JP2010093105A - 被成型品保持装置、型保持装置および転写装置 - Google Patents

Abstract

【課題】型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、転写不良の発生を抑制する。
【解決手段】型Ｍに形成されている微細な転写パターンを、被成型品Ｗに転写するときに、被成型品Ｗを保持する被成型品保持装置５において、平板状に形成され厚さ方向の一方の面の中央部で被成型品Ｗを保持する被成型品保持体１５と、平板状に形成され被成型品保持体１５から離れて設けられたベース部材１７と、被成型品保持体１５とベース部材１７とで挟まれ、被成型品保持体１５の厚さ方向から見たときに、被成型品保持体１５の中央部に設けられている緩衝材１９とを有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、被成型品保持装置、型保持装置および転写装置に係り、特に、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するときに使用するものに関する。

近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成してモールド（テンプレート；スタンパ；型）を作製し、被成モールド品として被転写基板表面（基材の表面）に形成されたレジスト膜（たとえば、ＵＶ硬化樹脂や熱可塑性樹脂で構成されたレジスト膜）に前記モールドを所定の圧力で押圧して、当該モールドに形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（非特許文献１参照）。

また、従来のナノインプリント技術による転写では、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する場合、型を型保持体の平面に設置し、被成型品を被成型品保持体の平面（型保持体の平面に対して高い精度で平行になっている平面）に設置し、高精度の駆動機構を駆動して型で被成型品をプレスしている。

なお、上記従来の転写に関連する特許文献として、たとえば、特許文献１を掲げることができる。
Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｏｃｉｅｔｉｅｓ ｆｏｒ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ａｎｄ Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ２５（２００１） １９２−１９９ 特開２００４−３４３００号公報

ところで、上記従来の技術による転写では、型や被成型品の平面度や平行度（平板状の型の厚さ方向の一方の面と他方の面との平行度や、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面と他方の面との平行度）にばらつきがある場合、これらのばらつきに応じて、各ショット（各プレス動作）毎に型保持体や被成型品保持体が追従できず、転写不良が発生する場合があるという問題がある。

上記転写不良として、片当たり（被成型品の一方の側にのみ転写がされ他方の側には転写がされない事態）、中抜け（被成型品の周縁部にのみ転写がされ中央部には転写がされない事態）等の不規則な空白（転写がされないか不十分な箇所）が生じる事態を掲げることができる。

本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、転写不良の発生を抑制することができる被成型品保持装置、型保持装置および転写装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、前記被成型品を保持する被成型品保持装置において、平板状に形成され、厚さ方向の一方の面の中央部に前記被成型品の厚さ方向の他方の面を接触させて前記被成型品を保持する被成型品保持体と、平板状に形成され、前記被成型品保持体の厚さ方向の他方の側で前記被成型品保持体から離れて設けられたベース部材と、前記被成型品保持体と前記ベース部材とで挟まれ、前記被成型品保持体の厚さ方向から見たときに、前記被成型品保持体の中央部に設けられている緩衝材とを有する被成型品保持装置である。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の被成型品保持装置において、前記被成型品保持体の厚さ方向の一方の面が、周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸になっている被成型品保持装置である。

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の被成型品保持装置において、前記緩衝材は、スペーサを伴って前記被成型品保持体と前記ベース部材との間に設けられており、前記被成型品保持体側に前記緩衝材が位置し、前記ベース部材側に前記スペーサが位置し、前記被成型品保持体の厚さ方向からみたときに、前記被成型品保持体に保持されている被成型品に比べて、前記スペーサの前記ベース部材への接触面が十分に小さく形成されている被成型品保持装置である。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の被成型品保持装置において、前記被成型品を保持する前記被成型品保持体の一方の面を変形させるか、傾けるかの少なくともいずれかをおこなうために、前記被成型品保持体の周辺部に外力を付与する外力付与手段を有する被成型品保持装置である。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の被成型品保持装置と、前記型を保持し、前記被成型品保持装置に保持されている被成型品に前記微細な転写パターンを転写するために、前記被成型品保持装置に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な型保持体とを有する転写装置である。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の被成型品保持装置と、微細な転写パターンが形成されているシート状の型であって周辺部が環状のシート状部材保持具によって支持されていることにより中央部で平板状になっている型を、この型の平板状になっている部位が前記被成型品保持体の厚さ方向の一方の面とほぼ平行になるように、また、この平行状態を保ったまま前記被成型品保持体に対して接近・離反する方向で相対的に移動するように支持する型支持装置と、前記型支持装置に支持されている型を間にして前記被成型品保持体とは反対側に設けられ、前記被成型品保持装置に保持されている被成型品に、前記型支持装置に支持されている型の微細な転写パターンを転写すべく、前記被成型品保持装置に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な押圧体とを有する転写装置である。

請求項７に記載の発明は、平板状の型の厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターンを、被成型品の平面状の部位に転写するときに、前記型を保持する型保持装置において、平板状に形成され、厚さ方向の一方の面の中央部に前記型の厚さ方向の他方の面を接触させて前記型を保持する型保持体と、平板状に形成され、前記型保持体の厚さ方向の他方の側で前記型保持体から離れて設けられたベース部材と、前記型保持体と前記ベース部材とで挟まれて、前記型保持体の厚さ方向から見たときに、前記型保持体の中央部に設けられている緩衝材とを有する型保持装置である。

請求項８に記載の発明は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、前記型を保持する型保持体と、前記被成型品を保持する被成型品保持体と、前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに、前記被成型品保持体に保持されている被成型品をごく僅かに中凸にすると共に、前記被成型品保持体に保持されている被成型品の姿勢を前記型保持体に保持されている型に追従させる被成型品変形追従手段、前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに、前記型保持体に保持されている型をごく僅かに中凸にすると共に、前記型保持体に保持されている型の姿勢を前記被成型品保持体に保持されている被成型品に追従させる型変形追従手段のうちの少なくともいずれかの手段とを有する転写装置である。

本発明によれば、型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、転写不良の発生を抑制することができるという効果を奏する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す図である。

以下、説明の便宜のために、水平な一方向をＸ軸方向とし、水平な他の一方向であってＸ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向とし、鉛直方向（上下方向）をＺ軸方向とする。

転写装置（ナノインプリント装置）１は、型（モールド）Ｍの下面ＭＡに形成されているたとえばナノオーダーの微細な転写パターンを、被成型品（被成型素材）Ｗの上面ＷＡに転写する装置である。この転写は、型Ｍの下面ＭＡを被成型品Ｗの上面ＷＡに接触させて押圧（プレス）することに行われる。

