の形成方法と同じである。
次に、上記のエアロゾルデポジション法によるコア層の形成方法ついて説明する。
図6は、本実施例で用いた成膜装置50の概略図である。
酸素ガスを内蔵するガスボンベ51は搬送管を介してガラスボトル52に接続されている。ガラスボトル52内に粉末原料53を入れ、排気管54を介してガラスボトル52内を20Torr(2.67kPa)程度の真空に排気した後、キャリアガスとして酸素をその流量を制御しながら導入する。ガラスボトル52を加振器55により振動させることで、気体中に原料粉末の微粒子を分散させたエアロゾルを発生させ、キャリアガスにより搬送管56を介して、成膜チャンバー57に搬送する。成膜チャンバー57は、真空ポンプ58により所定の真空度に排気される。ノズル59から基板20に粉末を吹き付けることで、薄膜を形成する。
成膜条件は、次の通りである。キャリアガスは酸素とし、ノズルからの吐出物(粉末)の基板表面への入射角を30度、ガス流量は121/分、成膜速度は0.5μm/分、加振器55の振動数は166rpmである。基板20にはコア形成前のシリコン基板を用いた。電気光学効果の大きな酸化物であるランタン添加ジルコン酸チタン酸鉛(PLZT)系粉末を成膜材料とした。PLZTの組成は、(Pb0.95La0.05)(Zr0.3Ti0.7)O3である。原料粉末の平均粒径は、0.5μmとした。PLZTの膜厚は2μmである。成膜材料のPLZT系粉末はペロブスカイト型結晶構造を持つ強誘電体の組成であり、一次の大きな電気光学係数を持つ光デバイスに好適な組成である。
図7は、本実施例の光デバイスの屈折率制御部3以外のリング状導波路2の光導波路部4を示す断面模式図である。この部分には、前述の図5に示した屈折率制御部3に対して、コアの材料が異なり、また、電極が設けられていない。なお、図5で説明したものと同じ名称の部分には、図5と同じ参照符号を付してある。
シリコン基板31上にSiO2層32を形成した後、SiO2層371を形成した。
次に、クラッド層141としてSrTiO3層を成膜した。
その上に、第1のコア層121として、TiO2層を成膜した。
次に、SrTiO3層(クラッド層141)とTiO2層(第1のコア層121)を、イオンミリング法でエッチングした。
次に、SiO2層372,373を形成した。
第2のコア層として、TiO2層122を成膜した。その上に上部クラッド層142としてSrTiO3を形成した。
なお、図5に示す構造(屈折率制御部3)と図7に示す構造(屈折率制御部3以外のリング状光導波路2の光導波路部4)の上記製造過程において、SiO2層32、クラッド層141、上部クラッド層142は、同一のシリコン基板31上で同時に形成され、電極層等のその他の層の形成は、一方の構造の領域をマスクした状態で他方の構造の領域に対して行なわれた。
以上のようにして作製したリング型変調器に、波長1.55μmのCW光を入力し、バイアス電圧として3.5V印加した状態で3Vppで変調したところ、10GHzの高周波までの変調が可能であった。そのときの消光比は4dBであった。
また、作製したリング変調器の温度を60℃に加熱し、同様の測定を行ったが、バイアス電圧として3V印加した状態で3Vppで変調したところ、10GHzの高周波までの変調が可能であった。そのときの消光比は3.5dBであった。
以上の通り、リング状光導波路と入出力光導波路を有する光デバイスにおいて、屈折率制御部のコア部に光学吸収の大きな電気光学材料を用いながら、高速、小型で温度による特性変動が小さく低電圧駆動の光変調器が製造できた。
本実施例は、屈折率制御部のコア材料としてPLZTを用いたが、これに限定されるものではなく、ジルコン酸チタン酸鉛、チタン酸バリウム、ストロンチウム添加チタン酸バリウム、KTN等の電気光学材料が使用できる。また、リング状導波路の他の部分のコア材料としては、TiO2の他、PbMoO4等の光導波路形成用の材料を使用できる。
