JPWO2006075615A1 - 超音波探傷方法と超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

媒体槽１の底面開口を高分子膜２で閉塞して密閉し（ａ）、媒体槽１の内部４を減圧して高分子膜２を媒体槽１の底部に吸着させ（ｂ）、媒体槽１の内部４を減圧しながら超音波探触子３の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体５を注入し（ｃ）、検査対象６と媒体槽１とを相対移動させて検査対象６と前記高分子膜２とを接触させた状態で媒体槽１の内部をそれまでより加圧し（ｄ）、超音波探触子３から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子３で受信して検査することによって、生産工程中での高分子膜の交換が容易で、しかも、検査対象とその周囲と空きスペースが検査対象に無くても良好な検査を期待できる。

Description

本発明は電子部品などの検査対象を乾式で検査する超音波探傷方法に関するものである。

昨今のトレンドである小型、薄型の商品を実現するための一つの手段として、実装面積を小さくするために、ＢＧＡやＣＳＰなど裏面電極を有する電子部品が増えてきている。裏面電極部品を用いた際、接合部を光学手段により観察できないため、品質を保証する他の手段が必要となる。

従来より、電子部品の内部を観察する方法として、Ｘ線を用いる方法や超音波探傷方法がある。Ｘ線を用いた方法においては、断線、ショート、体積異常などの検査に対して大きな効果が得られるものの、剥離などの接合部の検査には不向きである。また、超音波探傷方法においては、超音波が音響的に性質の異なる部分において反射するため、剥離などの接合部検査に適しているものの、検査対象を超音波伝達物媒体としての液体に浸漬し、前記液体を介して検査対象にたいする超音波の送受信を実行して探傷されているが、液体に浸漬したことによって検査対象の電極材料がイオンとして前記液体に溶出して信頼性の低下と、液体に浸漬するという性質上、生産現場では実施できないという問題がある。

また、（特許文献１）（特許文献２）には、検査対象を液体に浸漬せずに検査する乾式の超音波探傷方法が開示されている。
特開２００３−１７７１１７号公報 特開平１１−３０４７７１号公報

（特許文献１）に記載の乾式の超音波探傷方法では、底面だけが高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容した容器を使用し、前記高分子膜を検査対象に押し当て、超音波伝達媒体と前記高分子シートを介して検査対象に超音波を送信して反射波を受信して探傷するため、（特許文献１）に比べて生産工程中での全品検査などには向いている。しかし、生産工程中で繰り返し検査するためには前記高分子膜の交換が必要であり、前記容器への前記高分子膜の着脱の自動化が難しい構造である。

さらに、（特許文献１）では、前記高分子シートと検査対象との密着性を改善するために、前記高分子シートと検査対象との間の空気を排気する工程が必要であって、検査対象とその周囲とを気密シールする部材を押し当てることができる空きスペースが検査対象に必要であって、実装密度の高い基板などには実施できないのが現状である。

（特許文献２）には配管を検査対象とした検査方法が記載されているが、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象に適用できない。

本発明は、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象に適した超音波探傷装置を提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させるとともに、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項２記載の超音波探傷装置は、請求項１において、超音波探触子が複数あり、交換可能に設置されていることを特徴とする。

本発明の請求項３記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を設け、前記孔の減圧によって前記高分子膜を吸着保持し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項４記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽の先端を媒体槽の基端よりも細くして、この先端の部分に前記高分子膜を被せて媒体槽の先端開口を閉塞し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項５記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査することを特徴とする。

本発明の請求項６記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項７記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項８記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項９記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１０記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１１記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた前記検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１２記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の超音波探傷装置と超音波探傷方法によると、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象を乾式で、しかも生産現場での実施に適した超音波探傷検査を実現できる。

本発明の（実施の形態１）の超音波探傷方法の検査工程図 同実施の形態において損傷した高分子膜を廃棄する工程図 同実施の形態において高分子膜を装着する工程図 同実施の形態において高分子膜を切り抜く工程図 本発明の（実施の形態２）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態３）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態４）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態５）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態６）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態７）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態８）の超音波探傷方法の検査工程図

以下、本発明の超音波探傷方法を図１〜図１１に示す各実施の形態に基づいて説明する。

（実施の形態１）
図１〜図４は本発明の（実施の形態１）を示す。

図１（ａ）〜（ｄ）は超音波探傷の工程を示している。

図１（ａ）に示すように超音波探傷装置は、底面だけが開放された媒体槽１と、この媒体槽１の前記底面を閉塞する高分子膜２と、媒体槽１に移動自在に取り付けられ超音波を送受信する超音波探触子３とを有している。高分子膜２としては、シリコンゴム系、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレン、ポリプロピレンなどを使用できる。その膜厚は、数μｍ〜数１０μｍである。

