JPWO2008081872A1 - 再生装置及び再生方法 - Google Patents

Abstract

洗浄等の処理において、洗浄液を使用すると同時に、一旦使用した洗浄液を再生して再生洗浄液として、再度使用することができるようにする。洗浄液を使用する処理装置の使用済み洗浄液を回収する回収手段と、回収した使用済み洗浄液を再生して再生洗浄液にする再生手段と、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段を制御する制御手段と、を備える液体再生装置を提供する。前記処理装置と前記再生手段が同時に稼働可能できるように、これらの間で使用済み洗浄液及び前記再生洗浄液を供給する連結手段を備えてよい。

Description

本出願は、2006年12月27日に行われたPCT出願番号PCT/JP2006/326079に基づき、その優先権を主張するが、その先の出願の全内容はここに参照され本出願に組み込まれる。
本発明は液晶や半導体などにおいて使用する洗浄液及びその他の液体の液体再生装置及び再生方法に関する。

従来、洗浄液等は、一旦使用された後そのまま廃棄されるか、廃棄タンクに貯められ別途再生処理され同じ洗浄液等として、或いは別の用途に使用されてきた。例えば、スリットノズルで塗布を行う方法では、塗布工程においては基板の塗布不要部分や装置の洗浄などで、今でも大量の洗浄液が使用されているが、この使用済み洗浄液は所定のタンクに貯めておき、別途処理が施されていた。この処理の結果、再生洗浄液として次のような場合に使用することが可能であった。

即ち、常に表面を清浄にしておく必要があるプライミングローラーは、多量の洗浄液により洗浄されていたが、未使用の洗浄液だけで洗浄すると、多量の洗浄液の使用と多量の使用済み洗浄液の廃棄が必要となっていたので、省資源に反するものであった。そこで、例えば、特許文献１ではプライミングローラーの洗浄に一旦使用した洗浄液（上述の別途再生処理した洗浄液）を予備洗いに使用し、仕上げにきれいな洗浄液（未使用の洗浄液）を使用するなどで、できるだけ使用する洗浄液の削減が図られていた。

しかしながら、予備洗い及び仕上げ洗いにそれぞれ異なる洗浄液を用いたとしても、いずれの洗浄液も廃棄されるのであれば、結局多量の洗浄液が必要となる。従来は使用済み洗浄液を廃棄していたが、環境に配慮したり、洗浄液のコスト削減を目的として自社で大型の再生装置を備えたり（特許文献２）、最近ではリサイクル業者に委託して再生利用することも行われている。仮に、使用済みの洗浄液を溜めておいて、別途の精製装置等により再利用する場合であっても、溜めておく分、やはり多量の洗浄液が必要となるのである。 また、数リットルの使用済み洗浄液を入れてセットしておけば、数時間後に再生洗浄液が得られる単体の洗浄液リサイクルユニットも市販されている。しかしながら、これは少量の洗浄液をバッチ的に処理することができる程度のもので、塗装現場等で使用できるかもしれないが、連続的に大量に洗浄液を使用する工場等の使用には不向きである。
特開２００５−３２９３４０号公報 特開平９−４９０９３号公報

自社内に大型の洗浄液再生装置を備えている場合、又はリサイクル業者が再生を行う場合、あらゆる工程から出る洗浄液を回収し、再生を行う。そのため、洗浄液のほかに数種類の処理液が混入しているため、特許文献２のように、低沸点汚れ成分及び高沸点汚れ成分を分離できるように蒸発部及び精留部を備える複雑な構成を用いる必要がある。自社に大型の洗浄液再生装置を備えていない工場においては使用した洗浄液をストックし、定期的にリサイクル業者に引き取ってもらわなければならないが、ストックのためのスペースを確保し、再生までにある程度の時間を要するため、相当量の洗浄液を用意しなければならない。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、処理装置から排出される使用済み洗浄液を即時に自動で再生処理を行い、再生した洗浄液を再び自動で処理装置へ供給することができる装置や方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、使用済み液体（洗浄液を含む）を回収する回収手段と、該使用済み液体を再生して再生液体とする再生手段と、前記再生液体を前記処理装置に供給する供給手段と、を含む液体再生装置を提供する。具体的な適用例として、洗浄機能を備える処理装置において、洗浄に使用した結果、他の種類の化合物を含む使用済み洗浄液（以下「使用洗浄液」という）を回収する回収手段と、使用洗浄液を再生して再生された洗浄液（以下「再生洗浄液」という）を生成する再生手段と、該再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段とを含む液体再生装置を提供できる。通常、１つの処理装置から排出される洗浄液はあまり多くの異なる成分を含んでいない。そのため、複雑な機能は必要なく、各処理装置に専用の液体再生機として接続して使用することができる。

この液体再生装置は、前記使用洗浄液を回収する回収手段と、前記回収手段が回収した使用洗浄液を蒸留分離して再生洗浄液を生成する再生手段と、該再生洗浄液を洗浄等のために再度処理装置へと供給する供給手段と、を備える。

また、使用洗浄液を回収する工程と、使用洗浄液を再生して再生洗浄液を生成する工程と、該再生洗浄液を再び処理装置へ供給する工程と、を含む再生方法を実施の一態様とすることもできる。

より具体的には、以下のようなものを提供することができる。
（1）処理装置から被処理部材を洗浄した使用済み洗浄液（以下「使用洗浄液」という）を回収し、再生し、再生洗浄液を再び処理装置へ供給する液体再生装置であって、前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに再生洗浄液の供給を行う第１及び第２のユニットを含み、それぞれのユニットは、前記処理装置に接続して設けられ、前記使用洗浄液を回収する回収手段と、前記回収手段に接続して設けられ、その回収手段により回収された前記使用洗浄液を受入れ再生する再生手段と、前記再生手段に接続して設けられ、その再生手段により再生された洗浄液（以下「再生洗浄液」という）を貯留する貯留手段と、前記貯留手段及び前記処理装置に接続して設けられ、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、を含み、前記第１のユニットが前記使用洗浄液を回収している際に、前記第２のユニットが予め回収された使用洗浄液を再生することができる液体再生装置を提供することができる。

ここで、洗浄液は、再生手段により再生洗浄液として使用洗浄液から分離して再利用（リサイクル）できるものであればよい。例えば、いわゆる溶剤や、固体を分散する分散媒等を含んでよい。また、洗浄の結果混入する汚れ物質（または成分）等を含んでもよい。洗浄液を使用する処理装置は、洗浄手段を含んでよく、該洗浄手段は洗浄液をプライミングローラーに噴射することができる噴射装置を含んでよい。該噴射装置は噴射のためのノズルを含んでよい。また、前記回収手段及び前記再生手段は、以下の説明で用いる回収部及び再生部を含んでよい。また、この回収部は配管やバルブを含んでよく、前記再生部は容器（例えば、タンク等）を含んでよく、配管等をも含んでよい。また、圧縮或いは減圧手段としてポンプを含んでよい。前記供給手段は、供給部を含んでよく、該供給部は、再生洗浄液を貯留可能なタンクを含んでよい。更に、該再生洗浄液を圧送するためのポンプや配管を含んでよい。また、前記制御手段は、制御装置を含んでよく、該制御装置は、例えば、マイコン、パソコン、シーケンサ等あらゆる既存のプロセッサを含んでよい。容量調整は、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段のそれぞれにおいて、処理対象となる洗浄液（使用洗浄液及び再生洗浄液を含んでよい）を貯留可能な容量、該洗浄液の処理速度（単位時間あたりの処理容量）、供給可能な供給速度（単位時間あたりの供給量）をそれぞれ考慮し、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段が一体となって最も好ましい洗浄液の処理を行うように、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段の処理効率や稼働率等を調整することを意味することができる。

前記第２のユニットは、前記第１のユニットとその構成が同一であってもよく、基本構成を共通にしつつ、洗浄液の貯留容量や処理速度等が異なるものであってもよい。前記第１の又は第２のユニットのいずれかだけであっても、処理装置から被処理部材を洗浄した使用洗浄液を回収し、再生し、再生洗浄液を再び処理装置へ供給することができてもよい。また、前記第１の及び第２のユニットは、それぞれ独立に機能することができてもよい。

また、前記再生手段は、使用洗浄液のいわゆる蒸留工程を行うことができる蒸留手段を含んでよい。該蒸留手段は、回収する使用済み液体の特性に応じ、最高温度を含む温度調整が可能である。また、該蒸留手段は、ヒーター及び温度調節装置を含んでよい。

前記貯留手段は貯留部を含んでよく、該貯留部はタンクのような容器を含んでよい。また、前記供給手段は供給部を含んでよく、供給部は、例えば、ブロアーやボンベ等からＡＩＲ（空気）やＮ_２ガスのような気体を圧送して供給してよい。

（２）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記回収手段、前記再生手段、前記貯留手段、及び前記供給手段を制御する制御手段を更に備えることを特徴とする上記（１）に記載の液体再生装置を提供することができる。

前記制御手段は制御部を含んでよく、該制御部は制御装置を含んでよいことは、上述の通りである。該制御装置は、後述する排気部、検出部、廃棄部、及び冷却水供給部を制御可能であってよい。制御部は、処理装置及び前記液体再生装置を電磁的方法、油圧的方法、その他の人の知覚によって認識することができない方法により接続する手段を含んでよい。制御部は、前記第１の及び第２のユニットをそれぞれ独立に制御することが可能である。この制御部は、後述する検出部の信号により回収→再生→供給の各工程を自動的に行わせるように制御することができる。従って、回収から再生、再生から供給への切り替えを自動で行うことができる。

（３）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生手段は、回収した前記使用洗浄液を貯留する再生タンクと、該再生タンクに設けられ前記使用洗浄液を加熱可能なヒーターと、を備えることを特徴とする上記（２）に記載の液体再生装置を提供することができる。

前記再生タンクは、前記ヒーターをその中に備え、貯留される使用洗浄液を直接的に若しくは間接的に加熱してよい。前記ヒーターは、前記制御手段によりスイッチのＯＮ／ＯＦＦ及び出力調整が可能であってよく、また、異常信号において自動停止する機能を備えていてもよい。

（４）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生タンクの上部に接続され排気・減圧するための排気手段を更に備えることを特徴とする上記（３）に記載の液体再生装置を提供することができる。

排気手段は、排気部を含んでよい。排気部は、真空ポンプ等のような減圧手段を含んでよい。減圧のためには、前記再生タンクは、密閉構造を有することが好ましい。

（５）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生手段及び／又は前記供給手段が、貯留液量を検出することができる検出手段を備えることを特徴とする上記（２）から（４）のいずれかに記載の液体再生装置を提供することができる。

検出手段は検出部を含んでよい。該検出部は、液体再生装置及び処理装置の状態を検出するセンサー（例えば、温度センサー、液面レベルセンサー）を含んでよい。検出部は、制御部が制御に必要な情報を提供することができる。

（６）前記制御手段は、前記第１の及び前記第２のユニットの前記検出手段によって検出された前記使用洗浄液及び／又は前記再生洗浄液の量に基づいて、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段を制御することを特徴とする上記（５）に記載の液体再生装置を提供することができる。

前記検出手段は、洗浄液の量及びその量の経時変化及び経時変化率を検出することができてよい。これにより、更に貯留可能な洗浄液の量を把握可能であり、また、貯留量の増減を予測することが可能となる。

（７）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生タンク底部に接続され前記使用洗浄液の再生後残渣を抜き出して廃棄する廃棄手段を更に備えることを特徴とする上記（３）又は（４）に記載の液体再生装置を提供することができる。

前記使用洗浄液を再生する際は、使用洗浄液から所定量の再生洗浄液が分離された場合に、再生タンク内に残る再生残渣を抜き出す。通常洗浄液に混入する成分は、より蒸気圧が低く残渣の中に多く含まれやすい。また、蒸留／分離工程において、高分子化する成分についてもこの残渣に多く含まれる。従って、これらの残渣を廃棄すべく、廃棄手段を前記タンクの底部に備えることは有効である。

（８）前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前再生手段は、前記使用洗浄液の蒸留分を冷却して液化し、前記再生洗浄液とする冷却手段を備えることを特徴とする上記（１）に記載の液体再生装置を提供することができる。

（９）前記第１の及び前記第２のユニットの前記冷却手段に冷却水を供給する冷却水供給手段を更に備えることを特徴とする上記（７）に記載の液体再生装置を提供することができる。

ここで、前記冷却手段は冷却部を含んでよい。該冷却部は、いわゆるコンデンサと呼ばれる凝縮器を含んでよい。該凝縮器は外部から導入される冷却媒体との熱交換により蒸気を凝縮して液化することができる。一般には冷却水を冷却媒体として用いる水冷方式と、空冷方式がある。

