JPWO2008155896A1 - 電子装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、受光装置においては、透明基板と、受光部が設けられたベース基板との間に、受光部を取り囲む枠状の部材が配置されている。
このような電子装置を製造する際には、基板あるいは、電子部品を覆うように、光硬化性樹脂を含む樹脂組成物を塗布する。
次に、前記樹脂組成物の所定位置を露光し、現像処理して、前述した枠状の部材を形成する。
その後、前記枠状の部材を介して、電子部品と基板とを対向配置させる(例えば、特許文献1参照)。
前述したように、電子装置を製造する際に、前記樹脂組成物の所定の部分を露光するが、この際、樹脂組成物上方に露光装置のマスクを設置する必要がある。
このマスクを設置する際には、電子部品あるいは基板に形成されたマークを基準に、マスクの位置と、電子部品あるいは基板の位置とを調整するが、樹脂組成物により、電子部品あるいは基板に形成されたマークが被覆されてしまう。そのため、電子部品あるいは基板に形成されたマークを検出することが困難となる。
これにより、マスクと、電子部品あるいは基板の位置との位置調整に手間を要し、電子装置の製造効率が低下することがある。
より、詳細に説明すると、露光装置のマスクと、樹脂組成物が設けられた基板あるいは電子部品との位置あわせを行う工程で、フィラーの平均粒径の1.5倍未満の波長の光を用いて検出すると、光がフィラーに衝突し、乱反射する確率が高くなるためマークを認識することが困難となる。一方、フィラーの平均粒径の1.5倍以上の波長の光を用いて検出すると、光がフィラーに衝突して乱反射する確率が低くなるため、マークを認識することが容易となるのである。
これにより、露光装置のマスクと、基板あるいは、電子部品との位置あわせを容易に行うことができ、電子装置の製造効率を向上させることができる。
フィラーの添加量を50wt%以下とすることで、マークをより確実に検出することができるようになる。
また、フィラーの添加量を1wt%以上とすることで、形状保持性、樹脂組成物の耐熱性、耐湿性、を向上させることができる。さらには、樹脂組成物の強度を確保することができる。
粒径のCV値=(σ1/Dn1)×100%
(σ1は粒径の標準偏差を表し、Dn1は平均粒径を表す)
樹脂組成物中の前記フィラーの粒径のCV値を50%以下とすることで、フィラーの粒径のばらつきが非常に小さくなり、マークをより確実に検出することができるようになる。
シリカは、他のフィラーに比べ、イオン性の不純物の含有量が少ないため、電子装置の腐食等を防止でき、電子装置の信頼性を高めることができる。
さらには、シリカは、シラノール基を有するため、樹脂成分との密着性が良く、樹脂組成物の機械特性を向上させることができる。これにより、樹脂組成物の耐熱性も向上させることができる。
マークを検出する光の波長を300nm以上、900nm以下とすることで、マークをより確実に検出することができるようになる。
さらに、樹脂組成物は、前記光硬化性樹脂と、光重合開始剤と、熱硬化性樹脂と、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂とを含むものであり、前記熱硬化性樹脂は、シリコーン変性エポキシ樹脂であり、前記光および熱の両方で硬化可能な前記硬化性樹脂は、(メタ)アクリル変性フェノール樹脂または(メタ)アクリロイル基含有(メタ)アクリル酸重合体を含むものであることが好ましい。
このような樹脂組成物を使用することで、露光を効率的に行うことができるとともに、基板および電子部品の接着性を良好なものとすることができる。
また、このような樹脂組成物を使用することで、樹脂組成物により、前記基板と、電子部品とを接着することができる。そのため、基板と、電子部品との間の距離を確保するスペーサ自身で、基板と電子部品を接着することが可能となるので、接着層を設ける必要がなく、製造コストの低減を図ることができる。
また、前記電子部品は、複数の受光部と、この複数の受光部が設けられたベース基板とを有し、前記電子部品と、前記透明基板とを対向配置させて、前記樹脂組成物を介して接着する工程の後段で、受光部ごとに、前記電子部品と、前記透明基板との接合体をダイシングする工程を実施してもよい。
このように複数の受光部が設けられたベース基板を使用し、受光部ごとに前記電子部品と、前記透明基板との接合体をダイシングする場合には、露光装置のマスクと、樹脂組成物が設けられた電子部品あるいは基板との位置あわせを正確に行うことが非常に重要となる。
すなわち、露光装置のマスクと、樹脂組成物が設けられた電子部品あるいは基板との位置あわせを正確に行うことで、樹脂組成物が所望の位置に設けられた電子装置をダイシングにより、同時に多数、得ることができるからである。
はじめに、図1、2を参照して、本実施形態の電子装置の製造方法の概要について説明する。
本実施形態では、電子装置は、受光装置1であり、たとえば、撮像装置(固体撮像装置)である。
本実施形態の受光装置1の製造方法は、マークが形成された基板(透明基板13)あるいはマークが形成された電子部品(受光部11とこの受光部11が設けられたベース基板12)上に、マークを覆うように、フィラーと光硬化性樹脂とを含有する樹脂組成物を設ける工程と、露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた基板あるいは電子部品との位置あわせを行う工程と、前記樹脂組成物に対し、前記マスクを介して光を選択的に照射し、現像して所定の領域に前記樹脂組成物を残す工程と、前記基板および前記電子部品を対向配置させて、前記樹脂組成物を介して接着する工程とを含む。
