JPWO2007004542A1 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
また、各種ある真空ポンプのうち高度の真空状態を実現する際に多用されるものにターボ分子ポンプがある。
ターボ分子ポンプは、ケーシングに対して固定された固定部とモータの働きにより回転する回転部を備えている。そして、固定部および回転部にそれぞれ固定翼および回転翼が多段に配置され、回転部が高速回転するとこれらの翼の作用により吸気口から導入された気体が排気口から排気されるように構成されている。
また、特許文献1には、固定翼の周方向に形成された外側のスリットからの気体の逆流を防止するために、円環状の邪魔板を固定翼の半径方向外側の部分を覆うようにスペーサに挟持させて配設する技術が提案されている。
また、特許文献1で提案されているような邪魔板を設けた場合には、気体の逆流を抑制すると同時に、吸気口側での反射によって気体の通過を妨げるおそれがあった。
そこで本発明は、排気性能を低下させることなく、固定翼ブレードの形成領域の外周部からの気体の逆流を適切に抑制することができるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
なお、請求項1記載の発明における固定翼ブレードは、例えば、前記内周側円環部と前記外周側円環部との間に形成され、その円周等分複数個所に形成される半径方向に延びるスリットと、隣接する前記スリット間の部位からなり傾斜角を有することが好ましい。
また、請求項1記載の発明におけるスペーサリングは、例えば、円筒状の本体部と、前記本体部の内周壁の吸気口側端部から半径方向内側へ張り出し、かつ、内周壁が前記回転翼の外周壁と対向し、前記固定翼ブレードの外径より小さい内径を有するフランジ部と、を有し、前記固定翼間に配置され、前記固定翼を所定間隔に保持することが好ましい。
なお、請求項2記載の発明における前記固定翼は、例えば、スペーサリングの本体部における排気口側端面と前記固定翼における前記外周側円環部の範囲内で接触することが好ましい。
請求項3記載の発明では、請求項1または請求項2記載の発明において、前記固定翼および前記スペーサリングは、下流側の高圧縮領域に設けられている。
請求項4記載の発明では、請求項1、請求項2または請求項3記載の発明において、前記固定翼ブレードは、前記固定翼の前記吸気口側の領域にのみ形成されている。
請求項2記載の発明によれば、固定翼の外周側円環部のみをスペーサリングにより挟持することにより、脆弱な部位に過剰な負荷を掛けることなく固定翼を固定することができる。
請求項4記載の発明によれば、固定翼ブレードを固定翼の吸気口側の領域にのみ形成することにより、固定翼の排気口側の面が平らに形成されるため、スペーサリングと固定翼との接触面の安定性(座り)を向上させることができる。
図1は、本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1の概略構成を示した図である。なお、図1は、ターボ分子ポンプ1における軸線方向の断面を示している。このターボ分子ポンプは、例えば半導体製造装置内に設置され、真空チャンバからプロセスガスの排出を行う際に用いられる。
ターボ分子ポンプ1の外装体を構成するケーシング2は略円筒状の形状をしており、ケーシング2の下部(排気口6側)に設けられたねじ溝スペーサ3、ベース24と共にターボ分子ポンプ1の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ1に排気機能を発揮させる構造物、即ち気体移送機構が配設されている。
ケーシング2の端部には、ターボ分子ポンプ1へ気体を導入するための吸気口4が形成されている。また、ケーシング2の吸気口4側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部5が形成されている。
また、ねじ溝スペーサ3の端部には、ターボ分子ポンプ1から気体を排気するための、即ち半導体製造装置からのプロセスガス等を排出する排気口6が形成されている。
ロータ本体8の外周には、回転翼9が配設され、この回転翼9は、シャフト7の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト7から放射状に伸びたブレード(羽根)からなる。
