JPWO2007013339A1 - 光受信装置、試験装置、光受信方法、試験方法、テストモジュール、及び半導体チップ - Google Patents

光受信装置、試験装置、光受信方法、試験方法、テストモジュール、及び半導体チップ Download PDF

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Abstract

光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、現サイクル積分器が積分した電荷量と、前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路とを備える光受信装置を提供する。

Description

本発明は、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置、及び半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置に関する。本出願は、下記の日本国出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
特願２００５−２１６０４４ 出願日 ２００５年７月２６日
従来、光通信における光受信装置では、光信号を受信したフォトダイオードが生成する光誘起微弱電流を、インピーダンス変換回路によって電圧信号に変換している。当該電流の電流値が小さいので、フォトダイオードからインピーダンス変換回路までの電流経路は、信号のＳ／Ｎ比が非常に劣化する箇所である。また、コモンモード雑音に対する耐性も低い。
また、光送信装置側のレーザダイオードが出力するパルスは、立ち上がり時間と立ち下がり時間が非対称であるので、符号間干渉によるタイミングジッタが増加する。更に、光学系の温度ドリフトは電子回路に比較して大きいので、クロック埋め込み伝送方式（ＣＤＲ方式）を採用することが多く、通常はＡＣ結合方式でデータ伝送される。このため、伝送系の低域遮断周波数を超えないように符号化する必要がある。
これらの問題により、光受信装置の帯域制限、送受信電子回路の増大、複雑化を招いている。チャネル当たりの信号処理回路規模が大きいと、並列光伝送を行う場合にコストパフォーマンスが悪化する。
このような光伝送における問題に対し、電気伝送の場合には、符号間干渉を低減するべく、受信回路側で電荷演算を行う回路が知られている（例えば、特許文献１参照）。当該回路は、信号波形の前サイクルでチャージされる電荷と、現サイクルでチャージされる電荷との差分を求めることにより、符号間干渉を低減する回路である。
特開２００５−２５７６８号公報、第１７−１８頁、第１５図
しかし、従来の光伝送においては、上述した符号間干渉の問題、雑音の問題、伝送系の低域遮断周波数の問題は解決されていない。
このため本発明は、上述した課題を解決することのできる光受信装置、試験装置、光受信方法、試験方法、テストモジュール、及び半導体チップを提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、現サイクル積分器が積分した電荷量と、前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路とを備える光受信装置を提供する。
現サイクル積分器は、受光素子の電流出力端及びデータ値識別回路の電圧入力端を接続する現サイクル伝送路と、基準電位との間に設けられたコンデンサを有してよい。前サイクル積分器は、受光素子の電流出力端と、データ値識別回路の電圧入力端との間に、現サイクル伝送路と並列に設けられたコンデンサを有してよい。
光受信装置は、前サイクルにおける光電流を前サイクル積分器に供給する前サイクル制御部と、現サイクルにおける光電流を現サイクル積分器に供給する現サイクル制御部と、現サイクルにおいて、現サイクル積分器の正電荷が蓄積された端子と、前サイクル積分器の負電荷が蓄積された端子とを接続し、前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、現サイクル積分器を放電させる差分制御部とを更に備えてよい。
前サイクル制御部は、前サイクル積分器の前記受光素子側の端子を、受光素子又は基準電位のいずれに接続するかを切り替える第１のスイッチを有し、現サイクル制御部は、現サイクル積分器の受光素子側の端子を、受光素子又は基準電位のいずれに接続するかを切り替える第２のスイッチを有し、差分制御部は、前サイクル積分器のデータ値識別回路側の端子を、現サイクル積分器の受光素子側の端子、又は基準電位のいずれに接続するかを切り替える第３のスイッチを有してよい。
データ値識別回路は、現サイクル積分器が積分した電荷量が、前サイクル積分器が積分した電荷量より大きい場合、現サイクルにおけるデータ値としてＨレベルを出力し、現サイクル積分器が積分した電荷量が、前サイクル積分器が積分した電荷量より小さい場合、現サイクルにおけるデータ値としてＬレベルを出力し、現サイクル積分器が積分した電荷量が、前サイクル積分器が積分した電荷量と略等しい場合、現サイクルにおけるデータ値として、前サイクルにおけるデータ値を出力してよい。
本発明の第２の形態においては、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの偶数サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、デジタルデータの奇数サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路とを備える光受信装置を提供する。