露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた基板あるいは電子部品との位置あわせを行う前記工程では、前記マークを、前記樹脂組成物中の前記フィラーの平均粒径の1.5倍以上の波長の光を用いて検出し、前記露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた前記基板あるいは前記電子部品との位置合わせを行う。
図1(A)に示すように、受光部11が複数設けられたベース基板12を用意する。
ベース基板12は、例えば、半導体基板であり、このベース基板12上には、複数の受光部11を構成するためのマイクロレンズアレイが形成されている。マイクロレンズアレイの下面、すなわち、ベース基板12には、図示しない光電変換部が形成されており、受光部11で受光した光が電気信号に変換されることとなる。
ベース基板12の周縁部は、前記マイクロレンズアレイよりも外方に突出している。また、ベース基板12には、露光装置のマスクとの位置あわせに使用するマークが形成されている。
ここで、樹脂組成物は、フィルム状に形成されていてもよく、ワニス状であってもよい。
本実施形態では、樹脂組成物はフィルム状である(以下接着フィルムという)。
この接着フィルム14は、フィラーと光硬化性樹脂とを含有する。
光硬化性樹脂としては、例えばアクリル系化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂、ウレタンアクリレートオリゴマーまたはポリエステルウレタンアクリレートオリゴマーを主成分とする紫外線硬化性樹脂、エポキシ系樹脂、ビニルフェノール系樹脂、ビスマレイミド樹脂、ジアリルフタレート樹脂の群から選ばれる少なくとも1種を主成分とする紫外線硬化性樹脂等が挙げられる。
これらの中でもアクリル系化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂が好ましい。アクリル系化合物は光を照射した際の硬化速度が速く、これにより、比較的少量の露光量で樹脂をパターニングすることができる。
これにより、光重合により樹脂組成物を効率良くパターニングすることができる。
前記光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾインメチルエーテル、ベンジルフィニルサルファイド、ベンジル、ジベンジル、ジアセチルなどが挙げられる。
前記光重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、前記樹脂組成物全体の0.5wt%以上、5wt%以下が好ましく、特に0.8wt%以上、2.5wt%以下が好ましい。含有量が0.5wt%未満であると光重合開始する効果が低下する場合があり、5wt%を超えると反応性が高くなりすぎ保存性や解像性が低下する場合がある。
前記熱硬化性樹脂としては、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラックエポキシ等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ユリア(尿素)樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられ、これらは単独でも混合して用いても良い。これらの中でもエポキシ樹脂が特に好ましい。これにより、耐熱性および密着性をより向上することができる。
フィラーの平均粒径を0.01μm以上とすることで、フィラーを取り扱いやすいものとすることができる。一方で、フィラーの平均粒径を0.4μm以下とすることで、マークの検出に使用する光の波長を大きなものとする必要がなく、一般的な波長を使用することができる。
なかでも、アライメント性および枠材としての形状保持性が両立する、0.03μm以上であることがさらに好ましい。また、フィラーの凝集防止を考慮すると、フィラーの平均粒径は、0.1μm以上であることが好ましい。
一方で、フィラーの平均粒径は0.3μm以下であることが特に好ましい。フィラーの平均粒径を0.3μm以下とすることで、可視光領域の光で十分にアライメントできるという効果がある。
樹脂組成物(ワニス状の樹脂組成物を使用する場合には乾燥させた状態)を金属顕微鏡(透過光、測定倍率:1000倍、測定面積:0.051156mm2)にて観察する。観察されたフィラーの投影映像を、画像処理ソフトを用いて処理し、粒子数および粒子径を測定し、平均粒子径(数平均粒子径)を算出する。
ここで、凝集している粒子がある場合(二次粒子)には、凝集した状態を一つの粒子とし、粒子径を計測する。
このようなシリカを使用することで樹脂成分とシリカ界面の密着力が増し、樹脂組成物の強度が高くなるという効果がある。
また、樹脂組成物を作製する際、シリカを含むワニスと、樹脂成分等とを混合するが、この際ワニスは、シリカの分散性を向上させるための界面活性剤を含むことが好ましい。このようなワニスを使用することで、樹脂組成物中でのシリカの凝集を防止することができる。
