JP2014095612A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】照明光のビームフォーカス位置(特に短周期)の変動や振動による変動の影響を低くするのが望ましい。
【解決手段】本発明は、試料に対して斜方から照明光を供給する照明光学系と、前記試料からの光を集光し、欠陥を検出するための第1の検出光学系と、前記試料からの反射光を検出する第2の検出光学系と、前記第2の検出光学系から、前記照明光の光軸の角度の変化を得る処理部と、を有し、前記照明光学系は、前記照明光を供給するための光路にミラーと、前記ミラーの角度を変更するためのピエゾアクチュエータと、を有し、前記処理部は、前記光軸の角度の変化を無くすよう前記ピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、試料に対して斜方から照明光を供給する照明光学系と、前記試料からの光を集光し、欠陥を検出するための第1の検出光学系と、前記試料からの反射光を検出する第2の検出光学系と、前記第2の検出光学系から、前記照明光の光軸の角度の変化を得る処理部と、を有し、前記照明光学系は、前記照明光を供給するための光路にミラーと、前記ミラーの角度を変更するためのピエゾアクチュエータと、を有し、前記処理部は、前記光軸の角度の変化を無くすよう前記ピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、ウェーハ等の試料の異物、傷に例示される欠陥を検出する検査装置、及び検査方法に関する。特に、本発明は、光を用いて欠陥を検出する検査装置、及び検査方法に関する。
半導体デバイスは、高純度なシリコンのインゴットをスライスした薄いウェーハに対して研磨や結晶成長、イオン注入などを施して作成される。この際に、ウェーハの表面に存在する微小な異物や傷に例示される欠陥が半導体デバイス作成の歩留まりに強く影響する。そのため、半導体デバイス作成の各工程でウェーハの欠陥の分布状況の知ること必要とされている。
ウェーハの表面に存在する微小な欠陥を検査する方法としては電子ビーム等の荷電粒子線を用いる方法とレーザ光を用いる方法がある。レーザ光を用いる方法としては、ウェーハの表面で散乱された光を受光素子で検出し光の散乱の程度からウェーハの表面情報を解析するものとウェーハの表面で正反射された光を受光素子で検出しウェーハの表面情報を解析するものがある。
ウェーハの表面に存在する微小な欠陥を検査する方法としては電子ビーム等の荷電粒子線を用いる方法とレーザ光を用いる方法がある。レーザ光を用いる方法としては、ウェーハの表面で散乱された光を受光素子で検出し光の散乱の程度からウェーハの表面情報を解析するものとウェーハの表面で正反射された光を受光素子で検出しウェーハの表面情報を解析するものがある。
前記のレーザ光を用いたウェーハの表面検査装置の例として、特許文献1に開示されている。ウェーハは、回転ステージに置かれて、回転されながら径方向に移動する。その際にウェーハにレーザ光が照射され、ウェーハの表面に存在する欠陥からの散乱光を複数個の検出器で受光する。そして、得られた欠陥の分布を、ファイルやディスプレイなどに出力する。なお、その他の特許文献としては、特許文献2乃至5が挙げられる。
このような表面検査装置にはレーザ光照射系が搭載されているが、被検査物へ照射されたレーザ光の照射位置は照射されたウェーハ上に形成される照明領域の形状、寸法に影響を及ぼす、このレーザ光の照射位置が検査中に変動すると、最終出力結果である欠陥のサイズや座標精度に大きく影響を与えることになる。
この照射位置の変動には幾つかの要因が考えられる。要因の例としては、レーザ照射系の光軸角度の変移、レーザ照射系の光軸が平行移動することによる変移、被検査物の高さ変移である。さらに、被検査物の高さ変移にも幾つかの要因があり、例えば、稼働ステージの平坦度に起因するもの、ウェーハに成膜された膜の応力によるものや、機械的な動作による振動などがある。
この照射位置の変動には幾つかの要因が考えられる。要因の例としては、レーザ照射系の光軸角度の変移、レーザ照射系の光軸が平行移動することによる変移、被検査物の高さ変移である。さらに、被検査物の高さ変移にも幾つかの要因があり、例えば、稼働ステージの平坦度に起因するもの、ウェーハに成膜された膜の応力によるものや、機械的な動作による振動などがある。
特許文献1により、被検査物からの反射光を利用して被検査物の高さをステージの高さを制御することで一定に保つ方法が提案されている。
しかし、上記の解決法では稼働ステージの平坦度による高さ変移や応力による反り等の緩やかな被検査物の高さ方向の変動を起因とする照射光位置の変移には対応できるが、照射光自身の光軸変動によるビームフォーカス位置(特に短周期)の変動や振動による変動を考慮する点には配慮がなされていない。また、ビームフォーカス位置が短周期で変動する場合、これをステージ高さで位置補正を行うと振動の原因となり、機差の要因となる点についても配慮がなされていない。本発明はこの点に配慮したものである。
