JPWO2009038212A1

JPWO2009038212A1 - リニアアクチュエータ

Info

Publication number: JPWO2009038212A1
Application number: JP2009533217A
Authority: JP
Inventors: 正樹永塚
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2007-09-20
Filing date: 2008-09-22
Publication date: 2011-01-13
Anticipated expiration: 2028-09-22
Also published as: JP5185278B2; TWI455458B; TW200934071A; WO2009038212A1

Abstract

このリニアアクチュエータは、駆動モータ２と、駆動モータ２を収容するシャフト部４と、駆動モータの回転軸２ａに回転可能に連結されるとともに、その外周面に雄ねじ部５ａを有する出力部材５と、出力部材及びシャフト部の外周に配置されるとともに、その内周面に雄ねじ部の回転を受ける雌ねじ部６ａを有する従動部材６と、シャフト部と従動部材との相対的回転を規制する回転規制部１０と、回転軸の軸線Ｃ方向のスラスト荷重を受ける軸受け部１２とを備える。このリニアアクチュエータによれば、駆動モータの回転軸周りに部材がふら付くことなく高精度な位置決め・送りが可能であり、また直線運動のストロークが比較的長く確保でき、スラスト荷重に対する強度が確保され、装置を安価且つコンパクトに構成することができる。

Description

本発明は、駆動モータの回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータに関する。
本願は、２００７年９月２０日に日本に出願された特願２００７−２４３９１８号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

従来、駆動モータの回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータとしては、例えば特許文献１に開示されたものが知られている。このリニアアクチュエータは、駆動モータと、駆動モータの出力軸に設けられた遊星式減速機と、この遊星式減速機の出力部材に螺合する従動部材とを備えている。

駆動モータの回転は、遊星式減速機において減速され出力部材へと伝達され、この出力部材の外周面に螺合される従動部材をこの駆動モータの回転軸の軸線方向に直線運動させる推力に変換される。
出力部材の回転を従動部材へ伝達するにあたり、この出力部材と従動部材とが前記回転軸周りに同期して回ってしまわないように、回り止めを設ける必要がある。

そこでこの特許文献１では、駆動モータの外周にフラット面が形成された扁平モータを用い、この駆動モータのフラット面に従動部材に設けられる回り止め部を接触させるようにして摺動させ、前記回り止めとしている。

また、特許文献２，３に開示されるリニアアクチュエータは、駆動モータの固定子をリニアアクチュエータ本体のフレームに固定し、固定子の内周側の回転子に連結して設けられるナット部材の雌ねじ部とこの回転子のさらに内周側に設けられる出力軸の雄ねじ部とを螺合させることにより、駆動モータの回転を出力軸の直線運動に変換させる。
特開２００３−２５０２４６号公報特開２００１−２３１２４１号公報特開２０００−２２０７１５号公報

しかしながら、特許文献１に開示されるリニアアクチュエータでは、寸法精度が低い駆動モータの外周のフラット面を用いて従動部材の回り止めを行っているため、駆動モータの回転軸周りにこの従動部材がふら付いて、その位置精度が低下するという問題がある。またこのリニアアクチュエータの直線運動のストロークは、駆動モータのフラット面の前記回転軸の軸線方向の長さ分しか確保できないので、その使用の用途が限定され、種々様々な要望に対応することは難しい。

また、この特許文献１のリニアアクチュエータでは、前記軸線方向から受けるスラスト荷重を駆動モータの回転軸や遊星式減速機で受けるため、装置の耐久性を鑑みるとその用途がさらに限定される。

また、特許文献２，３に開示されるリニアアクチュエータでは、直線運動を出力する出力軸を駆動モータの内部に貫通させて配設する必要があるが、このように構成される駆動モータは一般的なものではなく、従って専用にモータを製作するためのコストアップは避けられない。またこの出力軸は比較的小径に形成されているため、その強度を確保するため出力軸にガイド機構等を設ければ、装置全体が大きくなってしまう。