なかでも、10wt%以上であることがより好ましく、また、35wt%以下であることがより好ましい。
CV値は以下の式で示される。
粒径のCV値=(σ1/Dn1)×100%
(σ1は粒径の標準偏差を表し、Dn1は平均粒径を表す)
なお、標準偏差は、レーザー回折式粒度分布測定装置SALD−7000を用いて、水中にフィラーを1分間超音波処理することにより分散させ、粒子径の測定を行うことにより算出される。なお、D50値を平均粒径とする。後述する実施例、比較例においては、この方法にて、CV値を算出している。
なお、接着フィルム14は、マークに照射する光に対し、ベース基板12のマークが検出できる程度の光透過率を有していればよい。
この位置あわせ工程では、ベース基板12に形成されたマーク(ここでは、アライメントマーク)を露光装置により検出し、マークを基準として露光装置のマスクの位置を位置決めする。
具体的には、ベース基板12のマークに対し、光を照射するとともに、マークをCCDカメラ等の撮像素子で撮像する。撮像素子により撮像された画像に基づいて、マークの位置を検出し、ベース基板12のマスクに対する位置を調整する。
このとき、ベース基板12のマークに照射する光の波長は、接着フィルム14中のフィラーの平均粒径の1.5倍以上とする。さらには、2倍以上であることがより好ましく、さらには、2.5倍以下であることが好ましい。
たとえば、ベース基板12のマークに照射する光の波長は300nm以上、900nm以下であることが好ましい。なかでも、400nm以上であることがより好ましく、さらには、800nm以下であることが好ましい。
このとき、ベース基板12に形成されたマークを基準に透明基板13を設置することができる。
このような工程により、図2に示す受光装置1を得ることができる。すなわち、受光装置1は、受光部11が設けられたベース基板12と、ベース基板12に対し対向配置された透明基板13とを備える受光装置であって、透明基板13と、ベース基板12との間には、ベース基板12および前記透明基板13間の隙間を保持するとともに、受光部11を囲む枠材(スペーサ)が配置される。この枠材は接着フィルム14である。
露光装置のマスクと、樹脂組成物(接着フィルム14)が設けられたベース基板12との位置あわせを行う工程では、マークを、接着フィルム14中のフィラーの平均粒径の1.5倍以上の波長の光を用いて検出している。このような波長の光を用いることで、マークを確実に検出することができる。
これにより、露光装置のマスクと、ベース基板12との位置あわせを容易に行うことができ、受光装置1の製造効率を向上させることができる。
なかでも、マークを、接着フィルム14中のフィラーの平均粒径の2倍以上の波長の光を用いて検出することで、より確実にマークを確実に検出することができる。
接着フィルム中のフィラーは、主として、一次粒子として存在するが、二次粒子として存在しているものがある場合がある。そのため、検出に使用する光の波長を、フィラーの平均粒径の1.5倍以上としておけば、マークの検出を確実に行うことが可能となる。
また、本実施形態のように、ベース基板12上に複数の受光部11が設けられ、受光部11ごとに、ベース基板12と、透明基板13との接合体をダイシングする場合には、露光装置のマスクと、接着フィルム14が設けられた透明基板13との位置あわせを正確に行うことが非常に重要となる。
露光装置のマスクと、透明基板13との位置あわせを正確に行うことで、枠状の接着フィルム14が所望の位置に設けられた受光装置を、ダイシングにより、同時に多数、得ることができるからである。
また、フィラーの添加量を1wt%以上、特に10wt%以上とすることで、樹脂組成物の耐熱性、耐湿性を向上させることができる。さらには、樹脂組成物の強度を確保することができる。
シリカは、他のフィラーに比べ、イオン性の不純物の含有量が少ないため、受光装置の腐食等を防止でき、受光装置の信頼性を高めることができる。
さらには、シリカは、シラノール基を有するため、樹脂成分との密着性が良く、枠材の機械特性を向上させることができる。これにより、枠材の耐熱性も向上させることができる。
また、本実施形態では、樹脂組成物は、光硬化性樹脂と、光重合開始剤と、熱硬化性樹脂と、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂とを含むものとしている。
このような樹脂組成物を使用することで、樹脂組成物により、透明基板13、ベース基板12とを接着することができる。そのため、透明基板13と、ベース基板12との間の距離を確保するスペーサ自身で、透明基板13と、ベース基板12を接着することが可能となるので、スペーサとは別に接着層を設ける必要がなく、製造コストの低減を図ることができる。
また、スペーサとは別に接着層を設ける場合には、ベース基板12に形成されたマークが検出しにくくなる可能性もある。これに対し、本実施形態では、スペーサに接着剤としての機能が付与されているため、ベース基板12に形成されたマークが検出しにくくなってしまうことを防止できる。
例えば、前記実施形態では、樹脂組成物に含まれるフィラーをシリカとしたが、これに限らず、他のフィラー(たとえば、ゼオライト等)であってもよい。また、フィラーは、1種類の材料でなく、複数種類の異なる材料を含有していてもよい。
