JPWO2006117840A1 - ロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法を提供する。【解決手段】 可動側のロボットハンド２と固定側のワーク載置台８との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくためのロボットへのワーク受渡し位置教示装置が、ロボットハンド２に装着され、可動側のワーク保持手段がワークを把持した時のワークの中心位置を示す第１の治具６と、ワーク載置台８に装着され、固定側のワーク保持手段がワーク載置台８上でワークを把持した時のワークの中心位置を示す第２の治具１３と、第１の治具６が示すワークの中心位置と第２の治具１３が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンド２の位置をロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成る。【選択図】 図１

Description

本願の発明は、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する装置同士のワーク受渡しに際し、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法に関し、特に安価で、短時間で教示を行うことができる、そのような装置及び方法に関する。

円形基板、例えば、ウエハの外周を固定保持する、いわゆるエッジクランプ方式の保持手段を有する装置同士の間でウエハの受渡しを行うに際しては、ウエハの中心位置がずれていると、ウエハに対して保持手段の把持部からストレスが加わり、ウエハが破損してしまう虞がある。したがって、このようなウエハの受渡しにおいては、その中心位置がずれないように、固定側装置のウエハ保持位置に対して可動側装置（ロボット）からウエハを受け渡す受渡し位置を可動側装置（ロボット）の制御装置に正しく教示しておく必要がある。

従来、ロボットのハンドとウエハ処理装置のウエハ載置台等との間でウエハの受渡しを行うに際し、ウエハの中心位置がずれることなく、正しく受渡しが行われるようにするために、ロボットにウエハの受渡し位置を教示する教示装置、教示方法が種々提案されている。再公表特許公報ＷＯ２００３／０２２５３４（特許文献１）に記載のものもその一つであるが、従来のものは、センサや撮像手段等で位置検出を行っているものが殆どである。そのために、教示作業に時間がかかり、また、教示装置として高価なものになっていた。
再公表特許公報ＷＯ２００３／０２２５３４ 特開２００３−２１８１８６号公報

本願の発明は、従来のロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法が有する前記のような問題点を解決して、センサや撮像手段等を使用することなく、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法を提供することを課題とする。

本願の発明によれば、前記のような課題は、次のようなロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法により解決される。
すなわち、そのロボットへのワーク受渡し位置教示装置は、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する可動側のロボットハンドと、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する固定側のワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示装置であって、前記ロボットハンドに装着され、前記可動側のワーク保持手段が前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第１の治具と、前記ワーク載置台に装着され、前記固定側のワーク保持手段が前記ワーク載置台上で前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第２の治具と、前記第１の治具が示す前記ワークの中心位置と前記第２の治具が示す前記ワークの中心位置とが合致させられた時の前記ロボットハンドの位置を前記ロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成ることを特徴とするロボットへのワーク受渡し位置教示装置である。

そのロボットへのワーク受渡し位置教示装置は、前記のように構成されており、第１の治具と、第２の治具と、該第１の治具が示すワークの中心位置と該第２の治具が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンドの位置を該ロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成るものとされているので、センサや撮像手段等を使用することなく、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置を提供することができる。

好ましい実施形態によれば、そのロボットへのワーク受渡し位置教示装置の第１の治具が示すワークの中心位置に凹部又は凸部が形成され、第２の治具が示すワークの中心位置に凸部又は凹部が形成される。

この構成により、それらの治具が示すワークの中心位置の合致操作を簡単に行うことができ、さらに安価で、さらに短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置を提供することができる。

別の好ましい実施形態によれば、そのロボットへのワーク受渡し位置教示装置において、第１の補助治具がさらに備えられ、該第１の補助治具は、ワークと同径にされ、その中心に第１の補助凸部又は第１の補助凹部が形成されていて、ロボットハンドに装着された第１の治具の凹部又は凸部に該第１の補助凸部又は第１の補助凹部が嵌合されるか又は位置合わせされた状態で、可動側のワーク保持手段が該第１の補助治具を把持するようにその位置が調整されることを可能にするものとされる。

この構成により、可動側（ロボットハンド側）のワーク保持手段がワークの外周を把持した時の該ワークの中心位置を第１の治具の凹部又は凸部の位置に簡単に合致させて、精度良くその位置に確定することができる。