本発明は、前述のような事情に鑑みてなされたもので、駆動モータの回転軸周りに従動部材がふら付くことなく高精度な位置決め・送りが可能であり、また直線運動のストロークが比較的長く確保でき、スラスト荷重に対する強度が確保され、装置を安価且つコンパクトに構成することができるリニアアクチュエータを提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。すなわち本発明のリニアアクチュエータは、駆動モータと、前記駆動モータを収容するシャフト部と、前記駆動モータの回転軸に回転可能に連結されるとともに、その外周面に雄ねじ部を有する出力部材と、前記出力部材及び前記シャフト部の外周に配置されるとともに、その内周面に前記雄ねじ部の回転を受ける雌ねじ部を有する従動部材と、前記シャフト部と前記従動部材との相対的回転を規制する回転規制部と、前記回転軸の軸線方向のスラスト荷重を受ける軸受け部と、を備える。

この発明に係るリニアアクチュエータによれば、シャフト部と従動部材との相対的回転を規制する回転規制部が設けられており、この回転規制部によってこれらシャフト部と従動部材との前記軸線周りの相対位置が精度よく位置決めされる。よって従来のように、寸法精度が低い例えば駆動モータの外周のフラット面を用いたシャフト部と従動部材との相対的回転の規制によるふら付きが発生することはない。すなわち、シャフト部と従動部材との互いの前記軸線周りのふら付きが良好に防止されるとともに、これらシャフト部と従動部材との前記軸線方向の直線運動が精度よくガイドされるので、高精度な位置決め・送りが可能となる。

また前記直線運動は、従来のように、軸線方向の長さの短い駆動モータの外周のフラット面に沿って行われるのではなく、これらシャフト部及び従動部材に設けられる回転規制部に沿って行われるので、この回転規制部の前記軸線方向の長さを長めに設定することにより、リニアアクチュエータの直線運動のストロークを比較的長く確保することができる。

また、駆動モータとして特別な形状のものを用意する必要はなく、一般的な小型モータを用いることができるので、駆動モータの費用が低減できコスト削減の効果を奏効する。
また、シャフト部は駆動モータを収容して保護するとともにその直径が装置全体の直径に対し比較的大径に形成されており、強度が良好に確保されているので、耐久性が高い。
よって従来のようにシャフト部の強度を確保するためのガイド機構等は必要なく、装置をコンパクトに構成することができる。

また、前記軸線方向のスラスト荷重を受ける軸受け部が備えられているので、従来のように駆動モータの回転軸や減速機でスラスト荷重を受け作動不良や破損等を引き起こす可能性がなく、従って装置の耐久性がより向上される。

また本発明のリニアアクチュエータにおいて、前記回転規制部は、前記シャフト部の外周面に前記軸線方向に延在して設けられる回転規制溝と、前記従動部材に設けられるとともに、前記回転規制溝に係合する回転規制部材と、を備えてもよい。

この発明に係るリニアアクチュエータによれば、シャフト部の外周面には駆動モータの回転軸の軸線方向に延在する例えばスプライン溝からなる回転規制溝が設けられ、従動部材の内周面に例えば突起状の摺動材からなる回転規制部材が設けられており、これら回転規制溝と回転規制部材とが係合して回転規制部が構成されている。そしてこの回転規制部がシャフト部と従動部材との互いの前記軸線周りの相対的回転を規制し従動部材のふら付きを防止するとともに、前記軸線方向の直線運動を精度よくガイドするので、より高精度な位置決め・送りが可能となる。

また本発明のリニアアクチュエータにおいて、前記シャフト部に、さらに前記駆動モータの回転を減速する減速機が収容され、前記出力部材が、前記減速機の出力軸に設けられていてもよい。そして、この減速機として、例えば不思議遊星歯車機構を有するものを用いれば、その減速比が非常に高く設定されるので、比較的小さな駆動モータであっても充分に直線運動の推力を確保することができる。従って、駆動モータをより小型化でき、さらに装置をコンパクトに構成することが可能である。

また本発明のリニアアクチュエータにおいて、前記シャフト部と前記従動部材との相対位置を検出する位置検出手段を備えてもよい。そして、例えばこの位置検出手段としてリニアポテンショメータを用い、シャフト部と従動部材との前記軸線方向の相対位置を検出しこれに基づいて駆動モータの回転・停止、正回転・逆回転を制御すれば、より複雑な制御が可能となり、種々様々な要望・用途に対応することが可能である。

