TWI417535B - 卡匣校正系統及其方法 - Google Patents

Description

卡匣校正系統及其方法

本發明關於一種卡匣校正系統及其方法，尤指一種可自動校正卡匣之卡匣校正系統及其方法。

一般而言，晶圓廠或面板廠大多利用卡匣來承載玻璃基板。為了避免玻璃基板在存取的過程中因卡匣變形過大而造成破片，生產線需要先檢驗卡匣是否有變形。目前，卡匣的校正大多依靠作業人人利用手動量測工具進行檢驗。在檢驗出某一個卡匣為不良品後，再由作業人員針對不良處加以調校。之後，經手動量測工具確認為良品後，再投入生產系統中。然而，上述流程需花費不少資源，如人力、校正佔地及良品/不良品多次判定作業事宜，造成人力及系統資源浪費。

因此，本發明的目的之一在於提供一種可自動校正卡匣之卡匣校正系統及其方法，以解決上述問題。

根據一實施例，本發明之卡匣校正系統包含一基座、一感測裝置、一影像擷取裝置、一扭矩調整裝置以及一資料處理裝置。基座具有一開口。感測裝置可移動地設置在基座之開口中。影像擷取裝置可移動地設置在基座之一第一側。扭矩調整裝置可移動地設置在基座之一第二側，且第二側與第一側相對。資料處理裝置有線或無線連接於感測裝置、影像擷取裝置以及扭矩調整裝置。

於此實施例中，影像擷取裝置包含一第一升降平台以及N個影像擷取單元，N為正整數。N個影像擷取單元並行排列於第一升降平台上，且第一升降平台可帶動N個影像擷取單元相對基座的第一側上下移動。扭矩調整裝置包含一第二升降平台以及N個扭矩調整單元。N個扭矩調整單元並行排列於第二升降平台上，且第二升降平台可帶動N個扭矩調整單元相對基座的第二側上下移動。每一個扭矩調整單元分別對應一個影像擷取單元。每一個扭矩調整單元包含P個調整件，P為正整數。感測裝置包含一第三升降平台、2N個轉動件以及6N*M個感測單元，M為正整數。2N個轉動件可轉動地設置在第三升降平台上，在每一個轉動件上設置3M個感測單元，且第三升降平台可帶動2N個轉動件以及6N*M個感測單元相對基座上下移動。每二個轉動件分別對應一個扭矩調整單元與一個影像擷取單元。

根據另一實施例，本發明之卡匣校正方法用以校正一卡匣。卡匣包含一框架、N*M個支撐件以及N*M*P個扭矩固定件。N*M個支撐件排列成M列，每一列包含N個並行排列的支撐件，且每一個支撐件分別藉由P個扭矩固定件固定於框架上，N、M與P皆為正整數。

本發明之卡匣校正方法包含下列步驟：(a)將卡匣放置於一基座上；(b)利用一影像擷取裝置擷取對應N*M個支撐件之N*M個影像；(c)比對一標準樣版與每一個影像中之一第一實際樣版，以判斷每一個支撐件是否需被校正，當N*M個支撐件中的Q個支撐件需被校正時，進行步驟(d)，Q為小於或等於N*M之正整數，當N*M個支撐件中的Q個支撐件不需被校正時，則將卡匣自基座上移離或載出，並針對另一卡匣重複進行步驟(a)；(d)利用一感測裝置感測對應Q個支撐件中的第u個支撐件之一第一垂直斜率Sx1、一第二垂直斜率Sx2以及一水平斜率Sy，u為小於或等於Q之正整數；(e)根據第一垂直斜率Sx1、第二垂直斜率Sx2以及水平斜率Sy，計算對應P個扭矩固定件之P個權重斜率Sw，並以Sw_v表示P個權重斜率中的第v個權重斜率，v為小於或等於P之正整數；(f)查詢一對照表，以得到對應P個權重斜率Sw之P個調整參數，對照表紀錄複數個權重斜率以及複數個調整參數，每一個權重斜率分別對應一個調整參數；以及(g)根據P個調整參數，利用一扭矩調整裝置分別調整P個扭矩固定件。