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するテストヘッドと、テストヘッドを介して被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、被試験デバイスの良否を判定する本体部と、テストヘッド及び本体部に設けられ、伝送すべきデジタルデータを光信号として送信する光送信装置と、テストヘッド及び本体部に設けられ、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置とを備え、光受信装置は、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、現サイクル積分器が積分した電荷量と、前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路とを有する試験装置を提供する。
本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するテストヘッドと、テストヘッドを介して被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、被試験デバイスの良否を判定する本体部と、テストヘッド及び本体部に設けられ、伝送すべきデジタルデータを光信号として送信する光送信装置と、テストヘッド及び本体部に設けられ、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置とを備え、光受信装置は、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの偶数サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、デジタルデータの奇数サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路とを有する試験装置を提供する。
本発明の第５の形態においては、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信方法であって、受光素子を用いて光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階とを備える光受信方法を提供する。
本発明の第６の形態においては、被試験デバイスを試験する試験方法であって、試験装置のテストヘッドに被試験デバイスを載置する段階と、試験装置の本体部を用いて、テストヘッドを介して被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、被試験デバイスの良否を判定する段階と、テストヘッド及び本体部に設けられた光送信装置を用いて、伝送すべきデジタルデータを光信号として送信する送信段階と、テストヘッド及び本体部に設けられた光受信装置を用いて、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する受信段階とを備え、受信段階は、光受信装置の受光素子を用いて光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階とを有する試験方法を提供する。
本発明の第７の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置に設けられ、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力するテストモジュールであって、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、現サイクル積分器が積分した電荷量と、前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路とを備えるテストモジュールを提供する。
本発明の第８の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置に設けられ、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力するテストモジュールであって、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの偶数サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、デジタルデータの奇数サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路とを備えるテストモジュールを提供する。
本発明の第９の形態においては、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置を半導体基板上に備える半導体チップであって、光受信装置が、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、現サイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、現サイクル積分器が積分した電荷量と、前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路とを備える半導体チップを提供する。