さらに、前記実施形態では、露光装置のマスクとの位置あわせにベース基板12に形成されたアライメント専用のマークを使用したが、これに限らず、ベース基板12に形成されたダイシングラインをアライメント用のマークとして使用しても良い。
(実施例1)
<メタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001の合成>
ノボラック型ビスフェノールA樹脂(フェノライトLF−4871、大日本インキ化学(株)製)の固形分60%MEK(メチルエチルケトン)溶液500gを、2Lフラスコ中に投入し、これに触媒としてトリブチルアミン1.5g、および重合禁止剤としてハイドロキノン0.15gを添加し、100℃に加温した。その中へ、グリシジルメタクリレート180.9gを30分間で滴下し、100℃で5時間攪拌反応させることにより、固形分74%のメタクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001(メタクリロイル変性率50%)を得た。
光硬化性樹脂として、トリエチレングリコールジメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名:NKエステル3G)9.8質量%と、熱硬化性樹脂として、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、商品名:N865)19.8質量%と、シリコーン変性エポキシ樹脂(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製、商品名:BY16−115)3.6質量%と、光および熱の両方で硬化可能な樹脂として、メタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001を31.8質量%とを、MEK(メチルエチルケトン、大伸化学(株)製)に溶解し、固形分濃度71%になるように樹脂組成物ワニスを得た。
次に、フィラーとしてシリカ(日本触媒(株)製、KE−P30、平均粒子径:0.28μm、最大粒径:0.9μm)33.7質量%を分散させた。
そして、さらに、光重合開始剤として、2,2ジメトキシ−1,2ジフェニルエタンー1−オン(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、イルガキュア651)1.3質量%を添加し、攪拌羽根(450rpm)にて、1時間攪拌することで樹脂組成物ワニスを得た。なお、上記樹脂組成物ワニス中のメタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001の含有量は、固形分の値である。
その後、樹脂組成物ワニスを透明PET(膜厚25μm)上に塗布し、80℃で15分間乾燥させることにより、50μm厚の接着層を形成し、接着フィルムを得た。
<受光装置の製造方法>
受光部搭載8インチ半導体ウエハ(ベース基板)(厚み:300μm)に、上記接着フィルムをロールラミネーター(ロール温度:60℃、速度:0.3m/分、シリンジ圧:2.0kgf/cm2)の条件でラミネートし、接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハを得た。次に、露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハの位置合わせを表1に示す波長の光で行った。次に、波長365nmの光を700mJ/cm2照射し、透明PETフィルムを引き剥がした。さらに、2.38%TMAHを用いて、現像液圧:0.3MPa、時間:90秒現像を行い、5mm角、幅0.6mmの形状の接着層からなる枠材を形成した。
次に、サブストレート・ボンダ(ズース・マイクロテック(株)製、SB8e)に上記枠部を有する受光部搭載8インチ半導体ウエハおよび8インチ透明基板をセットし、受光部搭載8インチ半導体ウエハと8インチ透明基板の圧着を行い、さらに、150℃、90分の条件でポストキュアを行った。得られた受光部搭載8インチ半導体ウエハと8インチ透明基板の接着物を、ダイシングソーを用い、所定の大きさにダイシングし、受光装置を得た。
実施例1の樹脂組成物ワニス作製工程において、以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
シリカとして、トクヤマ(株)製、NSS−3N、平均粒子径:0.125μm、最大粒径:0.35μmを用いた。
露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハを位置合わせを行う工程において、光の波長を400nmとした以外は、実施例2と同様に行った。
露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハを位置合わせを行う工程において、光の波長を800nmとした以外は、実施例2と同様に行った。
実施例1の樹脂組成物ワニス作製工程において、以下のものを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
シリカとして、日本触媒(株)製、KE−S30、平均粒子径:0.24μm、最大粒径:0.9μmを用いた。
実施例2の樹脂組成物ワニス作製工程において、以下のものを用いた以外は、実施例2と同様に行った。
