JP4772793B2 - 光受信装置、試験装置、光受信方法、試験方法、テストモジュール、及び半導体チップ - Google Patents
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Description
特願2005−216044 出願日 2005年7月26日
現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、デジタルデータの現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階とを有する試験方法を提供する。
Claims (13)
- 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
を備え、
前記現サイクル積分器は、前記受光素子の電流出力端及び前記データ値識別回路の電圧入力端を接続する現サイクル伝送路と、所定の基準電位との間に設けられたコンデンサを有する光受信装置。 - 前記前サイクル積分器は、前記受光素子の電流出力端と、前記データ値識別回路の前記電圧入力端との間に、前記現サイクル伝送路と並列に設けられたコンデンサを有する
請求項1に記載の光受信装置。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と、
前記前サイクルにおける前記光電流を前記前サイクル積分器に供給する前サイクル制御部と、
前記現サイクルにおける前記光電流を前記現サイクル積分器に供給する現サイクル制御部と、
前記現サイクルにおいて、前記現サイクル積分器の正電荷が蓄積された端子と、前記前サイクル積分器の負電荷が蓄積された端子とを接続し、前記前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、前記現サイクル積分器を放電させる差分制御部と
を備える光受信装置。 - 前記前サイクル制御部は、前記前サイクル積分器の前記受光素子側の端子を、前記受光素子又は所定の基準電位のいずれに接続するかを切り替える第1のスイッチを有し、
前記現サイクル制御部は、前記現サイクル積分器の前記受光素子側の端子を、前記受光素子又は前記基準電位のいずれに接続するかを切り替える第2のスイッチを有し、
前記差分制御部は、前記前サイクル積分器の前記データ値識別回路側の端子を、前記現サイクル積分器の前記受光素子側の端子、又は前記基準電位のいずれに接続するかを切り替える第3のスイッチを有する
請求項3に記載の光受信装置。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分器と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分器と、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別回路と
を備え、
前記データ値識別回路は、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量より大きい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてHレベルを出力し、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量より小さい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてLレベルを出力し、
前記現サイクル積分器が積分した電荷量が、前記前サイクル積分器が積分した電荷量と略等しい場合、前記現サイクルにおけるデータ値として、前記前サイクルにおけるデータ値を出力する光受信装置。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置であって、
前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光素子と、
前記デジタルデータの偶数サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する第1の現サイクル積分器と、
前記第1の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第1の前サイクル積分器と、
前記デジタルデータの奇数サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第2の現サイクル積分器と、
前記第2の現サイクル積分器が積分しているサイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する第2の前サイクル積分器と、
前記第1の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第1の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記偶数サイクルにおけるデータ値を出力する第1のデータ値識別回路と、
前記第2の現サイクル積分器が積分した電荷量と、前記第2の前サイクル積分器が積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記奇数サイクルにおけるデータ値を出力する第2のデータ値識別回路と
を備える光受信装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するテストヘッドと、
前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する本体部と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する光送信装置と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられ、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する、請求項1から6のいずれか一項に記載の光受信装置と
を備える試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置に設けられ、光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力するテストモジュールであって、
請求項1から6のいずれか一項に記載の光受信装置を備えるテストモジュール。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信装置を半導体基板上に備える半導体チップであって、
前記光受信装置が、請求項1から6のいずれか一項に記載の光受信装置である半導体チップ。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信方法であって、
受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、現サイクル積分器によって、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、前サイクル積分器によって、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と、
前記前サイクルにおける前記光電流を前記前サイクル積分器に供給する前サイクル制御段階と、
前記現サイクルにおける前記光電流を前記現サイクル積分器に供給する現サイクル制御段階と、
前記現サイクルにおいて、前記現サイクル積分器の正電荷が蓄積された端子と、前記前サイクル積分器の負電荷が蓄積された端子とを接続し、前記前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、前記現サイクル積分器を放電させる差分制御段階と
を備える光受信方法。 - 光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する光受信方法であって、
受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と、
前記データ値識別段階において、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階が積分した電荷量より大きい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてHレベルを出力し、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階で積分した電荷量より小さい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてLレベルを出力し、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階で積分した電荷量と略等しい場合、前記現サイクルにおけるデータ値として、前記前サイクルにおけるデータ値を出力する光受信方法。 - 被試験デバイスを試験する試験方法であって、
試験装置のテストヘッドに前記被試験デバイスを載置する段階と、
試験装置の本体部を用いて、前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する段階と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光送信装置を用いて、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する送信段階と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光受信装置を用いて、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する受信段階と
を備え、
前記受信段階は、
前記光受信装置の受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、現サイクル積分器によって、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、前サイクル積分器によって、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と、
前記前サイクルにおける前記光電流を前記前サイクル積分器に供給する前サイクル制御段階と、
前記現サイクルにおける前記光電流を前記現サイクル積分器に供給する現サイクル制御段階と、
前記現サイクルにおいて、前記現サイクル積分器の正電荷が蓄積された端子と、前記前サイクル積分器の負電荷が蓄積された端子とを接続し、前記前サイクル積分器が蓄積した電荷量に応じて、前記現サイクル積分器を放電させる差分制御段階と
を有する試験方法。 - 被試験デバイスを試験する試験方法であって、
試験装置のテストヘッドに前記被試験デバイスを載置する段階と、
試験装置の本体部を用いて、前記テストヘッドを介して前記被試験デバイスとデジタルデータの授受を行い、前記被試験デバイスの良否を判定する段階と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光送信装置を用いて、伝送すべき前記デジタルデータを光信号として送信する送信段階と、
前記テストヘッド及び前記本体部に設けられた光受信装置を用いて、前記光信号を受信し、前記光信号により伝送されるデジタルデータのデータ値を出力する受信段階と
を備え、
前記受信段階は、
前記光受信装置の受光素子を用いて前記光信号を受信し、前記光信号の強度に応じた光電流を出力する受光段階と、
前記デジタルデータの現サイクルに対応する前記光電流を、サイクル内の所定の期間積分する現サイクル積分段階と、
前記現サイクルの前サイクルに対応する前記光電流を、当該サイクルにおいて前記所定の期間と略等しい期間積分する前サイクル積分段階と、
前記現サイクル積分段階において積分した電荷量と、前記前サイクル積分段階において積分した電荷量との差分に基づいて、前記デジタルデータの前記現サイクルにおけるデータ値を出力するデータ値識別段階と
を有し、
前記データ値識別段階において、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階が積分した電荷量より大きい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてHレベルを出力し、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階で積分した電荷量より小さい場合、前記現サイクルにおけるデータ値としてLレベルを出力し、
前記現サイクル積分段階で積分した電荷量が、前記前サイクル積分段階で積分した電荷量と略等しい場合、前記現サイクルにおけるデータ値として、前記前サイクルにおけるデータ値を出力する試験方法。
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