本発明の第１０の形態においては、光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置を半導体基板上に備える半導体チップであって、光受信装置が、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、デジタルデータの偶数サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、デジタルデータの奇数サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する光電流を、当該サイクルにおいて所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路とを備える半導体チップを提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明によれば、光伝送によって伝送されるデジタルデータのデータ値を、符号間干渉等の影響を低減して精度よく識別することができる。
本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。 光受信装置４０の機能ブロックの一例を示す図である。 受光素子４２が出力する光電流の波形の一例を示す図である。 光受信装置４０の回路構成の一例を示す図である。 図４に示した光受信装置４０の動作の一例を示すタイミングチャートである。 光受信装置４０の構成の他の例を示す図である。 図６に示した光受信装置４０の動作の一例を示すタイミングチャートである。 光受信装置４０の構成の他の例を示す図である。 データ値識別回路５２の構成の他の例を示す図である。
符号の説明
１０・・・本体部、２０・・・テストヘッド、３０・・・光送信装置、４０・・・光受信装置、４２・・・受光素子、４４・・・１サイクル遅延要素、４６・・・前サイクル積分器、４８・・・現サイクル積分器、５０・・・差分算出器、５２・・・データ値識別回路、５４・・・第１のスイッチ、５６・・・第２のスイッチ、５７・・・現サイクル伝送路、５８・・・第３のスイッチ、５９・・・前サイクル伝送路、６０・・・論理識別器、６２・・・フリップフロップ、６４・・・ダイオード、６６・・・第４のスイッチ、６８・・・第５のスイッチ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する装置であって、本体部１０及びテストヘッド２０を備える。テストヘッド２０は、被試験デバイス２００を載置し、被試験デバイス２００と信号の授受を行う。
また、本体部１０は、テストヘッド２０を介して被試験デバイス２００と信号の授受を行い、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば、本体部１０は、被試験デバイス２００に入力するべき試験信号を、テストヘッド２０を介して被試験デバイス２００に供給し、被試験デバイス２００が出力する出力信号を、テストヘッド２０を介して受け取る。そして、本体部１０は、当該出力信号に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。
また、本体部１０及びテストヘッド２０は、信号を伝送するための光送信装置３０及び光受信装置４０をそれぞれ備える。光送信装置３０及び光受信装置４０は、本体部１０とテストヘッド２０とを接続する複数の光ファイバを介して光信号を伝送する。本体部１０とテストヘッド２０との間隔は例えば１０ｍ以下の近距離であるので、低コストで複数の光ファイバを並列に設けることができる。光送信装置３０は、公知の装置を用いることができる。
尚、本例においては、本体部１０とテストヘッド２０との間で信号を伝送すべく、光送信装置３０及び光受信装置４０をそれぞれ備えたが、試験装置１００は、光送信装置３０及び光受信装置４０の少なくとも一方を備えるテストモジュールを、所望の箇所に備えてよい。例えば、光ファイバを用いて信号を伝送できる所望の箇所に、当該テストモジュールを備えてよい。
図２は、光受信装置４０の機能ブロックの一例を示す図である。光受信装置４０は、光送信装置３０が送信した光信号を受信し、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する装置であり、受光素子４２、１サイクル遅延要素４４、前サイクル積分器４６、現サイクル積分器４８、差分算出器５０、及びデータ値識別回路５２を備える。
受光素子４２は、光信号を受信し、光信号の強度に応じた光電流を出力する。例えば、受光素子４２はフォトダイオードである。つまり、受光素子４２が出力する光電流は、光信号により伝送されるデジタルデータの、各データサイクルにおけるデータ値の遷移に応じて変化する。
現サイクル積分器４８は、デジタルデータの現サイクルに対応する光電流を、サイクル内の所定の期間積分する。例えば、現サイクル積分器４８は、当該光電流により充放電されるコンデンサを有し、当該サイクルの全期間において光電流を当該コンデンサに供給し、当該コンデンサに蓄積される電荷量により、当該光電流を積分する。
１サイクル遅延要素４４は、受光素子４２が出力する光電流を、デジタルデータの１データサイクル遅延させて、前サイクル積分器４６に供給する。前サイクル積分器４６は、現サイクル積分器４８が光電流を積分する現サイクルの前のデータサイクルに対応する光電流を、当該データサイクルにおいて前述した所定の期間と略等しい期間積分する。例えば、前サイクル積分器４６は、当該光電流により充放電されるコンデンサを有し、当該サイクルの全期間において光電流を当該コンデンサに供給し、当該コンデンサに蓄積される電荷量により、当該光電流を積分する。