本発明は、試料に対して斜方から照明光を供給する照明光学系と、前記試料からの光を集光し、欠陥を検出するための第1の検出光学系と、前記試料からの反射光を検出する第2の検出光学系と、前記第2の検出光学系から、前記照明光の光軸の角度の変化を得る処理部と、を有し、前記照明光学系は、前記照明光を供給するための光路にミラーと、前記ミラーの角度を変更するためのピエゾアクチュエータと、を有し、前記処理部は、前記光軸の角度の変化を無くすよう前記ピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする。
本発明は以下の効果のうち少なくとも1つを奏する。(1)ビームフォーカス位置が実質的に一定となり、欠陥のサイジング(寸法を得ること)についての再現性が向上する。(2)欠陥の座標精度が向上する。(3)装置毎にランダムな特性を持っていた位置変移が無くなるため、装置間での欠陥のサイジングおよび座標の機差が低減される。
本実施例の表面検査装置、表面検査方法では、主に被検査物としてウェーハ101が用いられるが、それ以外にも液晶パネルのガラス基板や太陽電池パネルなどの平面状のウェーハ101に対して適用が可能である。ここでは、ウェーハ101を一例にして、本発明の実施例を説明する。
表面検査装置として、図1に簡単な略図を示す。ウェーハ101は、裏面吸着法、またはエッジ部分を保持し、裏面は保持しない保持機構(いわゆるエッジグリップ法)によって、ステージ103に固定される。
レーザ光源104からはレーザ光が発振される。発振されたレーザ光は照明光切替ミラー105によって垂直照明機構106または斜方照明機構107に入射する。垂直照明機構106を経由してウェーハ101にはその法線方法からレーザ光が照明される。また、斜方照明機構107を経由してウェーハ101には所定の入射角をもってレーザ光が照明されることになる。垂直照明機構106、斜方照明機構107には、ミラー、レンズ、それらの組み合わせに例示される光学素子が含まれる。
照明光がウェーハ101に照明される際に、ステージ103の走査機構102は、回転しながら径方向に移動する(ある方向に直線的に移動する)ので、ウェーハ101の表面をスパイラル状にレーザ光は走査することになる。また、ステージ103の径方向への移動方法は等速移動でなくてもよく、ウェーハ101が一回転してから一定距離移動するようにして、レーザ光が同心円状の軌跡を描くようにウェーハ101の表面を走査するようにしてもよい。
レーザ光源104からはレーザ光が発振される。発振されたレーザ光は照明光切替ミラー105によって垂直照明機構106または斜方照明機構107に入射する。垂直照明機構106を経由してウェーハ101にはその法線方法からレーザ光が照明される。また、斜方照明機構107を経由してウェーハ101には所定の入射角をもってレーザ光が照明されることになる。垂直照明機構106、斜方照明機構107には、ミラー、レンズ、それらの組み合わせに例示される光学素子が含まれる。
照明光がウェーハ101に照明される際に、ステージ103の走査機構102は、回転しながら径方向に移動する(ある方向に直線的に移動する)ので、ウェーハ101の表面をスパイラル状にレーザ光は走査することになる。また、ステージ103の径方向への移動方法は等速移動でなくてもよく、ウェーハ101が一回転してから一定距離移動するようにして、レーザ光が同心円状の軌跡を描くようにウェーハ101の表面を走査するようにしてもよい。
ウェーハ101の表面に照明されたレーザ光は、ウェーハ101の表面に存在する欠陥によってウェーハ101の上方に散乱される。ウェーハ101からの散乱光はウェーハ101の上方に取付けられた少なくとも1つ以上の検出器108a〜108cによって受光される。検出器108a〜108cは、ウェーハ101の上方を覆うように配置しても、仰角を変えて2段以上配置してもよい。検出器108a〜108cは、例えば試料からの光を集光し、欠陥を検出するための第1の検出光学系であると表現することができる。
検出器108a〜108cの種類としては、例えば、光電子増倍管(PMT)が挙げられる。検出器108a〜108c がPMTである場合、検出器108a〜108c は各々印加電圧源109、及び受光信号の増幅やフィルタ処理、欠陥の判定、分類を行う情報処理部110に接続されている。印加電圧源109は、情報処理部110からの命令によってPMTへ印加する印加電圧を変更することができる。情報処理部110は、検出器108a〜108cの出力を基にウェーハ101上の欠陥の検出、分類、寸法の計算(サイジング)を行い、制御部111はその結果をファイルやディスプレイ112に出力すること、及びステージ103や照明光切替ミラー105、検出器108a〜108cなどの制御を行う。