これまで述べてきた第1及び第２のユニットと同様に回収手段、再生手段、貯留手段、及び供給手段を含む第３のユニットを少なくとも備え、前記制御手段は、少なくとも第１の、第２の、及び第３のユニットのそれぞれの前記回収手段、前記再生手段、前記貯留手段、及び前記供給手段を制御し、リードタイムを最小化し、前記再生洗浄液の供給を最大化することを特徴とする上記（２）から（７）のいずれか１つに記載の液体再生装置を提供することができる。

前記第３のユニットは、前記第１のユニットとその構成が同一であってもよく、基本構成を共通にしつつ、洗浄液の貯留容量や処理速度等が異なるものであってもよい。前記第１の、第２の、又は第３のユニットのいずれかだけであっても、処理装置から被処理部材を洗浄した使用洗浄液を回収し、再生し、再生洗浄液を再び処理装置へ供給することができてもよい。また、前記第１の、第２の、そして第３のユニットは、それぞれ独立に機能することができてもよい。前記制御手段はこれらのユニットの各回収手段、再生手段、貯留手段、及び供給手段を制御し、それぞれのユニットにおける回収工程、再生工程、貯留工程、及び供給工程を互い違いに実施させることができる。各ユニットにおいて、前記回収工程、前記再生工程、前記貯留工程、及び前記供給工程をその順で実施させると共に、３つのユニットが、それぞれに各工程をずらしながら、使用洗浄液や再生洗浄液を効率的に処理することができる。このとき、各ユニット間で同一の工程が全く同時に実施されない方が好ましいと考えられる。少なくとも２つのユニットで処理させる使用洗浄液を同時に必要とし、また、結果として得られる再生洗浄液を同時に生成するため、処理液収支において、平滑化が十分行われないおそれがあるからである。詳細は、後述する。

また、ここでいうリードタイムとは、例えば、再生工程において、ヒーターのスイッチを入れたとしても、直ぐには使用洗浄液が所定の処理温度になることはないため、それまでの時間をいうことができる。即ち、所定の温度までの昇温の時間は、使用洗浄液の回収もできず、また、十分な蒸気もあがらないため、実質的に再生も行うことができない。このような時間は、単なるアイドリング時間となるため、サイクル効率を向上させるために、最小化することが好ましい。また、再生洗浄液の供給を最大化するとは、液体再生装置に莫大な貯留手段を備えることなく、使用洗浄液が流入してから同洗浄液が再生され再生洗浄液として供給されるまでの時間が短い方が好ましい。このように処理用の使用洗浄液が導入されてから、再生洗浄液として処理装置まで供給されるまでの時間もまた、リードタイムと称することができる。

（１０）洗浄液を使用する処理装置の使用洗浄液を回収する回収手段と、回収された前記使用洗浄液を再生して再生洗浄液を貯留する再生手段と、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、前記回収手段、再生手段、及び前記供給手段を制御する制御手段とを備える液体再生装置を用いる洗浄液再生方法において、前記回収手段により使用洗浄液を前記再生手段に供給する工程と、前記再生手段により前記使用洗浄液を再生洗浄液に再生する工程と、前記供給手段により前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する工程と、を含み、各工程の洗浄液の処理状況を把握して、これらの工程を同時に行うことができるように制御することを特徴とする洗浄液再生方法を提供できる。

ここで、回収工程、再生工程、貯留工程、及び供給工程を同時に行うとは、各ユニットがいずれかの工程を同時に行うというよりは、これらの工程を互い違いに行うことを意味してよい。同一工程は、同じ使用洗浄液等を処理し、同じ再生洗浄液を生成するため、これらのユニットでの材料の取り合いと、生成物の押し付け合いのようなことが起こりえるからである。従って、例えば、適宜制御されて、第１のユニットが回収工程を行っているときに、第２のユニットが再生工程（並行して貯留工程）を行い、第３のユニットが供給工程を行っている場合は、次のタクトでは、第１のユニットが再生工程を行い、第２のユニットが供給工程を行い、第３のユニットが回収工程を行うならば、処理装置からの使用洗浄液は、実質的に連続的に処理され得る。このように各ユニットの各工程の処理状況を把握して、それぞれの工程を効率よく機能させることを特徴とする。具体的には、それぞれの工程の処理速度を勘案し、一時貯留能力を考慮した上で、洗浄液の体積バランスを調整する。例えば、タンク等の貯留装置において貯留速度をモニタ（各時間の貯留量を測定し、時間あたりの貯留速度を演算する等）を行うことができる。

（１１）処理装置から被処理部材を洗浄した使用洗浄液を回収し、再生し、再生洗浄液を再び処理装置へ供給する洗浄液再生方法であって、前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに前記再生洗浄液の供給を行う複数の洗浄液再生処理フローを組合わせることにより、連続的に前記使用洗浄液を回収し、再生し、前記再生洗浄液を再び処理装置へ供給することを特徴とする洗浄液再生方法を提供できる。

上述のような複数のユニットにおける各工程を互い違いに組合せるのと同様に、複数のフローを適宜組合わせることにより、全体として高効率の処理を行うことができる。

（１２）前記複数の洗浄液再生処理フローは、前記使用洗浄液の回収工程、再生工程、及び前記再生洗浄液の供給工程からなる第１のフローと、前記第１のフローに同期して、前記使用洗浄液の再生工程、前記再生洗浄液の供給工程、及び前記使用洗浄液の回収工程からなる第２のフローと、前記第１のフローに同期して、前記再生洗浄液の供給工程、前記使用洗浄液の回収工程及び再生工程からなる第３のフローと、を少なくとも含むことを特徴とする上記（１１）に記載の洗浄液再生方法を提供できる。

上述のようなフローの組合せでは、第１のフローで回収している間に、第２のフローでは使用洗浄液を再生し、第３のフローでは再生洗浄液を処理装置に供給する。即ち、この処理装置は、使用洗浄液を排出すると同時に、それに見合う程度の再生洗浄液の供給をうけることができる。従って、該洗浄液再生方法では、前記処理装置内に未使用の洗浄液若しくは再生洗浄液のストックをそれほど多く持つ必要がない。

（１３）前記第１の、第２の、及び第３のフローの各工程は、その対象工程の前後の工程が他のフローにおける前記対象工程に対応する対応工程の前後の工程にオーバーラップ可能に制御することを特徴とする上記（１２）に記載の洗浄液再生方法を提供できる。

上述するように、例えば、ヒーターによる使用洗浄液の加熱に時間がかかる場合、回収工程を終了する前に、再生工程に切り替え、ヒーターによる加熱を同時に行うことができる。一般に、各工程のオーバーラップは、その前後の工程の実施を困難にしたり、効率を低下させる可能性があり、避けることが好ましい。しかしながら、このヒーターの加熱の早期開始は、使用洗浄液の温度が十分に高くなり、多くの蒸気が発生する前であれば、再生工程や回収工程を阻害するとは考え難い。このようにして、各工程の阻害要因を検討したうえで、工程のオーバーラップを行うことが好ましい。

（１４）被処理部材を洗浄液で洗浄する処理装置と、該処理装置からの使用洗浄液を回収して再生する液体再生装置と、を備え、該処理装置及び該液体再生装置の間で前記使用洗浄液及び再生洗浄液を連続的に循環させる液体再生システムであって、前記液体再生装置は、前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに再生洗浄液の供給を行う第１及び第２のユニットを含み、それぞれのユニットは、前記処理装置に接続して設けられ、前記使用洗浄液を回収する回収手段と、前記回収手段に接続して設けられ、前記使用洗浄液を再生する再生手段と、前記再生手段に接続して設けられ、再生洗浄液を貯留する貯留手段と、前記貯留手段及び前記処理装置に接続して設けられ、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、を含み、前記第１のユニットが前記使用洗浄液を回収している際に、前記第２のユニットが予め回収された使用洗浄液を再生することができる液体再生システムを提供できる。

（１５）同様に構成される第３の及び第４のユニットを更に備えることを特徴とする上記（１４）に記載の液体再生システムを提供できる。

（１６）前記処理装置及び前記液体再生装置を制御する制御手段を更に備え、該制御手段が前記処理装置と前記液体再生装置との間で相互に通信を行いつつ、液体再生装置の各ユニットでの前記回収工程、前記再生工程、前記供給工程を制御することを特徴とする上記（１４）又は（１５）に記載の液体再生システムを提供できる。

このような液体再生システムにおいては、洗浄液の再生だけでなく、再生洗浄液の使用についても同時に制御することができるので、装置全体として、未処理及び再生洗浄液のストックを少なくしつつ、かつ、洗浄等の処理の効率を高めることができる。

（１７）洗浄液を使用する処理装置の使用済み洗浄液（以下「使用洗浄液」という）を回収する回収手段と、回収された前記使用洗浄液を再生する再生手段と、前記再生手段により再生された洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、前記回収手段、再生手段、及び前記供給手段を制御する制御手段とを備える液体再生装置を提供できる。

（１８）前記制御手段が前記処理装置からの洗浄液使用予定信号に応じて、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段の間の容量調整を行うことを特徴とする上記（１７）に記載の液体再生装置を提供できる。

本発明によれば、処理装置から排出された使用済み洗浄液を自動的にその場で回収・再生・再利用ができるため、作業者による定期的な入替え作業が不要になる。また、全ての再生に関する工程を自動で行うほか、例えば、プライミング洗浄においては未使用の洗浄液も自動で追加するため、常時監視しておく必要がない。また、リサイクル業者に委託する場合のように大量の洗浄液を用意しておく必要もない。本発明は１つの処理装置に対し、専用機として使用できるため、多種の処理装置から回収してきた洗浄液の再生装置のように複雑な分離機能を必要としない。（通常、１つの処理装置から発生する使用済み洗浄液は２種の混合液である。）そのため、加熱温度や加熱時間、廃棄量などの設定を変えるとあらゆる処理装置に使用できる。工場内に大型の洗浄液リサイクル装置を設置する必要もなく、必要に応じ各処理装置に接続できるため、事業規模の変更やレイアウト変更などにも柔軟に対応できる。プライミング洗浄に使用した場合、プライミング洗浄処理を行いながら、自動的に塗布液が混じった洗浄液を再利用できるように再生する再生装置を提供することが可能となる。これにより、洗浄液の費用を削減し、作業者の手を煩わせることもなく新しい洗浄液の追加や再生後の洗浄液の供給、廃液の処理を行うことができる。プライミングローラーの洗浄液は高価であるため、再利用すれば資源の有効利用や経費の削減という好ましい効果が得られるだけでなく、環境に対しても好ましい。

プライミングローラー洗浄装置の一例を示す構成図である。 液体再生装置の一例を示す構成図である。 液体再生装置のブロック図である。 洗浄液の再生プログラムの例を示すフローチャートである。 タンクモニタのプログラムの例を示すフローチャートである。 再生処理プログラムの例を示すフローチャートである。 再生洗浄液の供給要求モニタのプログラムの例を示すフローチャートである。 液体再生装置の更に別の例を示す構成図である。 別の例である液体再生装置を用いた洗浄液の再生プログラムの例を示すフローチャートである。 図９のユニット役割設定ルーティンを示すフローチャートである。 図９のタンクモニタ・ルーティンを示すフローチャートである。 図９の供給要求モニタ・ルーティンを示すフローチャートである。 図９の再生処理ルーティンを示すフローチャートである。 ２系統の液体処理装置のタイムチャートを示した図である。 ３系統の液体処理装置のタイムチャートを示した図である。 液体再生システムの構成の一例を示す図である。

符号の説明

１０ｃ 制御部
１１、３１、３５ 配管
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ、２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ バルブ
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 再生タンク
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ ヒーター
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ ダクト
２４ 冷却塔（冷却タンク）
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ 洗浄液タンク
２７ 真空ポンプ
３２、３６ フィルタ
４２ 廃液タンク
９０ プライミングローラー洗浄装置
９１ スリットノズル
９２ プライミングローラー
９３ 洗浄槽
９４、９５、９６ ノズル
９７ 洗浄液排出管
９９ 再生洗浄液導入管
２００ 液体再生装置
３００ 液体再生システム
３１１ 回収配管
３１７ 供給配管
３１８ ユニット
３２０ 制御装置

本発明の好適な実施例をレジスト塗布装置を用いて、以下、図面に基づきより詳しく説明するが、これは、本発明を説明するためであって、本発明の内容を以下の実施の形態に限定するものでないことはいうまでもない。また、同一若しくは同種類の要素については、同一若しくは関連性のある符号を用い、重複する説明は省略する。

（実施例１）
まず、本発明に使用されるプライミングローラー洗浄装置について図１を用いて説明する。図１は、プライミングローラー洗浄装置の一例を示す構成図である。図１に示すプライミングローラー洗浄装置９０は、スリットノズル９１、被処理部材であるプライミングローラー９２、洗浄槽９３、ノズル９４、９５、９６、並びに洗浄液排出管９７を備える。スリットノズル９１から基板へ塗布を行う前に、プライミングローラー洗浄装置９０では、スリットノズル９１からプライミングローラー９２に向け、塗布液９８が吐出される。プライミングローラー９２は１回転する間に表面をきれいにして、次のダミーディスペンスに備える必要があるため、プライミングローラー９２の塗布領域より下の部分は洗浄槽９３に覆われている。

