JPWO2008038695A1 - 複数台交流リニアモータの制御方法、複数台交流リニアモータ駆動装置、及び複数台交流リニアモータシステム - Google Patents

Abstract

同一仕様の交流リニアモータを複数台連結し、これらを同時に動作させることにより、所望の推力を備えた一組のリニアモータを見かけ上は一台のリニアモータのごとく制御する方法を提供する。同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結し、一組の交流リニアモータとして制御する複数台交流リニアモータの制御方法において、交流リニアモータの可動子の磁極ピッチと、隣接する可動子の隣接磁極の間隔とが同一となるように交流リニアモータを緊合し、前記交流リニアモータのいずれかを主交流リニアモータとし、主交流リニアモータのフィードバック信号に基づいて生成した指令信号と、前記主交流リニアモータの相電流と他の交流リニアモータの相電流とを比較することにより得られた電流差分情報とにより前記一組の交流リニアモータを制御する。

Description

本発明は同一仕様の交流リニアモータ（コイル特性、入出力特性等の仕様が同一）を複数台連結し、これらを同時に動作させることにより、所望の推力を備えた複数台交流リニアモータを、見かけ上一台のリニアモータのごとく制御する方法、及び、複数台交流リニアモータの駆動装置、並びに、そのシステムに関するものである。

工作機械の各種テーブル、産業用ロボットの走行部、各種搬送装置等に多用されているリニアモータアクチュエータは、テーブル等の可動体に対して直線運動を与えると共に、可動体を所定の位置に停止させる機能を備える。これらの駆動手段としては交流リニア同期モータ、交流リニア誘導モータ等（以下、リニアモータ）が使用されているが、その構造は固定子、又は可動子の一部に銅線からなる励磁コイルを巻き、励磁コイルに励磁電流を流して駆動力を発生せしめ、直線運動を行わせるというものである。

リニアモータに要求される推力は、リニアモータの動かすステージの重量や速度により決定される。一方において、入手可能なリニアモータは、一定規格で製造されるため、要求推力に適合するリニアモータを容易に入手できない場合がある。また、要求推力が大きくなるに従い、それに見合ったリニアモータ駆動装置を新たに設計・開発する必要があり、リニアモータに要求される推力が大きくなればなるほどリニアモータ駆動装置の開発に多くの時間と労力を要すると共に、多くの技術的課題を解決しなければならない。

複数のリニアモータを同時に駆動するリニアモータ駆動装置として、下記の技術が知られている。文献１に記載のリニアモータ駆動装置は、略平行な２つのリニアモータを同時に駆動するリニアモータ駆動装置であり、推力の発生に必要な励磁電流を外部からの指令に基づいて生成し、得られた励磁電流を各々のリニアモータに出力することで、２つのリニアモータを同時に駆動するリニアモータ駆動装置に関するものである。

しかし、この技術は、仕様の異なる２つのリニアモータを同時に駆動するリニアモータ駆動装置であって、本願発明の目的である同一仕様のリニアモータを複数台連結し、所望の推力を備えた一組のリニアモータとして走行・制御させるものとは似て非なる技術である。

文献２は刺繍フレームをＸ軸方向、又はＹ軸方向に駆動させるリニアモータを、総動力の細分化を経て外部で結線させることで、１つの駆動ドライバーと１つのリニアスケールにより、複数のリニアモータを同時に制御する技術に関するものである。文献２においては、リニアモータの可動子ブロックの三相巻き線の６本を外部に引き出して、複数のリニアモータを外部で連結し、１つの駆動ドライバーと１つのリニアスケールとによって複数のリニアモータを制御するものである。このため、本願発明の目的である同一仕様のリニアモータを複数台連結し、所望の推力を備えた一組のリニアモータとして走行・制御させるものとは似て非なるものである。

上述したように、規格品として汎用的に製造されているリニアモータを複数組み合わせることにより、所望の推力を実現し、複数台のリニアモータをあたかも１台のリニアモータのごとく制御する技術はこれまでのところ開示されていない。

特開2003-284388号公報 特開2004-024877号公報

そこで本発明の課題は、同一仕様の交流リニアモータ（コイル特性、入出力特性等の仕様が同一）を複数台連結し、これらを同時に動作させることにより、所望の推力を備えた一組のリニアモータとし、かかる複数台交流リニアモータを見かけ上は一台のリニアモータのごとく制御する方法、及び、かかる複数台の交流リニアモータを駆動するリニアモータ駆動装置、並びに、そのシステムを提供することにある。