差分算出器５０は、現サイクル積分器４８が現サイクルにおいて光電流を積分した電荷量と、前サイクル積分器４６が前サイクルにおいて光電流を積分した電荷量との差分を算出する。本例において、差分算出器５０は、現サイクル積分器４８が積分した電荷量から、前サイクル積分器４６が積分した電荷量を減算する。
データ値識別回路５２は、差分算出器５０が算出した差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力する。例えば、データ値識別回路５２は、現サイクル積分器４８が積分した電荷量が、前サイクル積分器４６が積分した電荷量より大きい場合、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値としてＨレベルを出力する。また、現サイクル積分器４８が積分した電荷量が、前サイクル積分器４６が積分した電荷量より小さい場合、現サイクルにおけるデータ値としてＬレベルを出力する。また、現サイクル積分器４８が積分した電荷量が、前サイクル積分器４６が積分した電荷量と略等しい場合、現サイクルにおけるデータ値として、前サイクルにおけるデータ値を出力する。
図３は、受光素子４２が出力する光電流の波形の一例を示す図である。図３において横軸は時間を示し、縦軸は電流値を示す。また、本例において光信号により伝送されるデジタルデータは、所定のデータサイクル（ｔｎ−１〜ｔｎ、ｔｎ〜ｔｎ＋１、・・・）を有する。現在のデータサイクルを［ｔｎ〜tｎ＋１］とすると、現サイクル積分器４８は、当該サイクルにおける光電流を積分する。光電流を現サイクルにおいて積分した電荷量Ｑｎは、現サイクルの電流波形の面積で示される。
また、前サイクル積分器４６は、前サイクル［ｔｎ−１〜ｔｎ］における光電流を積分する。光電流を前サイクルにおいて積分した電荷量Ｑｎ−１は、前サイクルの電流波形の面積で示される。
フォトダイオード等の受光素子４２が生成する光電流の波形は、所定の立ち上がり時間及び立ち下がり時間を有するので、データサイクルが短いと、図３に示すように電流波形が所定のＨレベルまたはＬレベルにセトリングしない場合がある。このような場合、電流値、又は電流値を変換した電圧値により光電流を復調すると、データ値が精度よく復調できない。
しかし、図２に示した光受信装置４０のように、前サイクルにおける光電流の積分値と、現サイクルにおける光電流の積分値とを比較することにより、現サイクルのデータ値を精度よく識別することができる。例えば、現サイクルにおける光電流の積分値が、前サイクルにおける光電流の積分値より大きい場合、光電流が増大していることを示しているので、少なくとも現サイクルのデータ値は１であることが識別できる。
同様に、現サイクルにおける光電流の積分値が、前サイクルにおける光電流の積分値より小さい場合、光電流が減少していることを示しているので、少なくとも現サイクルのデータ値は０であることが識別できる。また、現サイクルにおける光電流の積分値が、前サイクルにおける光電流の積分値と等しい場合、光電流の電流値が飽和していることを示しているので、現サイクルのデータ値は、前サイクルのデータ値と同一であることが識別できる。
このように、光受信装置４０は、現サイクルの光電流の積分値を、前サイクルの光電流の積分値と比較し、比較結果に基づいて現サイクルのデータ値を識別するので、光電流がセトリングしない場合であっても、データ値を精度よく識別することができる。また、温度変動、素子劣化等の要因で、データレートに対して長周期のドリフトが光電流に重畳した場合であっても、連続するサイクル間の光電流の積分値を比較するので、当該ドリフトの影響を非常に小さくすることができる。
また、例えばデータ値１が長期間連続する場合、光電流の電流値は飽和する。係る場合に、電流値を減少させるドリフト成分が生じると、データ値を誤識別してしまう。このため、データ値識別回路５２は、現サイクル積分器４８が積分した電荷量と、前サイクル積分器４６が積分した電荷量との差分が予め定められた許容範囲内である場合には、電荷量が等しいとする比較結果を算出することが好ましい。当該許容範囲は、光電流に重畳されるドリフト成分の１データサイクル当たりの許容値に基づいて予め定められてよい。
図４は、光受信装置４０の回路構成の一例を示す図である。光受信装置４０は、受光素子４２、前サイクル積分器４６、現サイクル積分器４８、第１のスイッチ５４、第２のスイッチ５６、第３のスイッチ５８、現サイクル伝送路５７、前サイクル伝送路５９、及びデータ値識別回路５２を備える。図４において、図２と同一の符号を付した構成要素は、図２において説明した構成要素と同一又は同様の機能及び構成を有する。
光受信装置４０は、半導体チップに形成されてよい。例えば、当該半導体チップは、半導体基板上に、信号送信装置４０を備えてよい。また、当該半導体チップには、光受信装置４０の構成の一部が形成されてよい。
現サイクル伝送路５７は、受光素子４２の電流出力端と、データ値識別回路５２の電圧入力端とを接続する。現サイクル積分器４８は、コンデンサであって、現サイクル伝送路５７と、所定の基準電位との間に、データ値識別回路５２の電圧入力端と並列に設けられる。以下、当該基準電位として、接地電位を用いて説明するが、当該基準電位は接地電位には限定されない。
前サイクル伝送路５９は、現サイクル伝送路５７と並列に設けられ、受光素子４２の電流出力端と、データ値識別回路５２の電圧入力端とを接続する。前サイクル積分器４６は、コンデンサであって、前サイクル伝送路５９の経路上に、データ値識別回路５２の電圧入力端と直列に設けられる。