次に、ウェーハ101から発生する正反射光の取り扱いについて説明する。図2は正反射光の取り扱いを説明する図である。レーザ光201は照明光切替ミラー105により斜方照明機構107を経由して測定室208へ導かれる。ウェーハ101により照射されたレーザ光は反射され、正反射光はビームディフューザー205により受け止められる。
次に、もう1つの正反射光の取り扱いについて図3を用いて説明する。ここでは特に図2との違いについて説明する。図3では、レーザ光201は可動ミラー207により測定室208へ導かれ、斜方照明機構107を経由してウェーハ101へ照射される。可動ミラー207は反射面の裏面に少なくとも1つ以上のピエゾアクチュエータに取りつけられたミラーであり、ウェーハ101へ照射されるレーザ光201の光軸の角度を変化させること、その結果ウェーハ101上の照明領域の位置、寸法を変化させることが可能である。可動ミラー207、及び斜方照明機構107を経由したレーザ光はウェーハ101にて反射され、ビームディフューザー205の代りに配置された変位計測光学系210へと入射する。変位計測光学系210にて検出された変位信号は変位量処理系211により処理され、可動ミラー207へ制御信号を送信しレーザ光201の光軸を制御する。
図3では、可動ミラー207が可動することにより、レーザ光の光軸を制御する。これはファンフィルタユニット等によって他の部分よりも清浄度が高く保たれた測定室208内での不所望な発塵を避けるためである。もちろん、測定室208内に配置された斜方照明機構107のミラーを可動としてもよい。さらに、可動ミラー207、斜方照明機構107のミラー両者を可動としても良い。
次に、可動ミラー207について詳細に図4を用いて詳細に説明する。可動ミラー207は、主に反射面4001と反射面の裏面に配置された少なくとも1つ以上のピエゾアクチュエータ4002によって構成される。ピエゾアクチュエータ4002が配置される場所には様々なバリエーションが考えられるが、例えば反射面の裏面の複数の場所、より具体的な例としては、裏面の対角線上が考えられる。各ピエゾアクチュエータ4002は変位量処理系211からの制御信号によって矢印4003の方向に伸縮する。その結果、反射面4001は図4中で便宜的に定義するxyz軸について所望の角度θ1、θ2、θ3を伴って回転することが可能となる。ピエゾアクチュエータ4001は電気信号により高速応答が可能であり、分解能も高いので、ビームフォーカス位置(特に短周期)の変動や振動による変動を無くすよう反射面4001の角度を変更するには好適である。
次に、変位計測光学系210について図5を用いて詳細に説明する。詳細は後述するが、変位計測光学系210は試料からの反射光を検出し、照明光の光軸の角度変化を得るための第2の検出光学系と表現することができる。ウェーハ101から反射されたレーザ光(正反射光)はビーム整形ユニット303により鉛直方向(図5の矢印308の方向)に縮小される。これは後述する位置センサとして役割を果たす検出ユニット307の測定精度を上げるためである。本実施例のビーム整形ユニット303はアナモルフィックプリズムを有するアナモルフィック光学系であり、1軸方向のレーザ光の角度変位を拡大し、レーザ光の平行移動成分(図5の矢印309の方向)はそのまま通過させることが可能となる。なお、アナモルフィックプリズムは必ずしも必須なものではなく、複数のレンズを組み合わせることで、アナモルフィックプリズムと同様の作用を生ずるよう構成しても良い。
本実施例では1軸方向(鉛直方向)のみの変移検出を行っているが、ビーム整形ユニット303を鉛直方向のみの整形でなく水平方向も整形し(角度変位を拡大し)、検出系ユニット305、307のセンサを2次元的な位置を検出できるもの(4分割ホトダイオード、画素を2次元的に配列した画像センサ)を使用しても良い。この場合は、2軸方向の変位を検出ユニット307で検出できるようになるため、より詳細なレーザ光301の光軸の調整が可能となる。
鉛直方向に縮小されたレーザ光は分光ユニット304により2系統に分光される。この分光ユニット304はλ/2波長板とPBS(ポラライジングビームスプリッタ)にて構成されており、検出ユニット305へ入射する光の光量を調整する役割を果たす。なお、分光ユニット304はNDフィルタ(ニュートラルデンシティフィルタ)とハーフミラーに例示される他の光学素子との組み合わせを利用しても良い。
分光ユニット304によって2系統に分光されたレーザ光のうち、PBSによって反射された反射光は検出ユニット305により変位が検出される。この検出ユニット305はレンズ310と受光器311により構成され、受光器311はレンズ310の焦点位置に配置されており、レンズの平行光を一点に収束させるという特性を利用し、入射レーザ光の平行移動による検出光位置の変位を無くすように構成されている。検出ユニット305によって、照明光の光軸の角度の変化を得ることができる。