綜上所述，根據本發明之卡匣校正系統及其方法，當卡匣放置於基座上時，資料處理裝置即會控制感測裝置、影像擷取裝置以及扭矩調整裝置自動對卡匣進行校正。藉此，不僅可節省人力及系統資源，亦可縮短量測、校正時間。

關於本發明之優點與精神可以藉由以下的發明詳述及所附圖式得到進一步的瞭解。

請參閱第1圖，第1圖為根據本發明一實施例之卡匣校正系統1的示意圖。如第1圖所示，卡匣校正系統1包含一基座10、一感測裝置12、一影像擷取裝置14、一扭矩調整裝置16以及一資料處理裝置18。基座10具有一開口100。感測裝置12可移動地設置在基座10之開口100中。影像擷取裝置14可移動地設置在基座10之一第一側。扭矩調整裝置16，通常又可稱為芯出裝置或芯出機(Centering Machine)，可移動地設置在基座10之一第二側，且第二側與第一側相對。資料處理裝置18有線或無線連接於感測裝置12、影像擷取裝置14以及扭矩調整裝置16。

於此實施例中，影像擷取裝置14包含一第一升降平台140以及三個影像擷取單元142。三個影像擷取單元142並行或直線排列於第一升降平台140上，且第一升降平台140可帶動三個影像擷取單元142相對基座10的第一側或感測裝置12上下移動。扭矩調整裝置16包含一第二升降平台160以及三個扭矩調整單元162或芯出單元。三個扭矩調整單元162並行或直線排列於第二升降平台160上，且第二升降平台160可帶動三個扭矩調整單元162相對基座10的第二側或感測裝置12上下移動。當第二升降平台160移動至定點後，每一個扭矩調整單元162可分別相對第二升降平台160或感測裝置12前後移動，以接近或遠離第二升降平台160與感測裝置12。每一個扭矩調整單元162包含五個調整件164或芯出件。感測裝置12包含一第三升降平台120、六個轉動件122以及七十二個感測單元124。六個轉動件122分別可水平轉動地設置在第三升降平台120上，在每一個轉動件122上分別設置十二個感測單元124，且第三升降平台120可帶動六個轉動件122以及七十二個感測單元124相對基座10、影像擷取裝置14或扭矩調整裝置16上下移動。每一個扭矩調整單元162可分別對應一個影像擷取單元142。每二個轉動件122可分別對應一個扭矩調整單元162與一個影像擷取單元142。

於實際應用中，影像擷取單元142可為電荷耦合元件(charge coupled device,CCD)影像感測器或互補式金氧半導體(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)影像感測器，且資料處理裝置18可為電腦設備或其它具有資料運算/處理能力之電子裝置。

於此實施例中，六個轉動件122可包含三個第一轉動件1220以及三個第二轉動件1222，其中第一轉動件1220與第二轉動件1222相距一間距D。此外，七十二個感測單元124可包含十二個第一垂直感測單元1240、十二個第三垂直感測單元1241、十二個第一水平感測單元1242、十二個第二垂直感測單元1243、十二個第四垂直感測單元1244以及十二個第二水平感測單元1245。如第1圖所示，在每一個第一轉動件1220上分別設置四個第一垂直感測單元1240、四個第三垂直感測單元1241以及四個第一水平感測單元1242，第一垂直感測單元1240分別與第三垂直感測單元1241相對應，第一水平感測單元1242則分別位於第一垂直感測單元1240與第三垂直感測單元1241之間，並且在每一個第二轉動件1222上分別設置四個第二垂直感測單元1243、四個第四垂直感測單元1244以及四個第二水平感測單元1245，第二垂直感測單元1243分別與第四垂直感測單元1244相對應，第二水平感測單元1245則分別位於第二垂直感測單元1243與第四垂直感測單元1244之間。每一個影像擷取單元142可同時對應一個第一轉動件1220與一個第二轉動件1222。