本発明に係るリニアアクチュエータによれば、駆動モータの回転軸周りに従動部材がふら付くことなく高精度な位置決め・送りが可能であり、また直線運動のストロークが比較的長く確保でき、スラスト荷重に対する強度が確保され、装置を安価且つコンパクトに構成することができる。

本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す収縮時の側断面図である。本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す伸展時の側断面図である。本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの収縮時の外観を示す斜視図である。本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの外観を示す伸展時の斜視図である。

符号の説明

１リニアアクチュエータ２駆動モータ２ａ回転軸３減速機３ｅ出力軸４シャフト部４ｂスプライン溝（回転規制溝）５出力部材５ａ雄ねじ部６従動部材６ａ雌ねじ部６ｂ回転規制部材７リニアポテンショメータ（位置検出手段）１０回転規制部１２第二軸受け部（軸受け部）Ｃ駆動モータの回転軸線

以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１、図２は本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの概略構成を示す側断面図、図３、図４は本発明の一実施形態に係るリニアアクチュエータの外観を示す斜視図である。尚、図１、図３はリニアアクチュエータが収縮した状態、図２、図４はリニアアクチュエータが伸展した状態を夫々示している。

図１、図２に示すように、本実施形態に係るリニアアクチュエータ１は、小型の駆動モータ２及び減速機３を収容する略円筒状のシャフト部４と、このシャフト部４と略同径の外径を有し略円筒状をなす出力部材５と、これらシャフト部４及び出力部材５を収容する略円筒状の従動部材６と、この従動部材６の外周に配置される位置検出手段７とを備えている。

駆動モータ２としては、例えば汎用の小型ＤＣモータを用いることができる。本実施形態の駆動モータ２は略円柱状をなしており、その先端（図１、図２において右側）には回転軸２ａが備えられて、この回転軸２ａが軸線Ｃ周りに回転するようになっている。また駆動モータ２の後端（図１、図２において左側）には駆動モータ２に電力を供給するための端子２ｂが備えられている。

また、駆動モータ２の先端側には、駆動モータ２の外径と略同径の減速機３が配設されている。この減速機３は、所謂不思議遊星歯車機構を有しており、駆動モータ２の回転軸２ａに連結されるとともに回転軸線Ｃを中心に回転可能な太陽歯車３ａと、この太陽歯車３ａの外周面の歯形に噛合するようにして配設される複数の遊星歯車３ｂとを備えている。

これら遊星歯車３ｂの外方には、内周面に遊星歯車３ｂに噛み合う歯形を夫々備えた固定内歯歯車３ｃ及び可動内歯歯車３ｄが、軸線Ｃ方向に重なるように配置されている。また、固定内歯歯車３ｃ及び可動内歯歯車３ｄは、夫々が遊星歯車３ｂに軸線Ｃ方向に略半分ずつ噛み合わされるように配置されている。固定内歯歯車３ｃは、軸線Ｃがその中心にくるように同軸とされて駆動モータ２の先端側の外装部分に固定されており、また可動内歯歯車３ｄは、同じく軸線Ｃがその中心にくるように同軸に、且つ軸線Ｃ周りに回転可能に配設されている。また、この可動内歯歯車３ｄの歯数と固定内歯歯車３ｃの歯数とは最小限に異なるよう設定されており、このような構成により減速機３は高減速比が得られるようになっている。

また、可動内歯歯車３ｄの先端部分は、その本体部分よりも縮径された略円筒状の出力軸３ｅとされている。この出力軸３ｅの前記本体部分に近い基端の外周面には、ラジアル玉軸受けからなる第一軸受け部１１が配設されており、出力軸３ｅを軸支している。またこの出力軸３ｅの先端に開口する穴部の内周面３ｆには雌ねじ加工が施されている。

また、第一軸受け部１１及び前述の駆動モータ２、減速機３を覆うようにシャフト部４が配設されており、このシャフト部４の内周面が第一軸受け部１１の外周面及び駆動モータ２の外周面に固定されている。シャフト部４の後端は、絶縁体からなるキャップ４ａにより封止されており、駆動モータ２の端子２ｂがキャップ４ａを貫通してシャフト部４の後端から突出している。

