JPWO2009022649A1 - 油膜検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この検出原理に基づく従来技術としては、例えば特許文献1〜特許文献6に記載された油膜検出装置が公知となっている。これらの油膜検出装置に共通する課題として、水面の状態(水位の変動や波立ち、浮遊物の有無等)に影響されることなく、広範囲にわたって油膜を検出できることが挙げられる。
そのための対策としては、受光部自体やこの受光部に集光するためのミラーを大型化し、水面からの反射光の受光面積を大きくすることが考えられるが、装置の大型化が避けられないため、これに代わる方法が以下のように種々提供されている。
また、特許文献5には、複数の光源を環状に配置して水面にレーザ光を照射し、これらの反射光を受光することによって水面の波立ちや浮遊物の影響を低減する技術が開示されている。
また、特許文献3に係る従来技術では、光学系が複雑であってコストが高くなると共に、特許文献4,5に係る従来技術では、光源やミラーが複数必要であるため、部品数の増加によるコストの上昇、装置全体の大型化等の問題がある。更に、光源やミラーの位置、角度を厳密に設定する必要があり、そのための作業が極めて煩雑である。
また、特許文献7には、圧電素子を用いてミラーを駆動する技術が開示されているものの、この種の技術を油膜検出装置に適用した具体例は未だ存在しない現状である。
すなわち、機械的な駆動機構を持たず、構造が簡単で小型化、低コスト化が可能であると共に光源等の位置や角度の調整が容易であり、油膜を高精度に検出することができる油膜検出装置の提供が要請されている。
そこで、本発明の解決課題は、上記の要請に応えることができる油膜検出装置を提供することにある。
X方向駆動電圧、Y方向駆動電圧を印加してそれぞれ発生させたX方向変位、Y方向変位により前記検出光を2次元的に走査し、前記検出対象面における前記検出光の照射範囲として所望の平面を形成する2次元走査部を備えたものである。
前記2次元走査部は、
前記X方向駆動電圧が印加されて前記X方向変位を発生するX方向バイモルフ素子、及び、前記Y方向駆動電圧が印加されて前記Y方向変位を発生するY方向バイモルフ素子と、これらのバイモルフ素子にそれぞれ取り付けられて異なる軸を中心に回動し、かつ、前記検出光を順次反射させて前記検出対象面方向へ照射するためのX軸ミラー及びY軸ミラーと、を備えたものである。
前記2次元走査部は、
前記X方向駆動電圧が印加されて前記X方向変位を発生するX方向バイモルフ素子、及び、前記Y方向駆動電圧が印加されて前記Y方向変位を発生するY方向バイモルフ素子と、これらのバイモルフ素子にそれぞれバネ材を介して取り付けられて異なる軸を中心に回動し、かつ、前記検出光を順次反射させて前記検出対象面方向へ照射するためのX軸ミラー及びY軸ミラーと、を備えたものである。
前記バイモルフ素子に印加する駆動電圧の周波数を、このバイモルフ素子を含む前記2次元走査部内の共振部材の所定温度における共振周波数を含む一定範囲内で、周期的に変化させるものである。
更に、本発明では、検出対象面からの反射光を凹面鏡等の鏡により再度反射させ、この反射光を受光素子に入射させると共に、2次元走査部からの照射光を、前記鏡に形成された窓孔を介して検出対象面にほぼ鉛直に入射させるような光学系を構成することができる。これにより、2次元走査部から検出対象面までの距離に影響されずに確実に油膜を検出することができる。
また、検出対象面としての水面の状態(水位の変動や波立ち、浮遊物の有無等)に応じたオフセット信号を自動的または人為的に前記駆動電圧に加えることにより2次元走査部を制御すれば、水面の状態に関わらず、油膜による反射光を高精度に検出することができる。