上記転写の形態として、たとえば、ＵＶインプリント法や熱インプリント法を掲げることができる。

まず、図２を参照してＵＶインプリント法について説明する。

転写装置１に、型Ｍと被成型品Ｗとが設置されており、図２（ａ）に示すように、被成型品Ｗの上面ＷＡに、硬化前の紫外線硬化樹脂（ＵＶ硬化樹脂）Ｗ１が薄く設けられており、このＵＶ硬化樹脂Ｗ１の上方に、紫外線を透過する石英ガラス等で構成された型Ｍが位置しているものとする。なお、被成型品Ｗは、たとえば、樹脂やシリコンや金属で構成されているものとする。

図２（ａ）に示す状態から、型Ｍを下降させて、型ＭでＵＶ硬化樹脂Ｗ１を押圧し紫外線（ＵＶ光）をＵＶ硬化樹脂Ｗ１に照射しＵＶ硬化樹脂Ｗ１を硬化させる（図２（ｂ）参照）。

ＵＶ硬化樹脂Ｗ１が硬化した後、型Ｍを上昇して被成型品ＷやＵＶ硬化樹脂Ｗ１から型Ｍを離し（図２（ｃ）参照）、この後、微細パターンが形成されているＵＶ硬化樹脂Ｗ１を備えた被成型品Ｗを転写装置１から搬出する。

図２（ｃ）に示す状態では、硬化したＵＶ硬化樹脂Ｗ１の表面が薄い残膜Ｗ２で覆われているので、この残膜Ｗ２を、たとえばＯ_２アッシングで除去する。

この後、微細な転写パターンが転写されたＵＶ硬化樹脂Ｗ１をマスキング部材として、被成型品Ｗをエッチングすると、図２（ｄ）に示すように、被成型品Ｗの上面ＷＡの一部が除去される。この後、マスキング部材としてのＵＶ硬化樹脂Ｗ１を除去することにより、被成型品Ｗへの微細な転写パターンの転写が終了する（図２（ｅ）参照）。

次に、図３を参照して、熱インプリント法について説明する。

まず、転写装置１に、型Ｍと被成型品Ｗとが設置されており、図３（ａ）に示すように、この被成型品Ｗの上方に、たとえば金属で構成された型Ｍが位置しているものとする。なお、被成型品Ｗは、熱可塑性樹脂で構成されているものとする。

図３（ａ）に示す状態から、型Ｍを下降させて、型Ｍで被成型品Ｗを押圧すると共に加熱し、この加熱後、被成型品Ｗを冷却し被成型品Ｗを硬化させる（図３（ｂ）参照）。この後、型Ｍを上昇して被成型品Ｗから型Ｍを離すと、被成型品Ｗへの微細な転写パターンの転写が終了する（図３（ｃ）参照）。

次に、転写装置１について詳しく説明する。

図１に示すように、転写装置１は、ベースフレーム３を備えており、このベースフレーム３には、被成型品保持装置５が設けられている。被成型品保持装置５は、たとえば、上面が平面状になっており、この上面に、たとえば、平板状に形成されている被成型品Ｗを載置し保持することができるようになっている。

被成型品保持装置５は、ＸＹステージ７を介してベースフレーム３に支持されている。したがって、制御装置９の制御の下、ＸＹステージ７を構成するサーボモータ等のアクチュエータ（図示せず）を駆動することによって、被成型品保持装置５が、Ｘ軸方向やＹ軸方向で移動位置決めされるようになっている。なお、ＸＹステージ７が、θ１軸まわりで被成型品保持装置５を回動位置決めする機能を備えていてもよい。θ１軸は、Ｚ軸に平行な軸であってＸＹステージ７や被成型品保持装置５や被成型品保持装置５に設置されている被成型品Ｗの中心を通っている軸である。

また、ベースフレーム３には、型保持体１１とこの型保持体１１を一体的に支持している移動体１３とが設けられている。型保持体１１は、たとえば、下面が平面状になっており、この下面で平板状に形成された型Ｍをたとえば真空吸着やボルト等の締結具を用いて保持するようになっている。このようにして保持された型Ｍでは、微細な転写パターンが形成されている下面ＭＡが、被成型品保持装置５やこの被成型品保持装置５に設置されている被成型品Ｗと対向している。

移動体１３（型保持体１１）は、図示しないリニアガイドベアリングを介してベースフレーム３に支持されており、制御装置９の制御の下、サーボモータ等のアクチュエータ（図示せず）を駆動することによって、Ｚ軸方向で移動位置決め自在になっている。

なお、すでに理解されるように、転写のための型Ｍと被成型品Ｗとの面接触や押圧は、型Ｍを被成型品Ｗに対してＺ軸方向で相対的に移動することによってなされる。すなわち、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの下面ＭＡが平面状になっており、また、微細な転写パターンが転写される被成型品Ｗの上面ＷＡも平面状になっているので、前記面接触がなされる前は、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの平面状の下面ＭＡと、微細な転写パターンが転写される被成型品Ｗの平面状の上面ＷＡとは、お互いが離れて平行になっている。この離れて平行になっている状態から、下方向（型Ｍが被成型品Ｗに近づく方向）に型Ｍを移動することによって、移動体１３と型保持体１１と型Ｍとが図１に二点鎖線で示すところに位置し、前記面接触と前記押圧とがなされるようになっている。

また、転写装置１には、被成型品Ｗに紫外線を照射するためのＵＶ光発生装置（紫外線発生装置；図示せず）や被成型品Ｗを加熱する加熱装置（図示せず）や冷却する冷却装置（図示せず）が設けられており、前述したＵＶインプリント法または熱インプリント法を行う場合に、適宜使用されるようになっている。

次に、図４を参照しつつ被成型品保持装置５について説明する。

被成型品保持装置（部材保持装置）５は、型Ｍの平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品Ｗの厚さ方向の一方の面（図４では上面）に転写するときに、被成型品Ｗを保持する装置であり、被成型品保持体１５とベース部材１７と緩衝材１９とを備えて構成されている。

被成型品保持体１５は、厚さ方向の一方の面（図４では上面）の中央部に設置された被成型品Ｗを、たとえば真空吸着によって保持するものである。この保持をしている状態では、被成型品Ｗの厚さ方向の他方の面（下面）が、被成型品保持体１５に面接触している。被成型品Ｗが設置される被成型品保持体１５の上面には、真空ポンプ（図示せず）につながっている環状の溝２０が設けられており、この環状の溝２０と図１に示す真空ポンプ２２とを用いて真空吸着がなされるようになっている。