モータ部11は、シャフト7の周囲に固着された永久磁石を備えている。この永久磁石は、例えば、シャフト7の周りにN極とS極が180°ごとに配置されるように固定されている。また、モータ部11は、この永久磁石の周囲にシャフト7から所定のクリアランスを経て配設された電磁石を備えている。ここでは、6個の電磁石が60°ごとにシャフト7の軸線に対して対称的に対向するように配置されている。
これらの磁気軸受部12〜14は、いわゆる5軸制御型の磁気軸受を構成している。
シャフト7は、磁気軸受部12、13によってラジアル方向(シャフト7の径方向)に非接触で支持され、磁気軸受部14によってスラスト方向(シャフト7の軸方向)に非接触で支持されている。
また、磁気軸受部12〜14の近傍には、それぞれシャフト7の変位を検出する変位センサ15〜17が設けられている。
変位センサ15は、シャフト7のラジアル方向の変位を所定の時間間隔でサンプリングして検出する。
制御装置は、変位センサ15の信号に基づいて磁気軸受部12をフィードバック制御し、これによってシャフト7は、磁気軸受部12において電磁石から所定のクリアランスを隔ててラジアル方向に磁気浮上し、空間中に非接触で保持される。
このように、シャフト7は、磁気軸受部12、13の作用により、ラジアル方向に所定の位置で保持される。
金属ディスク18は、鉄などの高透磁率材で構成されており、その中心においてシャフト7に垂直に固定されている。この金属ディスク18を挟み、かつ対向するように電磁石19、20が配置されている。電磁石19は、磁力により金属ディスク18を上方に吸引し、電磁石20は、金属ディスク18を下方に吸引する。
制御装置は、この電磁石19、20が金属ディスク18に及ぼす磁力を適当に調節し、シャフト7をスラスト方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。
シャフト7がスラスト方向のどちらかに移動して所定の位置から変位した場合、制御装置は、この変位を修正するように電磁石19、20の励磁電流をフィードバック制御して磁力を調節し、シャフト7を所定の位置に戻すように動作する。制御装置は、このフィードバック制御を連続的に行う。これにより、シャフト7はスラスト方向に所定の位置で磁気浮上し、保持される。
以上に説明したように、シャフト7は、磁気軸受部12、13によりラジアル方向に保持され、磁気軸受部14によりスラスト方向に保持されるため、シャフト7の軸線周りに回転するようになっている。
筐体の内周側には、固定部が形成されている。この固定部は、吸気口4側(ターボ分子ポンプ部T)に設けられた固定翼30、また、ねじ溝スペーサ3などから構成されている。ねじ溝スペーサ3の内壁面には、ねじ溝部40が形成されている。
ターボ分子ポンプ部Tでは、固定翼30が軸線方向に、回転翼9と互い違いに複数段形成されている。
各段の固定翼30は、円筒形状をしたスペーサリング31により互いに隔てられ、所定の位置に保持されている。
スペーサリング31は段部を有するリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄またはステンレスなどの金属によって構成されている。
なお、スペーサリング31の内側に位置する段部の軸方向の長さは回転翼9における各段の間隔に応じた長さとなっている。
図2(a)は、プレス加工前における固定翼30を示した平面図であり、図2(b)は、プレス加工後における、図2(a)の破線領域(A部分)の状態を示した図であり、図2(c)は、固定翼30の一部を側面から示した図である。
固定翼30は、外周側の一部がスペーサリング31によって周方向に挟持される外側円環部51と、内側円環部52と、外側円環部51と内側円環部52とにより両端が放射状に所定角度で支持された複数の固定翼ブレード53とから構成されている。
固定翼ブレード53は、まず、図2(a)に示すように、例えばステンレス鋼製またはアルミニウム製の薄肉の板から、エッチング法や型抜き法、またレーザやプラズマなどの切断法を用いて切り出す。
スリット54は、外側スリット54a、中央スリット54b、内側スリット54cから構成される。