また、そのロボットへのワーク受渡し位置教示方法は、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する可動側のロボットハンドと、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する固定側のワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示方法であって、前記ロボットハンドに装着され、前記可動側のワーク保持手段が前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第１の治具と、前記ワーク載置台に装着され、前記固定側のワーク保持手段が前記ワーク載置台上で前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第２の治具とを用い、前記第１の治具が示す前記ワークの中心位置と前記第２の治具が示す前記ワークの中心位置とが合致させられた時の前記ロボットハンドの位置を前記ロボットの制御装置に教示するようにされて成ることを特徴とするロボットへのワーク受渡し位置教示方法である。

そのロボットへのワーク受渡し位置教示方法は、前記のように構成されており、第１の治具と、第２の治具とを用い、該第１の治具が示すワークの中心位置と該第２の治具が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンドの位置を該ロボットの制御装置に教示するようにされて成るので、センサや撮像手段等を使用することなく、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示方法を提供することができる。

前記のとおり、本願の発明のロボットへのワーク受渡し位置教示装置によれば、それが、第１の治具と、第２の治具と、該第１の治具が示すワークの中心位置と該第２の治具が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンドの位置をロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成るものとされているので、センサや撮像手段等を使用することなく、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置を提供することができる。
また、この装置を使用することにより、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示方法を提供することができる。

本実施例のロボットへのワーク受渡し位置教示装置の斜視図である。 同ロボットへのワーク受渡し位置教示装置が教示を行う状態にある時の斜視図である。 ロボットのハンドのワーク保持手段の位置調整をするために使用される第１の治具及び第１の補助治具とハンドとの関係を示す図である。 図３と同様の図であって、第１の治具がロボットのハンドに装着された状態を示す図である。 図４と同様の図であって、第１の補助治具がロボットのハンドのワーク保持手段により把持された状態を示す図である。 固定側装置の初期状態を示す図である。 同固定側装置の中央窪地を覆うカバーの裏面平面図である。 同固定側装置の中央窪地にカバーを被せた状態の同固定側装置の部分側断面図である。 図８において、第２の補助治具が取り外された状態を示すとともに、第２の治具と固定側装置との関係を示す図である。 図９と同様の図であって、第２の治具が固定側装置のワーク載置台の中心部に形成された凹部に嵌合されて固定された状態を示す図である。 図１０において、第２の治具が取り外されるとともに、ワーク載置台の中央窪地がカバーにより閉鎖された固定側装置の通常の状態を示す図である。

符号の説明

１…ロボットへのワーク受渡し位置教示装置、２…ロボットハンド、３…ブレード、４…受け座、５…穴、６…第１の治具、７…固定側装置、８…ワーク載置台、９…凹部、１０…ローラ、１１…ピン、１２…最大径部分、１３…第２の治具、１４…環状凸部、１５…中央窪地、１６…突起、１７…エア噴出口、１８…カバー、１９…ボルト締結用穴、２０…第１の補助治具、２１…補助穴、２２…隙間、２３…環状凹部、２４…ボルト。

ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する可動側のロボットハンドと、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する固定側のワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示装置が、ロボットハンドに装着され、可動側のワーク保持手段がワークを把持した時の該ワークの中心位置を示す第１の治具と、ワーク載置台に装着され、固定側のワーク保持手段が該ワーク載置台上でワークを把持した時の該ワークの中心位置を示す第２の治具と、第１の治具が示すワークの中心位置と第２の治具が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンドの位置をロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成るものとする。

次に、本願の発明の一実施例について説明する。
図１は、本実施例のロボットへのワーク受渡し位置教示装置の斜視図、図２は、同教示装置が教示を行う状態にある時の斜視図である。
本実施例のロボットへのワーク受渡し位置教示装置は、例えば、半導体製造工場において、半導体基板（ウエハ）の処理装置間での搬送をロボットを介在させて行う場合に、該ロボットのハンド（ロボットハンド）と固定側装置に設けられるワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用される。本実施例で示す固定側装置は、エア浮上式のアライナを挙げるが、これに限定されるものではなく、処理装置のローダ、アンローダである場合もある。

本実施例のロボットへのワーク受渡し位置教示装置１は、図１及び図２に図示されるように、可動側のロボットハンド２に装着される第１の治具６と、固定側装置７に設けられるワーク載置台８に装着される第２の治具１３と、図示されない電子的に構成された教示手段とを備えて成る。