［洗浄工程］
洗浄槽９３の中では、プライミングローラー９２の洗浄と乾燥が行われる。まず、ノズル９４から予めリサイクルしておいた洗浄液をプライミングローラー９２表面に向け吹きつける。このとき洗浄液にエアを混入させ強い圧力で洗浄液を吹きつけてもよいし、また、洗浄液のノズル９４を揺動させることも効果的である。更にプライミングローラー９２の回転方向Ｄ１（図中時計回り）において下流側となる位置に配置したノズル９５から未使用洗浄液（使用していない洗浄液）を吹きつける。このときにもジェット式、或いは揺動式が効果的である。最後に洗浄液を乾かす目的でノズル９６から窒素（Ｎ_２）ガスの吹き付けを行う。以上の動作でプライミングローラー９２の洗浄、乾燥が終了する。このときに使用された洗浄液（塗布液と洗浄液の混合液）は洗浄槽９３の下に設けられた洗浄液排出管９７を通じ、液体再生装置（洗浄液再生ユニット）へ送られる。

［液体再生装置の構成］
次に、液体再生装置について説明する。図２は、液体再生装置の構成の一例を示す図である。回収部、再生部、貯留部、及び供給部で１つのユニットが構成される。図２に示す液体再生装置は２つのユニットを有している。第１のユニットについて述べれば、回収部は、必要に応じて備えるポンプＰ１、配管１１、バルブ１２ａからなる。再生部は、再生タンクＡ（１３ａ）、ヒーター２１ａ、ダクト２２ａ、冷却塔２４からなる。貯留部は、バルブ２５ａ、配管２９ａ、洗浄液タンク２６ａからなる。供給部は、洗浄液タンクＡ（２６ａ）、配管３５、３５ａ、３１ａ、バルブ３４ａ、バルブ３３ａ、フィルタ３６からなる。一方、第２のユニットは、回収部は、必要に応じて備えるポンプＰ１、配管１１、バルブ１２ｂからなる。再生部は、再生タンクＢ（１３ｂ）、ヒーター２１ｂ、ダクト２２ｂ、冷却塔２４からなる。貯留部は、バルブ２５ｂ、配管２９ｂ、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）からなる。供給部は、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）、配管３５、３５ｂ、３１ｂ、バルブ３４ｂ、バルブ３３ｂ、フィルタ３６からなる。一方のユニットを回収ユニットとして用いるときは、他方のユニットが再生ユニットとして用いられる。また、図２に示す液体再生装置は、更に排気部、検出部、制御部（不図示）、廃棄部、冷却水供給部を備える。第１のユニットについて述べれば、排気部は、バルブ２８ａ、配管８４、ポンプＰ２からなる。検出部は、レベルセンサー６１ａ、６２ａ、６１ｂ、６２ｂからなる。制御部は、レベルセンサー６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６６ａ、６５ａ、６６ｂ、６５ｂ、バルブ１２ａ及び１２ｂ、ヒーター２１ａ、２１ｂ、バルブ２５ａ、２５ｂに通信自在及び制御自在となるよう電気的に接続されたコントローラー（不図示）を備える。廃棄部は、バルブ４１ａ、配管８６ａ、廃液タンク４２からなる。冷却水供給部は、５１、バルブ５２ａ、５２ｂ、配管５３ａ、５３ｂからなる。

液体再生装置の回収部は、プライミングローラー洗浄装置から排出される塗布液と洗浄液とが混じった混合液（即ち、「使用洗浄液」）を回収する。再生部は、この使用洗浄液から洗浄液成分を分離し、再生洗浄液として再生させる。使用洗浄液から再生洗浄液を分離する工程では、使用洗浄液中の各成分（例えば、洗浄液及び塗布液の成分）の沸点の違いを利用する。つまり、使用洗浄液を加熱して蒸留することによって分離を行う。また、再生部の再生タンクＡ（１３ａ）及び再生タンクＢ（１３ｂ）の上部に排気部の配管２２ａ、２２ｂを接続すると、加熱時にタンク内を減圧することができる。そのため、沸点を下げることができるので、蒸発が促進されて効果的である。貯留部は、洗浄液タンクＡ（２６ａ）及び洗浄液タンクＢ（２６ｂ）において、蒸留・分離された洗浄液成分を、冷却してリサイクルされた再生洗浄液として一時貯留する。供給部は、洗浄液タンクＡ（２６ａ）及び洗浄液タンクＢ（２６ｂ）において貯留された再生洗浄液を、エアブロアー７０等により各タンク内を加圧し、再生洗浄液を配管３５、３５ａ、３５ｂ等を通してプライミングローラー洗浄装置（処理装置）へ供給する。検出部は、再生部及び供給部のそれぞれのタンクにおいて、使用洗浄液若しくは再生洗浄液の量を検出する。制御部は、検出部によって検出された使用洗浄液若しくは再生洗浄液の量に基づいて、回収部、再生部及び供給部を制御する。廃棄部は、使用洗浄液から多くの揮発性成分が蒸発し分離された残存使用洗浄液(一部に洗浄液等の揮発性成分が残存する)を残渣として廃棄する。冷却水供給部は、回収部、再生部、及び廃棄部などの冷却が必要となるところへ冷却水を供給する。プライミングローラー洗浄装置及び液体再生装置の間は、通常の配管等により接続され、その中を使用洗浄液及び再生洗浄液が相互に移動する。

なお、図２は、液体再生装置の一例を示すものであり、回収部、再生部、貯留部、供給部、排気部、検出部、制御部、廃棄部、並びに冷却水供給部の各機能を実現するものであれば構成が異なっていてもよい。

［再生処理］
次に、各構成要素について、塗布液（レジスト液）と洗浄液（シンナー）が混じった使用洗浄液の分離ステップの流れに沿って説明する。再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）は、配管１１及び回収配管（不図示）を介して図１に示した洗浄液排出管９７と接続されている。プライミングローラー洗浄装置の洗浄槽９３から排出される使用洗浄液が洗浄液排出管９７並びに配管１１を通って再生タンクＡ又はＢ（１３ａ、１３ｂ）に溜められる。ここで、使用洗浄液は６０秒間に１回１００ｃｃの割合で再生タンクＡ又はＢ（１３ａ、１３ｂ）に回収され、再生タンクＡ又はＢ（１３ａ、１３ｂ）には所定量の使用洗浄液が溜められていることを前提として説明する。

［回収工程］
プライミングローラー洗浄装置から使用洗浄液を回収部が回収する。具体的には、バルブ１２ａ（またはバルブ１２ｂ）を開放し、再生タンクＡ（１３ａ）（または再生タンクＢ（１３ｂ））に随時使用洗浄液が流れ込むようにする。ここでは、約１分に１回の割合で、比較的短時間に１００ｃｃの使用洗浄液が再生タンクＡ（１３ａ）に貯留され、所定量（例えば、５Ｌ）になるまで継続される（例えば、５０分間継続）。

［再生工程］
具体的には所定量の使用洗浄液が再生タンクＡ（１３ａ）に溜まるとバルブ１２ａが閉じられ、バルブ１２ｂが開けられ、使用洗浄液は再生タンクＢ（１３ｂ）へ回収され流れ込むように切り替えられる。バルブ１２ａが閉じられると再生タンクＡ（１３ａ）ではヒーター２１ａにより加熱が開始される。ヒーター２１ａによって１２０度〜１４０度まで加熱を行い、使用洗浄液が設定温度近傍に達したことが検出されると、それまで閉じられていたバルブ２５ａ及び２８aが開けられ、真空ポンプ２７により洗浄液タンクＡ（２６ａ）の気体領域と冷却塔２４を経由して再生タンクＡ（１３ａ）内の減圧が開始される。真空ポンプ２７の作動により再生タンクＡ（１３ａ）やダクト２２ａ内は、既存の空気等が排出され、使用洗浄液中の揮発性成分の蒸気で満たされる。このように、加熱と減圧を同時に行うことで、使用洗浄液の揮発を促進する。使用洗浄液の中では洗浄液（シンナー）の方の沸点が低いため、使用洗浄液の揮発性成分が先に蒸発し始める。

このとき、塗布液の全ての成分が揮発性であってもよいが、一部に不揮発性若しくは高沸点の成分を含んでいてもよい。この場合、そのような成分は蒸発せず、再生タンクＡ（１３ａ）内にとどまる。一般には、洗浄液の全ての成分は揮発性であり、ここで蒸発し多くの部分が再生タンクＡ（１３ａ）の外に出て行く。しかしながら、洗浄液の一部に不揮発性若しくは高沸点の成分を含んでいてもよい。このような成分は、上述のように再生タンクＡ（１３ａ）内にとどまる。

［残渣の廃棄］
再生タンクＡ（１３ａ）内の使用洗浄液の残量が所定量より少なくなったと、レベルセンサー等により判定された場合（例えば、最初あった使用洗浄液の量の約２０％になったとき）、再生処理を終了する。この再生処理の終了により、バルブ２５ａ及び２８ａは閉じられ、バルブ２３aが開かれ再生タンクＡ（１３ａ）内の残圧開放を行う。また、再生タンクＡ（１３ａ）の底部に接続されたバルブ４１ａを開け、再生タンクＡ（１３ａ）内の残渣の使用洗浄液の廃棄を行う。

［再生洗浄液の貯留］
ダクト２２ａ、２２ｂの途中には冷却塔２４があり、冷却水による冷却が行われる。従って、使用洗浄液から蒸発した成分は冷却されて液化し、再生洗浄液として冷却塔２４から配管２９ａ、２９ｂを通って洗浄液タンクＡ（２６ａ）（または洗浄液タンクＢ（２６ｂ））に落下し、貯留される。

［冷却水］
冷却水は、バルブ５１を開け、バルブ５２ａ及び５２ｂの開閉を調整することにより、配管５３ａ、５３ｂを通じて冷却塔２４及び排液タンク４２へ供給される。また、配管５４ａ、５４ｂを通じて使用済みの冷却水を回収する。使用済みの冷却水（冷却水リターン）は再生洗浄液との熱交換で高温となっているので、使用済みの冷却水を冷却するためのチラー（冷却装置）を設け、この冷却した後の冷却水を再び冷却水として供給するようにし、冷却水供給手段をサーキュレーター（液体循環装置）とすることが好ましい。

［供給工程］
そして、バルブ３３ａ及び３４ａが自動的に開けられ、エアブロアー７０からバルブ７２を介して送られるエアによって、配管３１からフィルタ３２を経由し配管３１ａを通り、バルブ３４ａが開けられた供給管３５ａを通じてリサイクルされた洗浄液が、図１のプライミングローラー洗浄装置のノズル９４に圧送される。再生タンクＡ（１３ａ）での使用洗浄液の再生処理中は、洗浄液タンクＡ（２６ａ）からノズル９４に再生洗浄液を供給することができない。

［ドレイン］
以上のような装置には、一番底にドレインパン７４が配置され、不用意に漏れた洗浄液などを受けて、必要に応じて集めた上、レベルセンサー７６に応じてドレインバルブ７８を開けて、系外へと廃棄する。

［まとめ］
以上説明したように、回収・再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）のユニット機能を切り替えて使用することで連続的に使用洗浄液の回収と洗浄液の再生が可能となり、洗浄液タンクＡ及びＢ（２６ａ、２６ｂ）を切り替えて使用することでプライミング洗浄装置への連続的な供給が可能となる。ここでは、説明の都合上、２つの再生タンクの例を示したが、３つの再生タンク、或いはそれ以上の再生タンクがある場合であってもよい。洗浄液タンクは最低２つあれば連続的な供給が可能となるが、同様に３つ以上あってもよい。再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）と洗浄液タンクＡ及びＢ（２６ａ、２６ｂ）にはそれぞれ、液面高さを検出するレベルセンサー６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６６ａ、６６ｂ、６５ａ、６５ｂを設けることが好ましく、液面高さの上限値、下限値を検出することでバルブ１２ａ、２５ａ、２３ａ、４１ａ、２８ａ、３３ａ、３４ａ、１２ｂ、２５ｂ、２３ｂ、４１ｂ、２８ｂ、３３ｂ、３４ｂの開閉が自動的に行われるように制御しておくことによって、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）並びに洗浄液タンクＡ及びＢ（２６ａ、２６ｂ）の切り替え等の作業を自動化することが可能になり、全ての工程を並行して実施できる。

