JPWO2009087995A1 - メカニカルシール摺動材及びメカニカルシール - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、炭化珪素同士の組み合わせではPV値を高い限界値まで使用できて機器の高性能化や小型化が可能となる。また、スラリー状液体のように粒子摩耗が問題となる時には炭化珪素同士の組み合わせを用いる場合が多い。また、PV値の大きい用途では、他に、超硬合金とカーボン材、あるいは超硬合金と超硬合金等の組み合わせも使用されている。
また、形状等を厳密に規定したポアを全体に分散させたポア分散材でシール面及びその近傍を形成し、潤滑性を向上させるとともに強度を維持したメカニカルシールが提案されている(日本国特許出願公告平7−88909号公報(特許文献2)参照)。
また、本発明の他の目的は、そのようなメカニカルシール摺動材を具備し、安定的かつ良好な潤滑性及び封止性能を有するメカニカルシールを提供することにある。
本発明のメカニカルシール摺動材においては、このランド部の表面に、摺動方向に直交する方向に沿って延びる複数の凹凸からなるグレーティング状の周期構造を設けるのも好適である。
(1)回転するメカニカルシール摺動材の摺動面に対してアブレーションしきい値近傍のエネルギー密度で直線偏光のレーザーを基材に照射する。
(2)入射光と基材の表面に沿った散乱光又はプラズマ波の干渉が発生する。
(3)波長オーダーのピッチと溝深さを持つグレーティング状の周期構造が偏光方向に直交して自己組織的に形成される。
図1は、本実施形態のメカニカルシール摺動材の摺動面を示す正面図である。
図2は、図1に示す摺動面に形成されるグレーティング部の凹凸部の構成を示す平面図である。
摺動面2を有するメカニカルシール摺動材1は、ハウジングと回転軸との間に装着されたシール装置内において、ラッピング等により平坦に鏡面仕上げされた摺動面を有する他方の摺動材(回転環又は固定環)と摺動面同士を近接に対向させて設置される。そして、回転軸の回転に伴って摺動面間に潤滑油を保持しながら摺動面を相対的に回転摺動させ、摺動面の外径側あるいは内径側に存在する被封止流体を封止する。
個々のグレーティング部5は、所定の角度範囲aの周方向長さに形成されており、各グレーティング部5の間は、所定の角度範囲bの周方向長さのランド6に形成されている。なお、本実施形態においては、a=12°であり、b=3°である。
また、第1のグレーティング部3と第2のグレーティング部4とは、摺動面2の周方向に沿って交互に配置されるように形成するのが好適である。
すなわち、図1に示すように、摺動面2には、周方向に沿って第1のグレーティング部3と第2のグレーティング部4とが交互に配設されている。
また、図2に示すように、第1のグレーティング部3の凹凸部は図中一点鎖線で示す摺動面2の回転接線に対して角度αを成すD1の方向に形成されており、第2のグレーティング部4の凹凸部は図中一点鎖線で示す摺動面2の回転接線に対して角度−αを成すD2の方向に形成されている。すなわち、第1のグレーティング部3と第2のグレーティング部4とは、その凹凸部の傾斜角度が回転接線に対して対称に構成されている。
すなわち、加工しきい値近傍の照射強度で直線偏光のレーザーを基板に照射した場合、入射光と基板の表面に沿った散乱光又はプラズマ波の干渉により、波長オーダーのピッチと溝深さを持つグレーティング状の周期構造が偏光方向に直交して自己組織的に形成される。この時、フェムト秒レーザーをオーバーラップさせながら操作を行うことにより、その周期構造パターンを表面に形成することができる。
そしてまたフェムト秒レーザーを利用した加工方法では、メカニカルシールの潤滑性向上及び漏洩低減に有効なサブミクロンオーダーの深さの凹凸部(溝)の形成が可能である。
図3は、本発明に係るメカニカルシール摺動材をテストしたメカニカルシール型試験機の断面図である。
試験中の測定項目は摺動トルク、摺動面近傍温度及び被封止流体温度であり、試験終了後に摺動面からの漏洩量を測定し、さらに摩擦係数を算出する。
但し、W=荷重、
rm =摺動面平均半径
である。
(1)周期構造の角度:±45°
(2)レーザー:チタンサファイアレーザー
(パルス幅120fs、中心波長800nm、繰り返し周波数1kHz)
(1)摺動材:回転用摺動材:炭化珪素材料(φ25×φ44×t12)
静止用摺動材:炭化珪素材料(φ28×φ50×t14)
摺動部形状(φ32×φ40)
(2)表面粗さ:Ra0.02μm以下
(フェムト秒レーザー照射前鏡面仕上げ表面粗さ)
Ra0.05〜0.10μm
(ラッピング工程後の表面粗さ)
(3)平坦度:1バンド(ヘリウムライト)以下
(4)被封止流体:出光興産製スーバーマルチオイル10
(5)試験時間:0.5(h)
(6)被封止流体温度:30(℃)
(7)被封止流体圧力:0、0.07、0.15、0.3(MPa)
(8)周速:1、2、5(m/s)
(9)スプリング荷重:20(N)
実施例1として、回転用摺動材には鏡面仕上げした摺動面を有するメカニカルシール摺動材、静止用摺動材には鏡面仕上げした後にフェムト秒レーザーにて複数の直線状の凹凸部からなるグレーティング部(周期構造)を複数の区画に設けた摺動面を有するメカニカルシール摺動材を用いた。