第１の治具６は、直方体形状の細長い棒材から成り、ロボットハンド２の基端部に、該ロボットハンド２を構成する一対のブレード３、３間の中央部に位置するようにして装着されており、これら一対のブレード３、３の各々の上面に取り付けられた複数個（２個以上。本実施例においては、先端部に１個、基端部に２個の合計３個）の受け座を有する爪４がワーク（図示されず）を把持した時の該ワークの中心位置となる個所に、凹部５が形成されている。これら一対のブレード３、３と総計６個の受け座を有する爪４とは、ロボット側（可動側）のワーク保持手段を構成している。凹部５は、本実施例においては、上下貫通する穴５として形成されているが、これに限られず、盲穴とされても良いものである。

第２の治具１３は、図９により良く図示されるように、多段頭付きピン形状を成していて、その多段の頭部の最大径部分１２が固定側装置７のワーク載置台８の中心部に形成された凹部９（図９参照）に嵌合されて、ワーク載置台８に装着、固定される。第２の治具１３のピン部（凸部）は、ピン１１とされていて、このピン１１は、頭部の最大径部分１２が突起１６の内側に嵌合された状態において、固定側装置７の外周部に等間隔に配置された複数個（３個以上。本実施例においては４個）のローラ１０（ワークセンタリング手段）がワーク載置台８上でワークを把持した時の該ワークの中心位置となる個所にある。この第２の治具１３の頭部の最大径部分１２とピン１１とは、正確に同心に形成されている。

固定側装置７は、エア浮上式のアライナである。載置台８の表面から噴き出すエアにより、ウエハを水平に非接触状態で支え、ワーク載置台８の周囲に複数配設されるローラ１０により、ウエハをセンタリングしてこれをその位置に保持する。ワーク載置台８の中心部に形成された凹部９は、ワーク載置台８の中心部に同心に等間隔に配された複数個の突起１６により取り囲まれるようにして形成されている。これら複数個の突起１６は、ワーク載置台８の中央部に突出形成された環状凸部１４によりテーパで囲まれた中央窪地１５の底面から突出するようにして形成されている。この中央窪地１５の底面には、エア噴出口１７が、凹部９の中央に開口形成されている。

カバー１８は、図７、図８に示すように、側面視逆台形状をしており、底面には環状凹部２３が形成されている。さらに、カバー１８にはボルト締結用の穴１９が複数設けてある。このカバー１８で中央窪地１５を覆う場合、該カバー１８の環状凹部２３に突起１６が入り込み、カバー１８が突起１６により下方から支持され、中央窪地１５とカバー１８の間に僅かな隙間２２を形成した状態となる。この状態において、カバー１８は、複数の穴１９を介して中央窪地１５にボルト２４により締結される。エア噴出口１７からエアが噴出すると、エアはボルト２４や突起１６の間をくぐり抜け、中央窪地１５とカバー１８の僅かな隙間２２から噴出する。中央窪地１５がテーパ状に形成されているのは、図８に示すように、エア噴出口１７からのエアが、一旦、カバー１８と中央窪地１５により形成された空間で溜められた後、狭い隙間を通じワーク載置台８の外周に向かって高速で噴出するためで、ワーク載置台８とワークの間に高速エアの流路が形成され、カバー１８の上面は負圧となり、ベルヌーイ効果が発揮されることを目的としている。

教示手段は、電気的に構成されるものであり、ロボットの制御装置に接続されて、図２に図示されるように、第１の治具６の穴５に第２の治具１３のピン１１が嵌合、挿通された時のロボットハンド２の位置をワーク受渡し位置として該ロボットの制御装置に教示する。これにより、ロボットへのワーク受渡し位置の教示作業は終了する。

次に、このような教示を受けた制御装置を有するロボットハンド２と固定側装置７のワーク載置台８との間で実際にワークの受渡しが行われる場合の作業プロセスについて説明する。

前記のようなワーク受渡し位置の教示を受けたロボットの制御装置は、ワークを実際に把持したロボットハンド２を教示されたワーク載置台８上のワーク受渡し位置（第１の治具６の穴５に第２の治具１３のピン１１が挿通される位置。但し、実際のワークの受渡しにおいては、これらの治具は除去されている。）上面に移動させる。同時に、ワーク載置台８のエア噴出口１７からエアが噴出する。その後、ロボットハンド２は、ワークを所定高さ（ワーク載置台８上でのワーク保持高さ）まで移動させ、ワーク保持解除動作と入替えに、固定側装置７の４個のローラ１０が、ワーク載置台８上で、それらが外接する共通の仮想円の径を小さくするように移動し、互いに接近して、ワークのセンタリングを行う。この時、ワークの中心位置は、同仮想円の中心と合致しているので、ワークは、４個のローラ１０からストレスを受けることなく、これら４個のローラ１０によって正確に受け取られる。ロボットハンド２は、ワークを４個のローラ１０（ワークセンタリング手段）に渡してから、わずかに下降して、次いで、ワーク載置台８上から後退する。