シャフト部４の外周面には、軸線Ｃ方向に延在する３本のスプライン溝（回転規制溝）４ｂが周方向に等間隔（１２０°間隔）となるように設けられている。またシャフト部４の先端の端面には、スラスト玉軸受けからなる第二軸受け部（軸受け部）１２が減速機３の出力軸３ｅに挿通されて配置されており、さらにこの第二軸受け部１２の先端の端面には、外周に雄ねじ部５ａを有する出力部材５が配置されている。出力部材５は、その後端に向け開口する円柱穴状の底面部分を第二軸受け部１２の先端面に当接するようにしてこの第二軸受け部１２を収容するとともに、前述の内周面３ｆに螺合されるボルト１３によって出力軸３ｅに固定されている。

この出力部材５の外周には、従動部材６が配設されている。この従動部材６の内周面には、出力部材５の雄ねじ部５ａと噛み合うことにより雄ねじ部５ａの回転を受ける雌ねじ部６ａが、その軸線Ｃ方向の略全長に亘って連続して設けられている。また、従動部材６の後端の端部には、シャフト部４の３本のスプライン溝４ｂに夫々摺接されるようにして突出する突起状の回転規制部材６ｂが、同じく周方向に等間隔に３つ設けられこれらスプライン溝４ｂに係合されており、これら回転規制部材６ｂとスプライン溝４ｂとによって回転規制部１０が構成されている。回転規制部材６ｂは、例えば樹脂等からなる摺動材によって形成されており、従動部材６に固定されている。

また、従動部材６の外周には、軸線Ｃ方向に延在するリニアポテンショメータ（位置検出手段）７が配設されている。このリニアポテンショメータ７は、その後端部分がシャフト部４のキャップ４ａに固定されており、またその軸線Ｃ方向にスライドする検出端７ａが従動部材６に装着されて、これら従動部材６とシャフト部４との軸線Ｃ方向の相対的な位置関係を、電圧変化に基づいて検出可能なように構成されている。また、このリニアポテンショメータ７は電気的に制御部（不図示）と接続されており、制御部は駆動モータ２の端子２ｂと電気的に接続されている。

また図３、図４において、従動部材６の先端（図３、図４において右側）の外周面には、有底円筒状の２つの突起部６ｃが対向配置されるようにして備えられており、またシャフト部４のキャップ４ａの後端（図３、図４において左側）の外周面には、同じく有底円筒状の２つの突起部４ｃが対向配置されるようにして備えられている。そして、例えばこれら突起部６ｃ，４ｃが、ロボットハンドの指関節部分に配置され関節を構成する二つの部材に夫々連結されることにより、このリニアアクチュエータ１の往復直線運動をロボットハンドの把持作業に変換して利用することができる。

次に、本実施形態のリニアアクチュエータ１の作動について説明する。
図１において、このリニアアクチュエータ１はその全長が収縮され最短の状態とされている。
まず、駆動モータ２に制御部から電力を供給して回転軸２ａを回転させると、これに連結される減速機３がこの回転を減速して出力軸３ｅに伝達し、この出力軸３ｅを軸線Ｃ周りに回転させる。

出力軸３ｅに連結される出力部材５は、この出力軸３ｅの回転に伴って従動部材６の内部で軸線Ｃ周りに回転する。出力部材５の雄ねじ部５ａと従動部材６の雌ねじ部６ａとは螺合されており、また、シャフト部４と従動部材６とは回転規制部１０のスプライン溝４ｂ及び回転規制部材６ｂが摺接されるように係合しているため、互いに軸線Ｃ周りに相対回転移動されないよう規制されている。従って、出力部材５が軸線Ｃ周りに回転すると、これらシャフト部４と従動部材６とは軸線Ｃ方向に互いにスライドされ、リニアアクチュエータ１が伸展される。

次いで、図２に示すように、このリニアアクチュエータ１が伸展され全長が最長となった状態において、リニアポテンショメータ７からの検出信号を受け取る制御部は、この駆動モータ２の回転を停止させ、リニアアクチュエータ１の伸展を停止させる。
また逆に、このリニアアクチュエータ１を収縮させる際は、前述の回転方向と逆方向の回転を与えるように制御部から駆動モータ２へと電力を供給してやればよい。そして、図１に示すように、リニアアクチュエータ１が収縮され全長が最短となった状態において、リニアポテンショメータ７からの検出信号を受け取る制御部が駆動モータ２の回転を停止させる。