第１のスイッチ５４は、前サイクル伝送路５９上において、受光素子４２と前サイクル積分器４６との間に設けられる。また、第１のスイッチ５４は、前サイクル積分器４６の受光素子４２側の端子を、受光素子４２又は接地電位のいずれに接続するかを切り替える。つまり、第１のスイッチ５４は、前サイクルにおける光電流を前サイクル積分器４６に供給するか否かを切り替える前サイクル制御部として機能する。
第２のスイッチ５６は、現サイクル伝送路５７上において、受光素子４２と現サイクル積分器４８との間に設けられる。また、第２のスイッチ５６は、現サイクル積分器４８の受光素子４２側の端子を、受光素子４２又は接地電位のいずれに接続するかを切り替える。つまり、第２のスイッチ５６は、現サイクルにおける光電流を現サイクル積分器４８に供給するか否かを切り替える現サイクル制御部として機能する。
第３のスイッチ５８は、前サイクル伝送路５９上において、前サイクル積分器４６と現サイクル積分器４８との間に設けられる。また、第３のスイッチ５８は、前サイクル積分器４６のデータ値識別回路５２側の端子を、現サイクル積分器４８の受光素子４２側の端子、又は接地電位のいずれに接続するかを切り替える。つまり、第３のスイッチ５８は、現サイクルにおいて、現サイクル積分器４８の正又は負電荷が蓄積された端子と、前サイクル積分器４６の負又は正電荷が蓄積された端子とを接続し、前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、現サイクル積分器４８を放電させるか否かを切り替える差分制御部として機能する。現サイクル積分器４８を放電させることにより、現サイクル積分器４８には、現サイクルの電荷量から、前サイクルの電荷量を減じた差分の電荷量が蓄積される。
データ値識別回路５２は、論理識別器６０及びフリップフロップ６２を有する。論理識別器６０は、正入力端子が現サイクル積分器４８に接続され、負入力端子が接地電位に接続される。つまり、論理識別器６０は、現サイクル積分器４８に蓄積された差分の電荷量に応じた電圧が、正又は負のいずれであるかを判別する。論理識別器６０は、現サイクル積分器４８の電圧が正である場合に、Ｈレベルの信号をフリップフロップ６２に供給し、現サイクル積分器４８の電圧が負である場合に、Ｌレベルの信号をフリップフロップ６２に供給する。ここで、論理識別器６０は、ヒステリシス特性を有するシュミットトリガ型の増幅器であることが好ましい。
フリップフロップ６２は、論理識別器６０が出力する信号を、与えられるクロックに応じて取り込み出力する。また、現サイクル積分器４８の電圧が略ゼロである場合には、論理識別器６０の出力はハイインピーダンスとなり、フリップフロップ６２は、前サイクルのデータ値を保持して出力する。このような構成により、光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力することができる。また、本例における光受信装置４０によれば、データ値識別回路５２と現サイクル積分器４８とが並列に設けられるので、信号の直流成分も伝送することができる。
図５は、図４に示した光受信装置４０の動作の一例を示すタイミングチャートである。光受信装置４０には、所定のデータサイクルを有する入力データを伝送する光信号が与えられる。光受信装置４０は、第１のスイッチ５４、第２のスイッチ５６、及び第３のスイッチ５８を制御する制御クロックφ１、／φ１、φ２を生成する。当該制御クロックは、入力データに同期して与えられるソースシンクロナスクロックに基づいて生成してよい。光受信装置４０は、当該ソースシンクロナスクロックに基づいて制御クロックを生成するクロック生成部を更に備えることが好ましい。
制御クロックφ１及び制御クロック／φ１は、入力データのデータレートの２倍の周期を有するクロックである。また、制御クロック/φ１は、制御クロックφ１を反転させたクロックである。また、制御クロックφ２は、制御クロック／φ１のパルス幅を縮小したクロックである。
係る制御クロックを用いて、図４に示した光受信装置４０を動作させた場合について説明する。第１のスイッチ５４は、制御クロックφ１がＨレベルである場合に、前サイクル積分器４６を受光素子４２に接続し、制御クロックφ１がＬレベルである場合に、前サイクル積分器４６を接地電位に接続する。また、第２のスイッチ５６は、制御クロック／φ１がＨレベルである場合に、現サイクル積分器４８を受光素子４２に接続し、制御クロック／φ１がＬレベルである場合に、現サイクル積分器４８を接地電位に接続する。また、第３のスイッチ５８は、制御クロックφ２がＨレベルである場合に、前サイクル積分器４６を現サイクル積分器４８に接続し、制御クロックφ２がＬレベルである場合に、前サイクル積分器４６を接地電位に接続する。
例えば、現サイクルがＴｎ、前サイクルがＴｎ−１である場合、前サイクルにおいて第１のスイッチ５４がオン状態となり、第２のスイッチ５６及び第３のスイッチ５８はオフ状態とる。このため、現サイクル積分器４８の両端が接地電位に接続され、現サイクル積分器４８における蓄積電荷量はゼロとなる。また、前サイクル積分器４６の受光素子４２側端子は受光素子４２と接続され、他方の端子は接地電位に接続される。また、当該サイクルの直前では、第１のスイッチ５４及び第３のスイッチ５８はオフ状態であるので、当該サイクルの開始時における前サイクル積分器４６の蓄積電荷量は略ゼロである。このため、前サイクル積分器４６の受光素子４２側端子には、当該サイクルの光電流に応じた電荷量が蓄積される。