逆に、固定側装置７からロボットハンド２へワークの受渡しを行う場合、４個のローラ１０によってセンタリングされている状態のワークを、ロボットハンド２の受け座を有する爪４がワークを把持するが、本実施例のエア浮上式アライナにおいては、この時が最もワークへ与えるストレスが懸念される。固定側装置７へロボットハンド２がワークを受け渡す際には、ロボットハンド２のワーク保持解除動作が開始された時点で、４個のローラ１０は定位置に到達しなくてもよい、つまり、一方の保持解除開始と他方の保持完了のタイミングが多少ずれていても受渡しに支障がない場合は、ワークに与えるダメージは余りないが、固定側装置７からロボットハンド２がワークを受け取る場合のように、必ず、一方の保持解除開始と他方の保持完了のタイミングを一致させなければならない外周保持機構同士の受渡しの際には、ワークの中心位置を合わせておかなければ、ワークに対しストレスを与えてしまうのである。
したがって、本装置により、互いのワーク保持中心位置を予め一致させておくことで、ワークの破損を被ることはない。

ここで、ロボットハンド２のワーク保持手段（一対のブレード３、３と６個の受け座を有する爪４とから成る）がワークを把持した時の該ワークの中心位置を第１の治具６の穴５の位置に簡単に合致させて、精度良くその位置に確定する手段と方法について説明しておく。

先ず、ロボットハンド２のワーク保持手段がワークを把持した時の該ワークの中心位置を第１の治具６の穴５の位置に簡単に合致させて、精度良くその位置に確定する手段と方法（換言すれば、ロボットハンド２上のワークの中心位置を出す手段と方法）を、図３〜図５を参照しながら、説明する。

この手段と方法のためには、図３に図示されるように、第１の治具６と第１の補助治具２０とが使用される。
第１の治具６は、前記のとおり、直方体形状の細長い棒材から成り、ロボットハンド２の基端部に、該ハンド２を構成する一対のブレード３、３間の中央部に位置するようにして装着され（図４参照）、その長さ方向中間位置には、これら一対のブレード３、３の各々の上面に取り付けられた６個の受け座を有する爪４がワークを把持した時の該ワークの仮中心位置を示す穴５が上下貫通して形成されている。

第１の補助治具２０は、図３に図示されるように、ワークと同径にされた円盤体から成り、その中心に補助穴（第１の補助凹部）２１が備えられている。なお、この補助穴２１は、補助ピン（第１の補助凸部）に代えられることも可能である。

前記のようにして形成された第１の補助治具２０は、図４及び図５に図示されるように、その補助穴２１がロボットハンド２に装着された第１の治具６の穴５に合致するように位置合わせされて、第１の治具６及び一対のブレード３、３上に載置される。そして、この状態において、ロボットハンド２のワーク保持手段（一対のブレード３、３と６個の受け座を有する爪４とから成る）が第１の補助治具２０の外周を把持するように、その位置が調整される。すなわち、一対のブレード３、３が適度に互いに接近させられるとともに、６個の受け座を有する爪４がそれぞれの位置を調整される。

このようにして、第１の補助治具２０の外周を把持する６個の受け座を有する爪４のそれぞれの位置（ワーク把持位置）が確定されると、一対のブレード３、３が離反して第１の補助治具２０を解放し、その後、ワークを把持するために、一対のブレード３、３が適度に互いに接近した時には、これら６個の受け座を有する爪４は、該ワークを、該ワークの中心位置が丁度第１の治具６の穴５の位置にあるようにして、その外周から把持することができる。図１に図示されるロボットハンド２のワーク保持手段は、このようにして位置調整された状態にある。なお、ロボットハンド２が実際にワークを把持する時、第１の治具６が除去されることは、既に述べたとおりである。

ロボットハンド２を構成する一対のブレード３、３の各々の上面の基端部に取り付けられた２個の受け座を有する爪４は、把持されるワークにオリエンテーション・フラット（通称オリフラ）が付される場合の該ワークを把持するために備えられるものであり、常に必ず２個備えられなければならないものではなく、１個とされる場合もある。