本発明は、同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結し、一組の交流リニアモータとして制御する複数台交流リニアモータの制御方法において、交流リニアモータの可動子の磁極ピッチと、隣接する可動子の隣接磁極の間隔とが同一となるように交流リニアモータを緊合し、前記交流リニアモータのいずれかを主交流リニアモータとし、主交流リニアモータのフィードバック信号に基づいて生成された指令信号と、前記主交流リニアモータの相電流と他の交流リニアモータの相電流とを比較することにより得られた電流差分情報とにより前記一組の交流リニアモータを制御することを特徴とする。
これにより、一定規格で製造されている交流リニアモータを複数台組み合わせ、所望の推力を備えた交流リニアモータとすることができる。

前記相電流の比較は、オペアンプとコンパレータによる電流波形の比較であり、前記電流差分情報は電流波形の相違割合であることは好ましい。電流波形を比較することにより、連結している各交流リニアモータの状況を高精度で監視することができ、交流リニアモータコイルの焼損等を確実に防止することができる。

前記主交流リニアモータのコイルに励磁電流を供給する交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧値と、他の交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧値とを比較することにより得られる電圧差分情報を含んで、前記一組のリニアモータを制御することは好ましい。これにより二重に交流リニアモータを保護することができる。また、前記交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧の平均値を算出し、該平均値を前記フィードバック信号に含めて制御することは好ましい。

本発明は、同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結し、一組の交流リニアモータとして制御する複数台交流リニアモータシステムにおいて、交流リニアモータの可動子の磁極ピッチと、隣接する可動子の隣接磁極の間隔とが同一間隔となるように緊合された複数台の交流リニアモータと、前記交流リニアモータと一対一に対応し、前記交流リニアモータのコイルに励磁電流を供給する駆動電流供給部と、各交流リニアモータの相電流を比較する電流比較器を含む保護監視部と、前記交流リニアモータ中の一台を主交流リニアモータとし、主交流リニアモータからのフィードバック信号と、前記保護監視部が生成する信号とを含んで前記駆動電流供給部に配信する指令信号を生成する制御指令部とを含む交流リニアモータ駆動装置とを備えたことを特徴とする。

前記保護監視部は、前記駆動電流供給部の一次側電圧を比較する電圧比較器を更に備えたことは好ましい。また、前記電流比較器は、オペアンプとコンパレータとを備えることは好適である。また、前記電圧比較器は、前記駆動電流供給部の一次側線間電圧の平均値を算出し、該平均値を前記フィードバック信号として前記制御指令部に配信する手段を備えることは好ましい。

本発明は、同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結するとともに可動子の磁極ピッチと隣接する可動子の隣接磁極間隔とが同一間隔となるように緊合した複数台の交流リニアモータを制御する複数台交流リニアモータ駆動装置において、前記交流リニアモータと一対一に対応し、前記交流リニアモータのコイルに駆動電流を供給する駆動電流供給部と、前記交流リニアモータの相電流を比較する電流比較器を含む保護監視部と、前記交流リニアモータ中の一台を主交流リニアモータとし、主交流リニアモータからのフィードバック信号と、前記保護監視部が生成する電流比較信号とを含んで前記駆動電流供給部に配信する指令信号を生成する制御指令部とを備えたことを特徴とする。

前記保護監視部は、前記駆動電流供給部の一次側電圧を比較する電圧比較器を更に備えることは好ましい。また、前記電流比較器は、オペアンプとコンパレータとを含んで構成されることは好ましい。

本発明によれば、同一仕様の交流リニアモータを複数台連結し同時に動作させることにより、所望の推力を備えた一組のリニアモータを見かけ上は一台のリニアモータのごとく制御することができる。

リニアモータアクチュエータの一例を示す斜視図 図１に示したリニアモータアクチュエータからテーブルプレートを取り除いた状態を示す斜視図 励磁コイルとテーブルプレートとの結合状態を示す斜視図（励磁コイルの構造の断面図を含む） 同一仕様の2台の交流リニア同期モータを連結したときのリニアモータアクチュエータの斜視図 図4に示した斜視図からテーブルプレートを取り外した状態を示す斜視図 リニアモータ駆動装置のブロック構成図 保護・監視部のU相電流不平衡比較器の詳細を示す図 保護・監視部において相電流を比較したときの電流波形と、バス電圧を比較したときの電圧波形の比較状況を示す図