また、屈折率制御部の電気光学材料の成膜にエアロゾルデポジション法を用いることで、レーザー、電気光変換器、光電気変換器、光増幅器、光導波路、光フィルター等の別種の光学素子を予め形成した基板に対して、あるいは、CPU、メモリー等の電子素子で構成される集積回路が予め形成されている基板に対して、本発明による光学素子を作製することが容易になる。
このような製造方法は、本発明による光デバイスと、他のデバイス又は集積回路を備えた種々の光集積デバイスの作製に応用することができる。
この出願は、2008年3月13日に出願された日本出願特願2008−064186号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
Claims (13)
- 共振構造の光導波路を有する光デバイスであって、前記光導波路の少なくとも一部分を構成する第一の部分のコア層が、光の進行方向に沿って前記第1の部分に連続した第二の部分のコア層に接続されており、前記第一の部分のコア層の少なくとも一部分を構成する第1光学材料と前記第二の部分のコア層の少なくとも一部分を構成する第2の光学材料が、互いに相異なる符号の熱光学効果をもつことを特徴とする光デバイス。
- 請求項1に記載の光デバイスにおいて、前記第1光学材料及び前記第2光学材料が無機光学材料であることを特徴とする光デバイス。
- 請求項1又は2に記載の光デバイスにおいて、前記第一の部分の導波路と前記第二の部分の導波路の少なくとも一部分の実効的長さ、屈折率、及び構造の内の少なくとも1種を温度変化による共振波長の変動を補償する関係を有するように構成したことを特徴とする光デバイス。
- 請求項1から3の内のいずれか一項に記載の光デバイスにおいて、導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部が、前記光導波路の前記第一の部分に具備され、前記屈折率制御部は前記第1の光学材料を有し、前記屈折率制御部の光導波路の方向に連続した当該屈折率制御部以外の前記光導波路の前記第2の部分の少なくとも一部分は、前記第2光学材料を有していることを特徴とする光デバイス。
- 請求項1から4の内のいずれか一項に記載の光デバイスにおいて、前記光導波路がリング状光導波路であり、当該光デバイスは、更に、入出力光導波路を有し、かつ前記リング状光導波路の共振特性を利用する光デバイスであることを特徴とする光デバイス。
- 請求項4または5に記載の光デバイスにおいて、前記屈折率制御部の第1の光学材料が電気光学材料で形成されていることを特徴とする光デバイス。
- 請求項4から6の内のいずれか一項に記載の光デバイスにおいて、前記屈折率制御部が前記第1の光学材料として、ジルコン酸チタン酸鉛を含む材料、またはランタンが添加されたジルコン酸チタン酸鉛を含む材料を含むことを特徴とする光デバイス。
- 請求項5から7の内のいずれか一項に記載の光デバイスにおいて、前記屈折率制御部以外の前記リング状光導波路の少なくとも一部分が、TiO2、及びPbMoO4から選ばれる材料で形成されていることを特徴とする光デバイス。
- 請求項4から8のいずれか一項に記載の光デバイスにおいて、前記屈折率制御部に電界を形成する電極を有し、この電極に電気信号を印加することで光を制御する光変調器または光スイッチとして動作することを特徴とする光デバイス。
- 請求項1から9の内のいずれか一項に記載の光デバイスを第1のデバイスとして搭載した基板上に、第2の光デバイスを有することを特徴とする光集積デバイス。
- 請求項10に記載の光集積デバイスにおいて、前記第2の光デバイスが、レーザー、電気光変換器、光電気変換器、光増幅器、光スイッチ、及び光フィルターのいずれかであることを特徴とする光集積デバイス。
- 請求項1から9の内のいずれか一項に記載の光デバイスと、電子回路とを基板上に有することを特徴とする光集積デバイス。
- 請求項4から9の内のいずれかに記載の光デバイスの製造方法であって、前記屈折率制御部の少なくとも一部が、光学材料をエアロゾルデポジション法で堆積させることにより形成されることを特徴とする光デバイスの製造方法。
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