また、グレーティング部の直線状凹凸部の方向は、回転方向(回転接線方向)に対して+45°で傾斜するように形成した。
図5に示すように、グレーティング部には表面に多数の微細溝が形成されていることが判る。なお、この例において溝(凹凸部)の凹凸の間隔は約0.7μm、振幅(凹凸の深さ)は約0.15μmとなった。
実施例2としても、実施例1と同様に、回転用摺動材には鏡面仕上げした摺動面を有するメカニカルシール摺動材、静止用摺動材には鏡面仕上げした後にフェムト秒レーザーにて複数の直線状の凹凸部からなるグレーティング部(周期構造)を複数の区画に設けた摺動面を有するメカニカルシール摺動材を用いた。
図6に示すように、実施例2に示すメカニカルシール摺動材の摺動面においては、グレーティング部の外観が交互に異なっており、形成されている微細な凹凸部が交互に異なっていることが判る。
また、図7A及び図7Bは各々、凹凸部の方向が回転方向に対して+45°及び−45°のグレーティング部の顕微鏡写真であり、凹凸部の方向が実際に異なっていることが判る。
なお、図7A及び図7Bに示す例においては、ともに溝(凹凸部)の凹凸の間隔は約0.7μm、振幅(凹凸の深さ)は約0.15μmとなった。
比較例として、回転用摺動材、静止用摺動材ともにラッピング工程で摺動面を仕上げたシール摺動材を用いた。
表1は、実施例1の条件における被封止流体圧力及び回転周速ごとの摩擦係数を示す表であり、表2は、実施例2の条件における被封止流体圧力及び回転周速ごとの摩擦係数を示す表であり、表3は、比較例の条件における被封止流体圧力及び回転周速ごとの摩擦係数を示す表である。
また、表4は、被封止流体圧力及び回転周速ごとの実施例1と比較例との摩擦係数の比を示す表であり、表5は、被封止流体圧力及び回転周速ごとの実施例2と比較例との摩擦係数の比を示す表である。
また、漏洩量は図示しないが、今回の条件の範囲では全て0.5cc/h以下の微量であった。
Claims (10)
- 静止用摺動材と回転用摺動材とが対向する各摺動面を相対回転摺動させて、当該相対回転摺動する前記摺動面の径方向一方側に存在する被封止流体をシールするメカニカルシールにおいて、前記静止用摺動材又は前記回転用摺動材として使用されるメカニカルシール摺動材であって、
前記摺動面に、相互に平行な複数の直線状の凹凸部が所定のピッチで所定の区画内に形成されたグレーティング部が、各々分離して複数形成されており、
前記複数のグレーティング部の前記直線状の凹凸部は、当該凹凸部の方向が当該摺動面の摺動方向に対して所定の角度を成して傾斜するように形成されている
ことを特徴とするメカニカルシール摺動材。 - 前記複数のグレーティング部は、前記摺動面の摺動方向に沿って形成され、隣り合う当該グレーティング部の前記直線状の凹凸部の方向が当該摺動面の摺動方向に対して対称となるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記グレーティング部の前記直線状の凹凸部の方向は、前記摺動面の摺動方向に対して10°〜80°の傾斜角を成すように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記複数のグレーティング部は、前記直線状の凹凸部の方向が前記摺動面の摺動方向に対して対称となる第1グレーティング部と第2グレーティング部とを備え、前記第1グレーティング部の前記直線状の凹凸部の方向は前記摺動方向に対して+10°〜+80°の傾斜角を有し、前記第2グレーティング部の前記直線状の凹凸部の方向は前記摺動方向に対して−10°〜−80°の傾斜角を有することを特徴とする請求項2に記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記摺動方向に沿って隣り合う前記グレーティング部間にランド部を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記グレーティング部はシリコン系セラミックスで形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記グレーティング部の凹凸ピッチが10μm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記グレーティング部の凹凸深さが1μm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材。
- 前記グレーティング部は、加工しきい値近傍の照射強度で直線偏光のレーザーを照射し、その照射部分をオーバーラップさせながら走査して自己組織的に形成されていることを特微とする請求項1〜8のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材。
- 静止用摺動材と回転用摺動材とが対向する各摺動面を相対回転摺動させて、当該相対回転摺動する前記摺動面の径方向一方側に存在する被封止流体をシールするメカニカルシールであって、請求項1〜9のいずれかに記載のメカニカルシール摺動材を前記静止用摺動材又は前記回転用摺動材として使用するメカニカルシール。
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