例えば、センサー６２ａが再生タンクＡ（１３ａ）の液面高さが上限値に到達したことを検出すると、バルブ１２ａを閉じ、バルブ１２ｂを開けて再生タンクＢ（１３ｂ）へ使用洗浄液の回収が開始され、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）の切り替えの自動化が可能になる。また、再生タンクＡ（１３ａ）において、ヒーター２１ａが加熱を開始した後、センサー６１ａが回収・再生タンクＡ（１３ａ）の液面高さが下限値に到達したことを検出すると、ヒーター２１ａの加熱を停止すると共にバルブ２５ａ及び２８ａを閉じ、バルブ２３ａ及び４１ａが開けられ、回収・再生タンクＡ（１３ａ）に残っている、再生洗浄液を分離した残渣の使用洗浄液が排液タンク４２へ送られることにより、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）から塗布液を廃棄するステップの自動化が可能になる。再生タンクＢ（１３ｂ）も前述と同様に設定しておく。

実験の結果、使用洗浄液から分離した洗浄液は５０回の再生にも問題なく使用できることが判明し、洗浄液の使用削減に大きく貢献できると考えられる。このように、本実施例に係る液体再生装置を利用することにより、プライミングローラーの洗浄に使用した洗浄液の約８割が再生されることになる。

このように、上記で説明した液体再生装置を使用することにより、ダミーディスペンスで発生した塗布液と洗浄液との混合液（即ち「使用洗浄液」）を回収し、蒸留し、分離した再生洗浄液をプライミングローラーの洗浄に再利用することができる。これにより、洗浄液の使用量を削減することができるため、資源の有効利用と経費の削減を可能にする。

［液体再生装置のブロック図］
図３は、回収及び分離システムの構成を示すブロック図である。上述のような操作は、制御部１０ｃによって制御される。具体的には、再生タンクＡ系１０ａにおいて、レベルセンサー６１ａ、６２ａからの信号を受けた制御部１０ｃは、後述するようなプログラムに従って、バルブ１２ａを閉じる。バルブ２５ａ、２８ａは、真空ポンプ２７の動作に対応して、制御部１０ｃからの指令により開放される。分離工程が始まると、ヒーター２１ａ及びバルブ４１ａが制御部１０ｃからの指令により適宜制御される。なお、非常制御部１０ｅは、安全装置として機能し、レベルセンサー６１ａが反応しない場合には、ヒーター２１ａのスイッチが入らないようにされ、空炊き防止ができるようにされている。同様に、レベルセンサー６２ａで再生タンクＡ（１３ａ）が満杯であるとき、バルブ１２ａが開放されないようにされ、タンクのオーバーフローを防止している。

再生タンクＢ系１０ｂにおいても、同様にバルブ１２ｂ、２５ｂ、２８ｂ、及びヒーター２１ｂが制御され、また、非常制御部１０ｆが安全装置としてレベルセンサー６１ｂ、６２ｂにより機能する。このような制御内容等は、表示部１０ｄにより表示され、オペレータが観察できる。

［液体再生装置の処理フロー］
図４から６は、図２の液体再生装置を制御するプログラムの一例を示すものである。再生プログラムが開始されると、まず、図４に示すメインプログラムでは、後述するタンクをモニタする工程（ステップ（以下「Ｓ」）１１）が行われる。そして、並行して、後述するプライミングローラー洗浄装置からの供給要求のモニタが行われる（Ｓ１１−１）。次に再生信号が発生しているかどうかをチェックする（Ｓ１２）。そして再生信号が発生していない場合は（Ｓ１２、Ｎｏ）、次に、再生タンクＡ又はＢのいずれを使うかを決定するＡ／Ｂ信号判定ステップが行われる（Ｓ１４）。一方、再生信号が発生している場合は（Ｓ１２、Ｙｅｓ）、再生処理が開始され（Ｓ１３）、処理は再度メインストリームに戻り、Ａ／Ｂ信号判定ステップに移行する（Ｓ１４）。

Ａ／Ｂ信号判定ステップにおいて、Ａ信号が発せられたと判断した場合（Ｓ１４、Ａ信号）、バルブ１２ａを開く（Ｓ１５）。尚、Ａ信号及びＢ信号の両方が発せられている場合は、Ａ信号を優先するようにプログラムされている。また、バルブ１２ａの開放と共に、再生タンクＡの開始信号を発するようにしてもよい。これにより、再生タンクＡのタクトタイムの開始が制御装置に通知され、種々の工程の時間管理に活用することができる。レベルセンサー６２ａの信号に基づき、随時再生タンクＡ（１３ａ）が満杯になっているかをモニタする（Ｓ１６）。このモニタで、満杯でないと判断されると（Ｓ１６、Ｎｏ）、再度モニタするルーチンを構成する。再生タンクＡ（１３ａ）が満杯になっていると判断されれば（Ｓ１６、Ｙｅｓ）、再生タンクＢ（１３ｂ）が、再生モードでないかどうかを判断する（Ｓ１７）。再生タンクＢ（１３ｂ）が再生モードである場合、即ち、再生タンクＢ（１３ｂ）の再生信号がＯＦＦでない場合（Ｓ１７、Ｎｏ）、回収するための再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）の両方が使えないので、異常警報を発する（Ｓ１８）。再生タンクＢ（１３ｂ）が再生モードでない場合、即ち、再生タンクＢ（１３ｂ）の再生信号がＯＦＦである場合（Ｓ１７、Ｙｅｓ）、バルブ１２ａを閉じる（Ｓ１９）。次に、手動入力装置（例えば、停止ボタン）から、終了信号が入力されているかを判断し（Ｓ２０）、入力されている場合は（Ｓ２０、Ｙｅｓ）、液体再生装置を停止する一連の処理が行われる（Ｓ２１）。終了信号が入力されていない場合（Ｓ２０、Ｎｏ）、使用洗浄液の回収・再生サイクルを回すべく、処理をタンクモニタ（Ｓ１１）に戻す。

Ａ／Ｂ信号判定ステップ（Ｓ１４）において、Ｂ信号が発せられたと判断した場合（Ｓ１４、Ｂ信号）、バルブ１２ｂを開く（Ｓ３５）。以下は、上述と同様であるので、簡単に述べる。レベルセンサー６２ｂ等の信号に基づき、随時再生タンクＢ（１３ｂ）が満杯になっているかをモニタし（Ｓ３６）、満杯でないと判断されると（Ｓ３６、Ｎｏ）、再度モニタするルーチンを構成する。再生タンクＢ（１３ｂ）が満杯になっていると判断されれば（Ｓ３６、Ｙｅｓ）、再生タンクＡ（１３ａ）が、再生モードでないかどうかを判断する（Ｓ３７）。再生タンクＡ（１３ａ）の再生信号がＯＦＦでない場合（Ｓ３７、Ｎｏ）、異常警報を発する（Ｓ１８）。再生タンクＡ（１３ａ）の再生信号がＯＦＦである場合（Ｓ３７、Ｙｅｓ）、バルブ１２ｂを閉じる（Ｓ３９）。次に、手動入力装置（例えば、停止ボタン）から、終了信号が入力されているかを判断し（Ｓ４０）、入力されている場合は（Ｓ４０、Ｙｅｓ）、液体再生装置を停止する一連の処理が行われる（Ｓ２１）。終了信号が入力されていない場合（Ｓ４０、Ｎｏ）、洗浄液の回収・再生サイクルを回すべく、処理をタンクモニタ（Ｓ１１）に戻す。

［タンクモニタ］
図５は、タンクをモニタする工程（Ｓ１１）を図解する。まず、変数の初期値化が行われる（Ｓ１１１）。次に、再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液を受け入れることが出来るかどうかを調べる（Ｓ１１２）。再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液を貯留できる場合（Ｓ１１２、Ｙｅｓ）は、Ａ信号を発信する（Ｓ１２１）。使用洗浄液を貯留できない場合（Ｓ１１２、Ｎｏ）は、再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液で満杯になっているかどうかをレベルセンサー６２ａにより判定する（Ｓ１１２−１）。満杯でない場合は（Ｓ１１２−１、Ｎｏ）、何らかの理由により再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液を貯留できないので異常信号を発信し、プログラムを停止するように停止信号を発信する（Ｓ１１５）。満杯の場合は（Ｓ１１２−１、Ｙｅｓ）は、再生処理が行えるかを検討するため洗浄液タンクＡ（２６ａ）が再生洗浄液を受入れ可能かを判定する（Ｓ１１２−２）。受入れられない場合（Ｓ１１２−２、Ｎｏ）は、使用洗浄液を再生できないので異常信号を発信し、プログラムを停止するように停止信号を発信する（Ｓ１１５）。受入れられる場合（Ｓ１１２−２、Ｙｅｓ）は、タンクＡ再生信号を発信し、貯留している使用洗浄液を再生できるようにする（Ｓ１１３）。

次に、Ａ信号を発信した場合（Ｓ１２１）のフローに合流し、再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液を受け入れることが出来るかどうかを調べる（Ｓ１１４）。再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液を貯留できる場合（Ｓ１１４、Ｙｅｓ）は、Ｂ信号を発信し（Ｓ１２４）、メインプログラムに戻る。使用洗浄液を貯留できない場合（Ｓ１１４、Ｎｏ）は、再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液で満杯になっているかどうかをレベルセンサー６２ｂにより判定する（Ｓ１１４−１）。満杯でない場合は（Ｓ１１４−１、Ｎｏ）、何らかの理由により再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液を貯留できないので異常信号を発信し、プログラムを停止するように停止信号を発信する（Ｓ１１５−２）。満杯の場合は（Ｓ１１４−１、Ｙｅｓ）は、再生処理が行えるかを検討するため洗浄液タンクＢ（２６ｂ）が再生洗浄液を受入れ可能かを判定する（Ｓ１１４−２）。受入れられない場合（Ｓ１１４−２、Ｎｏ）は、使用洗浄液を再生できないので異常信号を発信し、プログラムを停止するように停止信号を発信する（Ｓ１１５−２）。受入れられる場合（Ｓ１１４−２、Ｙｅｓ）は、タンクＢ再生信号を発信し、貯留している使用洗浄液を再生できるようにする（Ｓ１２３）。そして、メインプログラムに戻る。

［再生処理］
図６は、再生処理工程（Ｓ１３）を図解するフローチャートである。再生処理工程では、まず、タンクモニタする工程で発せられた再生信号が、タンクＡ再生信号なのかタンクＢ再生信号なのかを判定する（Ｓ２０１）。タンクＡ再生信号と判断されたら（Ｓ２０１、Ａ再生信号）、バルブ１２ａを閉じ（Ｓ２０２）、再生タンクＡ（１３ａ）のヒーター２１ａをＯＮして加熱を始め（Ｓ２０３）、使用洗浄液が設定温度になるまで加熱する（Ｓ２０４）。使用洗浄液が設定温度に達したことを検知したら（Ｓ２０４、Ｙｅｓ）、バルブ２５ａ、２８ａを開く（Ｓ２０５）。そして、真空ポンプ２７をＯＮして（Ｓ２０６）、再生タンクＡ（１３ａ）内及びダクト２２ａ内の既存の空気を排出して減圧する。減圧により既存の空気等を排出し、ほぼ所定の圧力まで下がったところで、発生する蒸気が冷却塔２４のコンデンサで液化されるので、この再生洗浄液を、洗浄液タンクＡ（２６ａ）へと滴下（又は落下）させる。使用洗浄液の残量が所定の量まで下がったことをレベルセンサー６１ａで検出し（Ｓ２０７、Ｙｅｓ）、再生タンクＡのヒーターをＯＦＦして（Ｓ２０８）、バルブ２５ａ、２８ａを閉じ（Ｓ２０９）、バルブ２３ａを開けて（Ｓ２１０）残圧開放する。

ＥＸＨから外気を入れて、再生タンクＡ（１３ａ）内をほぼ大気圧にして（Ｓ２１１）、真空ポンプ２７の作動を停止し（Ｓ２１２）、バルブ４１ａを開けて（Ｓ２１３）、再生タンクＡ（１３ａ）に残った使用洗浄液を排出する。残った使用洗浄液はバルブ４１ａを所定時間開放することで排出される（Ｓ２１４）。再生タンクＡ（１３ａ）のレベルセンサー６１ａが前記バルブ４１ａの開放時間内に反応したことを確認し（Ｓ２１５、Ｙｅｓ）、再生タンクＡ（１３ａ）の再生信号をＯＦＦし（Ｓ２１６）、バルブ４１ａを閉じ他の設定を初期に戻す処理を行う（Ｓ２１７）。これにより、再生タンクＡ（１３ａ）は、回収される洗浄液等の使用洗浄液を再び貯留することができるようになる。そして処理を再生信号待ちに戻す。