以上のようにして、第１の治具６と第１の補助治具２０とを用いて行われるロボットハンド２のワーク保持手段の位置調整とロボットハンド２上のワークの中心出しが完了すると、第１の治具６と第２の治具１３とを用いて行われるロボットの制御装置へのワーク受渡し位置の教示作業が可能になる。この教示作業の要領については、図１及び図２を参照して、既に詳細に説明された。

図１１に図示される固定側装置７は、ロボットの制御装置へのワーク受渡し位置の教示作業が終了して、第２の治具１３がそのワーク載置台８上から除去され、そのワーク載置台８の中央窪地１５がカバー１８により閉鎖されて、ワークを受け渡す準備が完了した平常時の状態を示している。

本実施例のロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ロボットへのワーク受渡し位置教示装置１が、第１の治具６と、第２の治具１３と、該第１の治具６の穴５に該第２の治具１３のピン１１が挿通された時のロボットハンド２の位置を該ロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成るものとされているので、センサや撮像手段等を使用することなく、安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法を提供することができる。

また、第１の補助治具２０がさらに備えられ、該第１の補助治具２０は、ワークと同径にされ、その中心に補助穴２１が備えられていて、ロボットハンド２に装着された第１の治具６の穴５に該補助穴２１が合致させられた状態で、該ロボットハンド２のワーク保持手段（可動側のワーク保持手段。一対のブレード３、３と６個の受け座を有する爪４とから成る。）が該第１の補助治具２０の外周を把持するようにその位置が調整されることを可能にするものとされているので、該ロボットハンド２のワーク保持手段がワークを把持した時の該ワークの中心位置を第１の治具６の穴５の位置に簡単に合致させて、精度良くその位置に確定することができる。

なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、第１の治具６の穴（凹部）５への第２の治具１３のピン（凸部）１１の嵌合、挿通は、凹部と凸部とを入れ換えて行われるように変形することができる。また、ワーク載置台８の中心部に形成される凹部９への第２の治具１３の最大径部分１２の嵌合は、凹部９を凸部に変形して、この凸部に最大径部分１２の底面に形成される凹部を嵌合させるように変形することができる。

Claims (5)

1. ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する可動側のロボットハンドと、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する固定側のワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示装置であって、
   前記ロボットハンドに装着され、前記可動側のワーク保持手段が前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第１の治具と、
   前記ワーク載置台に装着され、前記固定側のワーク保持手段が前記ワーク載置台上で前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第２の治具と、
   前記第１の治具が示す前記ワークの中心位置と前記第２の治具が示す前記ワークの中心位置とが合致させられた時の前記ロボットハンドの位置を前記ロボットの制御装置に教示する教示手段と
   を備えて成る
   ことを特徴とするロボットへのワーク受渡し位置教示装置。
2. 前記第１の治具が示す前記ワークの中心位置に凹部又は凸部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のロボットへのワーク受渡し位置教示装置。
3. 前記第２の治具が示す前記ワークの中心位置に凸部又は凹部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロボットへのワーク受渡し位置教示装置。
4. 第１の補助治具がさらに備えられ、
   前記第１の補助治具は、
   前記ワークと同径にされ、
   その中心に第１の補助凸部又は第１の補助凹部が形成されていて、
   前記ロボットハンドに装着された前記第１の治具の前記凹部又は凸部に前記第１の補助凸部又は第１の補助凹部が嵌合されるか又は位置合わせされた状態で、前記可動側の前記ワーク保持手段が前記第１の補助治具を把持するようにその位置が調整されることを可能にするものである
   ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のロボットへのワーク受渡し位置教示装置。
5. ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する可動側のロボットハンドと、ワークの外周を保持するワーク保持手段を有する固定側のワーク載置台との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくために使用されるロボットへのワーク受渡し位置教示方法であって、
   前記ロボットハンドに装着され、前記可動側のワーク保持手段が前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第１の治具と、
   前記ワーク載置台に装着され、前記固定側のワーク保持手段が前記ワーク載置台上で前記ワークを把持した時の前記ワークの中心位置を示す第２の治具と
   を用い、
   前記第１の治具が示す前記ワークの中心位置と前記第２の治具が示す前記ワークの中心位置とが合致させられた時の前記ロボットハンドの位置を前記ロボットの制御装置に教示するようにされて成る
   ことを特徴とするロボットへのワーク受渡し位置教示方法。
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

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