光および熱の両方で硬化可能な樹脂として、カルボキシル基およびメタクリロイル基含有アクリル重合体(ダイセル化学工業(株)製、商品名:サイクロマーP ACA200M)を用いた。
樹脂組成物ワニスの配合量を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
光硬化性樹脂として、トリエチレングリコールジメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名:NKエステル3G)14.5質量%と、熱硬化性樹脂として、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、商品名:N865)29.3質量%と、シリコーン変性エポキシ樹脂(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製、商品名:BY16−115)5.4質量%と、光および熱の両方で硬化可能な樹脂として、メタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001を46.9質量%とを、MEK(メチルエチルケトン、大伸化学(株)製)に溶解し、固形分濃度71%になるように樹脂組成物ワニスを得た。
次に、フィラーとしてシリカ(トクヤマ(株)製、NSS−3N、平均粒子径:0.125μm、最大粒径:0.35μm)2.0質量%を分散させた。
そして、さらに、光重合開始剤として、2,2ジメトキシ−1,2ジフェニルエタンー1−オン(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、イルガキュア651)1.9質量%を添加し、攪拌羽根(450rpm)にて、1時間攪拌することで樹脂組成物ワニスを得た。なお、上記樹脂組成物ワニス中のメタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001の含有量は、固形分の値である。
樹脂組成物ワニスの配合量を以下のようにした以外は、実施例1と同様に行った。
光硬化性樹脂として、トリエチレングリコールジメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名:NKエステル3G)7.7質量%と、熱硬化性樹脂として、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、商品名:N865)15.6質量%と、シリコーン変性エポキシ樹脂(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製、商品名:BY16−115)2.9質量%と、光および熱の両方で硬化可能な樹脂として、メタアクリロイル変性ノボラック型ビスフェノールA樹脂MPN001を24.8質量%とを、MEK(メチルエチルケトン、大伸化学(株)製)に溶解し、固形分濃度71%になるように樹脂組成物ワニスを得た。
次に、フィラーとしてシリカ(トクヤマ(株)製、NSS−3N、平均粒子径:0.125μm、最大粒径:0.35μm)48.0質量%を分散させた。
そして、さらに、光重合開始剤として、2,2ジメトキシ−1,2ジフェニルエタンー1−オン(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、イルガキュア651)1.0質量%を添加し、攪拌羽根(450rpm)にて、1時間攪拌することで樹脂組成物ワニスを得た。
樹脂組成物ワニスのフィラーとして、シリカ(アドマテックス(株)製、SO−E2、平均粒子径:0.5μm、最大粒径:2.0μm)33.7質量%を分散させた。
また、露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハの位置合わせを表1に示す波長(800nm)の光で行った。他の点は実施例1と同じである。
露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハの位置合わせを表1に示す波長(400nm)の光で行った。他の点は実施例5と同じである。
樹脂組成物ワニスのフィラーとして、シリカ(アドマテックス(株)製、SO−E2、平均粒子径:0.5μm、最大粒径:2.0μm)33.7質量%を分散させた。
また、露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハの位置合わせを表1に示す波長(600nm)の光で行った。他の点は実施例1と同じである。
露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハの位置合わせを表1に示す波長(400nm)の光で行った。他の点は実施例1と同じである。
<アライメント性>
露光装置のマスクと接着層付き受光部搭載8インチ半導体ウエハとの位置あわせを行う工程において、アライメント性を評価した。評価は以下の通りである。
◎:マークの形状が境界部分まで、鮮明に見えた。
○:マークの形状はわかるものの、境界部分が多少不鮮明に見えた。
×:マークがまったく見えなかった。
上記受光装置の現像工程後に得られた格子パターン部分(枠材となる部分であり、ダイシング前のパターン)を電子顕微鏡(×5000倍)で観察し、残渣の有無を評価した。評価は以下の通りである。
○:残渣無し
×:残渣有り
受光部搭載8インチ半導体ウエハと8インチ透明基板を熱圧着した際の枠材のフロー(つぶれ度合い)を目視で評価した。評価は、以下の通りである。