また、被成型品保持体１５は、たとえば、被成型品Ｗよりも大きい平板状に形成されている。すなわち、被成型品保持体１５に被成型品Ｗが設置された状態で、被成型品保持体１５や被成型品Ｗの厚さ方向（Ｚ軸方向）から見ると、被成型品保持体１５が被成型品Ｗよりも大きく、被成型品保持体１５の中央に被成型品Ｗが存在している。

ベース部材１７は、たとえば、被成型品Ｗよりも大きく、被成型品保持体１５とほぼ同じ大きさかもしくは僅かに大きいかもしくは僅かに小さな平板状に形成されている。すなわち、被成型品保持体１５やベース部材１７の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見ると、被成型品保持体１５とベース部材１７とはお互いがほぼ重なっている。

また、ベース部材１７は、被成型品保持体１５の厚さ方向の他方の側（図４の下側）で被成型品保持体１５から離れ、被成型品保持体１５に対向してほぼ平行に設けられている。

緩衝材１９は、シリコンゴム（ＰＤＭＳ）等のゴムもしくは剛性の小さい樹脂等の弾性体で構成されており、被成型品保持体１５とベース部材１７とにより、直接的もしくは間接的に挟まれている。また、緩衝材１９は、被成型品保持体１５の厚さ方向から見たときに、被成型品保持体１５の中央部に位置している。また、緩衝材１９は、鉄と比較し剛性の小さなアルミや銅等の金属で構成されていてもよい。

例を掲げてさらに説明すると、被成型品Ｗは、矩形な平板状に形成されている。被成型品保持体１５は、矩形な平板状に形成されている第１の被成型品保持体２１と、第１の被成型品保持体２１よりも大きい矩形な平板状に形成されている第２の被成型品保持体２３とを備えて構成されている。

第１の被成型品保持体２１と第２の被成型品保持体２３とは、厚さ方向が上下方向（Ｚ軸方向）になるようにして設けられている。第２の被成型品保持体２３の上面の中央部に、第１の被成型品保持体２１が載置されており、ボルト等の締結具（図示せず）を用いることにより第１の被成型品保持体２１と第２の被成型品保持体２３とが一体になっている。第１の被成型品保持体２１の上面の中央に被成型品Ｗが設置されるようになっている。なお、この設置がされた状態では、被成型品Ｗの厚さ方向が上下方向（Ｚ軸方向）になっている。

ベース部材１７も、矩形な平板状に形成されており、厚さ方向が上下方向（Ｚ軸方向）になるようにして設けられている。また、被成型品保持体１５やベース部材１７の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見ると、第２の被成型品保持体２３とベース部材１７とはお互いがほぼ重なっている。

緩衝材１９は、スペーサ２５を伴って、被成型品保持体１５（第２の被成型品保持体２３）とベース部材１７との間に設けられている。なお、図４に示すようにスペーサ２５を用いることによって、緩衝材１９が、被成型品保持体１５とベース部材１７とにより間接的に挟まれることになる。一方、スペーサを用いることなく、被成型品保持体１５（第２の被成型品保持体２３）とベース部材１７との間に緩衝材１９のみを設けてもよい。これにより、緩衝材１９が、被成型品保持体１５とベース部材１７とにより直接的に挟まれることになる。

緩衝材１９やスペーサ２５も、矩形な板状に形成されている。緩衝材１９やスペーサ２５も、厚さ方向が上下方向（Ｚ軸方向）になるようにして設けられている。また、スペーサ２５の縦横寸法は、被成型品保持体１５（２１，２３）やベース部材１７の縦横寸法よりも小さく形成されている。また、緩衝材１９の縦横寸法は、スペーサ２５の縦横寸法よりも僅かに小さくなっているが、スペーサ２５の縦横寸法とほぼ等しくなっていてもよいし、僅かに大きくなっていてもよい。

被成型品保持体１５、ベース部材１７、スペーサ２５、緩衝材１９の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見ると、被成型品保持体１５やベース部材１７の中央部にスペーサ２５や緩衝材１９が設けられている。また、緩衝材１９は、被成型品保持体１５の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見たとき、被成型品保持体１５が保持している被成型品Ｗの内側、もしくは、被成型品保持体１５が保持している被成型品Ｗが内側に入る領域であって被成型品Ｗよりも僅かに大きな領域の内側に存在している。

すなわち、図４におけるＶ矢視図である図５（ａ）に示すものでは、被成型品Ｗと緩衝材１９とがお互いに重なっているが、緩衝材１９の大きさを被成型品Ｗの大きさよりも僅かに小さくしてもよいし、逆に僅かに大きくしてもよい。なお、緩衝材１９の大きさを被成型品Ｗの大きさよりも僅かに小さくした場合、Ｚ軸方向からみると被成型品Ｗの内側に緩衝材１９が位置している。一方、緩衝材１９の大きさを被成型品Ｗの大きさよりも僅かに大きく場合、Ｚ軸方向からみると緩衝材１９の内側に被成型品Ｗが位置している。

緩衝材１９の上面は、第２の被成型品保持体２３の下面に面接触しており、緩衝材１９の下面はスペーサ２５の上面に面接触しており、スペーサ２５の下面はベース部材１７の上面に面接触している。なお、緩衝材１９とスペーサ２５の上下の位置を交換した構成であってもよい。すなわち、ベース部材１７と第２の被成型品保持体２３との間で、緩衝材１９を下側に設けスペーサ２５を上側に設けた構成であってもよい。

緩衝材１９以外の部材（被成型品保持体１５、ベース部材１７、スペーサ２５）は、緩衝材１９よりもはるかに剛性の高いステンレス等の金属で構成されている。また、被成型品保持体１５等の厚さ方向（Ｚ軸方向）からみたときに、被成型品保持体１５の中心と被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗの中心と緩衝材１９の中心とスペーサ２５の中心とベース部材１７の中心とは、お互いがほぼ一致している。

また、上記説明では、図５（ａ）で示すように、緩衝材１９が１枚の矩形な平板状の部材で構成されているが、図５（ｂ）〜図５（ｅ）に示すように、緩衝材１９の形態を適宜変更してもよい。

図５（ｂ）で示す緩衝材１９は、複数の柱状（たとえば円柱状）の部材をＸ軸方向とＹ軸方向とで所定の間隔をあけて並べて配置している構成である。図５（ｂ）において、各柱状の部材の設置間隔や直径や材質（弾性係数が異なる材質）を、柱状の部材が配置される位置に応じて変えてもよい。たとえば、図５（ｂ）において、中央部に位置している円柱状の部材の直径を、周辺部に位置している円柱状の部材の直径より大きくしてもよい。