次に、現サイクルにおいて第１のスイッチ５４がオフ状態となり、第２のスイッチ５６がオン状態となる。また、第３のスイッチ５８は、当該サイクルの開始時から所定の期間オン状態となる。このため、現サイクル積分器４８が受光素子４２に接続され、現サイクル積分器４８は、当該サイクルの光電流により充電される。また、現サイクル積分器４８は、第３のスイッチ５８を介して、前サイクル積分器４６と所定の期間接続される。このとき、接続される現サイクル積分器４８及び前サイクル積分器４６のそれぞれの端子には、逆符号の電荷量が蓄積されているので、現サイクル積分器４８は、前サイクル積分器４６の蓄積電荷量に応じて放電される。このため、現サイクル積分器４８には、現サイクルの光電流を積分した電荷量と、前サイクルの光電流を積分した電荷量との差分の電荷が蓄積される。
そして、論理識別器６０は、現サイクル積分器４８の電圧が正又は負のいずれかを判定する。また、フリップフロップ６２は、制御クロックφ１に応じて論理識別器６０が出力する比較結果を次サイクル（Ｔｎ＋１）で取り込み、デジタルデータのデータ値（Ｄｎ）として出力する。
このような制御により、符号間干渉等の影響を低減し、デジタルデータのデータ値を精度よく識別することができる。また、本例においては、図５に示すように、デジタルデータの一つおきのデータ値を識別しているが、他の例においては、図４に示した回路を並列に２つ設け、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値と、奇数サイクルにおけるデータ値とをそれぞれ識別してよい。
図６は、光受信装置４０の構成の他の例を示す図である。本例における光受信装置４０は、図４に示した光受信装置４０の構成において受光素子４２を除いた回路と略等しい第１の回路及び第２の回路を、受光素子４２に対して並列に２つ備える。第１の回路は、デジタルデータの偶数サイクルにおけるデータ値を識別し、第２の回路は、デジタルデータの奇数サイクルにおけるデータ値を識別する。
第１の回路及び第２の回路は、図４に示した回路における第３のスイッチ５８に代えて、第４のスイッチ６６及び第５のスイッチ６８を備える。第４のスイッチ６６及び第５のスイッチ６８は、前サイクル積分器４６と現サイクル積分器４８との間に直列に設けられ、両スイッチがオン状態となった場合に前サイクル積分器４６と現サイクル積分器４８とを接続し、少なくともいずれかのスイッチがオフ状態となった場合に前サイクル積分器４６を接地電位に接続する。
また、第１の回路における第４のスイッチ６６は、制御クロック／φ１により制御され、第５のスイッチ６８は、制御クロックφ２'により制御される。本例において、制御クロックφ２'は、制御クロックφ１を、データレートの略半周期位相シフトしたクロックである。即ち、第４のスイッチ６６及び第５のスイッチ６８は、制御クロック／φ１と制御クロックφ２'の論理和がＨレベルとなる場合に、前サイクル積分器４６と現サイクル積分器４８とを接続するが、制御クロック／φ１と制御クロックφ２'との論理和は、図５において説明した制御クロックφ２と等価であり、第４のスイッチ６６及び第５のスイッチ６８の動作は、図４に示した第３のスイッチ５８の動作と等価である。
また、第１の回路における他のスイッチは、図４に示した光受信装置４０において対応するスイッチと同一の制御クロックにより制御される。また、第２の回路におけるそれぞれのスイッチは、第１の回路において対応するスイッチの制御クロックを反転した制御クロックにより制御される。また、第１の回路及び第２の回路のそれぞれの現サイクル伝送路には、第１の回路と第２の回路との間で電流が流れることを防止するダイオード６４が設けられることが好ましい。ダイオード６４は、第１の回路及び第２の回路のそれぞれの前サイクル伝送路に設けられてもよい。
図７は、図６に示した光受信装置４０の動作の一例を示すタイミングチャートである。第１の回路の動作は、図５に示した光受信装置４０の動作と同一である。第１の回路は、デジタルデータの偶数サイクルのデータ値を出力データ１として出力する。
また、第２の回路は、第１の回路の制御クロックを反転した制御クロックにより制御されるので、第２の回路は、第１の回路と同様の動作を、１データサイクル遅れて行う。これにより、第２の回路は、デジタルデータの奇数サイクルのデータ値を出力データ２として出力する。このような構成により、光受信装置４０は、デジタルデータの全てのデータ値を精度よく識別することができる。
図８は、光受信装置４０の構成の他の例を示す図である。本例における光受信装置４０は、図４に示した光受信装置４０と略同一の構成を有する第１の回路及び第２の回路を独立して備える。第１の回路及び第２の回路を制御する制御クロックは、図６において説明した第１の回路及び第２の回路と同一である。このような構成によっても、第１の回路は、デジタルデータの偶数サイクルのデータ値を識別し、第２の回路はデジタルデータの奇数サイクルのデータ値を識別する。このため、光受信装置４０は、デジタルデータの全てのデータ値を精度よく識別することができる。
図９は、データ値識別回路５２の構成の他の例を示す図である。本例における光受信装置４０は、データ値が複数種類の値に遷移するデジタルデータを受信する。データ値識別回路５２は、複数の論理識別器６０、ＤＡＣ６１、及びデコーダ回路６５を有する。
複数の論理識別器６０は、デジタルデータのデータ値の遷移量を識別する。データ値の遷移量は、前サイクルの光電流を積分した電荷量と、現サイクルの光電流を積分した電荷量との差分により表される。このため、各論理識別器６０には、各遷移量に対応する閾電圧がＤＡＣ７０から与えられ、それぞれの閾電圧と、現サイクル積分器４８の電圧とを比較する。