また、タンクＡ再生信号か又はタンクＢ再生信号かを判定するステップ（Ｓ２０１）で、タンクＢ再生信号と判断されたら（Ｓ２０１、Ｂ再生信号）、バルブ１２ｂを閉じる（Ｓ２２２）。そして、再生タンクＢ（１３ｂ）のヒーター２１ｂをＯＮし（Ｓ２２３）、使用洗浄液が設定温度に達するまで加熱する（Ｓ２２４）。使用洗浄液が設定温度に達したことを検出したら（Ｓ２２４、Ｙｅｓ）、バルブ２５ｂ、２８ｂを開く（Ｓ２２５）。そして、真空ポンプ２７をＯＮして（Ｓ２２６）、再生タンクＢ（１３ｂ）内及び配管２２ｂ内の既存の空気を排出して減圧する。既存の空気等を排出し、ほぼ所定の圧力まで下がったところで、発生する蒸気が冷却塔２４のコンデンサで液化されるので、この再生洗浄液を、洗浄液タンク２６ｂへと滴下（又は落下）させる。

再生タンクＢ（１３ｂ）の混合洗浄液の残量が所定量にまで減った場合（Ｓ２２７、Ｙｅｓ）、再生タンクＢのヒーター２１ｂのスイッチを切り、加熱を停止する（Ｓ２２８）。そして、バルブ２５ｂ、２８ｂを閉じて（Ｓ２２９）、バルブ２３ｂを開けて（Ｓ２３０）ＥＸＨから外気を入れて、再生タンクＢ（１３ｂ）内をほぼ大気圧にして（Ｓ２３１）、真空ポンプ２７の作動を停止する（Ｓ２３２）。その後、バルブ４１ｂを開けて（Ｓ２３４）、再生タンクＢ（１３ｂ）に残った使用洗浄液を排出する。残った使用洗浄液はバルブ４１ｂを所定時間開放することで排出され、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）のレベルセンサー６５ｂが前記バルブ４１ｂの開放時間内に反応したことを確認し（Ｓ２３５、Ｙｅｓ）、再生タンクＢ（１３ｂ）の再生信号をＯＦＦし（Ｓ２３６）、他の設定を初期に戻す処理を行う（Ｓ２３７）。これにより、再生タンクＢ（１３ｂ）は、回収される洗浄液等の使用洗浄液を再び回収し貯留することができるようになる。そして処理を再生信号待ちに戻す。

［供給要求モニタ］
図７は、再生洗浄液を再生洗浄液を配管３５、３５ａ、３５ｂ等を通してプライミングローラー洗浄装置（処理装置）へ供給する供給要求モニタのプログラムの一例を示すフローチャートである。まず、プライミングローラー洗浄装置から、再生洗浄液の供給を要求しているかどうかを判定する（Ｓ５０２）。供給を要求していない場合（Ｓ５０２、Ｎｏ）は、更に終了信号（例えば、作業者による装置の停止ボタンの操作）があるかどうかを判定し、終了信号があれば（Ｓ５０３、Ｙｅｓ）、プログラムを終了する処理を行う（Ｓ５０４）。一方、終了信号がなければ（Ｓ５０３、Ｎｏ）、プログラムは、再度、再生洗浄液の供給を要求しているかどうかの判定を行う（Ｓ５０２）。供給要求があれば（Ｓ５０２、Ｙｅｓ）、次に、洗浄液タンクＡ（２６ａ）から再生洗浄液が供給可能かどうかを判定する（Ｓ５０５）。例えば、レベルセンサー６５ａ、６６ａの検出の結果、再生洗浄液が十分にないと判定された場合は、洗浄液タンクＡ（２６ａ）から再生洗浄液が供給できず（Ｓ５０５、Ｎｏ）、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）から再生洗浄液が供給可能かどうかの判定工程（Ｓ５１５）へ移行する。洗浄液タンクＡ（２６ａ）から再生洗浄液が供給できる場合は（Ｓ５０５、Ｙｅｓ）、各バルブ７２、３３ａ、３４ａを開けて、洗浄液タンクＡ（２６ａ）の気体領域を加圧し、配管３５ａから再生洗浄液を押し出し、配管３５、フィルタ３６を通して、プライミングローラー洗浄装置へ供給する（Ｓ５０６）。この間、随時、洗浄液タンクＡ（２６ａ）が再生洗浄液を供給できるかをモニタし、できないと判断された場合は（Ｓ５０７、Ｎｏ）、各バルブ７２、３３ａ、３４ａを閉じる（Ｓ５０９）。洗浄液タンクＡ（２６ａ）が再生洗浄液を供給できると判断されている限りは（Ｓ５０７、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給が要求されているかどうかを確認し、されている場合は（Ｓ５０８、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＡ（２６ａ）が再生洗浄液を供給できるかの判定を行う。再生洗浄液の供給が要求されていない場合は（Ｓ５０８、Ｎｏ）、各バルブ７２、３３ａ、３４ａを閉じる（Ｓ５０９）。そして再び再生洗浄液の供給が要求されているかどうかを判定する（Ｓ５０２）。

上述の洗浄液タンクＢ（２６ｂ）から再生洗浄液が供給可能かどうかの判定工程（Ｓ５１５）では、供給が可能でないと判定された場合（Ｓ５１５、Ｎｏ）、洗浄液タンクＡ（２６ａ）及び洗浄液タンクＢ（２６ｂ）の両者が供給不可能であるので、異常警報を発信する（Ｓ５２０）。供給が可能であると判定された場合（Ｓ５１５、Ｙｅｓ）、各バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを開けて、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）の気体領域を加圧し、配管３５ｂから再生洗浄液を押し出し、配管３５、フィルタ３６を通して、プライミングローラー洗浄装置へ供給する（Ｓ５１６）。この間、随時、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）が再生洗浄液を供給できるかをモニタし、できないと判断された場合は（Ｓ５１７、Ｎｏ）、各バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを閉じる（Ｓ５１９）。洗浄液タンクＢ（２６ｂ）が再生洗浄液を供給できると判断されている限りは（Ｓ５１７、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給が要求されているかどうかを確認し、されている場合は（Ｓ５１８、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＢ（２６ｂ）が再生洗浄液を供給できるかの判定を行う。再生洗浄液の供給が要求されていない場合は（Ｓ５１８、Ｎｏ）、各バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを閉じる（Ｓ５１９）。そして再び再生洗浄液の供給が要求されているかどうかを判定する（Ｓ５０２）。

（実施例２）
実施例１では、再生タンク（１３ａ及び１３ｂ）を２つ備える場合を説明したが、再生タンクは、３つ以上であってもよく、それぞれのタンクを切り替えて使用洗浄液を貯留することも可能である。再生タンクを３つ以上とした場合、プライミングローラー９２の洗浄回数が多い場合は使用洗浄液の発生が増加するため、使用洗浄液の分離が追いつかない場合に有効である。以下に再生タンクを３つ以上にした場合を説明する。

［装置構成］
図８は、実施例２に係る液体再生装置の構成を示す模式図である。図２に示した液体再生装置（２系統）と異なり、実施例２の液体再生装置２００は、４系統のユニットが並設されている。しかしながら、部品の接続関係は、実質的に同一であるので、共通する部品には同じ番号が割当てられている。実施例２の液体再生装置２００の第３及び第４のユニットについては、各部品番号に「ｃ」、「ｄ」を付して番号が割当てられている。これらの各ユニットは、それぞれ、同様に回収部、再生部、貯留部、及び供給部を備えている。更に、この液体再生装置２００は、排気部、検出部、制御部、廃棄部、及び冷却水供給部を備える。これら各部からなる構成は、図２に示すものと実質同一であるので、重複する説明を省略する。なお供給部には、エアブロー７０の代わりにＮ_２ガス供給部７１が設けられている。

液体再生装置２００は、各ユニットが、共通する部品である冷却タンク２４、廃液タンク４２、Ｎ_２ガス供給７１、冷却水供給等、そして、混合液たる使用洗浄液を回収する配管１１及び再生洗浄液を供給する配管３５に対して、それぞれ並列に接続されており、必要に応じて、各対応するバルブ等により仕切られている。従って、図２の液体再生装置の第１の及び第２のユニットでできることが、この液体再生装置２００の第１から第４までのユニットから、任意に選択した２つのユニットにより、行うことができる。この液体再生装置２００のＡからＤまでから任意に選ばれる２つのアルファベットを付したそれぞれの再生タンク及び洗浄液タンクにより、回収工程、再生工程、貯留工程、供給工程を実質的に連続的に行うことができる。

また、例えば、４つのユニット（以下ユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄという）を２つのグループに分け、例えば、ユニットＡ及びＢが、図２の第１のユニットとして機能し、ユニットＣ及びＤを図２の第２のユニットとして機能させることができる。このように分類すれば、プライミングローラー洗浄装置のような処理装置において、使用する洗浄液の時間あたりの量が少ない場合及び多い場合に対処することが容易になる。即ち、少ない場合は、ユニットＡとユニットＣとにより、回収・再生・貯留・供給サイクルを回せばよく、一方、多い場合は、ユニットＡ及びＢと、ユニットＣ及びＤとにより同サイクルを回せばよい。理論上は、このようにすることで、約２倍の処理能力となる。

しかしながら、このサイクルでは処理する洗浄液の量が均衡することが望ましいので、ユニットＡ、Ｂ、Ｃのグループと、ユニットＤとで同サイクルを回すことは、あまり好ましくない。トータルとして、効率が落ちるからである。また、４系統のものを２系統と同じようにしてサイクルを回す例を示したが、３系統若しくは４系統で回すことも可能である。例えば、２系統では、１／２サイクルずらしてユニットを操作したが、４系統では、これを１／４サイクル毎にずらして操作することができる。この場合、共通部品の操作ができるように留意しなければならず、切り替え時に緩衝用に一時貯留手段を設けることが好ましい。

また、４を超える数のユニットを用いる場合、その数が偶数であれば、全てのユニットを２つのグループに分け、上記２系統の場合と同様に液体再生装置を機能させることができる。一方、奇数の場合は、１ユニットを予備ユニットとして、何れかのユニットが故障等したときに取り替えるものとすることができる。残りを上述の偶数の場合と同様に２つのグループに分け、上記２系統の場合と同じく液体再生装置を機能させることができる。

［再生プログラム］
図９、１０、１１、１２、１３は、本発明の実施例２に係る液体再生装置を用いた洗浄液の再生プログラムの例を示すフローチャートである。図９には、メインプログラムを示す。ここでは、主に、使用洗浄液の回収及び回収された使用洗浄液の貯留について、複数の種類の系統に対応可能にプログラムされている。プログラムがスタートすると、まず、搭載される各ユニットの役割が設定される（Ｓ３０２）。そして、その役割に沿って、各タンクの状況が調べられる（Ｓ３１１）。同時に、プライミングローラー洗浄装置からの再生洗浄液の供給の要求があるかをチェックし、ある場合は、再生洗浄液をプライミングローラー洗浄装置に供給する（Ｓ３０３）。

［役割設定プログラム］
図１０は、各ユニットの役割を設定するサブルーティンである。プログラムは、最初に、運転モードの設定を行う（Ｓ３５２）。具体的には、オペレータからの２系統（ライト）、２系統（ヘビィ）、３系統、若しくは４系統の選択入力を促す。次に、使用する各ユニットの状況をチェックする（Ｓ３５４）。そして、各ユニットに何も問題がなければ（Ｓ３５６、Ｙｅｓ）、各ユニットの駆動開始順序を設定し（Ｓ３６０）、プログラムをメインプログラムに戻す。また、各ユニットに何か問題があれば（Ｓ３５６、Ｎｏ）、各ユニットの状況を表示し（Ｓ３５８）、運転モードの入力待ちをする。

［タンクモニタプログラム］
図１１は、４つのユニットを使う場合のタンクモニタのプログラムの一例を示す。不要なデータを使わないのであれば、特に４つのユニットを使う場合に限らず、２つのユニットを使う場合にも用いることができる。最初に、初期値クリアを行う（Ｓ４１１）。次に、再生タンクＡ（１３ａ）が、回収される使用洗浄液を貯留可能かどうかをチェックする（Ｓ４１２ａ）。貯留可能と判定されると（Ｓ４１２ａ、Ｙｅｓ）、Ａ信号が発せられ（Ｓ４１６ａ）、再生タンクＡ（１３ａ）に貯留できることが通知され、次の再生タンクＢ（１３ｂ）の状況チェックに移行する。また、再生タンクＡ（１３ａ）に貯留できないと判定されると（Ｓ４１２ａ、Ｎｏ）、再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液で満たされているかをチェックする（Ｓ４１３ａ）。満たされていないとすると（Ｓ４１３ａ、Ｎｏ）、正常な理由での貯留不可判断であるので、異常信号を発して（Ｓ４１７ａ）、プログラムを安全に停止する。再生タンクＡ（１３ａ）が使用洗浄液で満たされていれば（Ｓ４１３ａ、Ｙｅｓ）、再生工程によって、再生洗浄液にされるべきであるため、洗浄液タンクＡの再生信号を発する（Ｓ４１５ａ）。そして、プログラムは、次の再生タンクＢ（１３ｂ）の状況チェックに移行する。