高分子膜２を媒体槽１に取り付ける場合には、図１（ｂ）に示すように高分子膜２を媒体槽２の底面に押し当てるとともに、媒体槽１の内部４を真空装置（図示せず）に接続して減圧Ａして保持させる。

続いて、媒体槽１の内部４の前記減圧Ａを継続しながら、図１（ｃ）に示すように媒体槽１の内部４に超音波伝達媒体としての水５を注入する。この注入量は、超音波探触子３の超音波送受信部となる先端が浸漬される分量である。

このように水５が注入された状態では水５の重みによって高分子膜２の中央が下側に膨れている。この状態で、検査対象の基板６を載せたステージ７を図１（ｃ）から（ｄ）に示すように矢印Ｂ方向に上昇させて、基板６の検査部位８の周りを媒体槽１の底部で覆う。高分子膜２を介して基板６に押し当てられた媒体槽１は、高分子膜２が基板１の検査部位８に沿って弾性変形している。

この状態において、超音波探触子３から送信された超音波が基板６の検査部位８の目的の深さの位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を調節して設定し、超音波を発射し、基板６の検査部位８での反射超音波を超音波探触子３で受信して、送信と受信の時間差から検査部位８の目的の位置の堅さの様子を検査している。

このように、高分子膜２を減圧Ａによって媒体槽１に吸着保持させているため、図１（ｄ）に示すように基板６を高分子膜２を介して媒体槽１の底部に押し付けるだけで、高分子膜２が基板１の検査部位８に沿って弾性変形して、高分子膜２が隙間無く検査部位８に密着し、超音波探触子３の先端部から発射された超音波振動は、水５と高分子膜２を介して正確に検査部位８の目的深さに達し、また高分子膜２と水５を介して超音波探触子３で正確に受信される。

したがって、（特許文献１）などに見られたような、前記高分子シートと検査対象との密着性を改善するために、前記高分子シートと検査対象との間の空気を排気する工程が必要でなく、検査対象とその周囲とを気密シールする部材を押し当てることができる空きスペースも検査対象に必要ではなく、実装密度の高いインラインの基板などの検査に好適である。

なお、検査の繰り返しによって高分子膜２に傷が付くなどして検査結果の精度が低下することが考えられるが、この場合には図２（ａ）に示すように廃棄容器９の上に移動させた状態で前記減圧Ａを解除すると、使用済みの高分子膜２は水５の重みで媒体槽１の底部から外れて、注入されていた水５とともに図２（ｂ）に示すように廃棄容器９の中に落下する。廃棄容器９の内側は、網体１０によって上下に仕切られており、水５は網体１０を通過して廃棄容器９の底部に溜められる。使用済みの高分子膜２は網体１０で選別されて網体１０の上に残る。

このように廃棄容器９に溜められた水５には使用済みの高分子膜２などが混入していないため、汲み上げて図１（ｃ）の工程で媒体槽１への再注入に使用できる。

図３は図１（ａ）のより具体的な様子を示している。

図３（ａ）の巻装体１２は、台紙１３によって裏打ちされた帯状の高分子膜２を巻き上げたもので、この巻装体１２から引き出した帯状体をリール１４に巻き付けてテンションをかけた状態で間欠的に矢印１５方向に巻き取る。１６は作業台である。

テンションが作用した状態で停止した帯状体に、媒体槽１の底部を押し当て、媒体槽１の前記減圧Ａを実施して媒体槽１に吸着保持させた後に、図４（ａ）に矢印１６で示すように前記媒体槽１の外周に沿ってカッター１７を作業台１６の側に押圧して、高分子膜２を必要な形状に切り抜くことによって、前記媒体槽１への高分子膜２の取り付けが完了する。図３（ｂ）は高分子膜２が切り抜かれた帯状体を示している。

なお、ここでは巻装体１２からカッター１７を使用して高分子膜２を必要な形状に切り抜いたが、図４（ｂ）に示すように加熱したヒータ１８によって巻装体１２の高分子膜２を熱溶融させて切り抜くこともできる。

