JPWO2007052469A1 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、インプリント用の金型の面と被成形材の面との平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善してプレスが可能なインプリント装置及びインプリント方法を提供することである。このインプリント装置は、被成形材を保持する被成形材保持部と、微細構造を有する金型を保持する金型保持部と、を備え、微細構造を被成形材に転写するために被成形材と金型とを相対的に接近させてプレスする際に、そのプレス方向の力で変形する変形機構を介してプレス力を加えるように構成したことを特徴とする。
Description
本発明は、金型の微細構造を被成形材に転写するインプリント装置及びインプリント方法に関する。
微細構造を有する金型を用いて、ポリスチレン等の樹脂を加圧成形した後に、成形品を金型から剥離することで、微小突起を有する微細構造物を得るインプリント法が公知である(例えば、下記特許文献1参照)。
特開2005−189128号公報
上記インプリントにおいて、金型の面と被成形材である樹脂の面との平行度が低下してしまう場合がある。例えば、被成形材の寸法誤差、形状誤差、被成形材の設置の際の傾き等のためである。また、アライメント調整機構によって固定された傾きが経時変化によってずれてしまった状態でも生じることがある。このように平行度が低下した状態で加圧すると、金型と被成形材との接触及び面圧が不均一になり、金型の微細構造への樹脂の充填が不充分になり充填むらが生じてしまう。また、金型と被成形材とを相対的にすべらせる力が発生し、この力は樹脂の充填に寄与せず、むしろ、金型の微細構造を破壊するように作用してしまう。
上述の充填むらを回避し樹脂の充填を均一にするには、金型面と被成形材面との面密着性を上げることが必要であり、このため、微細構造の転写に必要なプレス力以上のプレス力を加える必要がある。
しかし、大きなプレス力を加えると、被成形材の特に外径部分が歪んでしまい、製品精度の低下の原因となってしまい、また、被成形材が樹脂製で光学素子とする場合には複屈折が出てしまい光学性能が悪化してしまう。また、上述の金型と被成形材とを相対的にすべらせる力が増大し、金型への負担が大きくなるため、金型の耐久性の低下につながる。
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、インプリント用の金型の面と被成形材の面との平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善してプレスが可能なインプリント装置及びインプリント方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によるインプリント装置は、被成形材を保持する被成形材保持部と、微細構造を有する金型を保持する金型保持部と、を備え、前記微細構造を前記被成形材に転写するために前記被成形材と前記金型とを相対的に接近させてプレスする際に、そのプレス方向に変形し易い変形機構を介してプレス力を加えるように構成したことを特徴とする。
このインプリント装置によれば、被成形材の面と金型の面とが互いに非平行であっても、被成形材と金型とに変形機構を介してプレス力を加えると、変形機構がプレス方向に変形し易いため上述の非平行状態に応じて変形し、各面が互いに平行になる。このため、インプリント用の金型の面と被成形材の面との平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善してプレスが可能となり、金型の微細構造を被成形材に精度よく転写できる。また、被成形材と金型の平行度の微調整が不要となり、インプリントの成形性を向上できる。
上記インプリント装置において前記変形機構は、前記プレス力が加わったときに、前記被成形材保持部及び前記金型保持部を含む装置全体よりも大きく変形することが好ましい。このように、変形機構の剛性を装置全体の剛性よりもかなり小さくすることで、プレス力を加えると、装置全体はほとんど変形せず、変形機構が優先的にプレス方向に変形するため金型の面と被成形材の面との非平行状態に応じて容易に変形し、平行度の改善が容易となる。
また、前記被成形材保持部を支持する支持台と前記被成形材保持部との間に前記変形機構を配置することができる。また、前記金型保持部を支持する支持台と前記金型保持部との間に前記変形機構を配置するようにしてもよい。なお、変形機構を両方に配置してもよい。