ここでは、再生タンクＢ（１３ｂ）が、回収される使用洗浄液を貯留可能かどうかをチェックする（Ｓ４１２ｂ）。貯留可能と判定されると（Ｓ４１２ｂ、Ｙｅｓ）、Ｂ信号が発せられ（Ｓ４１６ｂ）、再生タンクＢ（１３ｂ）に貯留できることが通知され、次の再生タンクＣ（１３ｃ）の状況チェックに移行する。また、再生タンクＢ（１３ｂ）に貯留できないと判定されると（Ｓ４１２ｂ、Ｎｏ）、再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液で満たされているかをチェックする（Ｓ４１３ｂ）。満たされていないとすると（Ｓ４１３ｂ、Ｎｏ）、正常な理由での貯留不可判断であるので、異常信号を発して（Ｓ４１７ｂ）、プログラムを安全に停止する。再生タンクＢ（１３ｂ）が使用洗浄液で満たされていれば（Ｓ４１３ｂ、Ｙｅｓ）、再生工程によって再生洗浄液にされるべきであるため、洗浄液タンクＢの再生信号を発する（Ｓ４１５ｂ）。そして、プログラムは、次の再生タンクＣ（１３ｃ）の状況チェックに移行する。

次に、再生タンクＣ（１３ｃ）が、回収される使用洗浄液を貯留可能かどうかをチェックする（Ｓ４１２ｃ）。貯留可能と判定されると（Ｓ４１２ｃ、Ｙｅｓ）、Ｃ信号が発せられ（Ｓ４１６ｃ）、再生タンクＣ（１３ｃ）に貯留できることが通知され、次の再生タンクＤ（１３ｄ）の状況チェックに移行する。また、再生タンクＣ（１３ｃ）に貯留できないと判定されると（Ｓ４１２ｃ、Ｎｏ）、再生タンクＣ（１３ｃ）が使用洗浄液で満たされているかをチェックする（Ｓ４１３ｃ）。満たされていないとすると（Ｓ４１３ｃ、Ｎｏ）、正常な理由での貯留不可判断であるので、異常信号を発して（Ｓ４１７ｃ）、プログラムを安全に停止する。再生タンクＣ（１３ｃ）が使用洗浄液で満たされていれば（Ｓ４１３ｃ、Ｙｅｓ）、再生工程によって再生洗浄液にされるべきであるため、洗浄液タンクＣの再生信号を発する（Ｓ４１５ｃ）。そして、プログラムは、次の再生タンクＤ（１３ｄ）の状況チェックに移行する。

次に、再生タンクＤ（１３ｄ）が、回収される使用洗浄液を貯留可能かどうかをチェックする（Ｓ４１２ｄ）。貯留可能と判定されると（Ｓ４１２ｄ、Ｙｅｓ）、Ｄ信号が発せられ（Ｓ４１６ｄ）、再生タンクＤ（１３ｄ）に貯留できることが通知され、メインプログラムに戻る。また、再生タンクＤ（１３ｄ）に貯留できないと判定されると（Ｓ４１２ｄ、Ｎｏ）、再生タンクＤ（１３ｄ）が使用洗浄液で満たされているかをチェックする（Ｓ４１３ｄ）。満たされていないとすると（Ｓ４１３ｄ、Ｎｏ）、正常な理由での貯留不可判断であるので、異常信号を発して（Ｓ４１７ｄ）、プログラムを安全に停止する。再生タンクＤ（１３ｄ）が使用洗浄液で満たされていれば（Ｓ４１３ｄ、Ｙｅｓ）、再生工程によって再生洗浄液にされるべきであるため、洗浄液タンクＤの再生信号を発する（Ｓ４１５ｄ）。そして、プログラムは、メインプログラムに戻る。

［再生洗浄液供給プログラム］
タンクモニタ（Ｓ３１１）と並行して、再生洗浄液の供給の要求の有無のチェック及び供給を行う（Ｓ３０３）。図１２に示すように、まず、プライミングローラー洗浄装置からの再生洗浄液の供給の要求があるかを調べ（Ｓ５５２）、なければ（Ｓ５５２、Ｎｏ）、終了信号の有無を調べる（Ｓ５５３）。終了信号があれば（Ｓ５５３、Ｙｅｓ）、モニタを終了する（Ｓ５５４）。なければ（Ｓ５５３、Ｎｏ）、再生洗浄液の供給の要求があるかを再度チェックする（Ｓ５５２）。再生洗浄液の供給の要求があれば（Ｓ５５２、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＡが貯留する再生洗浄液を供給可能かをチェックし（Ｓ５０５ａ）、供給可能でなければ（Ｓ５０５ａ、Ｎｏ）、洗浄タンクＢについてのチェックに移行する。供給可能であれば（Ｓ５０５ａ、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＡから再生洗浄液を供給するように以下の手順を行う。各ユニットにおけるこの手順は、基本的には図７と同じである。まず、Ｎ_２ガス供給装置７１からＮ_２ガスを圧送するために、バルブ７２、３３ａ、３４ａを開ける（Ｓ５０６ａ）。これにより再生洗浄液を配管（３５ａ、３５）を通してプライミングローラー洗浄装置に圧送する。この間、洗浄液タンクＡの再生洗浄液が十分にあるか、何か異常はないか等、洗浄液タンクＡが供給可能であるかをモニタし（Ｓ５０７ａ）、できなくなった場合は（Ｓ５０７ａ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ａ、３４ａを閉じる（Ｓ５０９ａ）。また、できる場合であっても（Ｓ５０７ａ、Ｙｅｓ）、続いて再生洗浄液の供給要求が出ているかをモニタし（Ｓ５０８ａ）、出ていれば（Ｓ５０８ａ、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給を継続しつつ、再度、洗浄液タンクＡが供給可能であるかをモニタする（Ｓ５０７ａ）。出ていなければ（Ｓ５０８ａ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ａ、３４ａを閉じ（Ｓ５０９ａ）、供給要求モニタプログラムの最初のステップにプログラムを戻す。

洗浄液タンクＡが再生洗浄液を供給可能でない場合（Ｓ５０５ａ、Ｎｏ）、洗浄タンクＢが再生洗浄液を供給可能かどうかをチェックする（Ｓ５０５ｂ）。洗浄タンクＢが供給可能でなければ（Ｓ５０５ｂ、Ｎｏ）、洗浄タンクＣについてのチェックに移行する。供給可能であれば（Ｓ５０５ｂ、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＢから再生洗浄液を供給するように以下の手順を行う。このユニットＢにおけるこの手順は、基本的にはユニットＡでの手順と同じである。まず、Ｎ_２ガス供給装置７１からＮ_２ガスを圧送するために、バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを開ける（Ｓ５０６ｂ）。これにより再生洗浄液を配管３５ｂ、３５を通してプライミングローラー洗浄装置に圧送する。この間、洗浄液タンクＢの再生洗浄液が十分にあるか、何か異常はないか等、洗浄液タンクＢが供給可能であるかをモニタし（Ｓ５０７ｂ）、できなくなった場合は（Ｓ５０７ｂ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを閉じる（Ｓ５０９ｂ）。また、できる場合であっても（Ｓ５０７ｂ、Ｙｅｓ）、続いて再生洗浄液の供給要求が出ているかをモニタし（Ｓ５０８ｂ）、出ていれば（Ｓ５０８ｂ、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給を継続しつつ、再度、洗浄液タンクＢが供給可能であるかをモニタする（Ｓ５０７ｂ）。出ていなければ（Ｓ５０８ｂ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｂ、３４ｂを閉じ（Ｓ５０９ｂ）、供給要求モニタプログラムの最初のステップにプログラムを戻す。

洗浄液タンクＢが再生洗浄液を供給可能でない場合（Ｓ５０５ｂ、Ｎｏ）、洗浄タンクＣが再生洗浄液を供給可能かどうかをチェックする（Ｓ５０５ｃ）。洗浄タンクＣが供給可能でなければ（Ｓ５０５ｃ、Ｎｏ）、洗浄タンクＤについてのチェックに移行する。供給可能であれば（Ｓ５０５ｃ、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＣから再生洗浄液を供給するように以下の手順を行う。このユニットＣにおけるこの手順は、基本的にはユニットＡでの手順と同じである。まず、Ｎ_２ガス供給装置７１からＮ_２ガスを圧送するために、バルブ７２、３３ｃ、３４ｃを開ける（Ｓ５０６ｃ）。これにより再生洗浄液を配管３５ｃ、３５を通してプライミングローラー洗浄装置に圧送する。この間、洗浄液タンクＣの再生洗浄液が十分にあるか、何か異常はないか等、洗浄液タンクＣが供給可能であるかをモニタし（Ｓ５０７ｃ）、できなくなった場合は（Ｓ５０７ｃ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｃ、３４ｃを閉じる（Ｓ５０９ｃ）。また、できる場合であっても（Ｓ５０７ｃ、Ｙｅｓ）、続いて再生洗浄液の供給要求が出ているかをモニタし（Ｓ５０８ｃ）、出ていれば（Ｓ５０８ｃ、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給を継続しつつ、再度、洗浄液タンクＣが供給可能であるかをモニタする（Ｓ５０７ｃ）。出ていなければ（Ｓ５０８ｃ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｃ、３４ｃを閉じ（Ｓ５０９ｃ）、供給要求モニタプログラムの最初のステップにプログラムを戻す。

洗浄液タンクＣが再生洗浄液を供給可能でない場合（Ｓ５０５ｃ、Ｎｏ）、洗浄タンクＤが再生洗浄液を供給可能かどうかをチェックする（Ｓ５０５ｄ）。洗浄タンクＤが供給可能でなければ（Ｓ５０５ｄ、Ｎｏ）、何れの洗浄液タンクも供給できないことになるので、異常警報を発信し（Ｓ５２０）、装置を安全に停止する。供給可能であれば（Ｓ５０５ｄ、Ｙｅｓ）、洗浄液タンクＤから再生洗浄液を供給するように以下の手順を行う。このユニットＤにおけるこの手順は、基本的にはユニットＡでの手順と同じである。まず、Ｎ_２ガス供給装置（７１）からＮ_２ガスを圧送するために、バルブ７２、３３ｄ、３４ｄを開ける（Ｓ５０６ｄ）。これにより再生洗浄液を配管３５ｄ、３５を通してプライミングローラー洗浄装置に圧送する。この間、洗浄液タンクＤの再生洗浄液が十分にあるか、何か異常はないか等、洗浄液タンクＤが供給可能であるかをモニタし（Ｓ５０７ｄ）、できなくなった場合は（Ｓ５０７ｄ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｄ、３４ｄを閉じる（Ｓ５０９ｄ）。また、できる場合であっても（Ｓ５０７ｄ、Ｙｅｓ）、続いて再生洗浄液の供給要求が出ているかをモニタし（Ｓ５０８ｄ）、出ていれば（Ｓ５０８ｄ、Ｙｅｓ）、再生洗浄液の供給を継続しつつ、再度、洗浄液タンクＤが供給可能であるかをモニタする（Ｓ５０７ｄ）。出ていなければ（Ｓ５０８ｄ、Ｎｏ）、バルブ７２、３３ｄ、３４ｄを閉じ（Ｓ５０９ｄ）、供給要求モニタプログラムの最初のステップにプログラムを戻す。

［使用洗浄液回収プログラム］
再び図９に戻り、タンクモニタ（Ｓ３１１）後の工程を説明する。タンクモニタプログラムにより、何れかの洗浄液タンクに再生すべき使用洗浄液が貯留されており、再生されるのを待っているものがあることを検出してきた。この結果に基づき、再生すべきとする再生信号が何れかのタンクについて出ているかをチェックする（Ｓ３１２）。出ていれば、再生処理（Ｓ３１３）により、後述する再生処理を行う。そして、再生信号の有無にかかわらず、プログラムは、上記ユニット役割設定工程（Ｓ３０２）において設定された運転モードに基づいて、場合分けを行う（Ｓ３１２−１）。運転モードが２系統ライトモード（Ｓ３１２−２）である場合は、ユニットＡ及びＣを用いる２系統の再生処理を行う。また、運転モードが２系統ヘビィモード（Ｓ３１２−３）である場合は、ユニットＡ及びＢを１グループとし、ユニットＣ及びＤを別のグループとして用い、２系統の再生処理を行う。また、運転モードが３系統モード（Ｓ３１２−５）である場合は、例えば、ユニットＡ、Ｂ、及びＣを用いる３系統の再生処理を行う。また、運転モードが４系統ライトモード（Ｓ３１２−７）である場合は、ユニットＡ、Ｂ、Ｃ、及びＤを用いる４系統の再生処理を行う。この運転モード判定工程では、各モードに合わせたタクトタイム（ｔａｋｔ ｔｉｍｅ）設定及び管理を行う。具体的には、設定された運転モードに最も最適な各工程及びこれらの工程からなる１サイクルの好ましい時間間隔等を設定し、その間隔又はクロックで以下の各工程が行われるように時間管理を行う。