加えて、バイモルフ素子を含む共振部材の共振現象を利用して検出光を2次元的に走査する場合には、バイモルフ素子に印加する駆動電圧の周波数を一定範囲内で周期的に変化させることにより、周囲温度によってずれを生じる共振周波数の温度補償を適切に行うことができる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る油膜検出装置の概略的な構成図である。図1において、10はCPU等からなる制御部であり、主として、光源であるレーザダイオード38の駆動制御と、前記レーザダイオード38から照射された検出光としてのレーザ光を、検出対象面である水面Wに対して2次元的に走査するための2次元走査部20の駆動制御とを行うと共に、装置全体を統括的に制御する機能を備えている。
パターンメモリ13は、2次元走査部20に与えるX方向駆動電圧、Y方向駆動電圧に対応したX方向パターン信号Px、Y方向パターン信号Pyを、例えば図2(a),図3(a)に示すような波形のディジタルデータとして所定アドレスに予め記憶している。これらのパターン信号(以下、スキャンパターンともいう)は複数組用意されており、制御部10からの指令を受けたスキャンパターン決定ロジック12によって所定のスキャンパターンが選択されるようになっている。ここで、図2(b),図3(b)は、各スキャンパターンに応じて水面Wに形成されるレーザ光の軌跡を示したものである。
なお、上記オフセット信号Soは、後述するように水面モニタ17の出力信号に応じてオフセット決定ロジック18により選択される信号である。
一方、前記制御部10にはレーザダイオード駆動回路37が接続されており、この駆動回路37により光源としてのレーザダイオード38に所定の電圧が印加されるようになっている。
図4において、21x,21yは支持部、22x,22yは支持部21x,21yにそれぞれの一端が固着されたバイモルフ素子(バイモルフピエゾアクチュエータ)、23xはバイモルフ素子22xの他端に取り付けられた回動可能なX軸ミラー、23yはバイモルフ素子22yの他端に取り付けられた回動可能なY軸ミラーである。
このため、バイモルフ素子22x,22yに印加されるX方向駆動電圧Vx、Y方向駆動電圧Vyを前記スキャンパターンに従って変化させれば、レーザダイオード38から照射されたレーザ光LをX軸ミラー23x、Y軸ミラー23yにより順次反射させて水面Wを2次元的に走査し、レーザ光Lの照射範囲として所望の平面を形成することができる。
また、図4に示した例では、X軸24xとY軸24yとがいわゆるねじれの位置にあってY軸ミラー23yの手前から見ればX軸24xとY軸24yとがほぼ直交しているが、両軸24x,24yの位置関係はこれに限定されない。言い換えれば、X軸ミラー23xが回動する一平面とY軸ミラー23yが回動する一平面とは、必ずしも直交していなくても良く、任意の角度で交差するものであれば足りる。
また、前記ピーク値が、比較器36における所定のしきい値(油膜検出レベル)を超えるとリレーが駆動され、油膜検出出力を生じさせると共に、外部に伝送するためのDC出力として用いられるようになっている。
更に、前記水面モニタ17は、例えば光学的検出手段により水面Wの状態(水位の変動や波立ち、浮遊物の有無等)を検出する一種のセンサとして構成されており、その出力信号はオフセット決定ロジック18に与えられている。
すなわち、水位や波立ちの状態等について各種のケースを予め想定し、それぞれの場合について、前記照射範囲A1に存在する油膜からの反射光をフォトダイオード31により良好に受光できるようなオフセット信号Soをテーブル等に格納しておく。そして、実際の油膜検出時には、水面モニタ17の出力信号に応じてオフセット決定ロジック18により選択されたオフセット信号SoをX方向パターン信号Px、Y方向パターン信号Pyにそれぞれ加算してX方向駆動電圧Vx、Y方向駆動電圧Vyを最適値に調整し、2次元走査部20のバイモルフ素子22x,22yに印加して照射範囲A1の照射位置、大きさ及び/または2次元パターンを調整するものである。
なお、オフセット信号Soを決定するための水位等のデータは、手動にて入力しても良い。
フォトダイオード31による受光範囲A3は、水位がN1の場合(水位が高い場合)には紙面に向かって左側にあるが、水位が下がるにつれて、紙面に向かって右側にシフトしていく(水位N2,N3)。