また、前記変形機構は弾性部材を備えることで、変形機構の変形を弾性変形とし、プレス力除去後に弾性復元するので、変形機構を繰り返し使用することができ、成形加工コストが嵩むことはない。なお、弾性部材としては、ゴム製のO(オー)リングやシート部材またはコイルばね等のばね部材がある。
本発明によるインプリント方法は、微細構造を有する金型と被成形材とを相対的に接近させてプレスする際に、そのプレス方向に変形し易い変形機構を介してプレス力を加えることで前記微細構造を前記被成形材に転写することを特徴とする。
このインプリント方法によれば、被成形材の面と金型の面とが互いに非平行であっても、被成形材と金型とに変形機構を介してプレス力を加えると、変形機構がプレス方向に変形し易いため上述の非平行状態に応じて変形し、各面が互いに平行になる。このため、インプリント用の金型の面と被成形材の面との平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善してプレスが可能となり、金型の微細構造を被成形材に精度よく転写できる。また、被成形材と金型の平行度の微調整が不要となり、インプリントの成形性を向上できる。
上記インプリント方法において前記被成形材の面と前記微細構造を含む面とが互いに非平行であるとき、前記プレス力を加えて前記変形機構を変形させることで前記面を互いに平行にすることができる。
また、上記インプリント方法は、シリコン等の硬質基材とその硬質基材上に形成したレジスト材等の樹脂膜とからなる前記被成形材やシート材からなる前記被成形材に適用すると好ましい。
本発明のインプリント装置及びインプリント方法によれば、インプリント用の金型の面と被成形材の面との平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善してプレスが可能となる。このため、微細構造における被成形材の充填を均一にでき充填むらを防止でき、金型の微細構造を被成形材に精度よく転写できるとともに、余分なプレス力が不要であり、金型の耐久性を向上させることができる。
10 インプリント装置
11 金型保持部
12 金型
12a 凹凸微細構造部
12b 金型面
16 被成形材
16a 被成形面
17 被成形材保持部
18 支持台
20 変形部(変形機構)
20a Oリング
θ 傾斜角
Fz プレス力
P プレス方向
11 金型保持部
12 金型
12a 凹凸微細構造部
12b 金型面
16 被成形材
16a 被成形面
17 被成形材保持部
18 支持台
20 変形部(変形機構)
20a Oリング
θ 傾斜角
Fz プレス力
P プレス方向
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。図1は第1実施形態のインプリント装置10の断面図である。図1(a)はプレス力を加える直前の状態、図1(b)はプレス力を加えた後の状態の概略構成をそれぞれ示す。
図1(a)、(b)に示すように、本実施形態によるインプリント装置10は、金型面12bの面内に凹凸微細構造部12aを含むシリコン等の板状の金型12を保持片13とボルト14とで保持する金型保持部11と、被成形面16aを有し樹脂等からなる被成形材16を金型面12bと対向するように保持する被成形材保持部17と、被成形材保持部17を支持する支持台18と被成形材保持部17との間に介在させたゴム製のOリング20aからなる変形機構20と、を備える。
インプリント装置10は、金型保持部11に対し上方から下方に方向Pのようにプレス力を加えるプレス機構(図示省略)を備え、プレス機構により方向Pに金型保持部11を被成形材保持部17に対しプレスすることで金型12を被成形材16に押し付け、金型12の凹凸微細構造部12aの形状を被成形材16の被成形面16aに転写する。
また、金型保持部11及び被成形材保持部17は例えば鉄鋼やステンレス鋼の金属材料等から構成されており、比較的剛性が大きい。このため、ゴム製のOリング20aからなる変形機構20は、図1(b)のように、プレス力が方向Pに加わったとき、シリコン等からなる金型12を保持した金型保持部11及び樹脂等の被成形材16を保持した被成形材保持部17を含む装置全体よりも大きく変形し、Oリング20aの円形断面が押し潰されるようにして弾性変形する。
