JP2009139734A - 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 - Google Patents
光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009139734A JP2009139734A JP2007317307A JP2007317307A JP2009139734A JP 2009139734 A JP2009139734 A JP 2009139734A JP 2007317307 A JP2007317307 A JP 2007317307A JP 2007317307 A JP2007317307 A JP 2007317307A JP 2009139734 A JP2009139734 A JP 2009139734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- refractive index
- ring
- control unit
- optical waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】リング状光導波路と入出力光導波路を有し、このリング状光導波路の共振波長を変化させる光デバイスであって、導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部が、前記リング状光導波路の一部分に具備され、前記屈折率制御部が、この屈折率制御部以外の前記リング状光導波路の部分を構成する光学材料の複素屈折率と異なる複素屈折率をもつ光学材料で形成されている光デバイス。
【選択図】図1
Description
K. D. Preston and G. H. Haertling : Appl. Phys. Lett. 60 (1992) 2831. K. Nashimoto, K. Haga, M. Watanabe, S. Nakamura and E. Osakabe : Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 1054. A. Liu, L. Liao, D. Rubin, H. Nguyen, B. Ciftcioglu, Y. Chetrit, N. Izhaky, M. Paniccia: Opt. Exp., 15 (2007) 660.
導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部が、前記リング状光導波路の一部分に具備され、
前記屈折率制御部が、該屈折率制御部以外の前記リング状光導波路の部分を構成する光学材料の複素屈折率と異なる複素屈折率をもつ光学材料で形成されている光デバイスが提供される。
シリコン基板上に絶縁層を形成する工程と、
リング状光導波路の屈折率制御部を形成する領域に下部電極層を形成する工程と、
下部クラッド層を形成する工程と、
前記屈折率制御部を形成する領域には、前記下部クラッド層上にエアロゾルデポジション法により第1の光学材料からなる第1のコア層を形成し、前記リング状光導波路の該屈折率制御部以外の部分を形成する領域には、前記下部クラッド層上に、第1の光学材料の複素屈折率と異なる複素屈折率をもつ第2の光学材料からなり、第1のコア層と接続する第2のコア層を形成する工程と、
前記リング状光導波路を構成する第1のコア層および第2のコア層上に上部クラッド層を形成する工程と、
前記上部クラッド層上に、前記下部電極層と対向するように上部電極層を形成する工程と、を有する光デバイスの製造方法を提供することができる。
12 リング状光導波路
13 入出力光導波路とリング状光導波路の光学的結合部
14 リング状光導波路の屈折率制御部
2 電極部
71 シリコン基板
72 SiO2層
73 Ti層
74 Au層
75 Ti層
76 下部透明電極層
77 クラッド層
78 SiO2層
79 コア層
710 上部クラッド層
711 上部透明電極層
712 Ti層
713 Au層
81 ガスボンベ
82 ガラスボトル
83 粉末原料
84 排気管
85 加振器
86 搬送管
87 成膜チャンバー
88 真空ポンプ
89 ノズル
810 基板
91 シリコン基板
92 SiO2層
93 SiO2層
94 クラッド層
95 コア層
96 SiO2層
97 第二のコア層
98 上部クラッド層
Claims (11)
- リング状光導波路と入出力光導波路を有し、前記リング状光導波路の共振波長を変化させる光デバイスであって、
導波する波長における屈折率を制御する屈折率制御部が、前記リング状光導波路の一部分に具備され、
前記屈折率制御部が、該屈折率制御部以外の前記リング状光導波路の部分を構成する光学材料の複素屈折率と異なる複素屈折率をもつ光学材料で形成されている光デバイス。 - 前記リング状光導波路において、前記屈折率制御部以外の部分が、前記屈折率制御部を構成する光学材料の吸収係数より低い吸収係数をもつ光学材料で形成されている、請求項1に記載の光デバイス。
- 前記屈折率制御部が電気光学材料で形成されている、請求項1又は2に記載の光デバイス。
- 前記屈折率制御部が、ジルコン酸チタン酸鉛を含む材料、またはランタンが添加されたジルコン酸チタン酸鉛を含む材料で形成されている、請求項1から3のいずれかに記載の光学デバイス。
- 前記リング状光導波路において、前記屈折率制御部以外の部分が、TiO2、Ta2O5、SrTiO3、BaTiO3から選ばれる材料で形成されている、請求項1から4のいずれかに記載の光デバイス。
- 前記屈折率制御部に電界を形成する電極を有し、この電極に電気信号を印加することで光を制御する光変調器または光スイッチとして動作する、請求項1から5のいずれかに記載の光学デバイス。
- 請求項1から6のいずれかに記載の第1の光デバイスと、他の第2の光デバイスとを基板上に有する光集積デバイス。
- 第2のデバイスが、レーザー、電気光変換器、光電気変換器、光増幅器、光スイッチ、光フィルターのいずれかである、請求項7に記載の光集積デバイス。
- 請求項1から6のいずれかに記載の光デバイスと電子回路とを基板上に有する光集積デバイス。
- 請求項1から6のいずれかに記載の光デバイスの製造方法であって、前記屈折率制御部を構成する光学材料が、エアロゾルデポジション法で形成されることを特徴とする光デバイスの製造方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載の光デバイスの製造方法であって、
シリコン基板上に絶縁層を形成する工程と、
リング状光導波路の屈折率制御部を形成する領域に下部電極層を形成する工程と、
下部クラッド層を形成する工程と、
前記屈折率制御部を形成する領域には、前記下部クラッド層上にエアロゾルデポジション法により第1の光学材料からなる第1のコア層を形成し、前記リング状光導波路の該屈折率制御部以外の部分を形成する領域には、前記下部クラッド層上に、第1の光学材料の複素屈折率と異なる複素屈折率をもつ第2の光学材料からなり、第1のコア層と接続する第2のコア層を形成する工程と、
前記リング状光導波路を構成する第1のコア層および第2のコア層上に上部クラッド層を形成する工程と、
前記上部クラッド層上に、前記下部電極層と対向するように上部電極層を形成する工程と、を有する光デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317307A JP2009139734A (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317307A JP2009139734A (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013087351A Division JP2013164615A (ja) | 2013-04-18 | 2013-04-18 | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009139734A true JP2009139734A (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=40870376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007317307A Pending JP2009139734A (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009139734A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171355A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Nec Corp | 波長可変レーザ光源 |
JP2012042532A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Fujitsu Ltd | 位相変調素子 |