しかし、水位Nが上記範囲N2nを超えて上昇または下降した場合、フォトダイオード31は、照射範囲A1からの反射光を良好に受光することができなくなる。
また、光源やミラーを複数備える必要がないので、部品数の削減によって更に小型化、低コスト化を達成することができ、光学系の角度調整作業も比較的簡単である。
更に、水面の状態をモニタして得たオフセット信号により2次元走査部20の駆動電圧を調整することで、水位の変動や波立ち、浮遊物の有無等に関わらず、水面に存在する油膜からの反射光を高精度に受光することができる。
本発明の第2実施形態は、上記の点に鑑み、2次元走査部から受光素子に至る光学系を改良することにより、水面Wまでの距離に関わらず確実に油膜を検出可能としたものである。
図6において、25x,25yはりん青銅の薄板からなるバネ材であり、それぞれバイモルフ素子22xとX軸ミラー23x、バイモルフ素子22yとY軸ミラー23yを連結している。これらのバネ材25x,25yは、バイモルフ素子22x,22yの変位を拡大して各ミラー23x,23yに伝達する機能を持っている。
なお、後述するように、本実施形態では共振現象を利用してX方向及びY方向の変位を得ているため、バイモルフ素子22x、バネ材25x、X軸ミラー23xからなる部材、及び、バイモルフ素子22y、バネ材25y、Y軸ミラー23yからなる部材を、共振部材とも呼ぶものとする。
また、凹面鏡40の斜め下方、詳しくは反射面42の焦点位置には、反射面42からの反射光が入射するフォトダイオード31が配置されている。
なお、各バイモルフ素子22x,22yにX方向駆動電圧Vx、Y方向駆動電圧Vyが印加されていない初期状態では、レーザダイオード38から出射してX軸ミラー23x、Y軸ミラー23yにより順次反射したレーザ光Lが、窓孔41を通って水面Wに鉛直に入射するようになっており、この鉛直線を基準としてレーザ光Lが2次元的に走査されるものである。
また、図8はこの第2実施形態の作用を示す概念図であり、2次元走査部20Aによりレーザ光LをX方向に走査した時の水面Wからの反射光が反射面42により反射してフォトダイオード31に入射する様子を示したものである。ここで、前述した如くレーザ光LはY方向にも走査されるが、図面中の光路が煩雑になるので、図8では省略してある。
ここで、上記2次元走査部20Aに代えて、バネ材25x,25yを有しない第1実施形態(図4)のような構成の2次元走査部20を用いることも可能である。
一般に、バイモルフ素子により大きな変位を得たい場合には、バイモルフ素子に直流高電圧を印加するのが効果的であるが、回路を高電圧化することによるデメリット(絶縁対策等)を考えた場合、バイモルフ素子やミラーを含む2次元走査部の構成部材(すなわち共振部材)に固有の共振周波数に着目して、この周波数の交流低電圧をバイモルフ素子に印加し、上記構成部材を共振させて駆動することが望ましい。更に、第2実施形態に示したようにバネ材を併用すると、このバネ材の共振作用によりバイモルフ素子の変位を一層拡大してミラーに伝達することができ、X方向、Y方向の走査幅が長くなって水面Wにおけるレーザ光Lの照射範囲も拡大する。
なお、図9(a)は、バネ材として0.1mm厚のりん青銅を使用した場合の特性図、図9(b)は、バネ材として0.2mm厚のりん青銅を使用した場合の特性図を示しており、何れも、駆動電圧の周波数が共振点から外れると走査幅が非常に小さくなることがわかる。
このように、共振周波数は共振部材の構造により異なるので、共振部材ごとに予め固有の共振周波数を測定しておき、バイモルフ素子の駆動電圧の周波数をその値に設定することが必要になる。
このような場合、バイモルフ素子の駆動電圧の周波数が固定されたままであると、温度によっては共振点からずれてしまい、所望の走査幅が得られないおそれがある。
図11は、周波数のスイープ動作時における周囲温度−走査幅特性の一例を示しており、サンプルとして使用した共振部材は図10におけるものと同一である。なお、バイモルフ素子に印加した電圧は振幅が±10[V]の正弦波交流電圧であり、周波数は前述のように100[Hz]±10[Hz]とし、スイープ動作は1[sec]のうち250[msec]をスイープ時間、750[msec]を停止時間とした。
