JPWO2009099091A1 - マイクロホンユニット - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 361
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010255 response to auditory stimulus Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/04—Microphones
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- H04R3/00—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones
- H04R3/005—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones for combining the signals of two or more microphones
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- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
- H04R1/20—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
- H04R1/32—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only
- H04R1/34—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only by using a single transducer with sound reflecting, diffracting, directing or guiding means
- H04R1/38—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only by using a single transducer with sound reflecting, diffracting, directing or guiding means in which sound waves act upon both sides of a diaphragm and incorporating acoustic phase-shifting means, e.g. pressure-gradient microphone
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- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2201/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2410/00—Microphones
- H04R2410/05—Noise reduction with a separate noise microphone
Landscapes
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- Acoustics & Sound (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Otolaryngology (AREA)
- Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
- Obtaining Desirable Characteristics In Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
Description
マイク基板と、振動板を含む仕切り部とを含み、前記振動板をその両面に加わる音圧の差によって振動させて入力音波を電気信号に変換するマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板は、一方の面に設けられた第1の基板開口部及び第2の基板開口部を有し、
前記仕切り部は、前記第1の基板開口部を覆い、
前記振動板は、前記第1の基板開口部の少なくとも一部を覆い、
少なくとも前記マイク基板の内部に形成される基板内部空間を含む空間であって、前記振動板から前記第1の基板開口部及び前記第2の基板開口部を介して外部へと連通する内部空間が形成されていることを特徴とする。
前記基板内部空間は、前記第1の基板開口部及び第2の基板開口部を両端に含む領域の鉛直方向に設けられてもよい。
前記マイク基板の一方の面側に被せる蓋部を含み、
前記蓋部は、第1の蓋部開口部と、第2の蓋部開口部と、第3の蓋部開口部と、第4の蓋部開口部と、前記第1の蓋部開口部と前記第2の蓋部開口部とを繋ぐ第1の蓋部内部空間と、前記第3の蓋部開口部と第4の蓋部開口部とを繋ぐ第2の蓋部内部空間とを有し、
前記第1の蓋部内部空間は、前記第1の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第2の蓋部開口部を介して前記内部空間と連通し、
前記第2の蓋部内部空間は、前記第3の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第4の蓋部開口部の少なくとも一部において前記仕切り部により前記内部空間と仕切られてもよい。
前記マイク基板は、前記基板内部空間が形成されるように複数の基板を貼り合わせてなることとしてもよい。
前記マイク基板は、他方の面に設けられた第3の基板開口部を有し、
前記内部空間は、前記第1の基板開口部及び前記第2の基板開口部に加えて前記第3の基板開口部を介して前記振動板と外部とを連通してもよい。
前記基板内部空間は、前記第3の基板開口部の鉛直方向に設けられてもよい。
配線基板を有し、
前記配線基板は、前記マイク基板の他方の面側に配置されて前記第3の基板開口部を塞ぐように接合されてもよい。
前記第1の蓋部開口部から振動板までの音波到達時間と、前記第3の蓋部開口部から振動板までの音波到達時間が等しくなってもよい。
前記第2の蓋部内部空間内の、前記マイク基板の一方の面側に配置された信号処理回路を含んでもよい。
10、13、16 マイク基板
11 基板開口部
12 基板内部空間
14 第1の基板開口部
15 第2の基板開口部
17 第3の基板開口部
20 仕切り部
22 振動板
24 保持部
30 配線基板
31〜32電極
33 シール部
40 蓋部
41 第1の蓋部開口部
42 第2の蓋部開口部
43 第3の蓋部開口部
44 第4の蓋部開口部
45 第1の蓋部内部空間
46 第2の蓋部内部空間
50 信号処理回路
200 コンデンサ型マイクロホン
202 振動板
204 電極
第1の実施の形態に係るマイクロホンユニット1の構成について、図1A、図1B、図2A、図2B及び図3を参照して説明する。
第2の実施の形態に係るマイクロホンユニット2の構成について、図4A、図4B、図5A乃至図5C及び図6を参照して説明する。
第3の実施の形態に係るマイクロホンユニット3の構成について、図7A、図7B、図8A及び図8Bを参照して説明する。
第4の実施の形態に係るマイクロホンユニット4の構成について、図9A及び図9Bを参照して説明する。
第5の実施の形態に係るマイクロホンユニット5の構成について、図10A及び図10Bを参照して説明する。
第6の実施の形態に係るマイクロホンユニット6の構成について、図11A及び図11Bを参照して説明する。