外側スリット54aは、外側円環部51の内側に沿って等間隔に設けられた、周方向に延びる切り込みであり、隣接する外側スリット54aとの間に外側支持部55aが形成される。
一方、内側スリット54cは、内側円環部52の外側に沿って等間隔に設けられた、周方向に延びる切り込みであり、隣接する内側スリット54cとの間に内側支持部55bが形成される。
固定翼ブレード53は、外側支持部55aおよび内側支持部55bによって、それぞれ外側円環部51、内側円環部52に支持されている。
スリット54により切り出された固定翼ブレード53を、プレス加工により所定角度に曲げることにより、図2(b)に示すような形状の固定翼30が形成される。
なお、プレス加工時における固定翼ブレード53の捩り曲げの中心位置は、任意に設定することが可能である。例えば、固定翼ブレード53の捩り曲げの中心位置を、固定翼ブレード53の中心に設定するようにしてもよく、また、固定翼ブレード53の中心位置からずらした位置に設定するようにしてもよい。
また、本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1では、I字状のスリット54を等間隔に複数形成することによって固定翼ブレード53を切り出すように構成されているが、固定翼ブレード53の切り出し方法は、これに限定されるものではない。例えば、コの字状のスリットを形成することによって固定翼ブレード53を切り出すようにしてもよい。
詳しくは、図2(c)の斜線で示す領域αおよび領域β、即ち、固定翼ブレード53における内側円環部52(または外側円環部51)の形成面から下方(排気口6方向)にはみ出した部分(領域α)と、固定翼ブレード53における上方(吸気口4方向)の先端部分(領域β)とをカットする。
領域αのカット部は、カット面と内側円環部52(および外側円環部51)の下面(排気口6側の面)とが一致するようにカット処理を施す。
一方、領域βのカット部は、カット面と内側円環部52(および外側円環部51)の形成面とが平行になるように固定翼ブレード53の縁部にカット処理を施す。
また、各段の固定翼30は、各段の回転翼9間に配置するために、円周方向に2分割されている。
このように形成された固定翼30は、各段の回転翼9間に外側から挿入して組み立てる。固定翼30は、外周側の一部がスペーサリング31によって周方向に挟持された状態で回転翼9間に保持(固定)される。
また、らせん溝の深さは、排気口6に近づくにつれ浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは、排気口6に近づくにつれて圧縮されるように構成されている。
なお、本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1では、この逆流防止機構は、ターボ分子ポンプ部Tの下流領域に設けるように構成されている。しかしながら、逆流防止機構の配設位置はこれに限定されるものではなく、例えば、ターボ分子ポンプ部Tの全領域に渡って設けるようにしてもよい。
図3は、本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1におけるターボ分子ポンプ部Tの下流領域の構造を示した図である。
図3に示すように、スペーサリング31により上下方向から挟持される状態で支持された固定翼30は、複数段に渡って設けられた回転翼9の間に配設されている。
ここで、ターボ分子ポンプ部Tの下流領域に配設されるスペーサリング31の構造について説明する。
図3に示すように、ターボ分子ポンプ部Tの下流領域に配設されるスペーサリング31は、本体部31aとフランジ部31bから構成されている。
フランジ部31bは、本体部31aの内周壁面から中心軸(シャフト7)方向へ張り出す(突出する)ように形成された部位である。
本体部31aの上面(吸気口4側の面)およびフランジ部31bの上面(吸気口4側の面)、即ち、固定翼30と接触する座面(以下、スペーサリング31の座面とする)は、同一面上に形成されるように段差なく平らに形成されている。
なお、図3の斜線で示す、スペーサリング31の座面上に配設された固定翼30を上方(吸気口4側)から押し付けて固定する面、即ち、本体部31aの下面(排気口6側の面)と固定翼30との接触面を、スペーサリング31の当接部とする。