需說明的是，影像擷取裝置14可包含N個影像擷取單元142，扭矩調整裝置16亦可包含N個扭矩調整單元162，每一個扭矩調整單元162亦可包含P個調整件164，且感測裝置12亦可包含2N個轉動件122以及6N*M個感測單元124，N、M與P皆為正整數。亦即，2N個轉動件122可包含N個第一轉動件1220、N個第二轉動件1222，且6N*M個感測單元124可包含N*M個第一垂直感測單元1240、N*M個第三垂直感測單元1241、N*M個第一水平感測單元1242、N*M個第二垂直感測單元1243、N*M個第四垂直感測單元1244以及N*M個第二水平感測單元1245。亦即，在其它實施例中，N、M與P可為其它的正整數，不以第1圖實施例的3、4與5為限。

請參閱第2圖以及第3圖，第2圖為卡匣3的立體圖，第3圖為第2圖中的卡匣3的後視圖。卡匣3包含一框架30、十二個支撐件32以及六十個扭矩固定件34。如第2圖所示，十二個支撐件32排列成四列，每一列包含三個並行或直線排列的支撐件32。此外，如第3圖所示，每一個支撐件32分別藉由五個扭矩固定件34固定於框架30上。

在本實施例中，每一個支撐件32分別對應一個第一垂直感測單元1240、一個第三垂直感測單元1241、一個第一水平感測單元1242、一個第二垂直感測單元1243、一個第四垂直感測單元1244以及一個第二水平感測單元1245。

需說明的是，卡匣3亦可包含N*M個支撐件以及N*M*P個扭矩固定件，N*M個支撐件排列成M列，每一列包含N個並行排列的支撐件，且每一個支撐件分別藉由P個扭矩固定件固定於框架30上，N、M與P皆為正整數。亦即，在其它實施例中，N、M與P可為其它的正整數，不以第2圖以及第3圖實施例的3、4與5為限。

請參閱第4圖以及第5圖，第4圖為根據本發明一實施例之卡匣校正方法的流程圖，第5圖為第2圖中的卡匣3放置在第1圖中的卡匣校正系統1之基座10上的示意圖。請一併參閱第1圖至第3圖。欲對第2圖所示的卡匣3進行校正時，將卡匣3放置於基座10上(步驟S10)，如第5圖所示。接著，資料處理裝置18控制影像擷取裝置14之第一升降平台140相對基座10由下往上或由上往下依序移動，並且利用三個或N個影像擷取單元142同時擷取對應每一列的三個或N個支撐件32之三個或N個影像，以得到對應十二個或N*M個支撐件32之十二個或N*M個影像(步驟S12)。

請參閱第6A圖及6B圖，第6A圖及6B圖為對應一個支撐件32的影像之示意圖。如第6A圖及6B圖所示，支撐件32具有一突出部320，實線框表示一標準樣版，且虛線框表示一第一實際樣版。於此實施例中，標準樣版為突出部320位於影像中的標準位置，而第一實際樣版則為突出部320位於影像中的實際位置。其中，標準樣版係儲存或內建於資料處理裝置18中，第一實際樣版則由三個或N個影像擷取單元142依序對十二個或N*M個支撐件32進行影像撷取後，再儲存於資料處理裝置18中，經資料處理裝置18進行影像或資料處理而得。在本實施例中，第一實際樣版與標準樣版皆為大於突出部320的剖面影像的矩形圖樣，第一實際樣版與標準樣版的大小相等，且第一實際樣版可完全包圍突出部320的剖面影像；然而在其它實施例中，第一實際樣版與標準樣版可以與突出部320的剖面影像相同，且第一實際樣版與突出部320的剖面影像相同或完全重疊。

在藉由三個或N個影像擷取單元142得到對應十二個或N*M個支撐件32之十二個或N*M個影像後，資料處理裝置18會處理十二個或N*M個影像以得到對應的十二個或N*M個第一實際樣版，接著資料處理裝置18會再比對儲存或內建的標準樣版與每一個影像中之第一實際樣版，以判斷每一個支撐件32是否需被校正(步驟S14)。當資料處理裝置18判斷十二個或N*M個支撐件32中的Q個支撐件32需被校正時，進行步驟S16，Q為小於或等於十二或N*M之正整數(於此實施例中，Q可為一至十二中的任意整數)；當資料處理裝置18判斷十二個或N*M個支撐件32皆不需被校正時，則將卡匣3自基座10上移離或載出，並針對另一卡匣(未顯示)重複進行步驟S10與其後續步驟。