また、図４（ｃ）に示すように切り抜きの手前位置において、巻装体１２の台紙１３を剥離台１９を経由してテンションをかけて巻き取りリール２０で巻き取り、それに同期して巻装体１２の帯状の高分子膜２だけを前記リール１４によってテンションをかけた状態で巻き取り、テンションが作用した状態で停止した切り抜き位置の高分子膜２に媒体槽１の底部を押し当て、媒体槽１の前記減圧Ａを実施して媒体槽１に吸着保持させた後に、裏面側から矢印２１で示すようにカッター２２を押圧して高分子膜２を前記媒体槽１の外周に沿って切り抜くこともできる。

なお、媒体槽１における超音波探触子３は、検査部位８の検査範囲内の全域を自動検査するように運転制御部によって前記基板６の設計ＣＡＤデータに基づいて水平面内を走査移動するように構成されている。

（実施の形態２）
図５は本発明の（実施の形態２）を示す。

図１（ｄ）に示した（実施の形態１）超音波探傷の工程では、媒体槽１の底部を基板６に押し付け、高分子膜２が基板６の検査部位８に密着したが、この（実施の形態２）では、図１（ｄ）のように媒体槽１の底部を基板６に押し付けた後に、媒体槽１の上部に穿設された孔２３から空気Ｃを注入して媒体槽１の内部４をそれまでより加圧することによって、高分子膜２の検査部位８への密着性がより向上し、検査精度が向上する。

なお、空気Ｃ注入する孔２３の位置は、図１（ｃ）の工程で媒体槽１に注入された水５の水面２４よりも上方位置である方が、水５に気泡が混入しないので好ましい。

（実施の形態３）
図６は本発明の（実施の形態３）を示す。

この実施の形態では、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面に、外周から内側に伸びる底面部２５を形成して、上記の各実施の形態に比べて高分子膜２との接触面積を大きくして吸着保持をより確実にしている点だけが異なっている。

（実施の形態４）
図７は本発明の（実施の形態４）を示す。

この実施の形態では、検査部位８に隣接して別部品２６が実装されている場合であっても、検査部位８に前記高分子膜２を密着させることができるように、前記媒体槽１の端面に凹部２７を予め形成したものである。

このように構成することによって、実装密度の高い基板６であっても検査できる。

（実施の形態５）
図８は本発明の（実施の形態５）を示す。

上記の各実施の形態において、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面の材質については言及していなかったが、この（実施の形態５）では媒体槽１の端面には、媒体槽１よりも弾性係数の高い弾性体２８が予め取り付けられている。

このように構成することによって、媒体槽１と高分子膜２との密着性が高まる。

（実施の形態６）
図９は本発明の（実施の形態６）を示す。

図９（ａ）では、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面で開口した孔３０を形成しておき、この孔３０を真空ポンプ（図示せず）に接続して排気することによっても、媒体槽１と高分子膜２との密着性が高めることができる。また、高分子膜２を保持するために別の補持具によって保持していないのでコンパクトにできる。

具体的には、媒体槽１の底面開口を高分子膜２で閉塞して密閉し、孔３０を減圧Ａして前記高分子膜２を媒体槽１の底面開口に吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように水５を注入し、検査部位８に前記高分子膜を接触させた状態で前記媒体槽１の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する。

また、図９（ｂ）に示すように媒体槽１の先端３１を媒体槽１の基端よりも細くして、この先端３１の部分に高分子膜２を被せて、先端３１よりも上方位置において環状のバンド３２などで固定して媒体槽１の先端開口を閉塞するように構成することもできる。このように媒体槽１の先端３１を細くしたことによって、実装密度の高い基板６であっても検査部位８に高分子膜２を密着させて検査することができる。

（実施の形態７）
図１０は本発明の（実施の形態７）を示す。

図１０（ａ）に示す超音波探傷装置では、送受信周波数が互いに異なっている複数の超音波探触子３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・が予め用意されており、検査部位に応じて超音波探触子３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・のうちの何れを選択して前記媒体槽１に取り付けて検査を実行する。この構成によると、検査精度の向上を期待できる。

図１０（ｂ）に示す超音波探傷装置では、上記の各実施の形態のまたはその組み合わせによって構成された複数の超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃが設けられている。ここで、超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃは送受信周波数が互いに異なっている。検査工程では検査部位に応じて超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃのうちの何れを選択して検査を実行するように運転プログラムが構成されている。