◎:熱圧着前後の枠材の寸法に変化が無かった。
○:熱圧着後の枠材が多少フローし、その寸法が多少変化しているものの、形
状に大きな変化は無かった。
×:熱圧着後の枠材が非常に大きくフローし、寸法、形状とも大きく変化して
いた。
Claims (12)
- マークが形成された基板あるいはマークが形成された電子部品上に、
前記基板のマークあるいは前記電子部品のマークを覆うように、フィラーと光硬化性樹脂とを含有する樹脂組成物を設ける工程と、
露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた前記基板あるいは前記電子部品との位置あわせを行う工程と、
前記樹脂組成物に対し、前記マスクを介して光を選択的に照射し、現像して所定の領域に前記樹脂組成物を残す工程と、
前記基板および前記電子部品を対向配置させて、前記樹脂組成物を介して接着する工程とを含む電子装置の製造方法において、
露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた基板あるいは電子部品との位置あわせを行う前記工程では、
前記樹脂組成物が設けられた前記基板のマークあるいは前記電子部品のマークを、前記樹脂組成物中の前記フィラーの平均粒径の1.5倍以上の波長の光を用いて検出し、前記露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた前記基板あるいは前記電子部品との位置合わせを行う電子装置の製造方法。 - 請求項1に記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物は、フィルム状に形成されており、当該樹脂組成物中の前記フィラーの添加量が1wt%以上、50wt%以下である電子装置の製造方法。 - 請求項1または2に記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物中の前記フィラーの粒径のCV値が50%以下である電子装置の製造方法。
粒径のCV値=(σ1/Dn1)×100%
(σ1は粒径の標準偏差を表し、Dn1は平均粒径を表す) - 請求項1乃至3のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物中の前記フィラーはシリカである電子装置の製造方法。 - 請求項4に記載の電子装置の製造方法において、
前記フィラーの平均粒径は0.1μm以上である電子装置の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
露光装置のマスクと、前記樹脂組成物が設けられた基板あるいは電子部品との位置あわせを行う前記工程では、
前記マークを検出する光の波長を300nm以上、900nm以下とする電子装置の製造方法。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物は接着層であり、前記基板および前記電子部品に直接接触して、前記基板および前記電子部品間に所定の隙間を確保するとともに前記基板および前記電子部品を接着する電子装置の製造方法。 - 請求項1に記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物は接着層であり、
前記基板および前記電子部品に直接接触して、前記基板および前記電子部品間に所定の隙間を確保するとともに前記基板および前記電子部品を接着し、
前記フィラーは平均粒径0.1μm以上のシリカであり
前記樹脂組成物中の前記フィラーの粒径のCV値が50%以下である電子装置の製造方法。
粒径のCV値=(σ1/Dn1)×100%
(σ1は粒径の標準偏差を表し、Dn1は平均粒径を表す) - 請求項1乃至8のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
前記樹脂組成物は、前記光硬化性樹脂と、光重合開始剤と、熱硬化性樹脂と、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂とを含むものである電子装置の製造方法。 - 請求項9に記載の電子装置の製造方法において、
前記熱硬化性樹脂は、シリコーン変性エポキシ樹脂であり、前記光および熱の両方で硬化可能な前記硬化性樹脂は、(メタ)アクリル変性フェノール樹脂または(メタ)アクリロイル基含有(メタ)アクリル酸重合体を含むものである電子装置の製造方法。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
前記基板は、透明基板であり、
前記電子部品は、受光部と、この受光部が設けられたベース基板とを備え、
当該電子装置は受光装置である電子装置の製造方法。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の電子装置の製造方法において、
前記電子部品は、複数の受光部と、この複数の受光部が設けられたベース基板とを有し、
前記電子部品と、前記透明基板とを対向配置させて、前記樹脂組成物を介して接着する工程の後段で、
各受光部ごとに、前記電子部品と、前記透明基板との接合体をダイシングする工程を実施する電子装置の製造方法。
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