次に、本発明における第1実施形態のインプリント装置10の動作を説明する。図1(a)、(b)は第1実施形態のインプリント装置10の断面図である。本実施形態では変形機構20にOリング20aを用いている。図1(a)のように、被成形材保持部17が被成形材16を保持した状態でOリング20aを介して支持台18上に置かれており、金型12を保持した金型保持部11が上方に支持されている。
ここで、金型12の寸法誤差・形状誤差、金型12の金型保持部11への保持の際の傾きまたは金型保持部11の傾き等の原因で金型12の金型面12bが被成形材16の被成形面16aに対し平行ではなく傾斜している。即ち、金型12の中心線aが被成形材16の被成形面16aの中心線b(一点鎖線で示す)に対し傾斜角θで傾斜している。
上述の状態でプレス機構(図示省略)により金型保持部11を図1(b)の方向Pに移動させると、金型面12bと被成形面16aとは非平行で傾いてミスアライメントが生じているので、まず図1(a)のように金型12が中心線aから半径方向に距離Rだけずれた金型面12bの位置で被成形材16の被成形面16aの隅に当接する。金型12がプレス力Fzで被成形面16aを上記ずれた位置で押し付けると、そのずれた位置側の変形機構20のOリング20aが弾性変形を始める。
そして、金型保持部11を方向Pに更に移動させて押し付けると、プレス力Fzにより被成形材16の被成形面16aの中心線bが金型12の中心線aと一致するようにOリング20aが弾性変形する。このようにして、上記ずれた位置側でOリング20aが押し潰されるようにして弾性変形することで、被成形面16aと金型面12bとの傾斜が吸収された状態となり、被成形材16の被成形面16aが金型12の金型面12bに対しほぼ平行となって、金型面12bが被成形面16aの全面に当接し均一に密着するようになる。このとき、プレス力Fzは金型12の中心線aと同じ方向で被成形面16aに作用する。
上述のように、被成形材16の被成形面16aと金型12の金型面12bとが互いに非平行であっても、被成形材16と金型12とに変形機構20を介してプレス力を加えると、各面16a、12bが平行になるように変形機構20が弾性変形するので、各面16a、12bの平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善できる。これにより、被成形面16aと金型面12bとの接触及び面圧が均一になり、この状態でプレス力を更に加えて金型12を被成形材16にプレスすることで、金型12の凹凸微細構造部12aに被成形材16の樹脂が充分に充填し、凹凸微細構造部12aの形状を被成形材16に精度よく転写できる。また、被成形材16と金型12の平行度の微調整が不要となり、インプリントの成形性を向上できる。
図2は従来のインプリント装置の概略構成を示す説明図である。図2(a)には図1(a)のインプリント装置から変形機構20を除いたインプリント装置を示している。また、図2(b)は図2(a)のインプリント装置のプレス力を増やしたときに被成形材が大きく変形してしまう様子を示している。
図2(a)のように、被成形材16の被成形面16aの中心線bが金型12の中心線aに対し傾斜角θで傾斜したまま金型12が被成形面16aをプレスすると、被成形面16aにプレス力Fzが金型12の中心線aに対し傾斜角θで傾斜した方向に加わる。すると、金型面12bが被成形面16aの端部A側で密着せず、金型12と被成形材16との接触・面圧が不均一になる。このため、金型12の凹凸微細構造部12aへの被成形材16の樹脂の充填が不充分になる。
また、金型面12bを被成形面16aの全面に密着させようとしてプレス力を増やすと、図2(b)のように、被成形材16の側面近傍19が大きく変形してしまう。また、金型12が被成形面16aと傾斜角θで傾斜していると、金型12と被成形材16とを相対的にすべらせる力Fxが生じるが、このFxは樹脂の充填に寄与しない成分であり、金型12の凹凸微細構造部12aを破壊する要因となってしまう。そして、プレス力を増やすと、すべり力Fxが更に大きくなり、凹凸微細構造部12aの破壊が更に進行する。
上述の従来技術では被成形材16の被成形面16aの面積が大きくなる程、金型12と被成形材16との接触・面圧が不均一になり易いのに対し、本実施の形態によるインプリント装置10によれば、被成形材16の被成形面16aが比較的大面積であっても、被成形面16aを金型12の金型面12bに均一な面圧で均一に接触させて密着させることができ、充填むらを低減できる。