符号の説明

1 ベース部材
2 軌道レール
3 スライドテーブル
4 交流リニア同期モータ
5 スライドブロック
6 テーブルプレート
40 固定子マグネット
41 励磁コイル
100 リニアモータ駆動装置（交流モータ駆動装置）
101 交流リニア同期モータに駆動電流を供給する駆動電流供給部（インバータ）
102 保護・監視部
103 制御指令部

図1は、１台の交流リニア同期モータを用いたリニアモータアクチュエータの斜視図である。なお、この実施の形態においては交流リニア同期モータであるが、適用するリニアモータは同期モータには限定されない。

リニアモータアクチュエータは、ベース部材1と、このベース部材1の上に敷設された軌道レール2と、この軌道レール2に沿って自在に往復運動が可能なスライドテーブル3と、このスライドテーブル3をベース部材1上で推進する交流リニア同期モータ4、および交流モータ駆動装置100とから構成されている。

リニアモータアクチュエータの構成部材であるベース部材1は底板10、及びこの底板10の両側に立設された一対の側壁11、11を有してチャネル状に形成されており、底板10には軌道レール2を位置決めするための取付け溝12がベース部材1の長手方向に沿って形成されている。

また、スライドテーブル3は軌道レール2に沿って運動するスライドブロック5と、このスライドブロック5に固定されたテーブルプレート6とから構成されている。

図2は図1に示した斜視図からテーブルプレート6を取り外した状態を示す斜視図である。スライドブロック5は軌道レール2と相まってリニアガイドを構成しており、テーブルプレート6を軌道レール2に沿って案内する。

交流リニア同期モータ4の出力（推力）は、スライドテーブル3に載置される負荷の大きさにより決定される。一般的に交流リニア同期モータ4の推力は、モータの励磁コイル41に流れる駆動電流により可動子（本明細書では可動子を交流リニア同期モータ4と表現する）の磁極に発生する磁界と、ベース部材1の各側壁11に一列に配列された複数の固定子マグネット40との反発力により決まる。

ベース部材1の各側壁11上において、固定子マグネット40はＮ極及びＳ極を交互に励磁コイル41に向けるように配列されている。これらの固定子マグネット40は合成樹脂製の保持プレート42に配列されており、かかる保持プレート42をベース部材1の側壁11の内側面に接着することで、固定子マグネット40のベース部材1に対する配列を容易に行い得るようになっている。また、固定子マグネット40は保持プレート42を射出成形することにより保持プレート42と一体化されている。

また、励磁コイル41は鉄等の強磁性体から形成されたコア部材に対してコイルを巻き回して形成されている。このリニアモータアクチュエータでは、ベース部材1の各側壁11に配列された固定子マグネット40と対向する一対の励磁コイル41、41が存在するが、図2に示す例では、これら一対の励磁コイル41、41を1枚のコアプレート43を用いて形成している。

図3は励磁コイル41とテーブルプレート6との結合状態を示す斜視図であり、励磁コイル41の構造が断面図として描かれている。励磁コイル41はコアプレート43にコイル44を巻いて形成されている。このコアプレート43は、前記テーブルプレート6に結合される中央部43aと、この中央部43aの両側に位置する一対のコア部43b、43bとから構成されており、各コア部43bにはコイル44を収容するためのスロットがそれぞれ形成されている。

すなわち、各コア部43bに対してコイル44を巻くことで、コアプレート43によって一体化された一対の励磁コイル41が構成されている。各励磁コイル41はU相、V相及びW相の三相のコイル44を具備しており、これらのコイル44に対して交流モータ駆動装置100が供給する三相交流電流を通電することにより、励磁コイル41に対して固定子マグネット40の配列方向に沿った推力が発生するようになっている。

図2において、ベース部材1の一方の側壁には断面略Ｌ字型のブラケット13が固定されており、このブラケット13の上面にはベース部材1の長手方向に沿ってリニアスケール14が貼り付けられている。また、前記テーブルプレート6の下面には該テーブルプレート6の移動に応じて前記リニアスケール14を読み取るエンコーダ15が固定されており、テーブルプレート6の移動速度に応じた間隔でパルス信号を出力する。