図５（ｃ）で示す緩衝材１９は、矩形な環状に形成されているものである。図５（ｄ）で示す緩衝材１９は、Ｘ軸方向の寸法のみを被成型品Ｗの大きさよりも僅かに小さくし、Ｙ軸方向の寸法を第２の被成型品保持体２３よりも僅かに小さくしたものである。図５（ｅ）に示す緩衝材１９は、図５（ｃ）で示す矩形な環状に形成されているものの内側に、小さな矩形状のものを別途配置したものである。

ところで、被成型品保持装置５には、被成型品Ｗを保持する被成型品保持体１５の一方の面（上面）を、この面が中凸になるように変形させるか、傾けるかの少なくともいずれかを行うために、被成型品保持体１５の周辺部（緩衝材１９が存在していない部位）に外力を付与する外力付与手段２７が設けられている。なお、上記中凸は、一次元的もしくは２次元的に形成されている。上記中凸が２次元的に形成されているとすると、中凸を示す図４の二点鎖線Ｌ１が、被成型品保持体１５の左端や右端から中央部に向かうにしたがって凸になっているが、この方向だけでなく、図４の紙面に直交する方向における被成型品保持体１５の一端や他端から中央部に向かうにしたがって、二点鎖線Ｌ１で示す場合と同様にして、被成型品保持体１５の上面が凸になっている。

さらに説明すると、上記中凸が１次元的に形成されて場合、上記中凸は、たとえば、半径が大きな円柱の側面の一部で構成された曲面で形成されている。また、上記中凸が２次元的に形成されて場合、上記中凸は、曲率半径が大きな球の表面の一部で構成された曲面、曲率半径が大きな回転楕円体の表面の一部で構成された曲面、曲率半径が大きくかつ滑らかに変化している曲面等のうちのいずれかで形成されている。

なお、前記変形や傾けは、転写における転写不良を避けるべくなされるものであり、前記変形による変形量や前記傾けによる傾き量はごく僅かである。また、外力付与手段２７では、付与する外力の値を調整することが容易になっている。

例を掲げてさらに説明すると、外力付与手段２７は、図４に示すように、複数本のボルト２８を備えて構成されている。各ボルト２８は、たとえば、被成型品保持体１５やベース部材１７の角部の近くに設けられており、ボルト２８のネジ部が、ベース部材１７に螺合しており、ボルト２８の頭部が被成型品保持体１５に係合している。

そして、各ボルト２８を適宜締め付けると、緩衝材１９が図４の上下方向で圧縮されると共に、被成型品保持体１５に曲げモーメントが発生して、被成型品保持体１５の上面が中央部に向かうにしたがって僅かに中凸になるように変形する（図４に二点鎖線Ｌ１で示すようになる）。この変形により、被成型品保持体１５の上面に設置されている被成型品Ｗも、同様にごく僅かではあるが中凸に変形する。そして、型Ｍで被成型品Ｗに転写するときの中抜けを防止することができる。

なお、図４に示す左側のボルト２８の締め加減と、右側のボルト２８の締め加減とが同じであれば、被成型品保持体１５は、単に僅かに中凸になるだけであるが、図４に示す左側のボルト２８の締め加減と右側のボルト２８の締め加減とを変えれば、被成型品保持体１５が僅かに中凸になると同時に被成型品保持体１５を僅かに傾けることができる。これにより、型Ｍで被成型品Ｗを転写するときの片当たりを防止することができる。

ところで、外力付与手段２７を図４で示す構成にすると、ボルト２８に緩みが発生するおそれがあるので、図６（外力付与手段２７の変形例を示す図）に示すようにして、ボルト２８の緩み防止することが望ましい。

図６（ａ）は、ナット２９を用いてボルト２８の緩みを防止する構成を示している。図６（ｂ）は、筒状のスペーサ３１を用いてボルト２８の緩みを防止する構成を示している。図６（ｃ）は、中心軸の方向に貫通孔が形成されているボルト３３を用いてボルト２８の緩みを防止する構成を示している。

また、ボルト２８の代わりに、ピエゾ素子、磁歪素子、シリンダ等のアクチュエータ等を用いて、外力付与手段２７を構成してもよい。

図７（外力付与手段２７の変形例を示す図）は、複数のシリンダ３５をボルト２８の場合と同様に配置して外力付与手段２７を構成した例を示す。各シリンダ３５の張力（第２の被成型品保持体２３の周辺部を下方に引く力）を調整することにより、第２の被成型品保持体２３の上面を二点鎖線Ｌ２で示すように斜めに傾けることができるようになっている。なお、斜めに傾けることに代えてもしくは加えて、図４に二点鎖線Ｌ１で示すように中凸に変形させる構成であってもよい。

図８（外力付与手段２７の変形例を示す図）は、複数の引っ張りバネ３７等の弾性体と、複数のピエゾ素子３９をボルト２８の場合と同様に配置して外力付与手段２７を構成した例を示す。引っ張りバネ３７の張力（第２の被成型品保持体２３の周辺部を下方に引く力）で、第２の被成型品保持体２３の上面を二点鎖線Ｌ３で示すように予め中凸に変形させておき、各ピエゾ素子３９の押し力（第２の被成型品保持体２３の周辺部を上方に押す力）を調整することにより、中凸の度合いを小さくして調整するようになっている。

また、図９（被成型品保持装置５の変形例を示す図）に示すように、被成型品保持体１５の厚さ方向の一方の面（被成型品Ｗが載置され設置される上面）が、被成型品保持体１５になんら外力を加えない状態で、周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸（たとえば上方に凸）になっていてもよい。

このように予め中凸に形成することにより、被成型品保持体１５で被成型品Ｗを保持すると、被成型品Ｗも周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸になる。また、被成型品保持体１５が被成型品Ｗを保持している状態で、型Ｍによって被成型品Ｗを押圧すると、型Ｍの微細な転写パターンが形成されている平面状の面が被成型品Ｗに倣ってごく僅かであるが中凹に変形するようになっている。また、緩衝材１９が適宜圧縮されて変形し、型Ｍの微細な転写パターンが形成されている面の全面が、被成型品保持体１５が保持している被成型品Ｗに、均一に面接触するようになっている。