次に、もう1つの正反射光の取り扱いについて図3を用いて説明する。ここでは特に図2との違いについて説明する。図3では、レーザ光201は可動ミラー207により測定室208へ導かれ、斜方照明機構107を経由してウェーハ101へ照射される。可動ミラー207は反射面の裏面に少なくとも1つ以上のピエゾアクチュエータに取りつけられたミラーであり、ウェーハ101へ照射されるレーザ光201の光軸の角度を変化させること、その結果ウェーハ101上の照明領域の位置、寸法を変化させることが可能である。可動ミラー207、及び斜方照明機構107を経由したレーザ光はウェーハ101にて反射され、ビームディフューザー205の代りに配置された変位計測光学系210へと入射する。変位計測光学系210にて検出された変位信号は変位量処理系211により処理され、可動ミラー207へ制御信号を送信しレーザ光201の光軸を制御する。
図3では、可動ミラー207が可動することにより、レーザ光の光軸を制御する。これはファンフィルタユニット等によって他の部分よりも清浄度が高く保たれた測定室208内での不所望な発塵を避けるためである。もちろん、測定室208内に配置された斜方照明機構107のミラーを可動としてもよい。さらに、可動ミラー207、斜方照明機構107のミラー両者を可動としても良い。
次に、可動ミラー207について詳細に図4を用いて詳細に説明する。可動ミラー207は、主に反射面4001と反射面の裏面に配置された少なくとも1つ以上のピエゾアクチュエータ4002によって構成される。ピエゾアクチュエータ4002が配置される場所には様々なバリエーションが考えられるが、例えば反射面の裏面の複数の場所、より具体的な例としては、裏面の対角線上が考えられる。各ピエゾアクチュエータ4002は変位量処理系211からの制御信号によって矢印4003の方向に伸縮する。その結果、反射面4001は図4中で便宜的に定義するxyz軸について所望の角度θ1、θ2、θ3を伴って回転することが可能となる。ピエゾアクチュエータ4001は電気信号により高速応答が可能であり、分解能も高いので、ビームフォーカス位置(特に短周期)の変動や振動による変動を無くすよう反射面4001の角度を変更するには好適である。
次に、変位計測光学系210について図5を用いて詳細に説明する。詳細は後述するが、変位計測光学系210は試料からの反射光を検出し、照明光の光軸の角度変化を得るための第2の検出光学系と表現することができる。ウェーハ101から反射されたレーザ光(正反射光)はビーム整形ユニット303により鉛直方向(図5の矢印308の方向)に縮小される。これは後述する位置センサとして役割を果たす検出ユニット307の測定精度を上げるためである。本実施例のビーム整形ユニット303はアナモルフィックプリズムを有するアナモルフィック光学系であり、1軸方向のレーザ光の角度変位を拡大し、レーザ光の平行移動成分(図5の矢印309の方向)はそのまま通過させることが可能となる。なお、アナモルフィックプリズムは必ずしも必須なものではなく、複数のレンズを組み合わせることで、アナモルフィックプリズムと同様の作用を生ずるよう構成しても良い。
本実施例では1軸方向(鉛直方向)のみの変移検出を行っているが、ビーム整形ユニット303を鉛直方向のみの整形でなく水平方向も整形し(角度変位を拡大し)、検出系ユニット305、307のセンサを2次元的な位置を検出できるもの(4分割ホトダイオード、画素を2次元的に配列した画像センサ)を使用しても良い。この場合は、2軸方向の変位を検出ユニット307で検出できるようになるため、より詳細なレーザ光301の光軸の調整が可能となる。
鉛直方向に縮小されたレーザ光は分光ユニット304により2系統に分光される。この分光ユニット304はλ/2波長板とPBS(ポラライジングビームスプリッタ)にて構成されており、検出ユニット305へ入射する光の光量を調整する役割を果たす。なお、分光ユニット304はNDフィルタ(ニュートラルデンシティフィルタ)とハーフミラーに例示される他の光学素子との組み合わせを利用しても良い。
分光ユニット304によって2系統に分光されたレーザ光のうち、PBSによって反射された反射光は検出ユニット305により変位が検出される。この検出ユニット305はレンズ310と受光器311により構成され、受光器311はレンズ310の焦点位置に配置されており、レンズの平行光を一点に収束させるという特性を利用し、入射レーザ光の平行移動による検出光位置の変位を無くすように構成されている。検出ユニット305によって、照明光の光軸の角度の変化を得ることができる。