於上述之步驟S14中，資料處理裝置18會先計算第一實際樣版相對標準樣版之一水平偏移量Sa及/或垂直偏移量Sb，並且判斷此偏移量Sa及/或Sb是否大於一門檻值。若此偏移量Sa及/或Sb大於門檻值，資料處理裝置18判斷對應的支撐件需被水平及/或垂直校正。反之，若此偏移量Sa及/或Sb未大於門檻值，資料處理裝置18判斷對應的支撐件不需被水平及/或垂直校正。上述之門檻值即為可容忍或可容許的支撐件32在基座10第一側的水平及/或垂直偏移量或變形量，其可由使用者自行定義。在本實施例中，垂直偏移量Sb係以門檻值則為2公釐為例進行說明，但並不以此為限。

當資料處理裝置18判斷十二個或N*M個支撐件32中的Q個支撐件32需被校正時，也就是垂直偏移量Sb為2.12公釐，大於門檻值為2公釐時，資料處理裝置18會控制感測裝置12之第三升降平台120從基座10之開口100中升起，請參閱第1圖。此時，六個轉動件122會分別由卡匣3的框架30底部的開口(未顯示)進入或伸入卡匣3的框架30中。待第三升降平台120移動至定點後，例如：對應於Q個需被校正的支撐件32中的第u個支撐件32的位置，資料處理裝置18會控制每一個轉動件122分別相對第三升降平台120轉動，以使每一個支撐件32分別對應一個第一垂直感測單元1240、一個第三垂直感測單元1241、一個第一水平感測單元1242、一個第二垂直感測單元1243、一個第四垂直感測單元1244以及一個第二水平感測單元1245。此時，資料處理裝置18即可利用感測裝置12感測對應Q個需被校正的支撐件32中的第u個支撐件32之一第一垂直斜率Sx1、一第二垂直斜率Sx2以及一水平斜率Sy(步驟S16)，u為小於或等於Q之正整數。

請參閱第7A圖以及第7B圖，第7A圖為一個支撐件32與對應的第一轉動件1220或第二轉動件1222之前視圖，第7B圖為一個支撐件32與對應的第一轉動件1220及第二轉動件1222之側視圖。於此實施例中，資料處理裝置18利用第一垂直感測單元1240感測對應第u個支撐件之一第一垂直距離x1(例如：23公釐)，以及利用第二垂直感測單元1243感測對應第u個支撐件之一第二垂直距離x2(例如：21公釐)，利用第三垂直感測單元1241感測對應第u個支撐件之一第三垂直距離x3(例如：18公釐)，以及利用第四垂直感測單元1244感測對應第u個支撐件之一第四垂直距離x4(例如：19公釐)；利用第一水平感測單元1243感測對應第u個支撐件之一第一水平距離y1(例如：5公釐)，以及利用第二水平感測單元1245感測對應第u個支撐件之一第二水平距離y2(例如：6公釐)。接著，資料處理裝置18利用下列公式一、公式二以及公式三分別計算第一垂直斜率Sx1、第二垂直斜率Sx2以及水平斜率Sy。下列公式中的D(例如：500公釐)即為前述的第一轉動件1220與第二轉動件1222之間的間距，請參閱第1圖與第5圖。

公式一：Sx1=(x1-x2)/D=(23-21)/500=0.004。

公式二：Sx2=(x3-x4)/D=(18-19)/500=-0.002。

公式三：Sy=(y1-y2)/D=(5-6)/500=-0.002。

接著，資料處理裝置18根據第一垂直斜率Sx1(例如：0.004)、第二垂直斜率Sx2(例如：-0.002)以及水平斜率Sy(例如：-0.002)，以下列公式四計算對應五個或P個扭矩固定件34之全部或預定數目的權重斜率Sw(步驟S18)，並以Sw_v表示五個權重斜率中的第v個權重斜率，v為小於或等於5之正整數。舉例而言，如果五個扭矩固定件34皆須被調整，則資料處理裝置18會計算出五個對應的權重斜率；如果五個扭矩固定件34只有其中的三個須被調整，則資料處理裝置18會計算出三個對應的權重斜率；以此類推。