また、図１０（被成型品保持装置５の変形例を示す図）に示すように、被成型品保持装置５において、緩衝材１９の大きさを十分に小さくしてもよい。すなわち、被成型品保持体１５の厚さ方向（Ｚ軸方向）からみたときに、被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗに比べて緩衝材１９を十分に小さく形成してもよい。たとえば、被成型品保持体１５や緩衝材１９の厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た場合、面積において緩衝材１９を被成型品Ｗの１／２５〜１／４程度の大きさに形成してあってもよい。さらに、被成型品Ｗや緩衝材１９が矩形な形状である場合は、縦寸法において緩衝材１９を被成型品Ｗの１／５〜１／２程度の大きさに形成し、横寸法においても緩衝材１９を被成型品Ｗの１／５〜１／２程度の大きさに形成してあればよい。また、被成型品Ｗや緩衝材１９が円形状である場合は、直径において１／５〜１／２程度の大きさに形成してあればよい。

図１０で示すように構成したことにより、被成型品保持体１５を二点鎖線Ｌ４で示すような中凸にすることが一層容易になり、また、被成型品保持体１５の上面を傾けることも一層容易になる。

また、図１１（被成型品保持装置５の変形例を示す図）に示すように、被成型品保持装置５において、スペーサ２５の形態を変更してもよい。

図１１（ａ）で示す被成型品保持装置５では、被成型品保持体１５側に緩衝材１９が位置しており、ベース部材１７側にスペーサ２５が位置している。そして、Ｚ軸方向から見ると、被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗに比べて、スペーサ２５のベース部材１７への接触面２５Ａが十分に小さく形成されている。たとえば、接触面２５Ａはたとえば円形状に形成されており、Ｚ軸方向から見た場合、接触面２５Ａが、面積において被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗの１／１００〜１／９程度の大きさに形成されている。

また、スペーサ２５は、円錐状もしくは四角錐状等の形状に形成されている。スペーサ２５における面積の大きい底面（図１１（ａ）では上側の面）が被成型品保持体１５側を向いて緩衝材１９に接触している。また、スペーサ２５における面積の小さい頂点側の面（図１１（ａ）では下側の面）２５Ａがベース部材１７に接触している。Ｚ軸方向から見ると、スペーサ２５の頂点側の面２５Ａの中心とスペーサ２５の底面の中心と緩衝材１９の中心と、被成型品保持体１５の中心とはお互いに一致している。

図１１（ａ）で示すように構成したことにより、被成型品保持体１５を二点鎖線Ｌ５で示すような中凸にすることが容易になるとともに、被成型品保持体１５の上面を傾けることが一層容易になる。

なお、図１１（ｂ）に示すように、緩衝材１９とスペーサ２５との上下の位置を変えると共に、スペーサ２５の向きを上下逆にしてもよい。

ところで、転写装置１において、型Ｍが接触する型保持体１１の面が、図１に二点鎖線Ｌ６で示すように、周辺部から中央部に向かうにしたがって、ごく僅かに中凸になっていてもよい。これにより、型保持体１１に保持された型Ｍも僅かに中凸になり、中抜け等の転写不良を防止することができる。上記中凸も、前述したように、一次元的もしくは二次元的に形成されているものとする。

次に、転写装置１の動作について説明する。

まず、初期状態として、図１に示すように、移動体１３が上方に位置しており、被成型品保持装置５に転写がされる前の被成型品Ｗが設置されており、型保持体１１に型Ｍが設置されており、各ボルト２８の締め加減が適宜調整されているものとする。

前記初期状態において、制御装置９の制御の下、移動体１３を下降させると、型Ｍと被成型品Ｗとがお互いに接触し、型Ｍで被成型品Ｗが押圧されて、被成型品Ｗへの転写が行われる。この後離型（型Ｍを被成型品Ｗから離し）被成型品Ｗを次の被成型品Ｗに換えれば、前記初期状態に戻る。

被成型品保持装置５を備えた転写装置１を用いて転写を行えば、被成型品保持体１５とベース部材１７との間に緩衝材１９が設けられているので、型Ｍで被成型品Ｗを押圧して転写を行うときに緩衝材１９が適宜圧縮されて変形し、型保持体１１に保持されている型Ｍに被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗが追従し、片当たり等の転写不良の発生を回避することができ、被成型品Ｗの生産効率をあげることができる。

なお、従来の転写装置において転写不良を回避するには、型による被成型品への押圧力（プレス力）をあげる必要があるが、被成型品保持装置５を備えた転写装置１によれば、型Ｍの押圧力を上げることなく転写不良を回避することができる。

また、従来の転写装置では、微細な転写パターンが形成されている型の面と微細な転写パターンが転写される被成型品の面とが押圧直前の状態で高精度で平行になっていても、型で被成型品を押圧するときに型がごく僅かにたわみ、中抜け等の空白部が発生するおそれがある。しかし、被成型品保持装置５を備えた転写装置１を用いて転写を行えば、プレス力を上げる必要が無く、また、緩衝材１９を設けてあることにより、被成型品Ｗが型Ｍに追従するので、中抜け等の転写不良の発生を回避することができる。

また、被成型品保持装置５によれば、被成型品Ｗが載置され設置される面が周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸になっているので、型Ｍで被成型品Ｗを押圧するときに、まず、型Ｍの中央部と被成型品Ｗの中央部とがお互いに接触し、その後、上記接触部位が周辺部に向かって広がる。したがって、大気圧下での転写において型Ｍと被成型品Ｗとの間に空気が入り込むことを防ぐことができる。

さらに、被成型品保持装置５によれば、被成型品Ｗが設置される面が周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸になっているので、離型する場合、従来よりも小さな力で離型することができる。すなわち、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの面と微細な転写パターンが転写される被成型品Ｗの面とが平面になっていると、離型の際、上記各面を瞬時にこぞって離す必要があるので、大きな離型力が必要になる。

しかし、被成型品保持装置５のように、被成型品Ｗが設置される面が周辺部から中央部に向かうにしたがって凸になっていれば、被成型品Ｗもそれに倣って凸になっている。そして、離型の際、型Ｍの面と被成型品Ｗの面とが、まず、周辺において離れ、続いて、この離れた部位と離れていない中央部側の部位との境界（線で環状に形成されている境界）が小さくなるようにして、型Ｍや被成型品Ｗの中央部に向かって進み、最後に型Ｍが被成型品Ｗから完全に離れる。したがって、従来よりも小さな力で離型することができる。