また、傾斜したままでプレスする場合に比べて必要なプレス力を大幅に低減できるので、金型12の負担が軽減し、金型の耐久性が向上し、また、被成形材16を樹脂製の光学素子とする場合、従来技術のような複屈折による光学性能の悪化を低減できる。
また、図1(a)の初期状態で被成形面16aが金型12に対し傾斜角θで傾斜しているため図2(a)と同様に金型12と被成形材16とを相対的にすべらせる力Fxが作用するが、変形機構20の弾性変形によりFxも緩和できるので、凹凸微細構造部12aを図の横方向に破壊するようなすべり力が低下し、金型12の耐久性向上に寄与する。
また、上述のインプリント法は、被成形材16がシリコン等の硬質基材とその硬質基材上に形成したレジスト材等の樹脂膜とからなる場合や、被成形材16がシート材である場合に適用すると好ましい。このような被成形材16は弾性変形し難いので、変形機構20を介さないでプレスすると、被成形面16aと金型面12bとが互いに非平行である場合は密着しにくいが、変形機構20を介在させることで被成形材16を金型12の金型面12bに均一に密着させて充填むらを低減できる。
また、インプリント法では必要に応じて金型と被成形材とを加熱するが、その後の冷却過程での熱収縮により金型と被成形材が離れてしまう予期しない離型に関し、かかる離型を変形機構20を介在させておくことで防止できる。
次に、本発明を実施例により更に説明するが、本発明は本実施例に限定されるものではない。
図3に本実施例の実験装置及び比較例の実験装置及び金型でプレスした被成形材の樹脂表面写真を示す。図3(a−1)は比較例の実験装置、図3(b−1)は本実施例の実験装置である。図3(a−2)はプレス力400N、図3(a−3)はプレス力800Nで金型をプレスした比較例の被成形材の樹脂表面写真である。また、図3(b−2)はプレス力400Nで金型をプレスした本実施例の被成形材の樹脂表面写真である。
本実施例及び比較例では、図3(a−1)、図3(b−1)のように、Zステージ100の上にロードセル101を介して裏面観察治具102を配置し、シートチャック103に固定した被成形材16である樹脂シートに対し上方から金型12でプレスし、そのときの樹脂シートの裏面を観察し写真撮影した。用いた樹脂シートは、耐熱透明樹脂「アートン/ARTON(登録商標)」(JSR株式会社)厚さ188μmを用い、金型温度を210度に設定した。実施例では市販のゴム製のOリング20aを裏面観察治具の下方に配置し、比較例では省略している。Oリング20aの材質はニトリルゴムであり、内径29.7mm、線径3.5mm、硬度は70±5Hs(JIS規格による)のものを用いた。また、金型12は平面形状が円形の凹凸微細構造(深さ1300nm、ピッチ350nm)を形成したシリコン基板であった。
比較例のプレス力が400Nの場合、図3(a−1)のように写真の右側で金型とシート面との接触・面圧がかなり不均一であり、プレス力を800Nと2倍にした場合には、図3(a−2)のように接触・面圧は改善されているが、高圧力のために複屈折が生じている。これに対し、本実施例では、プレス力が400Nの場合、図3(b−2)のように比較例のプレス力が400Nの場合と比べて、金型とシート面との接触・面圧がかなり改善されていることが分かる。また、金型面とシート面との間の傾斜によるミスアライメントが補正されていることが分かる。
図4は、本実施例及び比較例において(プレス力がともに400N)金型から樹脂シートに転写された凹凸微細パターンの構造高さを測定し、測定した半径位置に対し測定した構造高さをプロットした図である。
図4から分かるように、凹凸微細構造の構造深さは、本実施例では半径位置の左端から右端までほぼ一定であるが、比較例では、構造深さが半径位置が−1mmから減少し始め+1mmではゼロとなっており、+1mmから+2mmの範囲では転写が行われていない。このように、ミスアライメント補正のない比較例では金型とシート面との接触・面圧が不充分であり、樹脂の充填むらが生じたのに対し、ミスアライメント補正を行った実施例では樹脂の充填むらは殆ど生じていない。
なお、本実施例では、プレス力を加え始めた初期段階に約70Nのプレス力でミスアライメント補正が開始しており、また、金型の冷却過程において離型力は特に発生しなかった。
以上のように第1実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、図1では変形機構20の弾性部材としてゴム製のOリング20aを用いたが、本発明はこれに限定されず、他の弾性体を用いてもよく、例えば、ゴム製等の板部材、コイルばねであってもよい。Oリング等のゴム材はフッ素ゴムやニトリルゴム等を用いることができるが、これらに限定されるものではない。以下、他の実施形態について説明するが、今までに説明した同一機能要素には同番号を付し、説明を省略する。