公式四：Sw_v=w1_v*Sx1+w2_v*Sx2+w3_v*Sy。

其中w1_v表示對應第v個(例如：第一個至第五個)扭矩固定件之一第一權重(例如：40%、50%、45%、25%、15%)，w2_v表示對應第v個扭矩固定件之一第二權重(例如：20%、50%、40%、55%、65%)，w3_v表示對應第v個扭矩固定件之一第三權重(例如：-40%、0%、15%、20%、-20%)。上述第一權重、第二權重以及第三權重可根據實際所欲調整的量來設計。

Sw_1=w1_1*Sx1+w2_1*Sx2+w3_1*Sy=(40%)*0.004+(20%)*(-0.002)+(-40%)*(-0.002)=0.002；

Sw_2=w1_2*Sx1+w2_2*Sx2+w3_2*Sy=(50%)*0.004+(50%)*(-0.002)+(0%)*(-0.002)=0.001；

Sw_3=w1_3*Sx1+w2_3*Sx2+w3_3*Sy=(45%)*0.004+(40%)*(-0.002)+(15%)*(-0.002)=0.0007；

Sw_4=w1_4*Sx1+w2_4*Sx2+w3_4*Sy=(25%)*0.004+(55%)*(-0.002)+(20%)*(-0.002)=-0.002；

Sw_5=w1_5*Sx1+w2_5*Sx2+w3_5*Sy=(15%)*0.004+(65%)*(-0.002)+(-20%)*(-0.002)=-0.0016。

請參閱第8圖，第8圖為根據本發明一實施例之對照表的示意圖。如果五個扭矩固定件34皆須被調整，資料處理裝置18查詢一對照表，其儲存或內建於資料處理裝置18中，以得到對應五個或P個權重斜率Sw之五個或P個調整參數(步驟S20)，其中上述對照表紀錄複數個權重斜率以及複數個調整參數，且每一個權重斜率分別對應一個調整參數，如第8圖所示。於此實施例中，當權重斜率為正，對應的調整參數以逆轉圈數表示；當權重斜率為負，對應的調整參數以正轉圈數表示；當權重斜率為0，對應的調整參數亦為0。舉例而言，如果對應五個扭矩固定件34之五個權重斜率Sw_1~Sw_5分別為0.002、0.001、0.0007、-0.002以及-0.0016，則由第8圖所示之對照表可以得到對應的五個調整參數分別為逆轉(逆時針方向旋轉)放鬆2圈、逆轉放鬆1圈、逆轉放鬆0.7圈、正轉(順時針方向旋轉)鎖緊2圈以及正轉鎖緊1.6圈，亦即調整圈數等於1000*權重斜率。在其它實施例中，逆轉可以是鎖緊，正轉可以是放鬆，而調整圈數與權重斜率也可以是其它的對照關係，並不限於第8圖所示之線性對照關係。

接著，資料處理裝置18根據得到的五個或P個調整參數，利用扭矩調整裝置16分別調整五個或P個扭矩固定件34(步驟S22)。於此實施例中，資料處理裝置18控制扭矩調整裝置16之第二升降平台160相對基座10由下往上移動至需被校正的支撐件32處，例如：對應於Q個需被校正的支撐件32中的第u個支撐件32的位置，並且控制對應的扭矩調整單元162往前移動，使每一個調整件164與對應的扭矩固定件34連接。在本實施例中，調整件164係為凸出件，扭矩固定件34則為凹入件，調整件164係可插入扭矩固定件34中而互相連接；然而，在其它實施例中，調整件164可為凹入件，扭矩固定件34則為凸出件，扭矩固定件34則可插入調整件164中而互相連接。之後，根據五個或P個調整參數的逆轉圈數、正轉圈數或0，利用對應的五個或P個調整件164分別逆轉、正轉調整或不調整對應的五個或P個扭矩固定件34。