マイク基板と、振動板を含む仕切り部とを含み、前記振動板をその両面に加わる音圧の差によって振動させて入力音波を電気信号に変換するマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板は、一方の面に設けられた第1の基板開口部及び第2の基板開口部と、他方の面に設けられた第3の基板開口部と、前記第1の基板開口部、前記第2の基板開口部、及び前記第3の基板開口部を介して前記マイク基板の外部と連通する基板内部空間と、を有し、
前記仕切り部は、前記第1の基板開口部を覆い、
前記振動板は、前記第1の基板開口部の少なくとも一部を覆い、
前記マイク基板の他方の面側には、前記第3の基板開口部を塞ぐように配線基板が配置されて、前記基板内部空間を含む内部空間が形成され、
前記マイク基板の一方の面側に被せる蓋部を含み、
前記蓋部は、第1の蓋部開口部と、第2の蓋部開口部と、第3の蓋部開口部と、第4の蓋部開口部と、前記第1の蓋部開口部と前記第2の蓋部開口部とを繋ぐ第1の蓋部内部空間と、前記第3の蓋部開口部と前記第4の蓋部開口部とを繋ぐ第2の蓋部内部空間と、を有し、
前記第1の蓋部内部空間は、前記第1の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第2の蓋部開口部を介して前記内部空間と連通し、
前記第2の蓋部内部空間は、前記第3の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第4の蓋部開口部の少なくとも一部において前記仕切り部により前記内部空間と仕切られることを特徴とする。
前記基板内部空間は、前記第3の基板開口部の鉛直方向に設けられてもよい。
前記マイク基板は、前記基板内部空間が形成されるように複数の基板を貼り合わせてなることとしてもよい。
前記第1の蓋部開口部から前記振動板までの音波到達時間と、前記第3の蓋部開口部から前記振動板までの音波到達時間が等しくなることとしてもよい。
前記振動板の振動に基づく信号を処理する信号処理回路を含み、
前記仕切り部と前記信号処理回路とは、いずれも前記マイク基板の一方の面上に配置されると共に、前記第2の蓋部内部空間内に設けられていることとしてもよい。
前記仕切り部の前記振動板を保持する保持部は、前記マイク基板の一方の面に対向する面の全てが前記マイク基板の一方の面に密着していることとしてもよい。
前記第1の蓋部開口部から前記振動板までの音波の経路長と、前記第3の蓋部開口部から前記振動板までの音波の経路長とは±20%の差に収まっていることとしてもよい。
Claims (9)
- マイク基板と、振動板を含む仕切り部とを含み、前記振動板をその両面に加わる音圧の差によって振動させて入力音波を電気信号に変換するマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板は、一方の面に設けられた第1の基板開口部及び第2の基板開口部を有し、
前記仕切り部は、前記第1の基板開口部を覆い、
前記振動板は、前記第1の基板開口部の少なくとも一部を覆い、
少なくとも前記マイク基板の内部に形成される基板内部空間を含む空間であって、前記振動板から前記第1の基板開口部及び前記第2の基板開口部を介して外部へと連通する内部空間が形成されていることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項1に記載のマイクロホンユニットであって、
前記基板内部空間は、前記第1の基板開口部及び第2の基板開口部を両端に含む領域の鉛直方向に設けられていることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項1に記載のマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板の一方の面側に被せる蓋部を含み、
前記蓋部は、第1の蓋部開口部と、第2の蓋部開口部と、第3の蓋部開口部と、第4の蓋部開口部と、前記第1の蓋部開口部と前記第2の蓋部開口部とを繋ぐ第1の蓋部内部空間と、前記第3の蓋部開口部と第4の蓋部開口部とを繋ぐ第2の蓋部内部空間とを有し、
前記第1の蓋部内部空間は、前記第1の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第2の蓋部開口部を介して前記内部空間と連通し、
前記第2の蓋部内部空間は、前記第3の蓋部開口部を介して外部と連通するとともに、前記第4の蓋部開口部の少なくとも一部において前記仕切り部により前記内部空間と仕切られることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項1に記載のマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板は、前記基板内部空間が形成されるように複数の基板を貼り合わせてなることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項1に記載のマイクロホンユニットであって、
前記マイク基板は、他方の面に設けられた第3の基板開口部を有し、
前記内部空間は、前記第1の基板開口部及び前記第2の基板開口部に加えて前記第3の基板開口部を介して前記振動板と外部とを連通することを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項5に記載のマイクロホンユニットであって、
前記基板内部空間は、前記第3の基板開口部の鉛直方向に設けられていることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項5に記載のマイクロホンユニットであって、
配線基板を有し、
前記配線基板は、前記マイク基板の他方の面側に配置されて前記第3の基板開口部を塞ぐように接合されていることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項3に記載のマイクロホンユニットであって、
前記第1の蓋部開口部から振動板までの音波到達時間と、前記第3の蓋部開口部から振動板までの音波到達時間が等しくなることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 請求項3に記載のマイクロホンユニットであって、
前記第2の蓋部内部空間内の、前記マイク基板の一方の面側に配置された信号処理回路を含むことを特徴とするマイクロホンユニット。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008029572 | 2008-02-08 | ||
JP2008029572 | 2008-02-08 | ||
PCT/JP2009/051869 WO2009099091A1 (ja) | 2008-02-08 | 2009-02-04 | マイクロホンユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4416835B2 JP4416835B2 (ja) | 2010-02-17 |
JPWO2009099091A1 true JPWO2009099091A1 (ja) | 2011-05-26 |
Family
ID=40952165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009507255A Expired - Fee Related JP4416835B2 (ja) | 2008-02-08 | 2009-02-04 | マイクロホンユニット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110158449A1 (ja) |