［２系統ライトモード］
運転モードが、２系統ライトモード（Ｓ３１２−２）に設定されると、プログラムは、Ａ／Ｃ何れかの信号であるかを判定する工程（Ｓ３１４）に移行する。これ以降の工程は、図４に示す工程と実質的に同一であるので、ここでは説明を省略する。尚、ここではバルブ１２ａ又は１２ｃの開放（Ｓ３１５又はＳ３３５）と共に、再生タンクＡ又はＣ（１３ａ又は１３ｃ）の開始信号を発するようにしてある。これにより、再生タンクＡ又はＣのタクトタイムの開始が制御装置に通知され、種々の工程の時間管理に活用することができる。

［２系統ヘビィモード］
運転モードが、２系統ヘビィモード（Ｓ３１２−３）に設定されると、ユニットＡ及びＢで１つのグループを、ユニットＣ及びＤで他のグループを作る（Ｓ３１２−４）。ユニットＡ及びＢが同時に一体となって稼働し、ユニットＣ及びＤも一体となるので、２つのグループで上述の２系統ライトモードのＡ／Ｃと全く同様に作用する。そのため、ここでは説明を省略する。

［３系統モード］
運転モードが、３系統モード（Ｓ３１２−５）に設定されると、１つのユニット（例えば、ユニットＤ）が休止することになる（Ｓ３１２−６）。このモードでは、次の４系統モードから、１のユニットを除いたものが相当するので、ここでは説明を省略する。

［４系統モード］
運転モードが、３系統モード（Ｓ３１２−５）に設定されると、運転モード判定工程（Ｓ３１２−１）において、１サイクルを構成する４つの工程の時間設定と管理を行う。即ち、事前に入力されたデータに基づいて、或いは、プライミングローラー洗浄装置と合わせて使用する過程において洗浄液の流量をモニタすることにより、最適な工程の時間設定及び管理を行う。この設定・管理は、回収、貯留、再生、供給の各工程、及び、プライミングローラー洗浄装置による洗浄という一連の作業としての最適化を狙いとする。具体的には、それぞれ再生タンクＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを備えるユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを用いたときに、上記各工程の開始をトリガーするＡ信号の発信の時間管理を行う。例えば、回収工程が、ユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄにおいて、それぞれ、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４で開始されるべきであるならば、時刻Ｔ１で、Ａ信号をＳ３１２−１からＳ３１２−８へと送信し、Ａ信号によりトリガーされるユニットＡを起動する。そして、時刻Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４でそれぞれ、Ｂ、Ｃ、Ｄ信号を送信することにより、ユニットＢ、Ｃ、Ｄをそれぞれの時刻で起動することができる。起動後の工程は、図４のもの、又は、２系統ライトモードのものと実質的に同じであるので、詳しい説明は省略する。ここで、何れかの再生タンクにおいて使用洗浄液を回収／貯留を実質的に開始するバルブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄの開放と共に、その再生タンクの開始信号を発するようにする。これにより、当該再生タンクのタクトタイムの開始が制御装置に通知され、種々の工程の時間管理に活用することができる。尚、使用洗浄液の再生は、図６にあるように、それぞれの再生信号（タンクモニタで発生）により開始され、自動的に終了するようにされているので、特に操作は必要ではない。一般に使用洗浄液の再生処理には時間がかかりやすいので、この再生処理が全体の処理の速度を決定する要因になり易い。また、プライミングローラー洗浄装置への再生洗浄液の供給も図１２のフローにより、供給要求信号と、再生洗浄液を貯留する各タンクの状態により、自動的に行われる。

［使用洗浄液再生プログラム］
図１３は、再生処理（Ｓ３１３）のプログラムを図解する。再生処理では、まず各再生タンクから、貯留開始がなされたかをバルブ１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄいずれかの最初の開放操作により検出する（Ｓ６０１）。また、その時刻を制御装置に備えられたメモリに記憶し、以降の操作のタイミングを調整する。ここでは、受信した前記開放操作を行った再生タンクを含む各ユニット毎に分岐して再生処理の各工程を行う。以下は、再生タンクＡを含むユニットＡについて説明するが、他の再生タンクを含むユニットでも同一の工程が行われる。

再生タンクＡによる回収される使用洗浄液の貯留が始まってから、予め決められた時間経ったところで（Ｓ６０２、Ｙｅｓ）、再生タンクＡのヒーター２１ａのスイッチを入れる（Ｓ６０３ａ）。これは、ヒーターの加熱による貯留された使用洗浄液の昇温には時間がかかるため、早い時期からヒーターのスイッチを入れるのである。このタイミングは、貯留量、ヒーター容量、その他の要素により、運転モードの入力時点で決めることができる。ヒーター２１ａのスイッチが入ったまま、貯留が継続され、タンクＡ再生信号の入力を待つ（Ｓ６０４）。そして、再生タンクＡが満ち（Ｓ４１３ａ）、洗浄液タンクＡ（２６ａ）が、再生される使用洗浄液を貯留することができる場合（Ｓ４１６ａ）、タンクＡ再生信号が発せられ（Ｓ４１５ａ）、これを受信して（Ｓ６０４ａ、Ｙｅｓ）、次の工程（Ｓ６０５）に移行する。

次工程では、再生が必要であり再生される使用洗浄液の貯留タンクを確保した場合であっても、真空ポンプ２７等共通して用いられる配管やバルブや装置等が使えること、及びその他の個別的事情等をチェックする（Ｓ６０５）。これにより、上記の共通の設備等を使うには、少し時間をずらす必要がある等、具体的な事由を調整し、円滑に再生工程が行える場合は、以降の工程で、それぞれの再生タンクを含むユニットに、個別にバルブ操作等の指令を送信する。例えば、再生タンクＡ（１３ａ）以外に使用洗浄液を貯留するタンクや臨時貯留装置の準備ができていない場合又は真空ポンプ２７が他のユニットの減圧に用いられている場合は、準備ができるまで又は他のユニットの使用が終了するまで待つか、洗浄装置からの使用洗浄液の排出を停止する操作を行うことができる（Ｓ６０５）。準備ができており、共通設備も使用できる場合は、次の工程に移行し、バルブ１２ａを閉じ（Ｓ６０６ａ）、バルブ２５ａ、２８ａを開放し（Ｓ６０７ａ）、真空ポンプ２７をＯＮする（Ｓ６０８ａ）。そして、減圧下で蒸留を継続し、再生タンクＡ中の使用洗浄液が例えば２０以下になるかをチェックする（Ｓ６０９ａ）。２０％以下になると（Ｓ６０９ａ、Ｙｅｓ）、ヒーターをＯＦＦし（Ｓ６１０ａ）、バルブ２５ａ、２８ａを閉じる（Ｓ６１１ａ）。これにより、再生タンクＡ系統は真空ポンプ２７の減圧系から隔離され、大気圧に戻されるべく、バルブ２３ａ及びＥＸＨリークが開けられ、真空ポンプ２７がＯＦＦにされる（Ｓ６１２ａ）。ついで、再生タンクＡのドレインバルブに相当するバルブ４１ａが開けられ、使用洗浄液から洗浄液を再生した残りの残渣が排出される（Ｓ６１３ａ）。所定時間が過ぎ、排残渣が完了すると（Ｓ６１４ａ、Ｙｅｓ）、タンクＡの再生信号をＯＦＦにセットする（Ｓ６１５ａ）。そして、一時的に用いられる種々の変数を初期の値に再設定して（Ｓ６１６ａ）、プログラムは、再生処理ルーティンのトップに移行する。

［２系統タイムチャート］
図１４は、実施例２の装置を稼働させた場合のタイムチャートを使用洗浄液の回収及び再生に特に注目して各ユニット毎に示したものである。縦軸には、稼働するユニットに用いられる再生タンクの種別を取り、横軸には時間をとる。尚、ユニットの組合せ、時間は説明のための例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。並設された再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）に、回収された使用済み洗浄液を等分して貯留する。図中回収とあるが、各再生タンクにとっては貯留の意味である。図１４において、回収を始めてから、例えば５分後に、ヒーター２１ａ、２１ｂのスイッチを入れ、加熱を開始する。次に例えば２０分後に再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）が満杯になるので、バルブ１２ａ、１２ｂを閉じる。引き続いて回収される使用洗浄液は、配管１１に備えられる補器である臨時貯留装置４１１により貯留される。およそ５分後に、やはり並設された再生タンクＣ及びＤ（１３ｃ、１３ｄ）が貯留可能な状態になるが、それまでのつなぎをこの臨時貯留装置４１１が行い、再生タンクＣ及びＤ（１３ｃ、１３ｄ）の準備が整えば、直ちに臨時に貯留された再生洗浄液を再生タンクＣ及びＤ（１３ｃ、１３ｄ）に送る。

再び再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）に戻ると、回収開始から２０分後には、使用済み洗浄液はヒーター２１ａ、２１ｂの加熱により高温な設定温度に到達しているので、バルブ２５ａ、２５ｂ及びバルブ２８ａ、２８ｂを開放し真空ポンプ２７を作動させる。再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）から次々に蒸発した洗浄液が冷却タンク２４で冷却され、液化した洗浄液が洗浄液タンクＡ及びＢ（２６ａ、２６ｂ）の中に貯留される。例えば、２０分後に再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）の中の使用洗浄液が減圧蒸留開始時から２０％程度になると、バルブ２５ａ、２５ｂ及びバルブ２８ａ、２８ｂを閉じて真空ポンプ２７を停止する。そして、バルブ２３ａ、２３ｂを開放し、真空ポンプ２７のリーク弁でもあるバルブＥＸＨを開放し、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）を大気圧にする。そして、バルブ４１ａ、４１ｂを約１０分間開放し、残渣を排液タンク４２に排出する。これにより、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）の排熱も同時に行う。その後（開始から５０分後）、バルブ２３ａ、２３ｂ、４１ａ、４１ｂを閉じて、貯留再開可能となったところで、バルブ１２ａ、１２ｂを開放し、貯留を再開する。このとき、臨時貯留装置４１１から、臨時に貯留された使用洗浄液を受け取る。

開始から２５分後に回収／貯留を始めた再生タンクＣ及びＤ（１３ｃ、１３ｄ）は、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）と同等の工程を行い、やはり、同様に２回目の回収／貯留を７５分後に始める。このように、終了信号が発せられ、図９にある終了処理（Ｓ３２１）により終了するまで、連続して液体再生装置は稼働する。以上のように再生工程は、各ユニットでの回収が開始されると、一定のタクトで実施される。そして、各ユニットに含まれる再生タンクは、次の回収工程に用いられる。一方、再生洗浄液の供給工程は、液体再生装置側の状況及び洗浄装置側の再生洗浄液の要求に応じて、自動的に実施されるので、共通設備のコンフリクトやタンク等の容量に留意するだけで、特に制御を行う必要はない。

ここでは、再生タンクＡ及びＢ（１３ａ、１３ｂ）の容量を同一にしたが、これを大小にすることもできる。このとき対応するそれぞれの再生タンクＣ及びＤ（１３ｃ、１３ｄ）も大小にする。また、対応する洗浄液タンクＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄも、それぞれ対応する容量となるようにする。このようにすれば、小規模の洗浄装置に用いる時は、小容量ユニットの組合わせであるユニットＢ及びＤによる回収、貯留、再生、供給を行えばよい。また、中規模の洗浄装置に用いる時は、大容量ユニットの組合わせであるユニットＡ及びＣによる回収、貯留、再生、供給を行えばよい。更に、大きな規模の洗浄装置に用いる時は、全ユニットＡ、Ｂ、Ｃ、及びＤによる回収、貯留、再生、供給を行えばよい。

［３系統タイムチャート］
図１５は、実施例２の装置を稼働させた場合のタイムチャートを使用洗浄液の回収及び再生に特に注目して各ユニット毎に示したものである。縦軸には、稼働するユニットに用いられる再生タンクの種別を取り、横軸には時間をとる。尚、ユニットの組合せ、時間は説明のための例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。ここでは、４つのユニットの内、ユニットＤを休止し、他のユニットが使用される。並設された再生タンクＡ、Ｂ、及びＣ（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）の内、再生タンクＡ（１３ａ）に、回収された使用済み洗浄液を貯留する。図中回収とあるが、各再生タンクにとっては貯留の意味である。