接著，資料處理裝置18直接利用影像擷取裝置14擷取已完成第一次校正之第u個支撐件之影像(步驟S24)，並且比對標準樣版與第u個支撐件之影像中之一第二實際樣版，以判斷第u個支撐件是否仍需被校正(步驟S26)。當第u個支撐件仍需被校正時，重複步驟S16至S22。接著，重複步驟S24至S26R次，R為正整數，例如可重複重複步驟S24至S26一次、兩次、三次...等。最後，在重複步驟S24至S26R次後，若第u個支撐件仍需被校正，資料處理裝置18即可判斷第u個支撐件無法完成自動校正(步驟S28)，則將卡匣3自基座10上移離或載出，以將卡匣3手動調整或將此卡匣3列為待修狀態，由系統通知卡匣管理者以人工或自動方式更換無法完成自動校正的第u個支撐件，並針對另一卡匣重複進行步驟S10與其後續步驟。或者，重複步驟S16至S26，直到需被校正的Q個支撐件32皆完成校正(步驟S30)，再將卡匣3自基座10上移離或載出，並針對另一卡匣重複進行步驟S10與其後續步驟。

相較於先前技術，根據本發明之卡匣校正系統及其方法，當卡匣放置於基座上時，資料處理裝置即會控制感測裝置、影像擷取裝置以及扭矩調整裝置自動對卡匣進行校正。藉此，不僅可節省人力及系統資源，亦可縮短量測、校正時間。

以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。

1．．．卡匣校正系統

3．．．卡匣

10．．．基座

12．．．感測裝置

14．．．影像擷取裝置

16．．．扭矩調整裝置

18．．．資料處理裝置

30．．．框架

32．．．支撐件

34．．．扭矩固定件

100．．．開口

120．．．第三升降平台

122‧‧‧轉動件

124‧‧‧感測單元

140‧‧‧第一升降平台

142‧‧‧影像擷取單元

160‧‧‧第二升降平台

162‧‧‧扭矩調整單元

164‧‧‧調整件

320‧‧‧突出部

1220‧‧‧第一轉動件

1222‧‧‧第二轉動件

1240‧‧‧第一垂直感測單元

1241‧‧‧第三垂直感測單元

1242‧‧‧第一水平感測單元

1243‧‧‧第二垂直感測單元

1244‧‧‧第四垂直感測單元

1245‧‧‧第二水平感測單元

x1‧‧‧第一垂直距離

x2‧‧‧第二垂直距離

x3‧‧‧第三垂直距離

x4‧‧‧第四垂直距離

y1‧‧‧第一水平距離

y2‧‧‧第二水平距離

D‧‧‧間距

Sa‧‧‧水平偏移量

S10-S30‧‧‧步驟

Sb‧‧‧垂直偏移量

第1圖為根據本發明一實施例之卡匣校正系統的示意圖。

第2圖為卡匣3的立體圖。

第3圖為第2圖中的卡匣的後視圖。

第4圖為根據本發明一實施例之卡匣校正方法的流程圖。

第5圖為第2圖中的卡匣放置在第1圖中的卡匣校正系統之基座上的示意圖。

第6A圖為對應一個支撐件的影像之水平偏移量示意圖。

第6B圖為對應一個支撐件的影像之垂直偏移量示意圖。

第7A圖為一個支撐件與對應的第一轉動件或第二轉動件之前視圖。

第7B圖為一個支撐件與對應的第一轉動件及第二轉動件之側視圖。

第8圖為根據本發明一實施例之對照表的示意圖。

1．．．卡匣校正系統

10．．．基座

12．．．感測裝置

14．．．影像擷取裝置

16．．．扭矩調整裝置

18．．．資料處理裝置

100．．．開口

120．．．第三升降平台

122．．．轉動件

124．．．感測單元

140．．．第一升降平台

142．．．影像擷取單元

160．．．第二升降平台

162．．．扭矩調整單元

164．．．調整件

1220．．．第一轉動件

1222．．．第二轉動件

1240．．．第一垂直感測單元

1241．．．第三垂直感測單元

1242．．．第一水平感測單元

1243．．．第二垂直感測單元

1244．．．第四垂直感測單元

1245．．．第二水平感測單元

Claims (17)