励磁コイル41に対する通電、及びエンコーダ15の出力信号の伝送には、フレキシブルプリント配線板が用いられており、これらはテーブルプレート6の下面に固定され、ベース部材1の側方へ引き出されており、交流モータ駆動装置100と接続されている。

以上のように構成されたリニアモータアクチュエータでは、テーブルプレート6に固定された励磁コイル41に対して三相交流電流を通電すると、励磁コイル41に固定子マグネット40の配列方向に沿った推力が発生し、スライドテーブル3が軌道レール2に沿って進退する。前記エンコーダ15はリニアスケール14を読み取り、スライドテーブル3の移動速度及び移動距離に応じた出力信号を出力するので、エンコーダ15の出力信号を参照しながら励磁コイル41への通電を制御することにより、スライドテーブル3の往復運動を任意に制御することができる。

リニアモータアクチュエータは上述のようにして往復運動を行うが、リニアモータアクチュエータの負荷によっては、ラインで製造されている規格の交流リニア同期モータでは要求される推力が得られない場合がある。かかる場合において、規格品である交流リニア同期モータを次のように組み合わせて制御することにより、要求される推力を満たした交流リニア同期モータを作成し、走行制御することができる。

図4は同一仕様の2台の交流リニア同期モータを連結したときのリニアモータアクチュエータの斜視図を示したものである。また、図5は、図4に示した斜視図からテーブルプレート6を取り外した状態を示す斜視図である。なお、この実施形態では2台の交流リニア同期モータを用いているが、これは3台以上においても同様に適用でき、また、交流リニア同期モータに限定されるものではない。

同一仕様（同一規格）の交流リニア同期モータ4aと、交流リニア同期モータ4bとを、例えばビス止め等により、緩みのないようにしっかりテーブルプレート6に連結する。ここで、２つの交流リニア同期モータを連結する場合、交流リニア同期モータ4aの励磁コイル41aと、これに隣接する交流リニア同期モータ4bの励磁コイル41bとの間隔が、励磁コイル41のピッチ（U相、W相、V相により生成される磁極のピッチ）と同一となるように連結する。

このように2台の交流リニア同期モータを緊合することにより、可動子であるリニア同期モータ4の励磁コイル41a,41bにより生成される磁極（U,W,V,U,W,V相）と、固定子マグネット40とが一対一に対応し、励磁コイル41に固定子マグネット40の配列方向に沿った推力（１個の交流リニア同期モータと比較して最大で2倍の推力）を有するリニアモータアクチュエータを得ることができる。

スライドブロック5は軌道レール2と相まってリニアガイドを構成しており、テーブルプレート6を軌道レール2に沿って案内する。図5に示すように、交流リニア同期モータ4aの励磁コイル41aと交流リニア同期モータ4bの励磁コイル41bとは連続して同一磁極ピッチで並んでおり、一組の交流リニア同期モータを構成している。

励磁コイル41a,41bに対する通電、及びエンコーダ15の出力信号の伝送には、フレキシブルプリント配線板が用いられており、これらのフレキシブルプリント配線板はテーブルプレート6の下面に固定され、ベース部材1の側方へ引き出されており、交流モータ駆動装置100と接続されている。

以上のように構成されたリニアモータアクチュエータにおいて、2台の交流リニア同期モータのうち、いずれかを主交流リニア同期モータ（マスター・リニアモータ）とし、他の交流リニア同期モータ（スレーブ・リニアモータ）とし、テーブルプレート6に固定された励磁コイル41a,41bに対して三相交流電流を通電する。これにより、励磁コイル41a,41bに固定子マグネット40の配列方向に沿った推力が発生し、スライドテーブル3が軌道レール2に沿って進退する。

ここで、前記エンコーダ15は、リニアスケール14を読み取り、主交流リニア同期モータ4aのスライドテーブル3の移動速度及び移動距離に応じた出力信号を出力するので、エンコーダ15の出力信号を参照しながら位置情報、速度情報等に関する信号を交流モータ駆動装置100にフィードバックする。

