JPWO2008069191A1 - ウエーハ収納カセット検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 左側壁
12 右側壁
13L 左ウエーハ支持部
13R 右ウエーハ支持部
131k〜131k+2 棚板部
20 基準メッシュ
50 処理ユニット
51 入力ユニット
52 表示ユニット
53 駆動制御回路
61、62、63、64 カメラ
200 昇降機構
210 カメラ固定機構
300 設置台
311、312、313、314 基準ピン
に従って平均化して、各ウィンドウ(j)に対する基準ヒストグラムhisAVE( j )を作成する(S5)。そして、処理ユニット50は、得られた各ウィンドウ(j)の基準ヒストグラムhisAVE( j )の標準偏差値(輝度値の分布状態を表す)を基準標準偏差値σREF(j)として算出する(S6)。
合致度=σINS(j)/σREF(j)
に従って算出する(S15)。この合致度は、基準となるウエーハ収納カセットに対応した3次元補正画像における輝度値の分布状態と検査すべきウエーハ収納カセットに対応した3次元補正画像における輝度値の分布状態との一致の程度を表すもので、一致していれば、その値は「1」となり、その一致の程度が小さくなるほど(異なる程度が大きくなるほど)その値は、1から大きく異なるようになる。検査対象部位の表面の状態(傷、ごみ、膜等の状態)が撮影画像(3次元補正画像)の輝度分布(濃度分布)に反映されることから、前記合致度に基づいて、検査すべきウエーハの検査対象部位(支持部13L、13R)の表面の状態が、基準となるウエーハの同じ検査対象部位の表面の状態に合致している程度を表すことができる。
|1−合致度|・Wj
の値が所定の閾値αより小さいか否かを判定する(S16)。
|1−合致度|・Wj
の値が、図18に示すウィンドウ(12)や図19に示すウィンドウ(3)の場合のように、所定の閾値αより小さい場合、そのウィンドウ(j=12、3)に対して良好(OK)であるとの判定を行い(S17)、前記値が、図18に示すウィンドウ(3)や図19に示すウィンドウ(12)の場合のように、前記閾値α以上となる場合、そのウィンドウ(j)に対して不良(NG)であるとの判定を行う(S18)。そして、例えば、設定された検査矩形領域EGを構成する複数のウィンドウ(j)のうち、1つのウィンドウに対してでも前記不良の判定がなされた場合に、そのウエーハ収納カセット(検査対象部位)を不良であると判定することができる。なお、このウエーハ収納カセット(検査対象部位)に対する良否判定の基準は、適宜決めることができる。
Claims (13)
- 設置台に設置されるウエーハ収納カセットの前部開口面に対向してその視野範囲内に前記ウエーハ収納カセット内部の検査対象部位が含まれるように設置され、前記視野範囲を撮影して画像信号を出力する撮影装置と、
前記撮影装置からの画像信号を処理する処理ユニットとを有し、
前記処理ユニットは、
前記撮影装置が前記視野範囲内に前記検査対象部位と所定の配置関係にて設置された所定形状の基準体を撮影して出力する画像信号に基づいて基準画像情報を生成する基準画像生成手段と、
前記撮影装置が前記ウエーハ収納カセット内部の検査対象部位を撮影して出力する画像信号に基づいて被検査画像情報を生成する被検査画像情報生成手段と、
前記基準画像情報から前記基準体の所定平面画像を得るための処理を前記被検査画像情報に施して補正画像情報を生成する画像補正手段と、
前記補正画像情報に基づいて前記検査対象部位の外観的属性を表す外観属性情報を生成する外観属性情報生成手段とを有するウエーハ収納カセット検査装置。 - 前記外観属性情報に基づいて前記検査対象部位の良否を判定する良否判定手段を有する請求項1記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 基準となる所定ウエーハ収納カセットの検査対象部位についての外観属性情報を外観属性基準情報として生成する基準情報生成手段を有し、