1. 一種卡匣校正系統，包含：一基座，具有一開口；一感測裝置，可移動地設置在該開口中；一影像擷取裝置，可移動地設置在該基座之一第一側，該影像擷取裝置包含N個影像擷取單元，N為正整數，該N個影像擷取單元並行排列；一扭矩調整裝置，可移動地設置在該基座之一第二側，該第二側與該第一側相對，該扭矩調整裝置包含N個扭矩調整單元，該N個扭矩調整單元並行排列，每一個扭矩調整單元分別對應一個影像擷取單元；以及一資料處理裝置，有線或無線連接於該感測裝置、該影像擷取裝置以及該扭矩調整裝置。
2. 如請求項1所述之卡匣校正系統，其中該影像擷取裝置包含一第一升降平台，該N個影像擷取單元並行排列於該第一升降平台上，該第一升降平台可帶動該N個影像擷取單元相對該基座的該第一側上下移動。
3. 如請求項2所述之卡匣校正系統，其中該扭矩調整裝置包含一第二升降平台，該N個扭矩調整單元並行排列於該第二升降平台上，該第二升降平台可帶動該N個扭矩調整單元相對該基座 的該第二側上下移動。
4. 如請求項3所述之卡匣校正系統，其中該感測裝置包含一第三升降平台、2N個轉動件以及6N*M個感測單元，M為正整數，該2N個轉動件可轉動地設置在該第三升降平台上，在每一個轉動件上設置3M個感測單元，該第三升降平台可帶動該2N個轉動件以及該6N*M個感測單元相對該基座上下移動，每二個轉動件分別對應一個扭矩調整單元與一個影像擷取單元。
5. 如請求項3所述之卡匣校正系統，其中每一個扭矩調整單元包含P個調整件，P為正整數。
6. 一種卡匣校正方法，用以校正一卡匣，該卡匣包含一框架、N*M個支撐件以及N*M*P個扭矩固定件，該N*M個支撐件排列成M列，每一列包含N個並行排列的支撐件，每一個支撐件分別藉由P個扭矩固定件固定於該框架上，N、M與P皆為正整數，該卡匣校正方法包含下列步驟：(a)將該卡匣放置於一基座上；(b)利用一影像擷取裝置擷取對應該N*M個支撐件之N*M個影像；(c)比對一標準樣版與每一個影像中之一第一實際樣版，以判斷每一個支撐件是否需被校正，當該N*M個支撐件中的Q個支撐件需被校正時，進行步驟(d)，Q為小於或等於N*M 之正整數，當該N*M個支撐件中的Q個支撐件不需被校正時，則將該卡匣自該基座上移離或載出，並針對另一卡匣重複進行步驟(a)；(d)利用一感測裝置感測對應該Q個支撐件中的第u個支撐件之一第一垂直斜率Sx1、一第二垂直斜率Sx2以及一水平斜率Sy，u為小於或等於Q之正整數；(e)根據該第一垂直斜率Sx1、該第二垂直斜率Sx2以及該水平斜率Sy，計算對應該P個扭矩固定件之P個權重斜率Sw，並以Sw_v表示該P個權重斜率中的第v個權重斜率，v為小於或等於P之正整數；(f)查詢一對照表，以得到對應該P個權重斜率Sw之P個調整參數，該對照表紀錄複數個權重斜率以及複數個調整參數，每一個權重斜率分別對應一個調整參數；以及(g)根據該P個調整參數，利用一扭矩調整裝置分別調整該P個扭矩固定件。
7. 如請求項6所述之卡匣校正方法，其中該影像擷取裝置包含N個並行排列的影像擷取單元，步驟(b)包含下列步驟：利用該N個影像擷取單元同時擷取對應每一列的該N個支撐件之N個影像。