エンコーダ15からフィードバックされてきた信号に基づいて、連結された2台の交流リニア同期モータを同時に制御するのが、リニアモータ駆動装置100である。図6はリニアモータ駆動装置のブロック構成図である。リニアモータ駆動装置100は、交流リニア同期モータに駆動電流を供給する駆動電流供給部（ここではインバータである）101、保護・監視部102、及び制御指令部103を含んで構成されている。なお、駆動電流供給部101は、交流リニア同期モータ毎に設けられ、交流リニア同期モータ4aに対応するのが駆動電流供給部101aであり、交流リニア同期モータ4bに対応するのが駆動電流供給部101bである。一方、保護・監視部102と制御指令部103はそれぞれ１台で全ての交流リニア同期モータに対応する。

保護・監視部102は、駆動電流供給部101a,101bの出力電流である交流リニア同期モータ4a,4bのU相、及びV相の相電流を比較するU相電流不平衡比較器、V相電流不平衡比較器、及び、駆動電流供給部101a,101bの１次電圧であるバス電圧を比較するバス電圧不平衡比較器を含んで構成されている。なお、比較する相電流は少なくともU,V,W相のいずれか2相の比較でよく、他の1相については理論計算から求めることができる。

制御指令部103は、エンコーダ15からのフィードバック信号と、保護・監視部102からの保護・監視信号とに基づいて、交流リニア同期モータ4の走行を制御するための指令信号を生成する。

図7は保護・監視部102のU相電流不平衡比較器についての詳細図である。アナログ・オペアンプとコンパレータにより、不平衡比較器を構成している。交流リニア同期モータ4aのU相電流（IU1）と交流リニア同期モータ4bのU相電流（IU2）とがアナログ・オペアンプに入力されると、それぞれの電流波形の相違からIU1とIU2の差分値、又は相違の割合を出力する。この差分値、又は相違割合をコンパレータに入力し、あらかじめ設定してある値又は割合と比較し、この値、又は割合を超えた場合は、エラー信号を出力するように構成する。なお、この実施の形態では閾値として、波形の相違割合を出力するようにしている。また、電流波形の相違割合が30％を越えた場合はエラーを出力するようにすることで良好な走行制御が可能であることを確認している。

保護・監視部102から出されたエラー信号は、制御指令部103に入力され、制御指令部103は交流リニア同期モータを停止させる指令信号を出す。

図8は保護・監視部102における相電流波形、及びバス電圧値の比較状況を示した図である。図8(a)は交流リニア同期モータ4aのU相電流（IU1）と交流リニア同期モータ4bのU相電流（IU2）のアナログ・オペアンプにおける電流波形の不平衡比較図である。

交流リニア同期モータ4a,4bは同一仕様であり、磁極ピッチも同一であり、かつ駆動電流供給部に出す指令信号も同一であるから、基本的には保護・監視部102のコンパレータで比較される電流波形は同一となるはずである。しかし、経時変化によりモータのコイルが劣化してくると、図8(a)に示すように電流波形が相違するようになる。また、交流リニア同期モータの連結が何らかの要因により緩み、磁極ピッチと隣接する可動子の磁極間隔（4a,4b間）にズレが生じてくると電流の位相が異なって表れることになる。そこで、IU1とIU2の電流値が30％を閾値とし、これを超えた場合は制御指令部103に異常信号を出力するようにすることで、2台の交流リニア同期モータを安全に走行させることができる。

図8(b)は駆動電流供給部101a,101bの１次電圧であるバス電圧をバス電圧不平衡比較器で監視している状況を示した図である。交流リニア同期モータ4a,4bに供給される駆動電流を直流電圧として監視している。交流リニア同期モータ4a,4bが減速すると逆起電力が回生エネルギーとして電源に戻り、このためバス電圧が上昇することになる。かかる回生エネルギーによるバス電圧の上昇も同一であるが、交流リニア同期モータの取り付け時において、隣接する可動子の磁極間隔が可動子の磁極ピッチと一致しない等の取り付け不具合や、その後の連結部の緩み、励磁コイルの経年劣化等により、本来VDC1の回生エネルギーがVDC2のように大きな逆起電力となって回生されるケースが発生する。

これらにより、一部の交流リニア同期モータの回生エネルギーによるバス電圧の上昇が大きくなると交流リニア同期モータのコイルを焼損することになり、複数台の交流リニア同期モータを制御することができなくなる。これを監視し、両者のバス電圧値の差が例えば20％を超えた場合はエラー信号を制御指令部103に出力し、交流リニア同期モータ4a,4bを停止させることにより、モータコイルの焼損を防止することができる。