なお、このような周波数のスイープ動作は、第1実施形態(図4)のようにバネ材を持たない構成の2次元走査部20にも適用可能である。
11:バイナリカウンタ
12:スキャンパターン決定ロジック
13:パターンメモリ
14x,14y:加算器
15x,15y:D/A変換器
16x:X方向駆動回路
16y:Y方向駆動回路
17:水面モニタ
18:オフセット決定ロジック
20,20A:2次元走査部
21x,21y:支持部
22x,22y:バイモルフ素子
23x:X軸ミラー
23y:Y軸ミラー
24x:X軸
24y:Y軸
25x,25y:バネ材
31:フォトダイオード
32:アンプ
33:ローパスフィルタ
34:同期検波回路
35:ピークホールド回路
36:比較器
37:レーザダイオード駆動回路
38:レーザダイオード
40:凹面鏡
41:窓孔
42:反射面
L:レーザ光
A1:照射範囲
A2:反射範囲
A3:受光範囲
W:水面(検出対象面)
Claims (7)
- 光源から検出対象面に検出光を照射し、前記検出対象面からの反射光を受光素子により受光して前記検出対象面に存在する油膜を検出する油膜検出装置において、
X方向駆動電圧、Y方向駆動電圧を印加してそれぞれ発生させたX方向変位、Y方向変位により前記検出光を2次元的に走査し、前記検出対象面における前記検出光の照射範囲として所望の平面を形成する2次元走査部を備えたことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項1に記載した油膜検出装置において、
前記検出対象面からの反射光を反射させて前記受光素子に入射させる鏡を備えたことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項2に記載した油膜検出装置において、
前記鏡を凹面鏡により構成し、この凹面鏡に、前記2次元走査部から前記検出対象面に照射される前記検出光を通過させるための窓孔を形成したことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載した油膜検出装置において、
前記2次元走査部は、
前記X方向駆動電圧が印加されて前記X方向変位を発生するX方向バイモルフ素子、及び、前記Y方向駆動電圧が印加されて前記Y方向変位を発生するY方向バイモルフ素子と、
これらのバイモルフ素子にそれぞれ取り付けられて異なる軸を中心に回動し、かつ、前記検出光を順次反射させて前記検出対象面方向へ照射するためのX軸ミラー及びY軸ミラーと、を備えたことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載した油膜検出装置において、
前記2次元走査部は、
前記X方向駆動電圧が印加されて前記X方向変位を発生するX方向バイモルフ素子、及び、前記Y方向駆動電圧が印加されて前記Y方向変位を発生するY方向バイモルフ素子と、
これらのバイモルフ素子にそれぞれバネ材を介して取り付けられて異なる軸を中心に回動し、かつ、前記検出光を順次反射させて前記検出対象面方向へ照射するためのX軸ミラー及びY軸ミラーと、を備えたことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載した油膜検出装置において、
前記検出対象面の状態に応じてオフセット信号を自動的または人為的に与えることにより、前記X方向駆動電圧及びY方向駆動電圧を調整可能にしたことを特徴とする油膜検出装置。 - 請求項4〜6の何れか1項に記載した油膜検出装置において、
前記バイモルフ素子に印加する駆動電圧の周波数を、このバイモルフ素子を含む前記2次元走査部内の共振部材の所定温度における共振周波数を含む一定範囲内で、周期的に変化させることを特徴とする油膜検出装置。
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