このように、外側スリット54aを避けた位置において固定翼30を固定することにより、図2(a)に示す外側支持部55aなどの脆弱な部位に過剰な負荷が掛けられることを抑制することができるため、適切に固定翼30の強度を向上させることができる。
このように、スペーサリング31のフランジ部31bを外側スリット54aの形成されている部位よりも十分に内側へ張り出す(突出する)ように形成することにより、外側スリット54aを下方(排気口6方向)から塞ぐことができる。従って、外側スリット54aの幅を広く設けた場合であっても、外側スリット54aを介して気体が逆流してしまうことを適切に抑制することができる。
そのため、回転翼9の回転作用により気体分子は、いずれの部材にも邪魔されず速やかに、排気口6方向に送り出される。
本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1には、従来技術で示したターボ分子ポンプのように、回転翼9により送られる気体の通過を妨げる要因が存在しない。
従って、本実施の形態によれば、排気性能を低下させることなく、気体の逆流を抑制させることができる。即ち、排気性能を低下させることなく、ターボ分子ポンプ1の圧縮性能を向上させることができる。
また、図2(c)に示すように、固定翼ブレード53における領域β、即ち、気体の排気性能に影響を与えない部位をカットすることにより、固定翼30(固定翼ブレード53)の厚みを縮小することができる。これにより、固定翼ブレード53の一部を配設可能に形成される、固定翼30とフランジ部31bとの間の空間31cにおける軸方向(高さ方向)の長さ(設定値)を縮小することができるため、この空間31cに回り込む気体分子を低減させることができる。
このようなフランジ部31bを設けることにより、図4に示す固定翼30に対して、吸気口4方向(上矢印方向)に反る(撓む)変形が生じた場合、固定翼ブレード53とスペーサリング31とは、スペーサリング31のフランジ部31bの頂点Pbにおいて干渉する。即ち、このフランジ部31bの頂点Pbが支点となり、固定翼30の内側円環部52に働く力が、固定されている外側円環部51に作用する。
このような場合において、図4に示す固定翼30に対して、吸気口4方向(上矢印方向)に反る(撓む)変形が生じた際には、フランジ部31bが設けられていないため、本体部31aの頂点Paが支点となり、固定翼30の内側円環部52に働く力が、固定されている外側円環部51に作用する。
まず、スペーサリング31のフランジ部31bの本体部31aの内周壁面(支点Pa)から中心軸方向へ張り出す長さに対応した位置Pcまでの距離をL1、支点Paから固定翼30のブレード53の端部(Pd)までの距離をL2、とし、Pc、Pdそれぞれの位置での固定翼30の撓み量をそれぞれW1、W2とする。
そして、Pcにおける固定翼30とスペーサリング31のフランジ部31bの隙間をH1、Pdにおける回転翼9と固定翼30のブレード53の隙間をH2とすると、Pdの位置における固定翼30のブレード53と回転翼9が接触しない条件は、
W2/L2=W1/L1(固定翼の変形量の関係式)…(式1)
W2<H2 かつ W1≧H1 (非接触条件)…(式2)となり、
そして、(式1)、(式2)より
W2=W1×L2/L1<H2
かつ、W1≧H1となる。
よって、
H1×L2/L1<H2を満たせば、固定翼30(ブレード53)が回転翼9に接触することを回避できる。
このように、支点の位置を中心方向へずらすことにより、固定翼30の内周端から支点までの距離の短縮化を図ることができる。これにより、固定翼30の外側円環部51に作用する負荷力を低減させることができるため、固定翼30の強度を向上させることができる。
なお、上述した逆流防止機構は、水素分子のような分子量の小さな気体分子の排気処理をする場合においてより高い効果を得ることができる。
また、逆流防止機構は、ターボ分子ポンプ1の下流における高圧縮側に設けるほどより高い効果を得ることができる。
2 ケーシング
3 ねじ溝スペーサ
4 吸気口
5 フランジ部
6 排気口
7 シャフト
8 ロータ本体
9 回転翼
10 円筒部材
11 モータ部
12 磁気軸受部
13 磁気軸受部
14 磁気軸受部