交流リニア同期モータ4a,4bの相電流の監視、駆動電流供給部101a,101bのバス電圧の監視により二重に保護し、同一仕様の2台の交流リニア同期モータを安全に制御することができる。

本明細書は２００６年９月２９日出願の特願2006-268804に基づく。この内容はすべてここに含めておく。

Claims (11)

1. 同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結し、一組の交流リニアモータとして制御する複数台交流リニアモータの制御方法において、
   交流リニアモータの可動子の磁極ピッチと、隣接する可動子の隣接磁極の間隔とが同一となるように交流リニアモータを緊合し、
   前記交流リニアモータのいずれかを主交流リニアモータとし、主交流リニアモータのフィードバック信号に基づいて生成された指令信号と、前記主交流リニアモータの相電流と他の交流リニアモータの相電流を比較することにより得られた電流差分情報とにより前記一組の交流リニアモータを制御することを特徴とする複数台交流リニアモータの制御方法。
2. 前記相電流の比較は、オペアンプとコンパレータによる電流波形の比較であり、前記電流差分情報は電流波形の相違割合であることを特徴とする請求項１に記載の複数台交流リニアモータの制御方法。
3. 前記主交流リニアモータのコイルに励磁電流を供給する交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧値と、他の交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧値とを比較することにより得られる電圧差分情報を含んで、前記一組のリニアモータを制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の複数台交流リニアモータの制御方法。
4. 前記交流リニアモータ駆動装置の一次側線間電圧の平均値を算出し、該平均値を前記フィードバック信号に含めることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の複数台交流リニアモータの制御方法。
5. 同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結し、一組の交流リニアモータとして制御する複数台交流リニアモータシステムにおいて、
   交流リニアモータの可動子の磁極ピッチと、隣接する可動子の隣接磁極の間隔とが同一間隔となるように緊合された複数台の交流リニアモータと、
   前記交流リニアモータと一対一に対応し、前記交流リニアモータのコイルに励磁電流を供給する駆動電流供給部と、各交流リニアモータの相電流を比較する電流比較器を含む保護監視部と、前記交流リニアモータ中の一台を主交流リニアモータとし、主交流リニアモータからのフィードバック信号と、前記保護監視部が生成する信号とを含んで前記駆動電流供給部に配信する指令信号を生成する制御指令部とを含む交流リニアモータ駆動装置と
   を備えたことを特徴とする複数台交流リニアモータシステム。
6. 前記保護監視部は、前記駆動電流供給部の一次側電圧を比較する電圧比較器を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の複数台交流リニアモータシステム。
7. 前記電流比較器は、オペアンプとコンパレータとを備えることを特徴とする請求項５又は６に記載の複数台交流リニアモータシステム。
8. 前記電圧比較器は、前記駆動電流供給部の一次側線間電圧の平均値を算出し、該平均値を前記フィードバック信号として前記制御指令部に配信する手段を備えることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載の複数台交流リニアモータシステム。
9. 同一仕様の交流リニアモータの可動子を複数台連結するとともに可動子の磁極ピッチと隣接する可動子の隣接磁極間隔とが同一間隔となるように緊合した一組の複数台の交流リニアモータを制御する複数台交流リニアモータ駆動装置において、
   前記交流リニアモータと一対一に対応し、前記交流リニアモータのコイルに駆動電流を供給する駆動電流供給部と、
   前記交流リニアモータの相電流を比較する電流比較器を含む保護監視部と、
   前記交流リニアモータ中の一台を主交流リニアモータとし、主交流リニアモータからのフィードバック信号と、前記保護監視部が生成する電流比較信号とを含んで前記駆動電流供給部に配信する指令信号を生成する制御指令部と
   を備えたことを特徴とする複数台交流リニアモータ駆動装置。
10. 前記保護監視部は、前記駆動電流供給部の一次側電圧を比較する電圧比較器を更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の複数台交流リニアモータ駆動装置。
11. 前記電流比較器は、オペアンプとコンパレータとを含んで構成されることを特徴とする請求項９又は１０に記載の複数台交流リニアモータ駆動装置。

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