この構成によると、検査精度の向上とともに、超音波探傷ユニットの脱着工程をなくせるため、検査効率の向上を期待できる。

なお、上記の各実施の形態では、超音波探触子の取り付けられた超音波探傷ユニットに対して検査対象の基板６を移動させて検査状態を得たが、検査対象の基板６に対して超音波探触子の取り付けられた超音波探傷ユニットを移動させて検査状態を得ることもできる。このように、一方を他方に対して移動させて検査状態を得る運転プログラムの他に、両方を移動させて互いに接近させて前記検査状態を得ることもでき、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することができる。

（実施の形態８）
図１（ａ）〜（ｄ）に示した超音波探傷方法では、図１（ｂ）で媒体槽１の内部４を減圧し、次に図１（ｃ）では媒体槽１の内部４に超音波伝達媒体を注入し、さらに図１（ｄ）に示したように、検査部位８に高分子膜２を押し当てたが、この（実施の形態８）では図１１（ａ）〜（ｄ）に示すように、図１１（ｂ）と図１１（ｃ）の間に図１１（ｂ−１），図１１（ｂ−２）の工程が追加されている点だけが図１とは異なっている。この実施の形態では、検査対象８の表面の凹凸が原因の検査精度の低下を回避できる。

具体的には、図１１（ｂ−１）では、媒体槽１に取り付けが完了した高分子膜２を、アルコール３３に浸す。図１１（ｂ−２）では、媒体槽１に超音波伝達媒体としての水５が注入されて、高分子膜２の中央が下側に膨れる。高分子膜２に付いているアルコール３３は高分子膜２の中央に集まる。

この状態で、検査対象の基板６を載せたステージ７を図１１（ｃ）から（ｄ）に示すように矢印Ｂ方向に上昇させることによって、最初に、高分子膜２の中央に集まったアルコール３３が検査部位８の上面の中央に接触し、検査部位８の上面の中央の凹凸（図示せず）がアルコール３３で濡れる。これによって検査部位８の上面の中央部の凹部にアルコール３３が入る。ステージ７の上昇に伴って、検査部位８の上面の中央から外側に向かって高分子膜２が接触するに伴って、検査部位８の上面の中央部に供給された余分なアルコール３３が、検査部位８の外側に向かって押し広げられながら検査部位８の凹部に充填されることになり、検査部位８と高分子膜２の間に空気が残らない状態で密着する。検査部位８と高分子膜２の間から排除された余分なアルコール３３は、蒸発して基板６の上には残らないので、電気的性能に影響しない。

このように、アルコール３３を検査部位８に付けることによって、検査部位８の表面に凹凸があっても、高分子膜２を検査部位８に密着させることができ、検査部位８の表面の凹部に空気が残留する場合に比べて検査精度が向上する。

なお、前記アルコール３３としてはイソプロピルアルコール，エタノール，メタノールなどを使用することができる。

図１１（ａ）〜（ｄ）では、図１１（ｂ−１）で媒体槽１に取り付けが完了した高分子膜２を、アルコール３３に浸してから、図１１（ｂ−２）で媒体槽１に超音波伝達媒体が注入したが、この点については、媒体槽１に高分子膜２を取り付けた直後に媒体槽１に超音波伝達媒体が注入してから、高分子膜２をアルコール３３に浸し、その後に図１１（ｃ），（ｄ）の工程で高分子膜２と検査部位８とを当接させても同様の効果を期待できる。

（実施の形態９）
なお、図１１に示した（実施の形態８）では、図１１（ｂ−１）において高分子膜２をアルコールで濡らしたが、これは、高分子膜２をアルコールで濡らすのに代わって、高分子膜２に当接する検査部位８の表面にアルコールを供給して濡らしておいても、（実施の形態８）と同様の効果を期待できる。

本発明は生産工程中の検査対象を濡らすことなく正確な超音波探傷検査を実現することができ、各種の半導体装置を実装した電子基板のインライン検査に使用できる。

本発明は電子部品などの検査対象を乾式で検査する超音波探傷方法に関するものである。

昨今のトレンドである小型、薄型の商品を実現するための一つの手段として、実装面積を小さくするために、ＢＧＡやＣＳＰなど裏面電極を有する電子部品が増えてきている。裏面電極部品を用いた際、接合部を光学手段により観察できないため、品質を保証する他の手段が必要となる。

従来より、電子部品の内部を観察する方法として、Ｘ線を用いる方法や超音波探傷方法がある。Ｘ線を用いた方法においては、断線、ショート、体積異常などの検査に対して大きな効果が得られるものの、剥離などの接合部の検査には不向きである。また、超音波探傷方法においては、超音波が音響的に性質の異なる部分において反射するため、剥離などの接合部検査に適しているものの、検査対象を超音波伝達物媒体としての液体に浸漬し、前記液体を介して検査対象に対する超音波の送受信を実行して探傷されているが、液体に浸漬したことによって検査対象の電極材料がイオンとして前記液体に溶出して信頼性の低下と、液体に浸漬するという性質上、生産現場では実施できないという問題がある。