分光ユニットを透過したレーザ光は減光ユニット306により後述する検出ユニット307が検出するのに適切な光量に調整される。検出するのに適切な光量とは様々な定義が可能であるが、1つの表現としては、検出ユニット307の信号が飽和してしまう光量未満の光量と表現することができる。減光ユニット306はλ/2波長板とPBSにて構成されているが、透過率の違うNDフィルタ等を使用しても良い。
減光ユニット306によって適切な光量に調整されたレーザ光は検出ユニット307によって変位が検出される。この検出ユニット307では入射レーザ光の平行移動と傾き変位とが合算された変位を検出する。検出ユニット307は、その受光面に結像された像の変位を検出するため、例えば、分割ホトダイオード、4分割ホトダイオード、画素を2次元的に配列した画像センサであることが望ましい。
本実施例ではこの検出ユニット305、及び検出ユニット307の少なくとも1つが得た情報からレーザ光の照射角度の変位、レーザ光の平行移動、及びウェーハ101の高さ変動の少なくとも1つを得るものである。
図6はレーザ光の光軸が変化した場合を説明する図である。なお、当業者に分かりやすく説明するため、減光ユニット306は図6では省略している。図7は本実施例を説明するフローである。本実施例の表面検査装置のステージにウェーハ101が搭載されると、レーザ光の照射、ステージによるウェーハ101の回転、及び移動が開始し、検査が開始される(ステップ701)。図6において、ウェーハ101に照明されるレーザ光の光軸401が光軸402に変化した場合、ウェーハからの反射した光の光軸は図6に示すように元の光路(実線406)から変化した光路(破線407)へと変化する。その結果、検出ユニット305に結像される像の位置は位置408から位置409へ変化する。同様に、検出ユニット307に結像される像の位置は位置410から位置411へ変化する。
本実施例ではこの検出ユニット305、及び検出ユニット307の少なくとも1つが得た情報からレーザ光の照射角度の変位、レーザ光の平行移動、及びウェーハ101の高さ変動の少なくとも1つを得るものである。
図6はレーザ光の光軸が変化した場合を説明する図である。なお、当業者に分かりやすく説明するため、減光ユニット306は図6では省略している。図7は本実施例を説明するフローである。本実施例の表面検査装置のステージにウェーハ101が搭載されると、レーザ光の照射、ステージによるウェーハ101の回転、及び移動が開始し、検査が開始される(ステップ701)。図6において、ウェーハ101に照明されるレーザ光の光軸401が光軸402に変化した場合、ウェーハからの反射した光の光軸は図6に示すように元の光路(実線406)から変化した光路(破線407)へと変化する。その結果、検出ユニット305に結像される像の位置は位置408から位置409へ変化する。同様に、検出ユニット307に結像される像の位置は位置410から位置411へ変化する。
変位量処理系211は、位置408から位置409への変化量をΔ1、及び位置410から位置411への変化量Δ2を得る(ステップ702)。特に、Δ1は照明光の光軸の角度が変化したことを表現している。次に、変位処理系211は、Δ1=0、Δ2=0となるよう可動ミラー207のピエゾアクチュエータを駆動する。より具体的には、変位処理系211は、Δ1=0、Δ2=0となるような可動ミラー207の角度を計算し(ステップ703)、計算した角度を形成するようピエゾアクチュエータを駆動する(ステップ704)。ウェーハ101の全面、又は一部の検査が終了するまで、ステップ702〜ステップ703のフローは継続する(ステップ705、706)。その結果、ウェーハ101に照射されるレーザ光の光軸は実質的に常に所望の状態を維持できることになり、結果的に欠陥のサイジング精度、欠陥の位置座標精度が向上することになる。
なお、レーザ光の光軸は実質的には変化せず、ウェーハ101の表面の位置(ウェーハ101の高さ、ステージがウェーハ101を保持する高さと表現することもできる)が変化する場合もある。この場合でも、本実施例は適用可能である。図8はレーザ光の光軸は実質的には変化せずウェーハ101の表面の位置が変化した場合を説明する図である。
図8の場合では、ウェーハ101によって反射されたレーザ光の光軸はウェーハ101の表面の位置が変わる前後で実線801から破線802へ変化する。その結果、ウェーハ101上の照明領域の位置も位置803から位置804へ変化することになる。図8の場合では、検出ユニット305に結像される像の位置に変化は無く(Δ1=0)、検出ユニット307に結像される像の位置は位置805から位置806へ変化する(Δ2≠0)。この場合、変位処理系211は、Δ2=0となるような可動ミラー207の角度を計算し、可動ミラー207が計算した角度を持つようピエゾアクチュエータを駆動することになる。