また、被成型品保持装置５において、図１１に示すように、スペーサ２５の頂点側の面２５Ａの面積を小さくし、被成型品保持体１５が被成型品Ｗを保持している状態で型Ｍによって被成型品Ｗを押圧すると、被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗの姿勢が変化しやすく、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの平面状部位と微細な転写パターンが転写される被成型品Ｗの平面状部位とが、お互いが平行になりやすくなる。そして、微細な転写パターンを転写する際の偏りを避けることができ、微細な転写パターンを被成型品Ｗに均一な転写をすることができる。

被成型品保持装置５によれば、外力付与手段２７を備えているので、被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗをごく僅かに中凸にする場合、この中凸のほどあいを容易に調整することができ、また、被成型品保持体１５に保持されている被成型品Ｗをごく僅か斜めに傾ける場合にこの傾き加減を容易に調整することができる。そして、型Ｍや被成型品Ｗの種類が変わる等転写の形態が変わった場合であっても、中抜けや片当たり等の転写不良の発生を容易に回避することができる。

ところで、転写装置１において、型Ｍと被成型品Ｗとを入れ換えてもよい。つまり、被成型品保持体１５を型保持体としてこの型保持体で型Ｍを保持し、型保持体１１を被成型品保持体としてこの被成型品保持体で被成型品Ｗを保持するように構成してもよい。

すなわち、被成型品保持装置５を、平板状の型の厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面状の部位に転写するときに前記型を保持する型保持装置であって、平板状に形成され厚さ方向の一方の面の中央部に前記型の厚さ方向の他方の面を接触させ前記型を保持する型保持体と、平板状に形成され前記型保持体の厚さ方向の他方の側で前記型保持体から離れて設けられたベース部材と、前記型保持体と前記ベース部材とで挟まれて前記型保持体の厚さ方向から見たときに、前記型保持体の中央部に設けられている緩衝材とを有する型保持装置としてもよい。

また、この型保持装置において、被成型品保持装置５の場合と同様にして、適宜変更を加えてもよい。

［第２の実施形態］
図１２は、本発明の第２の実施形態に係る転写装置４１の概略構成を示す図である。

転写装置４１は、シート状に形成されている型Ｍを用いて、被成型品Ｗに微細なパターンを形成する点が、第１の実施形態に係る転写装置１と異なり、その他の点は、第１の実施形態に係る転写装置１とほぼ同様に構成されている。なお、転写装置４１も転写装置１と同様にして、ＵＶインプリント法、熱インプリント法のいずれの方法でも転写を行うことができるように構成されている。

すなわち、転写装置４１は、ベースフレーム４３と、被成型品保持装置４５と、ＸＹステージ４７とを備えて構成されている。被成型品保持装置４５は、被成型品保持装置５の場合と同様にして被成型品保持体４９（第１の被成型品保持体５１，第２の被成型品保持体５３）とベース部材５５と緩衝材５７とスペーサ５９と外力付与手段６１とを備えて構成されている。そして、被成型品保持装置４５に設置されている被成型品Ｗを変形等することができるようになっている。

また、転写装置４１には、型支持装置６３と押圧体６５とが設けられている。

型支持装置６３は、シート状部材保持具（型保持具）６７によって支持されている型Ｍを支持する装置である。シート状部材保持具６７は、環状に形成されており、厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されているシート状の型Ｍの周辺部を支持するようになっている。環状のシート状部材保持具６７によって支持されている型Ｍは、中央部（シート状部材保持具６７の貫通孔の部位）で平板状になっている。型支持装置６３で支持されている型（シート状部材保持具６７によって支持されている型）Ｍは、シート状部材保持具６７の中央部で平板状になっている部位が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に展開しており、被成型品保持体１５の厚さ方向の一方の面（上面）とほぼ平行になっている。また、型支持装置６３で支持されている型Ｍは、前記平行状態を保ったまま被成型品保持体４９に対して接近・離反する方向で相対的に移動するように構成されている。

押圧体６５は、型支持装置６３に支持されている型Ｍを間にして被成型品保持体４９とは反対側（上方）に設けられている。また、押圧体６５は、被成型品保持装置４５に保持されている被成型品Ｗに、型支持装置６３に支持されている型Ｍの微細な転写パターンを転写すべく、被成型品保持装置４５に対して接近・離反する方向（Ｚ軸方向）で相対的に移動位置決め自在になっている。なお、押圧体６５の下部には、平板状の緩衝材（緩衝材１９や緩衝材５７と同様な緩衝材）６９が一体的に設けられている。

なお、転写の際の中抜けを防止すべく、転写装置１の場合と同様にして、緩衝材６９の下面を、図１２に二点鎖線Ｌ７で示すように、周辺部から中央部に向かうにしたがって、ごく僅かに中凸にしてもよい。

次に、シート状部材保持具６７について詳しく説明する。

図１３は、本発明の第２の実施形態に係る転写装置４１に使用されるシート状部材保持具６７の概略構成を示す斜視図であり、図１３（ａ）は、シート状部材保持具６７を下側から見た図であり、図１３（ｂ）は、シート状部材保持具６７を上側から見た図である。図１４は、シート状部材保持具６７の底面図と断面図であり、図１４（ａ）が、図１３（ａ）におけるＸＩＶ矢視図であり、図１３（ｂ）が、図１３（ａ）におけるＸＩＶ−ＸＩＶ断面図である。

シート状部材保持具６７は、第１の支持体７１と第２の支持体７３とを備えて構成されている。

第１の支持体７１は、矩形な（たとえば正方形な）平板状に形成されている素材の四隅に所定の大きさの面取り７５を形成し、前記素材の中央に前記素材の厚さ方向に貫通する円形状の貫通孔７７を設けて、環状に形成されている。

第２の支持体７３は、第１の支持体７１の中央の貫通孔７７を塞ぐようにして、型Ｍを第１の支持体７１に設置するときに、型Ｍの周辺部を第１の支持体７１と協働して挟み込んで型Ｍを固定するものである。そして、シート状部材保持具６７に型Ｍが設置された状態では、第１の支持体７１の貫通孔７７を塞いでいる型Ｍの部位が平板状になって露出しており、この露出している部位の一方の面（厚さ方向の一方の面）に、微細な転写パターンが形成されている。

なお、第２の支持体７３も、第１の支持体７１と同様にして、矩形な平板状に形成されている素材の四隅に所定の大きさの面取り７９を形成し、前記素材の中央に前記素材の厚さ方向に貫通する円形状の貫通孔８１を設けて、環状に形成されている。第２の支持体７３の素材の縦横寸法は、第１の支持体７１の素材とほぼ同じであり、第２の支持体７３の素材の厚さは、第１の支持体７１の素材よりも厚くなっている。また、第１の支持体７１の貫通孔７７の内径と第２の支持体７３の貫通孔８１の内径とは、お互いがほぼ等しくなっている。また、第２の支持体７３の面取り７９は、第１の支持体７１の面取り７５よりも大きくなっている。