US9906306B2 (en) | 2014-06-30 | 2018-02-27 | Fujitsu Limited | Optical transmission system, transmitter, receiver, and optical transmission method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02236506A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-09-19 | Sony Corp | 光導波路装置 |
JPH06214274A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光素子 |
JP2006251090A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Ricoh Co Ltd | 光変調器およびその製造方法、ならびに光通信システム |
WO2007083842A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Nec Corporation | 光学素子、光集積デバイス、および光情報伝搬システム |
JP2007531022A (ja) * | 2004-03-31 | 2007-11-01 | ピレリ・アンド・チ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ | 光変調器 |
JP2007298895A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Nec Corp | 光学素子、光学集積デバイス及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-12-07 JP JP2007317307A patent/JP2009139734A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02236506A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-09-19 | Sony Corp | 光導波路装置 |
JPH06214274A (ja) * | 1993-01-20 | 1994-08-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型光素子 |
JP2007531022A (ja) * | 2004-03-31 | 2007-11-01 | ピレリ・アンド・チ・ソチエタ・ペル・アツィオーニ | 光変調器 |
JP2006251090A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Ricoh Co Ltd | 光変調器およびその製造方法、ならびに光通信システム |
WO2007083842A1 (ja) * | 2006-01-20 | 2007-07-26 | Nec Corporation | 光学素子、光集積デバイス、および光情報伝搬システム |
JP2007298895A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Nec Corp | 光学素子、光学集積デバイス及びその製造方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
JPN6012035964; T. Shimizu et al.: '"PLZT Electro-Optic Modulators on Si Substrates Using Aerosol Deposition for On-Chip Optical Interco' 2007 4th IEEE International Conference on Group IV Photonics , 20070919, p. 210-212 * |
JPN6012035965; R. M. de Ridder et al.: '"Silicon Oxynitride Planar Waveguiding Structures for Application in Optical Communication"' IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol. 4, No. 6, 199811, p. 930-937 * |
JPN6012035966; T. Shimoda et al.: '"Low-Loss, Polarization-Independent Silicon-Oxynitride Waveguides for High-Density Integrated Planar' 28th European Conference on Optical Communication (ECOC) 2002 , 20020908, Planar Lightwave Circuits II 4.2.2 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011171355A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Nec Corp | 波長可変レーザ光源 |
JP2012042532A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Fujitsu Ltd | 位相変調素子 |
US9906306B2 (en) | 2014-06-30 | 2018-02-27 | Fujitsu Limited | Optical transmission system, transmitter, receiver, and optical transmission method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8515225B2 (en) | Optical device, method for manufacturing the same and optical integrated device using the same | |
JP5017765B2 (ja) | 光変調器とその製造方法並びに変調光学系とこれを用いた光インターコネクト装置並びに光通信装置 | |
TWI779506B (zh) | 光子裝置之製造方法 | |
US11892715B2 (en) | Engineered electro-optic devices | |
TWI792206B (zh) | 使用光電材料夾層之相移器 | |
JP2003140214A (ja) | 波長変換素子用薄膜基板の製造方法及び波長変換素子の製造方法 | |
JP2010085738A (ja) | 光導波路素子 | |
JP2011164604A (ja) | 基板構造体および製造方法 | |
TWI823061B (zh) | 使用透明電極之相移器 | |
JP2009139734A (ja) | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 | |
JP5024954B2 (ja) | 光学素子、光集積デバイス、および光情報伝搬システム | |
JP7062937B2 (ja) | 光学素子およびその製造方法 | |
US20230007949A1 (en) | Optical Device | |
Posadas et al. | Electro-optic barium titanate modulators on silicon photonics platform | |
JP2007298895A (ja) | 光学素子、光学集積デバイス及びその製造方法 | |
JP6228507B2 (ja) | 波長変換素子 | |
JP2013164615A (ja) | 光デバイス、光集積デバイス、及びその製造方法 | |
JP5273336B2 (ja) | 光学素子及び光集積デバイス | |
CN115685598A (zh) | 具有包芯电光材料层的波导结构、制备方法及应用 | |
WO2011102251A1 (ja) | 光デバイス、光集積デバイス、および光デバイスの製造方法 | |
US20220373828A1 (en) | Optical device and optical communication apparatus | |
Mao et al. | Design and Fabrication of MZI EO Modulator Based on Spin-on Epitaxial Photonic Materials Platform | |
JP2007025072A (ja) | 光スイッチ | |
JP2011085735A (ja) | 光デバイス及び光デバイスの制御方法 | |
JP2008102318A (ja) | 光学素子、光集積デバイス、及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121130 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130122 |