なお、レーザ光の光軸は実質的には変化せず、ウェーハ101の表面の位置(ウェーハ101の高さ、ステージがウェーハ101を保持する高さと表現することもできる)が変化する場合もある。この場合でも、本実施例は適用可能である。図8はレーザ光の光軸は実質的には変化せずウェーハ101の表面の位置が変化した場合を説明する図である。
図8の場合では、ウェーハ101によって反射されたレーザ光の光軸はウェーハ101の表面の位置が変わる前後で実線801から破線802へ変化する。その結果、ウェーハ101上の照明領域の位置も位置803から位置804へ変化することになる。図8の場合では、検出ユニット305に結像される像の位置に変化は無く(Δ1=0)、検出ユニット307に結像される像の位置は位置805から位置806へ変化する(Δ2≠0)。この場合、変位処理系211は、Δ2=0となるような可動ミラー207の角度を計算し、可動ミラー207が計算した角度を持つようピエゾアクチュエータを駆動することになる。
次に実施例2について説明する。前述したように、図8の場合でも、実施例1は適用可能であるが、図8の状態を補正すると、図9に示すようにウェーハ101に照明されるレーザ光の光軸が補正前の光軸901から補正後の光軸902へ変化し、Δ1≠0となる場合も考えられる。レーザ光の光軸が変化すると欠陥からの散乱光の方位が異なる場合も考えられる。図7の状態を補正する場合でも、レーザ光の光軸は変化しないことが望ましい場合もある。本実施例はこの点に配慮したものである。
以降の説明では実施例1と異なる点について主に説明する。実施例2では、検出ユニット305はウェーハ101に照射される光軸の角度変化を捕捉し、検出ユニット307は前述した光軸の角度変化、及びウェーハ101上の照明領域の位置変化を捕捉できる点を利用する。図10は実施例2の表面検査装置を説明する図であり、図11は実施例2を説明するフローチャートである。図10で実施例1と異なるのは変位量処理系211がステージ103の高さも制御する点である。
まず、変位処理系211はΔ1、Δ2の値を取得する(ステップ1101)。
Δ1=0、Δ2≠0の場合、変位処理系211は図8の状態であると判断し、可動ミラー207を駆動するのではなく、ステージ103がウェーハ101を保持する高さを変える(ステップ1102、ステップ1103)。Δ1=0、Δ2=0となれば調整は終了である(ステップ1104、ステップ1105、ステップ1106)。
Δ1≠0、Δ2≠0である場合、まず変位処理系211は可動ミラー207を駆動し、Δ1=0とする(ステップ1107、1108、1109)。Δ1=0となった後、Δ2≠0であれば、変位処理系211はステージ103がウェーハ101を保持する高さを変更し、Δ2=0とする(ステップ1110、1104)。Δ1=0、Δ2=0となれば調整は終了である(ステップ1105、1106)
Δ1=0、Δ2≠0の場合、変位処理系211は図8の状態であると判断し、可動ミラー207を駆動するのではなく、ステージ103がウェーハ101を保持する高さを変える(ステップ1102、ステップ1103)。Δ1=0、Δ2=0となれば調整は終了である(ステップ1104、ステップ1105、ステップ1106)。
Δ1≠0、Δ2≠0である場合、まず変位処理系211は可動ミラー207を駆動し、Δ1=0とする(ステップ1107、1108、1109)。Δ1=0となった後、Δ2≠0であれば、変位処理系211はステージ103がウェーハ101を保持する高さを変更し、Δ2=0とする(ステップ1110、1104)。Δ1=0、Δ2=0となれば調整は終了である(ステップ1105、1106)
101・・・ウェーハ
102・・・走査機構
103・・・ステージ
104・・・レーザ光源
105・・・照明光切替ミラー
106・・・垂直照明機構
107・・・斜方照明機構
108a・・・検出器
108b・・・検出器
108c・・・検出器
109・・・印加電圧原
102・・・走査機構
103・・・ステージ
104・・・レーザ光源
105・・・照明光切替ミラー
106・・・垂直照明機構
107・・・斜方照明機構
108a・・・検出器
108b・・・検出器
108c・・・検出器
109・・・印加電圧原
Claims (7)
- 試料に対して斜方から照明光を供給する照明光学系と、
前記試料からの光を集光し、欠陥を検出するための第1の検出光学系と、
前記試料からの反射光を検出する第2の検出光学系と、
前記第2の検出光学系から、前記照明光の光軸の角度の変化を得る処理部と、を有し、
前記照明光学系は、前記照明光を供給するための光路に配置されたミラーと、前記ミラーの角度を変更するためのピエゾアクチュエータと、を有し、