次に、変形機構20にコイルばねを用いた第2実施形態のインプリント装置10について説明する。図5は第2実施形態のインプリント装置10の断面図、図6は、被成形材保持部17と支持台18の間に配置するコイルばね20bの配置例を説明する説明図である。
次に、変形機構20にコイルばねを用いた第2実施形態のインプリント装置10について説明する。図5は第2実施形態のインプリント装置10の断面図、図6は、被成形材保持部17と支持台18の間に配置するコイルばね20bの配置例を説明する説明図である。
図5のように、被成形材保持部17が被成形材16を保持した状態でコイルばね20bを介して支持台18上に置かれており、金型12を保持した金型保持部11が上方に支持されている。
コイルばね20bは各方向に均等に変形するように、被成形材保持部17の円周を少なくとも3等分した位置に配置する必要がある。図6(a)は被成形材保持部17の円周を4等分した位置に配置した例、図6(b)は被成形材保持部17の円周を8等分した位置に配置した例である。図6(b)のように、より多くのコイルばね20bを被成形材保持部17の円周上に均等に配置することが望ましい。
次に、コイルばね20bを選定する際のバネ定数の一例について説明する。
図5のように金型面12bが被成形面16aに当接したときの、被成形材16の他端Aにおける金型面12と被成形面16aとの距離を平行度誤差ΔZとする。また、コイルばね20bは図6(a)のように被成形材保持部17の円周を4等分した位置に配置されているものとする。平行度誤差ΔZは0.05mm、プレス力を400Nとし、コイルばね20bのストローク量を1mm以上とすると、例えばバネ定数は90N/mmから約110N/mmの範囲の値が好適である。
図5のように金型面12bが被成形面16aに当接したときの、被成形材16の他端Aにおける金型面12と被成形面16aとの距離を平行度誤差ΔZとする。また、コイルばね20bは図6(a)のように被成形材保持部17の円周を4等分した位置に配置されているものとする。平行度誤差ΔZは0.05mm、プレス力を400Nとし、コイルばね20bのストローク量を1mm以上とすると、例えばバネ定数は90N/mmから約110N/mmの範囲の値が好適である。
図5のそのほかの構成要素と動作は、変形機構20にコイルばね20bを用いたこと以外は第1実施形態と全く同じであり、説明を省略する。
次に、被成形材保持部17を回転軸受け72で支持した第3実施形態のインプリント装置10について説明する。図7は第3実施形態のインプリント装置10の断面図である。図5と同様に、被成形材保持部17が被成形材16を保持した状態でコイルばね20bを介して支持台18上に置かれており、金型12を保持した金型保持部11が上方に支持されている。変形機構20として用いるコイルばね20bは各方向に均等に変形するように、被成形材保持部17の円周を少なくとも3等分した位置に配置する必要がある。図7ではコイルばね20bが被成形材保持部17の円周を4等分した位置に配置されているものとして説明する。
第3実施形態では、被成形材保持部17は回転軸受け72を有する軸71により支持されている。軸71は直動軸受け70に摺動して紙面上下方向に移動可能であるが、紙面左右方向へ移動することはできない。したがって、被成形材保持部17は紙面上下方向の移動と回転軸受け72を中心に回転が可能である。
次に、本発明における第3実施形態のインプリント装置10の動作を説明する。図1と同様に、図7では金型12の中心線aが被成形面16aの中心線bに対し傾斜角θで傾斜した状態を示している。上述の状態でプレス機構(図示省略)により金型保持部11を図7の方向Pに移動させると、図7のように金型12が中心線aから半径方向に距離Rだけずれた金型面12bの位置で被成形材16の被成形面16aの隅に当接し、プレス力Fzで被成形面16aを上記ずれた位置で押し付ける。すると、ずれた位置側の変形機構20のコイルばね20bが弾性変形を始め、被成形材保持部17は回転軸受け72を中心に矢印G方向に回転を始める。