尚、リニアポテンショメータ７からの検出信号は常時制御部に送られているので、リニアアクチュエータ１の全長が最短・最長の状態にある場合に限らずに、任意の長さで駆動モータ２の回転・停止、正回転・逆回転を制御することが可能である。

以上説明したように、本実施形態のリニアアクチュエータ１によれば、シャフト部４の外周面には駆動モータ２の回転軸２ａの軸線Ｃ方向に延在するスプライン溝（回転規制溝）４ｂが設けられており、また従動部材６の内周面には突起状の摺動材からなる回転規制部材６ｂが設けられており、これらスプライン溝４ｂと回転規制部材６ｂとが摺接するように係合して回転規制部１０を構成するとともに、互いの回転軸線Ｃ周りのふら付きを防止し、これらシャフト部４と従動部材６との軸線Ｃ方向の直線運動を精度よくガイドするようになっている。従って、高精度な位置決め・送りが可能となる。

また、このリニアアクチュエータ１の直線運動は、従来のように駆動モータの外周のフラット面に沿って行われるのではなく、シャフト部４の外周面に設けられるスプライン溝４ｂに沿って行われるので、このシャフト部４のスプライン溝４ｂ及び従動部材６の軸線Ｃ方向の長さを夫々長めに設定することにより、その直線運動のストロークを比較的長く確保することができる。

また、軸線Ｃ周りの径方向のラジアル荷重を受ける第一軸受け部１１と、軸線Ｃ方向のスラスト荷重を受ける第二軸受け部１２とを備えており、これら両軸受け部が有効に各方向からの荷重を受けることができるので、装置の耐久性が高い。特に、第二軸受け部１２が備えられているので、従来のように軸線Ｃ方向のスラスト荷重を駆動モータの回転軸や減速機で受けることによる作動不良や破損等を引き起こす可能性がない。またこの構成によれば、このリニアアクチュエータ１が直線運動してその全長が最大に伸展された状態においても荷重に対し充分な強度を確保することができる。

また、駆動モータ２には、所謂汎用小型モータを用いることができるので、この駆動モータ２のために特別な仕様のものを用意する必要はなく、よってその費用が低減される。
また減速機３として不思議遊星歯車機構を備えたものを用いているので、その減速比が非常に高く設定され、比較的小さな駆動モータ２であっても直線運動の推力を充分に確保することができる。従って、装置がよりコンパクトに構成される。
また、シャフト部４は駆動モータ２及び減速機３を収容しこれらを保護するとともにその直径が装置全体の直径に対し比較的大径に形成されており、強度が良好に確保されているので耐久性が高い。

尚、前述の構成によれば、例えばこのリニアアクチュエータ１はその直径を１５ｍｍ程度、全長（短縮時）を５０ｍｍ程度にコンパクトに抑えられるとともに、直線運動のストロークを３０ｍｍ程度にまで長く確保でき、さらにその推力が５００Ｎ程度にまで向上される。よって、従来成し得なかった種々様々な要望・用途に対応することが可能である。

また、このリニアアクチュエータ１には位置検出手段としてリニアポテンショメータ７が用いられており、シャフト部４と従動部材６との相対位置を検出しこれに基づいて駆動モータ２の回転・停止、正回転・逆回転を制御しているので、より複雑な制御が可能であるとともに、さらなる種々様々な要望・用途に対応することが可能である。

尚、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば本実施形態では、回転規制部１０として、シャフト部４の外周面にスプライン溝（回転規制溝）４ｂを３本設け、また従動部材６にこれらスプライン溝４ｂに係合する回転規制部材６ｂを３つ設け、これらスプライン溝４ｂ及び回転規制部材６ｂを周方向に等間隔に配置する構成としたが、これに限らず、スプライン溝４ｂの本数及び回転規制部材６ｂの数量を増減させたり、また周方向の間隔を変えて配置したりしても構わない。