前記処理部は、前記光軸の角度の変化を無くすよう前記ピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第2の検出光学系は、アナモルフィック光学系を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記第2の検出光学系は、前記アナモルフィック光学系を通過した光を分光する分光光学系を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置において、
前記第2の検出光学系は、前記分光光学系を反射した光を集光するレンズと、前記レンズの焦点位置に配置された第1の受光器とを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記処理部は、前記第1の受光器に投影された像の位置の変化を無くすよう前記ピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記第2の検出光学系は、前記分光光学系を通過した光の光量を下げる減光光学系を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置において、
前記試料を搭載するステージを有し、
前記第2の検出光学系は、前記減光光学系を通過した光を検出する第2の受光器を有し、
前記処理部は前記第2の受光器に投影された像の位置の変化を無くすよう前記ステージが前記試料を搭載する高さを変更することを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012246990A JP2014095612A (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-09 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012246990A JP2014095612A (ja) | 2012-11-09 | 2012-11-09 | 検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014095612A true JP2014095612A (ja) | 2014-05-22 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2014095612A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106531650A (zh) * | 2015-09-11 | 2017-03-22 | 英稳达科技股份有限公司 | 具有缺陷的太阳能电池的检出方法 |
JP6324564B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2018-05-16 | 東北電力株式会社 | 太陽電池モジュールのカバーガラス異常検知方法 |
US11473901B2 (en) | 2018-05-29 | 2022-10-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Height measurement device in which optical paths projected on the sample at different incidence angles |
-
2012
- 2012-11-09 JP JP2012246990A patent/JP2014095612A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106531650A (zh) * | 2015-09-11 | 2017-03-22 | 英稳达科技股份有限公司 | 具有缺陷的太阳能电池的检出方法 |
JP6324564B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2018-05-16 | 東北電力株式会社 | 太陽電池モジュールのカバーガラス異常検知方法 |
JP2018146322A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 東北電力株式会社 | 太陽電池モジュールのカバーガラス異常検知方法 |
US11473901B2 (en) | 2018-05-29 | 2022-10-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Height measurement device in which optical paths projected on the sample at different incidence angles |
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