デコーダ回路６５は、各論理識別器６０における比較結果に基づいて、前サイクルと現サイクルとの間におけるデジタルデータのデータ値の遷移量を算出する。また、デコーダ回路６５は、前サイクルのデータ値を保持していることが好ましい。デコーダ回路６５は、算出したデータ値の遷移量と、前サイクルにおけるデータ値とに基づいて、現サイクルのデータ値を識別し出力する。このような構成により、多値のデジタルデータを精度よく識別することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
以上から明らかなように、本発明によれば、光伝送によって伝送されるデジタルデータのデータ値を、符号間干渉等の影響を低減して精度よく識別することができる。

Claims (15)

  1. 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
    を備える光受信装置。
  2. 前記現サイクル積分器は、前記受光素子の電流出力端及び前記データ値識別回路の電圧入力端を接続する現サイクル伝送路と、所定の基準電位との間に設けられたコンデンサを有する
    請求項１に記載の光受信装置。
  3. 前記前サイクル積分器は、前記受光素子の電流出力端と、前記データ値識別回路の前記電圧入力端との間に、前記現サイクル伝送路と並列に設けられたコンデンサを有する
    請求項２に記載の光受信装置。
  4. 前記前サイクルにおける前記光電流を前記前サイクル積分器に供給する前サイクル制御部と、
    前記現サイクルにおける前記光電流を前記現サイクル積分器に供給する現サイクル制御部と、
    前記現サイクルにおいて、前記現サイクル積分器の正電荷が蓄積された端子と、前記前サイクル積分器の負電荷が蓄積された端子とを接続し、前記前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、前記現サイクル積分器を放電させる差分制御部と
    を更に備える請求項１に記載の光受信装置。
  5. 前記前サイクル制御部は、前記前サイクル積分器の前記受光素子側の端子を、前記受光素子又は前記基準電位のいずれに接続するかを切り替える第１のスイッチを有し、
    前記現サイクル制御部は、前記現サイクル積分器の前記受光素子側の端子を、前記受光素子又は前記基準電位のいずれに接続するかを切り替える第２のスイッチを有し、
    前記差分制御部は、前記前サイクル積分器の前記データ値識別回路側の端子を、前記現サイクル積分器の前記受光素子側の端子、又は前記基準電位のいずれに接続するかを切り替える第３のスイッチを有する
    請求項４に記載の光受信装置。
  6. 前記データ値識別回路は、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量より大きい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてＨレベルを出力し、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量より小さい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてＬレベルを出力し、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量と略等しい場合、前記現サイクルにおけるデータ値として、前記前サイクルにおけるデータ値を出力する
    請求項１に記載の光受信装置。
  7. 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの偶数サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、
    前記デジタルデータの奇数サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路と
    を備える光受信装置。
  8. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
    前記被試験デバイスを載置するテストヘッドと、
    前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する本体部と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する光送信装置と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置と
    を備え、
    前記光受信装置は、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
    を有する試験装置。
  9. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
    前記被試験デバイスを載置するテストヘッドと、
    前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する本体部と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する光送信装置と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置と
    を備え、