8. 如請求項7所述之卡匣校正方法，其中該感測裝置包含N個第一轉動件、N個第二轉動件、N*M個第一垂直感測單元、N*M 個第三垂直感測單元、N*M個第一水平感測單元、N*M個第二垂直感測單元、N*M個第四垂直感測單元以及N*M個第二水平感測單元，在每一個第一轉動件上分別設置M個第一垂直感測單元、M個第三垂直感測單元以及M個第一水平感測單元，在每一個第二轉動件上分別設置M個第二垂直感測單元、M個第四垂直感測單元以及M個第二水平感測單元，每一個影像擷取單元同時對應一個第一轉動件與一個第二轉動件，該第一轉動件與該第二轉動件相距一間距D，每一個支撐件分別對應一個第一垂直感測單元、一個第三垂直感測單元、一個第一水平感測單元、一個第二垂直感測單元、一個第四垂直感測單元以及一個第二水平感測單元，步驟(d)包含下列步驟：利用該第一垂直感測單元感測對應該第u個支撐件之一第一垂直距離x1；利用該第二垂直感測單元感測對應該第u個支撐件之一第二垂直距離x2；利用該第三垂直感測單元感測對應該第u個支撐件之一第三垂直距離x3；利用該第四垂直感測單元感測對應該第u個支撐件之一第四垂直距離x4；利用該第一水平感測單元感測對應該第u個支撐件之一第一水平距離y1；利用該第二水平感測單元感測對應該第u個支撐件之一第二水平距離y2； 計算該第一垂直斜率Sx1，且Sx1=(x1-x2)/D；計算該第二垂直斜率Sx2，且Sx2=(x3-x4)/D；以及計算該水平斜率Sy，且Sy=(y1-y2)/D。
9. 如請求項8所述之卡匣校正方法，其中步驟(e)包含下列步驟：(e1)計算該P個權重斜率Sw中的第v個權重斜率Sw_v，且Sw_v=w1_v*Sx1+w2_v*Sx2+w3_v*Sy，其中w1_v表示對應該P個扭矩固定件中的第v個扭矩固定件之一第一權重，w2_v表示對應該第v個扭矩固定件之一第二權重，w3_v表示對應該第v個扭矩固定件之一第三權重；以及(e2)重複步驟(e1)，以得到全部或預定的該P個權重斜率Sw。
10. 如請求項7所述之卡匣校正方法，其中該扭矩調整裝置包含N個並行排列的扭矩調整單元，每一個扭矩調整單元分別對應一個影像擷取單元，每一個扭矩調整單元包含P個調整件，步驟(g)包含下列步驟：根據該P個調整參數，利用該P個調整件分別調整該P個扭矩固定件。
11. 如請求項6所述之卡匣校正方法，其中每一個支撐件分別具有一突出部，該標準樣版為該突出部位於該影像中的標準位置，該第一實際樣版為該突出部位於該影像中的實際位置。
12. 如請求項6所述之卡匣校正方法，其中步驟(c)包含下列步驟：(c1)計算該第一實際樣版相對該標準樣版之一偏移量；(c2)判斷該偏移量是否大於一門檻值，若是，則進行步驟(c3)，若否，則進行步驟(c4)；(c3)判斷對應的該支撐件需被校正；以及(c4)判斷對應的該支撐件不需被校正。
13. 如請求項12所述之卡匣校正方法，其中該偏移量為一水平偏移量或一垂直偏移量。
14. 如請求項6所述之卡匣校正方法，其中當該權重斜率為正，對應的該調整參數以逆轉圈數表示，當該權重斜率為負，對應的該調整參數以正轉圈數表示，當該權重斜率為0，對應的該調整參數亦為0。
15. 如請求項14所述之卡匣校正方法，其中該影像擷取裝置包含N個並行排列的影像擷取單元，該扭矩調整裝置包含N個並行排列的扭矩調整單元，每一個扭矩調整單元分別對應一個影像擷取單元，每一個扭矩調整單元包含P個調整件，步驟(g)包含下列步驟：根據該P個調整參數的逆轉圈數、正轉圈數或0，利用該P個調整件分別逆轉、正轉調整或不調整該P個扭矩固定件。
16. 如請求項6所述之卡匣校正方法，更包含下列步驟：(h)利用該影像擷取裝置擷取該第u個支撐件之影像；(i)比對該標準樣版與該第u個支撐件之影像中之一第二實際樣版，以判斷該第u個支撐件是否仍需被校正；以及(j)當該第u個支撐件仍需被校正時，重複步驟(d)至(g)。
17. 如請求項16所述之卡匣校正方法，更包含下列步驟：(k)重複步驟(h)至(j)R次，R為正整數；(l)在重複步驟(h)至(j)R次後，若該第u個支撐件仍需被校正，判斷該第u個支撐件無法完成校正；以及(m)重複步驟(d)至(l)，直到該Q個支撐件皆完成校正。