また本実施形態では、出力部材５の雄ねじ部５ａと従動部材６の雌ねじ部６ａとを噛合させ、出力部材５の回転に伴い雄ねじ部５ａと雌ねじ部６ａとを螺合させつつ出力部材５と従動部材６とを軸線Ｃに沿って相対移動させる構成となっている。しかしながら、出力部材５と従動部材６との相対移動には、このような滑り接触による移動に限らず、転がり接触による移動も含まれる。例えば、出力部材５及び従動部材６に所謂ボールねじを使用し、雄ねじ部５ａと雌ねじ部６ａとの間に介在する複数のボールを介して出力部材５と従動部材６とを相対移動させてもよい。

また本実施形態では、スプライン溝４ｂに係合する回転規制部材６ｂを突起状の摺動材として説明したが、これに限らず、回転規制部材６ｂとしてボールやローラなどの転動体を用いて構成してもよい。これによれば、シャフト部４と従動部材６との摺動がより滑らかに行われるとともに、軸線Ｃ周りからのラジアル荷重に対する強度が向上し、さらに高精度な位置決め・送りが可能となる。

また、回転規制溝としてスプライン軸４ｂを用いて説明したが、回転規制溝は軸線Ｃ方向に延在する溝状であればこれに限られず、従動部材６の回転規制部材６ｂと係合する構成とされていればよく、その他の形状であっても構わない。

さらに、この回転規制溝は、シャフト部４の外周面に緩やかな曲線状若しくは螺旋状に形成されるようにして軸線Ｃ方向に延在されていてもよい。これによれば、例えば、リニアアクチュエータ１の伸展時と収縮時とで、シャフト部４及び従動部材６の軸線Ｃ周りの相対的位置関係を夫々９０°だけ回転させる構成とすることも可能であり、さらにその使用の用途が拡大する。

また、本実施形態では、減速機３として不思議遊星歯車機構を備えるものとして説明したが、これに限られず、例えば遊星歯車機構や平歯車機構、遊星ローラ機構、或いはそれ以外の減速機構を用いたものであっても構わない。ただし、本実施形態のように不思議遊星歯車機構を用いれば高減速比が得られ高推力が確保されるとともに、減速機３をコンパクトに構成できるので好ましい。

また、本実施形態では、駆動モータ２として汎用小型ＤＣモータを用いて説明したが、これに限らず、ステッピングモータやＤＣブラシレスモータを用いても構わない。また位置検出手段としてリニアポテンショメータを用いて説明したが、これに限らず、センサやリミットスイッチ或いはそれ以外の検出端を用いて位置検出手段を構成しても構わない。

また、本実施形態では、第一軸受け部１１及び第二軸受け部１２を夫々転がり玉軸受けとして図示説明したが、これに限らず、転がりコロ軸受けやすべり軸受け或いはそれ以外の軸受けを用いて構成しても構わない。また、これら両軸受け部の代わりに、スラスト荷重及びラジアル荷重を共に受けるクロスローラベアリングを用いて、軸受け部を一体として構成しても構わない。

本発明によれば、駆動モータの回転軸周りに従動部材がふら付くことなく高精度な位置決め・送りが可能であり、また直線運動のストロークが比較的長く確保でき、スラスト荷重に対する強度が確保され、装置を安価且つコンパクトに構成することができるリニアアクチュエータを提供することができる。

Claims

駆動モータと、
前記駆動モータを収容するシャフト部と、
前記駆動モータの回転軸に回転可能に連結されるとともに、その外周面に雄ねじ部を有する出力部材と、
前記出力部材及び前記シャフト部の外周に配置されるとともに、その内周面に前記雄ねじ部の回転を受ける雌ねじ部を有する従動部材と、
前記シャフト部と前記従動部材との相対的回転を規制する回転規制部と、
前記回転軸の軸線方向のスラスト荷重を受ける軸受け部と、を備えるリニアアクチュエータ。
前記回転規制部は、前記シャフト部の外周面に前記軸線方向に延在して設けられる回転規制溝と、前記従動部材に設けられるとともに、前記回転規制溝に係合する回転規制部材と、を備える請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
前記シャフト部には、さらに前記駆動モータの回転を減速する減速機が収容され、
前記出力部材が、前記減速機の出力軸に設けられている請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
前記シャフト部と前記従動部材との相対位置を検出する位置検出手段を備える請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
前記シャフト部と前記従動部材との相対位置を検出する位置検出手段を備える請求項３に記載のリニアアクチュエータ。