図１５において、回収を始めてから、例えば５分後に、ヒーター２１ａのスイッチを入れ、加熱を開始する。次に例えば２０分後に再生タンクＡ（１３ａ）は所定量に満たされるが、再生タンクＢ（１３ｂ）のバルブ１２ｂが開放され、引き続いて回収される使用洗浄液を貯留する。この間は両再生タンクが貯留してもよい。そして、２５分後に、再生タンクＡ（１３ａ）のバルブ１２ａが閉じられ、再生タンクＡ（１３ａ）では減圧蒸留による再生が開始される。また、この２５分後に再生タンクＢ（１３ｂ）のヒーター２１ｂがＯＮされる。

そして、４０分後に、再生タンクＢ（１３ｂ）は所定量に満たされるが、再生タンクＣ（１３ｃ）のバルブ１２ｃが開放され、引き続いて回収される使用洗浄液を貯留する。この間は両再生タンクが貯留してもよい。そして、４５分後に、再生タンクＡ（１３ａ）のバルブ２５ａ、２８ａが閉じられ、バルブ２３ａが開放され、ＥＸＨリークされて、真空ポンプ２７がＯＦＦされ、再生タンクＡ（１３ａ）が大気圧になったところで、バルブ４１ａが開放され、残渣が排出される。また、同じ４５分後に、再生タンクＢ（１３ｂ）のバルブ１２ｂが閉じられ、再生タンクＢ（１３ｂ）では減圧蒸留による再生が開始される。更に、同じ４５分後に、再生タンクＣ（１３ｃ）のヒーター２１ｃがＯＮされる。再生タンクＢで減圧蒸留による再生が行われ、再生タンクＣで回収した使用洗浄液の貯留が行われる間に、５５分後に、再生タンクＡ（１３ａ）の残渣排出が終了し、バルブ４１ａが閉じられ、再度回収された使用洗浄液の貯留が可能な状態となる。

ここで、再生タンクＣ（１３ｃ）では、６０分後に使用洗浄液により所定量が貯留しているが、再生タンクＡ（１３ａ）のバルブ１２ａが開放され、引き続いて回収される使用洗浄液を貯留する。この間は両再生タンクが貯留してもよい。そして、６５分後に、再生タンクＢ（１３ｂ）のバルブ２５ｂ、２８ｂが閉じられ、バルブ２３ｂが開放され、ＥＸＨリークされて、真空ポンプ２７がＯＦＦされ、再生タンクＢ（１３ｂ）が大気圧になったところで、バルブ４１ｂが開放され、残渣が排出される。また、同じ６５分後に、再生タンクＣ（１３ｃ）のバルブ１２ｃが閉じられ、再生タンクＣ（１３ｃ）では減圧蒸留による再生が開始される。更に、同じ６５分後に、再生タンクＢ（１３ｂ）のヒーター２１ｂがＯＮされる。

このようにして、再生タンクＡ、Ｂ、及びＣ（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）をそれぞれ備えるユニットＡ、Ｂ、Ｃを順に用いることにより、終了信号が発せられ図９にある終了処理（Ｓ３２１）により終了するまで、連続して液体再生装置は稼働する。以上のように再生工程は、各ユニットでの回収が開始されると、一定のタクトで実施される。そして、各ユニットに含まれる再生タンクは、再生後に残渣が排気されると、次の回収工程に用いられる。一方、再生洗浄液の供給工程は、液体再生装置側の状況及び洗浄装置側の再生洗浄液の要求に応じて、自動的に実施されるので、共通設備のコンフリクトやタンク等の容量に留意するだけで、特に制御を行う必要はない。

また、４つのユニットがありながら、３つのユニットで、回収、貯留、再生、供給を行うことができるので、いずれかのユニットが故障しても、休止させていたユニットを稼動させることにより、システム全体を停止させることなく連続して行うことができる。尚、４つのユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを１つずつサイクル毎に順に休止させるようにローテーションを組むことも可能である。

［多数のユニットを含む液体再生システム］
次に、図１６に基づいて、多数のユニットを含む液体再生システムについて説明する。液体再生システム３００は、被処理部材を洗浄液にて洗浄するプライミングローラー洗浄装置９０と、同装置９０からの使用済み洗浄液を回収して再生する液体再生装置３１０と、これらの装置９０、３１０を制御する制御装置３２０とを備え、連続的に使用洗浄液を再生し、該再生洗浄液を供給可能な液体再生システムである。

液体再生装置３１０は、使用洗浄液を回収する回収部３１２と、回収された使用洗浄液を貯留する再生タンクを含む再生部３１４と、再生された洗浄液を貯留する貯留部３１６と、再生洗浄液を前記プライミングローラー洗浄装置９０へ供給する供給部３１７とで構成されるユニット３１８を複数備えている。

プライミングローラー洗浄装置９０は、洗浄液排出管９７が回収配管３１１を介して配管１１に連結することにより、液体再生装置３１０と接続されている。配管１１は各ユニット３１８に接続されている。また、各ユニット３１８は、供給のための配管３５に接続され、供給配管３１７を介して、プライミングローラー洗浄装置９０に接続される。

制御装置３２０は、プライミングローラー洗浄装置９０及び液体再生装置３１０を制御可能に接続されるが、各ユニット３１８の回収部３１２、再生部３１４、貯留部３１６、及び供給部３１７は、ワイヤレスを含む通信回線３２２を介して制御可能に接続されている。

図示するように多数のユニットを直接制御可能に用いているので、各ユニットの組み合わせによる処理洗浄液容量の変化に容易に対応可能である。例えば、これら複数のユニットの各再生タンクの１個あたりの容量をＶとした場合、２個のタンクからなるユニット群の容量は２×Ｖ、３個のタンクからなるユニット群の容量は３×Ｖとなる。このとき、用いられなかったユニットは休止させておき、稼働ユニットの故障その他の不具合の場合に、予備ユニットとして用いることができる。また、１サイクルでは使用しなかったユニットについて、次のサイクルでは前のサイクルで使用したユニットの代わりに使用することにより、サイクル間で順繰りに待機するユニットを回していくこともできる。

［まとめ］
上述するように、プライミングローラー洗浄装置のような処理装置の仕様と、液体再生装置の仕様をうまくマッチングすれば、最適な洗浄液の使用／再生システムを構築することができる。例えば、プライミングローラー洗浄装置の洗浄液の全体の使用量、使用量の時間変化、再生洗浄液の再使用量、及び再生洗浄液の再使用量の時間変化を、予め予測しておき、スペックとしてその処理装置に関連してデータベースに記憶しておく。そして、液体再生装置として、単位時間あたりの再生洗浄液の通常及び最大生産量等の再生処理能力や、そのための再生タンクの容量や数、再生タンクの切り替え時間等のスペックをその液体再生装置と関連してデータベースに記憶しておけば、これらプライミングローラー洗浄装置のような処理装置及び液体再生装置の好ましい選択が可能となる。

Claims (18)

1. 処理装置から被処理部材を洗浄した使用済み洗浄液（以下「使用洗浄液」という）を回収し、再生し、再生された洗浄液（以下「再生洗浄液」という）を再び処理装置へ供給する液体再生装置であって、
   前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに再生洗浄液の供給を行う第１及び第２のユニットを含み、それぞれのユニットは、
   前記処理装置に接続して設けられ、前記使用洗浄液を回収する回収手段と、
   前記回収手段に接続して設けられ、その回収手段により回収された前記使用洗浄液を受入れ再生する再生手段と、
   前記再生手段に接続して設けられ、その再生手段により再生された再生洗浄液を貯留する貯留手段と、
   前記貯留手段及び前記処理装置に接続して設けられ、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、を含み、
   前記第１のユニットが前記使用洗浄液を回収している際に、前記第２のユニットが予め回収された使用洗浄液を再生することができる液体再生装置。
2. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記回収手段、前記再生手段、前記貯留手段、及び前記供給手段を制御する制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の液体再生装置。
3. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生手段は、回収した前記使用洗浄液を貯留する再生タンクと、該再生タンクに設けられ前記使用洗浄液を加熱可能なヒーターと、を備えることを特徴とする請求項２に記載の液体再生装置。
4. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生タンクの上部に接続され排気・減圧するための排気手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の液体再生装置。
5. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生手段及び／又は前記供給手段が、貯留液量を検出することができる検出手段を備えることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の液体再生装置。
6. 前記制御手段は、前記第１の及び前記第２のユニットの前記検出手段によって検出された前記使用洗浄液及び／又は前記再生洗浄液の量に基づいて、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段を制御することを特徴とする請求項５に記載の液体再生装置。
7. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前記再生タンク底部に接続され前記使用洗浄液の再生後残渣を抜き出して廃棄する廃棄手段を更に備えることを特徴とする請求項３又は４に記載の液体再生装置。
8. 前記第１の及び前記第２のユニットにおいて、前再生手段は、前記使用洗浄液の蒸留分を冷却して液化し、前記再生洗浄液とする冷却手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体再生装置。
9. 前記第１の及び前記第２のユニットの前記冷却手段に冷却水を供給する冷却水供給手段を更に備えることを特徴とする請求項７に記載の液体再生装置。
10. 洗浄液を使用する処理装置の使用洗浄液を回収する回収手段と、
    回収された前記使用洗浄液を再生して再生洗浄液を貯留する再生手段と、
    前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、
    前記回収手段、再生手段、及び前記供給手段を制御する制御手段とを備える液体再生装置を用いる洗浄液再生方法において、
    前記回収手段により使用洗浄液を前記再生手段に供給する工程と、
    前記再生手段により前記使用洗浄液を再生洗浄液に再生する工程と、
    前記供給手段により前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する工程と、を含み、
    各工程の洗浄液の処理状況を把握して、これらの工程を同時に行うことができるように制御することを特徴とする洗浄液再生方法。
11. 処理装置から被処理部材を洗浄した使用洗浄液を回収し、再生し、再生洗浄液を再び処理装置へ供給する洗浄液再生方法であって、
    前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに前記再生洗浄液の供給を行う複数の洗浄液再生処理フローを組合わせることにより、連続的に前記使用洗浄液を回収し、再生し、前記再生洗浄液を再び処理装置へ供給することを特徴とする洗浄液再生方法。
12. 前記複数の洗浄液再生処理フローは、
    前記使用洗浄液の回収工程、再生工程、及び前記再生洗浄液の供給工程からなる第１のフローと、
    前記第１のフローに同期して、前記使用洗浄液の再生工程、前記再生洗浄液の供給工程、及び前記使用洗浄液の回収工程からなる第２のフローと、
    前記第１のフローに同期して、前記再生洗浄液の供給工程、前記使用洗浄液の回収工程及び再生工程からなる第３のフローと、を少なくとも含むことを特徴とする請求項１１に記載の洗浄液再生方法。
13. 前記第１の、第２の、及び第３のフローの各工程は、その対象工程の前後の工程が他のフローにおける前記対象工程に対応する対応工程の前後の工程にオーバーラップ可能に制御することを特徴とする請求項１２に記載の洗浄液再生方法。
14. 被処理部材を洗浄液で洗浄する処理装置と、該処理装置からの使用洗浄液を回収して再生する液体再生装置と、を備え、該処理装置及び該液体再生装置の間で前記使用洗浄液及び再生洗浄液を連続的に循環させる液体再生システムであって、
    前記液体再生装置は、前記使用洗浄液の回収及び再生、並びに再生洗浄液の供給を行う第１及び第２のユニットを含み、それぞれのユニットは、
    前記処理装置に接続して設けられ、前記使用洗浄液を回収する回収手段と、
    前記回収手段に接続して設けられ、その回収手段により回収された前記使用洗浄液を受入れ再生する再生手段と、
    前記再生手段に接続して設けられ、その再生手段により再生された再生洗浄液を貯留する貯留手段と、
    前記貯留手段及び前記処理装置に接続して設けられ、前記再生洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、を含み、
    前記第１のユニットが前記使用洗浄液を回収している際に、前記第２のユニットが予め回収された使用洗浄液を再生することができる液体再生システム。
15. 同様に構成される第３の及び第４のユニットを更に備えることを特徴とする請求項１４に記載の液体再生システム。
16. 前記処理装置及び前記液体再生装置を制御する制御手段を更に備え、該制御手段が前記処理装置と前記液体再生装置との間で相互に通信を行いつつ、液体再生装置の各ユニットでの前記回収工程、前記再生工程、前記供給工程を制御することを特徴とする請求項１４又は１５に記載の液体再生システム。
17. 洗浄液を使用する処理装置の使用洗浄液を回収する回収手段と、
    回収された前記使用洗浄液を再生する再生手段と、
    前記再生手段により再生された洗浄液を前記処理装置に供給する供給手段と、
    前記回収手段、再生手段、及び前記供給手段を制御する制御手段とを備える液体再生装置。
18. 前記制御手段が前記処理装置からの洗浄液使用予定信号に応じて、前記回収手段、前記再生手段、及び前記供給手段の間の容量調整を行うことを特徴とする請求項１７に記載の液体再生装置。
    

Images