前記良否判定手段は、検査されるべきウエーハ収納カセットの検査対象部位についての前記外観属性情報と前記外観属性基準情報とに基づいて前記検査されるべきウエーハ収納カセットにおける前記検査対象部位の良否を判定する求項2記載のウエーハ収納カセット検査装置。 - 前記基準体は、複数の縦線及び横線が直交してメッシュ状に配列される平面構造となる請求項1記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 前記外観属性情報生成手段は、前記補正画像情報にて表される補正画像上に複数の領域を設定し、その各領域内における画素値の分布状態に基づいた外観属性情報を生成する請求項1記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 前記補正画像上に設定される複数の領域は、矩形領域を分割して得られる複数の矩形ウィンドウである請求項5記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 前記検査対象部位は、前記ウエーハ収納カセットの内側壁に形成され、複数の棚板部を有する半導体ウエーハの支持部である請求項1記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 前記基準体は、複数の縦線及び横線が直交してメッシュ状に配列される平面構造となり、
前記基準画像生成手段は、前記複数の縦線及び横線の配列される平面が前記半導体ウエーハの支持部の所定近傍位置にてそれに平行となる配置関係にて設置された前記基準体を前記撮影装置が撮影する際に、当該撮影装置から出力される画像信号に基づいて前記基準画像情報を生成する請求項7記載のウエーハ収納カセット検査装置。 - 前記外観属性情報生成手段は、前記補正画像情報にて表される補正画像上に複数の矩形ウィンドウに分割された矩形領域を設定し、各矩形ウィンドウにおける画素値の分布状態に基づいて前記外観属性情報を生成する請求項7記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 基準となる所定のウエーハ収納カセットの前記半導体ウエーハの支持部についての補正画像上に設定された前記矩形領域の各矩形ウィンドウについて画素値の分布状態に基づいた外観属性基準情報を生成する基準情報生成手段と、
各矩形ウィンドウについての前記外観属性基準情報と、検査されるべきウエーハ収納カセットに対して前記外観属性情報生成手段にて生成された対応する矩形ウィンドウについての外観属性情報とに基づいて当該検査されるべきウエーハ収納カセットの前記検査対象部位の良否を判定する良否判定手段とを有する請求項9記載のウエーハ収納カセット検査装置。 - 前記基準情報生成手段は、前記基準となる所定のウエーハ収納カセットについて生成された複数の補正画像のそれぞれに対して前記矩形領域の各矩形ウィンドウについて画素値の分布状態を表すヒストグラムを生成し、その各矩形ウィンドウについての前記複数の補正画像に対する複数のヒストグラムに基づいて外観属性基準情報を生成する請求項10記載のウエーハ収納カセット検査装置。
- 前記基準となる所定のウエーハ収納カセットに対して設定される前記矩形領域の各矩形ウィンドウについて得られる複数のヒストグラムのばらつき程度に応じた重み係数を生成する重み生成手段を有し、
前記良否判定手段は、前記各矩形ウィンドウについての前記外観属性基準情報及び前記外観属性情報とともに対応する矩形ウィンドウについての重み係数に基づいて前記検査されるべきウエーハ収納カセットの前記検査対象部位の良否を判定する請求項11記載のウエーハ収納カセット検査装置。 - 設置台に設置されるウエーハ収納カセットの前部開口面に対向してその視野範囲内に前記ウエーハ収納カセット内部の検査対象部位が含まれるように設置され、前記視野範囲を撮影して画像信号を出力する撮影装置を用い、
前記撮影装置が前記視野範囲内に前記検査対象部位と所定の配置関係にて設置された所定形状の基準体を撮影する際に当該撮影装置から出力される画像信号に基づいて基準画像情報を生成する基準画像生成工程と、
前記撮影装置が前記ウエーハ収納カセット内部の検査対象部位を撮影して出力する画像信号に基づいて被検査画像情報を生成する被検査画像情報生成工程と、
前記基準画像情報から前記基準体の所定平面画像を得るための処理を前記被検査画像情報に施して補正画像情報を生成する画像補正工程と、
前記補正画像情報に基づいて前記検査対象部位の外観的属性を表す外観属性情報を生成する工程とを有するウエーハ収納カセット検査方法。
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