EP (1) | EP2252075A4 (ja) |
JP (1) | JP4416835B2 (ja) |
CN (1) | CN101940002A (ja) |
TW (1) | TWI516136B (ja) |
WO (1) | WO2009099091A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011114506A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Funai Electric Co Ltd | マイクロホンユニット |
JP5515700B2 (ja) * | 2009-12-04 | 2014-06-11 | 船井電機株式会社 | マイクロホンユニット |
JP5434798B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-03-05 | 船井電機株式会社 | マイクロホンユニット、及び、それを備えた音声入力装置 |
JP5834383B2 (ja) | 2010-06-01 | 2015-12-24 | 船井電機株式会社 | マイクロホンユニット及びそれを備えた音声入力装置 |
KR101369464B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2014-03-06 | 주식회사 비에스이 | 멤스 마이크로폰 |
US10405106B2 (en) | 2015-11-19 | 2019-09-03 | Knowles Electronics, Llc | Differential MEMS microphone |
JP7319182B2 (ja) * | 2019-12-12 | 2023-08-01 | アズビル株式会社 | 差圧計 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7166910B2 (en) * | 2000-11-28 | 2007-01-23 | Knowles Electronics Llc | Miniature silicon condenser microphone |
US7434305B2 (en) * | 2000-11-28 | 2008-10-14 | Knowles Electronics, Llc. | Method of manufacturing a microphone |
AT410741B (de) * | 2002-02-26 | 2003-07-25 | Akg Acoustics Gmbh | Druckgradienten-mikrofonkapsel |
JP4033830B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2008-01-16 | ホシデン株式会社 | マイクロホン |
US7233679B2 (en) * | 2003-09-30 | 2007-06-19 | Motorola, Inc. | Microphone system for a communication device |
DE102004011149B3 (de) * | 2004-03-08 | 2005-11-10 | Infineon Technologies Ag | Mikrophon und Verfahren zur Herstellung eines Mikrophons |
JP2005295278A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Hosiden Corp | マイクロホン装置 |
DE102005008512B4 (de) * | 2005-02-24 | 2016-06-23 | Epcos Ag | Elektrisches Modul mit einem MEMS-Mikrofon |
DE102005008511B4 (de) * | 2005-02-24 | 2019-09-12 | Tdk Corporation | MEMS-Mikrofon |
JP2007081614A (ja) | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Star Micronics Co Ltd | コンデンサマイクロホン |
JP2007150507A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロホンパッケージ |
JP4657974B2 (ja) * | 2006-05-09 | 2011-03-23 | パナソニック株式会社 | カード型memsマイクロホン |
US7804969B2 (en) * | 2006-08-07 | 2010-09-28 | Shandong Gettop Acoustic Co., Ltd. | Silicon microphone with impact proof structure |
US8180082B2 (en) * | 2007-04-04 | 2012-05-15 | Funai Electric Advanced Applied Technology Research Institute Inc. | Microphone unit, close-talking voice input device, information processing system, and method of manufacturing microphone unit |
-
2009
- 2009-02-04 US US12/866,502 patent/US20110158449A1/en not_active Abandoned
- 2009-02-04 CN CN200980104661.6A patent/CN101940002A/zh active Pending
- 2009-02-04 EP EP09708896.7A patent/EP2252075A4/en not_active Withdrawn
- 2009-02-04 WO PCT/JP2009/051869 patent/WO2009099091A1/ja active Application Filing
- 2009-02-04 JP JP2009507255A patent/JP4416835B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-02-06 TW TW098103861A patent/TWI516136B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009099091A1 (ja) | 2009-08-13 |
US20110158449A1 (en) | 2011-06-30 |
TWI516136B (zh) | 2016-01-01 |
TW200944037A (en) | 2009-10-16 |
JP4416835B2 (ja) | 2010-02-17 |
CN101940002A (zh) | 2011-01-05 |
EP2252075A1 (en) | 2010-11-17 |
EP2252075A4 (en) | 2014-10-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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