また、（特許文献１）（特許文献２）には、検査対象を液体に浸漬せずに検査する乾式の超音波探傷方法が開示されている。
特開２００３−１７７１１７号公報 特開平１１−３０４７７１号公報

（特許文献１）に記載の乾式の超音波探傷方法では、底面だけが高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容した容器を使用し、前記高分子膜を検査対象に押し当て、超音波伝達媒体と前記高分子シートを介して検査対象に超音波を送信して反射波を受信して探傷するため、（特許文献１）に比べて生産工程中での全品検査などには向いている。しかし、生産工程中で繰り返し検査するためには前記高分子膜の交換が必要であり、前記容器への前記高分子膜の着脱の自動化が難しい構造である。

さらに、（特許文献１）では、前記高分子シートと検査対象との密着性を改善するために、前記高分子シートと検査対象との間の空気を排気する工程が必要であって、検査対象とその周囲とを気密シールする部材を押し当てることができる空きスペースが検査対象に必要であって、実装密度の高い基板などには実施できないのが現状である。

（特許文献２）には配管を検査対象とした検査方法が記載されているが、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象に適用できない。
本発明は、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象に適した超音波探傷装置を提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させるとともに、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項２記載の超音波探傷装置は、請求項１において、超音波探触子が複数あり、交換可能に設置されていることを特徴とする。
本発明の請求項３記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を設け、前記孔の減圧によって前記高分子膜を吸着保持し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項４記載の超音波探傷装置は、底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽の先端を媒体槽の基端よりも細くして、この先端の部分に前記高分子膜を被せて媒体槽の先端開口を閉塞し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成したことを特徴とする。

本発明の請求項５記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査することを特徴とする。

本発明の請求項６記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項７記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項８記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項９記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１０記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１１記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた前記検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の請求項１２記載の超音波探傷方法は、媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することを特徴とする。

本発明の超音波探傷装置と超音波探傷方法によると、実装基板の電子部品のような精密検査を必要とする検査対象を乾式で、しかも生産現場での実施に適した超音波探傷検査を実現できる。

以下、本発明の超音波探傷方法を図１〜図１１に示す各実施の形態に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図４は本発明の（実施の形態１）を示す。

図１（ａ）〜（ｄ）は超音波探傷の工程を示している。
図１（ａ）に示すように超音波探傷装置は、底面だけが開放された媒体槽１と、この媒体槽１の前記底面を閉塞する高分子膜２と、媒体槽１に移動自在に取り付けられ超音波を送受信する超音波探触子３とを有している。高分子膜２としては、シリコンゴム系、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレン、ポリプロピレンなどを使用できる。その膜厚は、数μｍ〜数１０μｍである。

高分子膜２を媒体槽１に取り付ける場合には、図１（ｂ）に示すように高分子膜２を媒体槽１の底面に押し当てるとともに、媒体槽１の内部４を真空装置（図示せず）に接続して減圧Ａして保持させる。

続いて、媒体槽１の内部４の前記減圧Ａを継続しながら、図１（ｃ）に示すように媒体槽１の内部４に超音波伝達媒体としての水５を注入する。この注入量は、超音波探触子３の超音波送受信部となる先端が浸漬される分量である。

このように水５が注入された状態では水５の重みによって高分子膜２の中央が下側に膨れている。この状態で、検査対象の基板６を載せたステージ７を図１（ｃ）から（ｄ）に示すように矢印Ｂ方向に上昇させて、基板６の検査部位８の周りを媒体槽１の底部で覆う。高分子膜２を介して基板６に押し当てられた媒体槽１は、高分子膜２が基板１の検査部位８に沿って弾性変形している。

この状態において、超音波探触子３から送信された超音波が基板６の検査部位８の目的の深さの位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を調節して設定し、超音波を発射し、基板６の検査部位８での反射超音波を超音波探触子３で受信して、送信と受信の時間差から検査部位８の目的の位置の堅さの様子を検査している。

このように、高分子膜２を減圧Ａによって媒体槽１に吸着保持させているため、図１（ｄ）に示すように基板６を高分子膜２を介して媒体槽１の底部に押し付けるだけで、高分子膜２が基板１の検査部位８に沿って弾性変形して、高分子膜２が隙間無く検査部位８に密着し、超音波探触子３の先端部から発射された超音波振動は、水５と高分子膜２を介して正確に検査部位８の目的深さに達し、また高分子膜２と水５を介して超音波探触子３で正確に受信される。