そして、金型保持部11を方向Pに更に移動させて押し付けると、プレス力Fzにより被成形材16の被成形面16aの中心線bが金型12の中心線aと一致するようにコイルばね20bが弾性変形し、被成形材保持部17は回転軸受け72を中心に回転する。また、軸71はコイルばね20bの弾性変形に応じて紙面下方に移動する。このようにして、被成形材16の被成形面16aが金型12の金型面12bに対しほぼ平行となって、金型面12bが被成形面16aの全面に当接し均一に密着するようになる。このとき、プレス力Fzは金型12の中心線aと同じ方向で被成形面16aに作用する。
このように、被成形材16と金型12とに変形機構20を介してプレス力を加えると、各面16a、12bが平行になるように変形機構20が弾性変形するので、各面16a、12bの平行度が低下している場合でも自動的に平行度を改善できる。さらに本実施形態では、被成形材保持部17は回転軸受け72を中心に回転するので、プレス力を加えても最初に当接した金型面12bと被成形材16の被成形面16aとの位置関係がずれることがない。このことにより、金型12の凹凸微細構造部12aに被成形材16の樹脂を充分に充填し、凹凸微細構造部12aを被成形材16にさらに精度よく転写できる。
なお、本実施形態では変形機構20にコイルばね20bを用いた例を説明したが、本実施形態の適用はコイルばね20bに限定されるものではなく、変形機構20にOリング、板バネ、油圧機構などを用いても良い。
次に、変形機構20に油圧機構を用いた第4実施形態のインプリント装置10について説明する。図8は第4実施形態のインプリント装置10の断面図である。被成形材保持部17は回動自在な回転軸受け65a、65bにより支持されている。なお、コイルばね20bの場合と同様に回転軸受け65は各方向に均等に変形するように、被成形材保持部17の円周を少なくとも3等分した位置に配置する必要がある。本実施形態では図6(a)のように被成形材保持部17の円周を4等分した位置に配置されているものとして、そのうち2つの回転軸受け65a、65bと連動する変形機構20について説明する。
回転軸受け65a、65bは軸66a、66bに取り付けられており、軸66a、66bの他端には回転軸受け67a、67bが取り付けられている。回転軸受け67a、67bはシリンダ61a、61bに回動自在に支持されている。シリンダ61a、61bはシリンダ筒68a、68bを紙面上下方向に摺動可能に配置されている。各シリンダ筒61は下部がパイプ69で連結されており、各シリンダ筒68の下部とパイプ69には流体60が充填されている。流体60には例えば油を用いるが、油に限定されるものではなく、水、空気などを用いても良い。
次に、本発明における第4実施形態のインプリント装置10の動作を説明する。図1と同様に、図8では金型12の中心線aが被成形材16の被成形面16aの中心線bに対し傾斜角θで傾斜した状態を示している。
上述の状態でプレス機構(図示省略)により金型保持部11を図8の方向Pに移動させると、金型面12bと被成形面16aとは非平行で傾いてミスアライメントが生じているので、まず図8のように金型12が中心線aから半径方向に距離Rだけずれた金型面12bの位置で被成形材16の被成形面16aの隅に当接する。すると、プレス力Fzで被成形面16aを上記ずれた位置で押し付けるので、そのずれた位置側の変形機構20の軸66aが押し下げられる。軸66aと連動するシリンダ61aはシリンダ筒68aの紙面下側に移動する。シリンダ筒68aの圧力によってそれまでシリンダ筒68aに充填されていた流体60は、シリンダ61bなど他のシリンダ61を押し上げる。
そして、金型保持部11を方向Pに更に移動させて押し付けると、プレス力Fzにより被成形材16の被成形面16aの中心線bが金型12の中心線aと一致するようにシリンダ61a、61bが移動する。このようにして、被成形面16aと金型面12bとの傾斜が吸収された状態となり、被成形材16の被成形面16aが金型12の金型面12bに対しほぼ平行となって、金型面12bが被成形面16aの全面に当接し均一に密着するようになる。このとき、プレス力Fzは金型12の中心線aと同じ方向で被成形面16aに作用する。
このように変形機構20に油圧機構を用いると、プレス力を加えたとき各面16a、12bが平行になるように変形機構20のシリンダ61が速やかに移動するので、被成形材16と金型12の間に均一にプレス力を加えることができる。
次に、金型保持部11を支持する支持台90と金型保持部11との間に変形機構20を配置した第5実施形態のインプリント装置10について説明する。図9は第5実施形態のインプリント装置10の断面図である。