さらに、第２の支持体７３では、このもとになる前記素材に対して、環状の凹部８３を形成してある。環状の凹部８３を形成してあることにより、貫通孔８１の縁に、円環状の凸部８５が形成されている。凸部８５は長さの短い（図１４（ｂ）では、上下方向の寸法が小さい）円筒状に形成されている。凹部８３を形成したことによって生成された平面８７は、貫通孔８１や凸部８５の外周面や第２の支持体７３の厚さ方向に対して直交している。凸部８５によって、貫通孔８１の外周近傍に段差８９が形成されていることになる。

また、第２の支持体７３にはＯリング９１等の摩擦係数の大きな部材が設置されている。

各支持体７１，７３で型Ｍを挟み込み、ボルト９２を用いて型Ｍをシート状部材保持具６７に設置してある状態では、シート状部材保持具６７の厚さ方向（各支持体７１，７３、型Ｍの厚さ方向）で、第１の支持体７１と型Ｍと第２の支持体７３とがこの順序で重なっている。そして、シート状部材保持具６７の厚さ方向から見ると、各面取り７５，７９を除いて、各支持体７１，７３同士がお互いに重なっている。

次に、型支持装置６３について、図１２を参照しつつ説明する。

型支持装置６３は、複数のピン部材９３を備えて構成されている。各ピン部材９３は、型Ｍを保持しているシート状部材保持具６７を載置して設置するために、被成型品保持装置４５（第１の被成型品保持体５１）の上面の周辺に設けられている。

ピン部材９３は、たとえば、円柱状に形成されており、第１の被成型品保持体５１の中央に設置された被成型品Ｗの外周よりも外側で、被成型品Ｗの中心を中心とした所定の半径の円の円周上に設けられている。さらに、前記円周をたとえば、３等配等の等分配する箇所に位置している。

ピン部材９３は、所定の外径で円柱状に形成されている下部側部位９５と、所定の外径で円柱状に形成されている上部側部位９７とを備えて形成されている。なお、下部側部位９５の中心軸と上部側部位９７の中心軸とはお互いに一致しており、中心軸の延伸方向がＺ軸方向になっている。上部側部位９７の外径や高さは、下部側部位９５のものよりも小さくなっている。これにより、ピン部材９３の上側には、段差９９が形成されていることになる。

また、ピン部材９３は、Ｚ軸方向で移動自在なようにして、第１の被成型品保持体５１に支持されており、常態においては、各ピン部材９３が同じ高さだけ、第１の被成型品保持体５１の上面から突出している。前記常態において、型Ｍを保持しているシート状部材保持具６７を載置して設置した場合、各ピン部材９３の高さはそのままで、被成型品保持体４９に設置されている被成型品Ｗに対して、型Ｍを保持しているシート状部材保持具６７のＸ方向とＹ軸方向との位置が決まるようになっている。たとえば、Ｚ軸方向から見たときに、被成型品Ｗの中心と型Ｍの中心とがお互いに一致するようになっている。また、第１の被成型品保持体５１に設置されている被成型品Ｗと、型ＭとがＺ軸方向で所定の距離だけ離れている。

なお、前記常態における各ピン部材９３の突出は、図示しないバネ等の弾性体もしくはシリンダ等のアクチュエータを用いてなされるようになっており、各ピン部材９３が同じ高さだけ突出するのは、各ピン部材９３に図示しないストッパが設けられていることによる。

ここで、前記常態において、型Ｍを保持しているシート状部材保持具６７を各ピン部材９３に載置して設置したときに、Ｘ方向とＹ軸方向とにおけるシート状部材保持具６７の前記位置決めについて詳しく説明する。段差８９が設けられている側（第２の支持体７３側）を下側にして、各ピン部材９３にシート状部材保持具６７を載置すると、ピン部材９３の段差９９に、シート状部材保持具６７の段差８９が係合して、前記位置決めがなされるようになっている。より精確には、図１４に示すように、各ピン部材９３の下部側部位９５の端面に、シート状部材保持具６７を構成している第２の支持体７３の凸部８５の平面が接触し、さらに、各ピン部材９３の上部側部位９７の側面に、シート状部材保持具６７を構成している第２の支持体７３の凸部８５の側面が接触して、シート状部材保持具６７の位置決めがなされるようになっている。

次に、転写装置４１の動作について説明する。

まず、初期状態として、図１２に示すように、押圧体６５が上方に位置しており、被成型品保持装置４５に転写がされる前の被成型品Ｗが設置されており、前述した常態にある各ピン部材９３に、型Ｍが設置されたシート状部材保持具６７が設置されているものとする。また、外力付与手段６１の各ボルト６２の締め加減も適宜調整されているものとする。

前記初期状態において、図示しない制御装置の制御の下、押圧体６５を下降させると、図１５（ａ）に示すように、緩衝材６９の下面と型Ｍの上面とがお互いに接触する。

続いて、押圧体６５をさらに下降させると、押圧体６５に押されて、各ピン部材９３とシート状部材保持具６７と型Ｍとが下降し、図１５（ｂ）に示すように、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの下面と被成型品Ｗとが接触し、型Ｍで被成型品Ｗが押圧されて、被成型品Ｗへの転写が行われる。

シート状部材保持具６７によれば、環状の各支持体７１，７３で型Ｍを挟み込んで支持するので、シート状の型Ｍの両面を各支持体７１，７３の中央部で露出させて保持することができる。また、型Ｍの取り扱いが容易になる。

なお、第２の実施形態に係るシート状部材保持具６７では、各支持体７１，７３が矩形な板状の素材の中央に円形状の貫通孔を設けて環状に形成されているが、矩形な板状の素材の中央に矩形な貫通孔を設けて環状に形成されていてもよいし、円板状の素材の中央部に円形状の貫通孔もしくは矩形な貫通孔を設けて環状に形成されていてもよい。さらには、他の形態で環状に形成されていてもよい。

また、転写装置４１によれば、シート状部材保持具６７によって保持されているシート状の型Ｍを用いて転写を行うので、転写の際に、型Ｍが被成型品Ｗの形状に倣いやすく、中抜けや片当たり等の転写不良の発生を回避することができる。すなわち、シート状部材保持具６７によって保持されているシート状の型Ｍは、シート状部材保持具６７の中央部ではなお弾性を備えているので、転写をする際に被成型品Ｗに倣いやすく、転写不良の発生を抑制することができる。また、転写をする際の押圧力を小さくすることができ、転写装置４１を小型化することができる。