15 変位センサ
16 変位センサ
17 変位センサ
18 金属ディスク
19 電磁石
20 電磁石
21 保護用ベアリング
22 保護用ベアリング
23 ボルト
24 ベース
30 固定翼
31 スペーサリング
31a 本体部
31b フランジ部
31c 空間
40 ねじ溝部
51 外側円環部
52 内側円環部
53 固定翼ブレード
54 スリット
54a 外側スリット
54b 中央スリット
54c 内側スリット
55a 外側支持部
55b 内側支持部
側スリットの幅を小さくすることも考えられる。しかし、外側スリットの幅を狭めてしまうと、固定翼の加工性が低下するおそれがあった。
また、特許文献1で提案されているような邪魔板を設けた場合には、気体の逆流を抑制すると同時に、吸気口側での反射によって気体の通過を妨げるおそれがあった。
そこで本発明は、排気性能を低下させることなく、固定翼ブレードの形成領域の外周部からの気体の逆流を適切に抑制することができるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0006]
請求項1記載の発明では、吸気口と排気口を有する筐体と、前記筐体に内包され、複数段の回転翼を有する回転体と、前記回転体を軸支する回転軸と、前記回転軸を回転させるモータと、内周側円環部と、外周側円環部と、前記内周側円環部と前記外周側円環部との間に形成され、傾斜角を有し、放射状に配置された固定翼ブレードと、を有し、前記筐体に対して固定され、前記回転翼間に配置された固定翼と、前記固定翼間に配置される環状の本体部と、前記本体部から回転軸方向へ張り出したフランジ部と、を有し、前記固定翼を所定間隔に保持するスペーサリングと、を備え、前記固定翼ブレードの外径が前記スペーサリングの内径より大きく、前記スペーサリングの張り出し長L1は、前記本体部の内径と前記固定翼ブレード内径との差L2と、前記固定翼ブレードと前記フランジ部との隙間H1と、前記固定翼ブレードと前記回転翼との隙間H2との間に以下の関係
L1>L2・H1/H2
にあることにより、前記目的を達成する。
なお、請求項1記載の発明における固定翼ブレードは、例えば、前記内周側円環部と前記外周側円環部との間に形成され、その円周等分複数個所に形成される半径方向に延びるスリットと、隣接する前記スリット間の部位からなり傾斜角を有することが好ましい。
また、請求項1記載の発明におけるスペーサリングは、例えば、円筒状の本体部と、前記本体部の内周壁の吸気口側端部から半径方向内側へ張り出し、かつ、内周壁が前記回転翼の外周壁と対向し、前記固定翼ブレードの外径より小さい内径を有するフランジ部と、を有し、前記固定翼間に配置され、前記固定翼を所定間隔に保持することが好ましい。
[0007]
請求項2記載の発明では、請求項1記載の発明において、前記固定翼の外周側円環部のみが前記スペーサリングにより挟持される。
Claims (4)
- 吸気口と排気口を有する筐体と、
前記筐体に内包され、複数段の回転翼を有する回転体と、
前記回転体を軸支する回転軸と、
前記回転軸を回転させるモータと、
内周側円環部と、外周側円環部と、前記内周側円環部と前記外周側円環部との間に形成され、傾斜角を有する固定翼ブレードと、を有し、前記筐体に対して固定され、前記回転翼間に配置された固定翼と、
前記固定翼間に配置され、前記固定翼を所定間隔に保持するスペーサリングと、を有し、
前記固定翼ブレードの外径が前記スペーサリングの内径より大きいことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 前記固定翼の外周側円環部のみが前記スペーサリングにより挟持されることを特徴とする請求項1記載のターボ分子ポンプ。
- 前記固定翼および前記スペーサリングは、下流側の高圧縮領域に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のターボ分子ポンプ。
- 前記固定翼ブレードは、前記固定翼の前記吸気口側の領域にのみ形成されていることを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
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