図9に示すように、本実施形態によるインプリント装置10は、金型12をボルト94とで保持する金型保持部11と、金型保持部11をボルト94で支持する支持台90を備えている。支持台90と金型保持部11との間には変形機構20としてゴム製のOリング20aが介在している。なお、本実施形態では変形機構20としてOリング20aを用いた例を説明するが、これまでに説明した実施形態と同様に変形機構20にコイルばね、板バネ、油圧機構などを用いても良い。
インプリント装置10は、金型保持部11に対し上方から下方に方向Pのようにプレス力を加えるプレス機構92を備え、プレス機構92により方向Pに支持台90をプレスし、支持台90に固定されている金型保持部11を被成形材保持部17に対しプレスする。このようにして金型12を被成形材16に押し付け、金型12の凹凸微細構造部12aの形状を被成形材16の被成形面に転写する。
金型保持部11及び被成形材保持部17は例えば鉄鋼やステンレス鋼の金属材料等から構成されており、比較的剛性が大きい。このため、ゴム製のOリング20aからなる変形機構20は、図1(b)で説明した第1実施形態と同様に、プレス力が方向Pに加わったとき、シリコン等からなる金型12を保持した金型保持部11及び樹脂等の被成形材16を保持した被成形材保持部17を含む装置全体よりも大きく変形する。
次に、本発明における第5実施形態のインプリント装置10の動作を説明する。
ここでは、金型12の金型面12bが被成形材16の被成形面16aに対し平行ではなく傾斜しているものとする。
上述の状態でプレス機構92により金型保持部11を図1(b)の方向Pに移動させると、金型12の一端が被成形材16の隅に当接し、当接した位置側の変形機構20のOリング20aが弾性変形を始める。
そして、金型保持部11を方向Pに更に移動させて押し付けると、上記ずれた位置側でOリング20aが押し潰されるようにして弾性変形することで、被成形面16aと金型面12bとの傾斜が吸収された状態となる。このようにして、金型面12bが被成形面16aの全面に当接し均一に密着する。
本実施形態では、変形機構20が金型保持部11側に設けられているので、金型保持部11が傾斜を変える点が今まで説明した実施形態と異なっているが、他の実施形態と同様に金型面12bと被成形面16aの平行度を自動的に改善する効果が得られる。また、本実施形態では変形機構20を金型保持部11側だけに設けているが、さらに被成形材保持部17と支持台18の間に変形機構20を設けても良い。
Claims (9)
- 被成形材を保持する被成形材保持部と、
微細構造を有する金型を保持する金型保持部と、を備え、
前記微細構造を前記被成形材に転写するために前記被成形材と前記金型とを相対的に接近させてプレスする際に、そのプレス方向の力で変形する変形機構を介してプレス力を加えるように構成したことを特徴とするインプリント装置。 - 前記変形機構は、前記プレス力が加わったときに、前記被成形材保持部及び前記金型保持部を含む装置全体よりも大きく変形することを特徴とする請求の範囲第1項に記載のインプリント装置。
- 前記被成形材保持部を支持する支持台と前記被成形材保持部との間に前記変形機構を配置したことを特徴とする請求の範囲第1項または第2項に記載のインプリント装置。
- 前記金型保持部を支持する支持台と前記金型保持部との間に、前記変形機構を配置したことを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記変形機構は弾性部材を備えることを特徴とする請求の範囲第1項乃至第4項のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 微細構造を有する金型と被成形材とを相対的に接近させてプレスする際に、そのプレス方向に変形し易い変形機構を介してプレス力を加えることで前記微細構造を前記被成形材に転写することを特徴とするインプリント方法。
- 前記被成形材の面と前記金型の面とが互いに非平行であるとき、前記プレス力を加えて前記変形機構を変形させることで前記面を互いに平行にすることを特徴とする請求の範囲第6項に記載のインプリント方法。
- 前記被成形材が硬質基材とその硬質基材上に形成した樹脂膜とからなることを特徴とする請求の範囲第6項または第7項に記載のインプリント方法。
- 前記被成形材がシート材からなることを特徴とする請求の範囲第6項または第7項に記載のインプリント方法。
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