また、離型の際、型Ｍの面と被成型品Ｗの面とが、まず、周辺において離れ、この離れた部位と離れていない中央部側の部位との境界（線で環状に形成されている境界）が小さくなるようにして、型Ｍや被成型品Ｗの中央部に向かって進み、最後に型Ｍが被成型品から完全に離れる。したがって、従来よりも小さな力で離型することができる。

ところで、転写装置４１では、被成型品保持装置４５に設置されている被成型品Ｗに、シート状部材保持具６７で保持している型Ｍに形成されている微細な転写パターンを転写するようになっているが、転写装置４１において型Ｍと被成型品Ｗとを入れ換えてもよい。すなわち、被成型品保持装置（型保持装置）４５に型Ｍを設置し、シート状部材保持具（被成型品保持具）６７にシート状の被成型品Ｗを設置して転写を行う構成であってもよい。

なお、上述した各転写装置１，４１は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置であって、前記型を保持する型保持体と、前記被成型品を保持する被成型品保持体と、前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに前記被成型品保持体に保持されている被成型品をごく僅かに中凸にすると共に前記被成型品保持体に保持されている被成型品の姿勢を前記型保持体に保持されている型に追従させる被成型品変形追従手段、前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに前記型保持体に保持されている型をごく僅かに中凸にすると共に前記型保持体に保持されている型の姿勢を前記被成型品保持体に保持されている被成型品に追従させる型変形追従手段のうちの少なくともいずれかの手段とを有する転写装置の例である。

本発明の第１の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す図である。 ＵＶインプリント法について説明する図である。 熱インプリント法について説明する図である。 被成型品保持装置５について説明する。 図４におけるＶ矢視図である。 外力付与手段２７の変形例を示す図である。 外力付与手段２７の変形例を示す図である。 外力付与手段２７の変形例を示す図である。 被成型品保持装置５の変形例を示す図である。 被成型品保持装置５の変形例を示す図である。 被成型品保持装置５の変形例を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る転写装置４１の概略構成を示す図である。 転写装置４１に使用されるシート状部材保持具６７の概略構成を示す斜視図である。 シート状部材保持具６７の底面図と断面図である。 転写装置４１の動作を示す図である。

符号の説明

１、４１ 転写装置
５、４５ 被成型品保持装置
１１ 型保持体
１５、４９ 被成型品保持体
１７、５５ ベース部材
１９、５７ 緩衝材
２７、６１ 外力付与手段
６３ 型支持装置
６７ シート状部材保持具
Ｍ 型
Ｗ 被成型品

Claims (8)

1. 型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、前記被成型品を保持する被成型品保持装置において、
   平板状に形成され、厚さ方向の一方の面の中央部に前記被成型品の厚さ方向の他方の面を接触させて前記被成型品を保持する被成型品保持体と；
   平板状に形成され、前記被成型品保持体の厚さ方向の他方の側で前記被成型品保持体から離れて設けられたベース部材と；
   前記被成型品保持体と前記ベース部材とで挟まれ、前記被成型品保持体の厚さ方向から見たときに、前記被成型品保持体の中央部に設けられている緩衝材と；
   を有することを特徴とする被成型品保持装置。
2. 請求項１に記載の被成型品保持装置において、
   前記被成型品保持体の厚さ方向の一方の面が、周辺部から中央部に向かうにしたがってごく僅かに凸になっていることを特徴とする被成型品保持装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の被成型品保持装置において、
   前記緩衝材は、スペーサを伴って前記被成型品保持体と前記ベース部材との間に設けられており、
   前記被成型品保持体側に前記緩衝材が位置し、前記ベース部材側に前記スペーサが位置し、前記被成型品保持体の厚さ方向からみたときに、前記被成型品保持体に保持されている被成型品に比べて、前記スペーサの前記ベース部材への接触面が十分に小さく形成されていることを特徴とする被成型品保持装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の被成型品保持装置において、
   前記被成型品を保持する前記被成型品保持体の一方の面を変形させるか、傾けるかの少なくともいずれかをおこなうために、前記被成型品保持体の周辺部に外力を付与する外力付与手段を有することを特徴とする被成型品保持装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の被成型品保持装置と；
   前記型を保持し、前記被成型品保持装置に保持されている被成型品に前記微細な転写パターンを転写するために、前記被成型品保持装置に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な型保持体と；
   を有することを特徴とする転写装置。
6. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の被成型品保持装置と；
   微細な転写パターンが形成されているシート状の型であって周辺部が環状のシート状部材保持具によって支持されていることにより中央部で平板状になっている型を、この型の平板状になっている部位が前記被成型品保持体の厚さ方向の一方の面とほぼ平行になるように、また、この平行状態を保ったまま前記被成型品保持体に対して接近・離反する方向で相対的に移動するように支持する型支持装置と；
   前記型支持装置に支持されている型を間にして前記被成型品保持体とは反対側に設けられ、前記被成型品保持装置に保持されている被成型品に、前記型支持装置に支持されている型の微細な転写パターンを転写すべく、前記被成型品保持装置に対して接近・離反する方向で相対的に移動位置決め自在な押圧体と；
   を有することを特徴とする転写装置。
7. 平板状の型の厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターンを、被成型品の平面状の部位に転写するときに、前記型を保持する型保持装置において、
   平板状に形成され、厚さ方向の一方の面の中央部に前記型の厚さ方向の他方の面を接触させて前記型を保持する型保持体と；
   平板状に形成され、前記型保持体の厚さ方向の他方の側で前記型保持体から離れて設けられたベース部材と；
   前記型保持体と前記ベース部材とで挟まれて、前記型保持体の厚さ方向から見たときに、前記型保持体の中央部に設けられている緩衝材と；
   を有することを特徴とする型保持装置。
8. 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、
   前記型を保持する型保持体と；
   前記被成型品を保持する被成型品保持体と；
   前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに、前記被成型品保持体に保持されている被成型品をごく僅かに中凸にすると共に、前記被成型品保持体に保持されている被成型品の姿勢を前記型保持体に保持されている型に追従させる被成型品変形追従手段、
   前記転写をすべく前記型で前記被成型品を押圧するときに、前記型保持体に保持されている型をごく僅かに中凸にすると共に、前記型保持体に保持されている型の姿勢を前記被成型品保持体に保持されている被成型品に追従させる型変形追従手段のうちの少なくともいずれかの手段と；
   を有することを特徴とする転写装置。

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