    前記光受信装置は、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの偶数サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、
    前記デジタルデータの奇数サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路と
    を有する試験装置。
  10. 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信方法であって、
    受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
    前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と
    を備える光受信方法。
  11. 被試験デバイスを試験する試験方法であって、
    試験装置のテストヘッドに前記被試験デバイスを載置する段階と、
    試験装置の本体部を用いて、前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する段階と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光送信装置を用いて、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する送信段階と、
    前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光受信装置を用いて、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する受信段階と
    を備え、
    前記受信段階は、
    前記光受信装置の受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
    前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と
    を有する試験方法。
  12. 被試験デバイスを試験する試験装置に設けられ、光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力するテストモジュールであって、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
    を備えるテストモジュール。
  13. 被試験デバイスを試験する試験装置に設けられ、光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力するテストモジュールであって、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの偶数サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、
    前記デジタルデータの奇数サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路と
    を備えるテストモジュール。
  14. 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置を半導体基板上に備える半導体チップであって、
    前記光受信装置が、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
    前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
    前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
    を備える半導体チップ。
  15. 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置を半導体基板上に備える半導体チップであって、
    前記光受信装置が、
    前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
    前記デジタルデータの偶数サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第１の現サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第１の前サイクル積分器と、
    前記デジタルデータの奇数サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の現サイクル積分器と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第２の前サイクル積分器と、
    前記第１の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第１の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第１のデータ値識別回路と、
    前記第２の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第２の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第２のデータ値識別回路と
    を備える半導体チップ。
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