JPWO2009060602A1 - 炭素質薄膜及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 基材
12A 平行平板電極
12B 平行平板電極
13 マスフローコントローラ
14 マッチングボックス
15 高周波電源
まず、炭素質薄膜の形成について説明する。炭素質薄膜を形成する基材は、マイクロウェル、DNAチップ、細胞チップ及び生体適合性材料等を形成することができる材料であればどのようなものでもよい。また、これらの用途に限らず、平滑性及び耐久性と表面電位の制御とが要求される種々の用途において基材となるものであればよく樹脂材料、セラミックス材料又は金属材料等を用いることができる。
炭素質薄膜へのプラズマ照射は、既知のプラズマ照射装置を用いて行えばよい。プラズマ照射条件は特に限定されないが、炭素質薄膜へのダメージを低減するためには、エッチングされないか又はエッチングレートが小さい条件で行うことが望ましい。
得られた、プラズマ照射炭素質薄膜の組成は、X線光電子分光分析(XPS)法を用いて評価した。測定には、日本電子株式会社製の光電子分光装置JPS−9010MCを用いた。X線源にはAlを用い、加速電圧が12.5kVで、エミッション電流が17.5mAの条件でX線を発生させた。
得られた、プラズマ照射炭素質薄膜について、以下のようにして表面電位を測定した。測定には、大塚電子株式会社製のゼータ電位・粒径測定システムELS−Zを用いた。得られたプラズマ照射炭素質薄膜を平板試料用セルに密着させ、セル内にモニタ用粒子を注入した。モニタ用粒子は10mMの塩化ナトリウム(NaCl)溶液中に分散させた大塚電子株式会社製のものを用いた。セル深さ方向の各レベルについてモニタ粒子の電気泳動を行い、セル内部の見かけの速度分布を測定した。電気泳動は、平均電場が17.33V/cmで、平均電流が1.02mAの条件で行った。得られた見かけの速度分布を森・岡本の式に基づいて解析することにより、プラズマ照射炭素質薄膜表面の表面電位を求めた。なお、平板試料用セルは、セル表面の電荷の影響を抑えるため、ポリアクリルアミドによりコーティング処理して用いた。
−炭素質薄膜の形成−
本実施例において基材には、12mm角で厚さが5mmの高速度工具鋼(JIS規格SKH51)を用いた。
図2はアセチレンプラズマを照射した後、酸素プラズマを間照射した場合、図3はアセチレンプラズマを照射した後、アンモニアプラズマを照射した場合のXPS測定の結果を示している。なお、図2及び3はSi含有量が0%の炭素質薄膜についての結果を示している。
Claims (17)
- 炭素質薄膜は、
炭素が互いに結合した膜本体と、
前記膜本体を構成する炭素と結合したアミノ基とを備えている。 - 請求項1に記載の炭素質薄膜は、
前記膜本体を構成する炭素と結合したカルボキシル基をさらに備えている。 - 請求項1に記載の炭素質薄膜において
表面電位は−10mV以上である。 - 請求項1に記載の炭素質薄膜において、
窒素の全炭素に対する比率は0.05以上である。 - 請求項1に記載の炭素質薄膜において、
前記膜本体は、シリコンを含む。 - 請求項5に記載の炭素質薄膜において、
前記シリコンの含有量は、5%以下である。 - 炭素質薄膜の製造方法は、
基材の表面に炭素が互いに結合した膜本体を形成する工程(a)と、
前記膜本体にアンモニアを含むガスのプラズマを照射することにより、前記膜本体を構成する炭素にアミノ基を導入する工程(b)とを備えている。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(a)では、カルボキシル基を有する膜本体を形成する。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、アミノ基と共にカルボキシル基を導入する。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、不活性ガスのプラズマを照射した後、アンモニアのプラズマを照射する。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、炭化水素のプラズマを照射した後、アンモニアのプラズマを照射する。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、表面電位を−10mV以上とする。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、窒素の全炭素に対する比率を0.05以上とする。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)は、酸素のプラズマを照射する工程を含む。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、不活性ガスとアンモニアとの混合ガスのプラズマを照射する。 - 請求項7に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記工程(b)では、炭化水素とアンモニアとの混合ガスのプラズマを照射する。 - 請求項16に記載の炭素質薄膜の製造方法において、
前記混合ガスは、酸素を含んでいる。
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