したがって、（特許文献１）などに見られたような、前記高分子シートと検査対象との密着性を改善するために、前記高分子シートと検査対象との間の空気を排気する工程が必要でなく、検査対象とその周囲とを気密シールする部材を押し当てることができる空きスペースも検査対象に必要ではなく、実装密度の高いインラインの基板などの検査に好適である。

なお、検査の繰り返しによって高分子膜２に傷が付くなどして検査結果の精度が低下することが考えられるが、この場合には図２（ａ）に示すように廃棄容器９の上に移動させた状態で前記減圧Ａを解除すると、使用済みの高分子膜２は水５の重みで媒体槽１の底部から外れて、注入されていた水５とともに図２（ｂ）に示すように廃棄容器９の中に落下する。廃棄容器９の内側は、網体１０によって上下に仕切られており、水５は網体１０を通過して廃棄容器９の底部に溜められる。使用済みの高分子膜２は網体１０で選別されて網体１０の上に残る。

このように廃棄容器９に溜められた水５には使用済みの高分子膜２などが混入していないため、汲み上げて図１（ｃ）の工程で媒体槽１への再注入に使用できる。
図３は図１（ａ）のより具体的な様子を示している。

図３（ａ）の巻装体１２は、台紙１３によって裏打ちされた帯状の高分子膜２を巻き上げたもので、この巻装体１２から引き出した帯状体をリール１４に巻き付けてテンションをかけた状態で間欠的に矢印１５方向に巻き取る。１６は作業台である。

テンションが作用した状態で停止した帯状体に、媒体槽１の底部を押し当て、媒体槽１の前記減圧Ａを実施して媒体槽１に吸着保持させた後に、図４（ａ）に矢印１６で示すように前記媒体槽１の外周に沿ってカッター１７を作業台１６の側に押圧して、高分子膜２を必要な形状に切り抜くことによって、前記媒体槽１への高分子膜２の取り付けが完了する。図３（ｂ）は高分子膜２が切り抜かれた帯状体を示している。

なお、ここでは巻装体１２からカッター１７を使用して高分子膜２を必要な形状に切り抜いたが、図４（ｂ）に示すように加熱したヒータ１８によって巻装体１２の高分子膜２を熱溶融させて切り抜くこともできる。

また、図４（ｃ）に示すように切り抜きの手前位置において、巻装体１２の台紙１３を剥離台１９を経由してテンションをかけて巻き取りリール２０で巻き取り、それに同期して巻装体１２の帯状の高分子膜２だけを前記リール１４によってテンションをかけた状態で巻き取り、テンションが作用した状態で停止した切り抜き位置の高分子膜２に媒体槽１の底部を押し当て、媒体槽１の前記減圧Ａを実施して媒体槽１に吸着保持させた後に、裏面側から矢印２１で示すようにカッター２２を押圧して高分子膜２を前記媒体槽１の外周に沿って切り抜くこともできる。

なお、媒体槽１における超音波探触子３は、検査部位８の検査範囲内の全域を自動検査するように運転制御部によって前記基板６の設計ＣＡＤデータに基づいて水平面内を走査移動するように構成されている。

（実施の形態２）
図５は本発明の（実施の形態２）を示す。
図１（ｄ）に示した（実施の形態１）超音波探傷の工程では、媒体槽１の底部を基板６に押し付け、高分子膜２が基板６の検査部位８に密着したが、この（実施の形態２）では、図１（ｄ）のように媒体槽１の底部を基板６に押し付けた後に、媒体槽１の上部に穿設された孔２３から空気Ｃを注入して媒体槽１の内部４をそれまでより加圧することによって、高分子膜２の検査部位８への密着性がより向上し、検査精度が向上する。

なお、空気Ｃ注入する孔２３の位置は、図１（ｃ）の工程で媒体槽１に注入された水５の水面２４よりも上方位置である方が、水５に気泡が混入しないので好ましい。
（実施の形態３）
図６は本発明の（実施の形態３）を示す。

この実施の形態では、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面に、外周から内側に伸びる底面部２５を形成して、上記の各実施の形態に比べて高分子膜２との接触面積を大きくして吸着保持をより確実にしている点だけが異なっている。

（実施の形態４）
図７は本発明の（実施の形態４）を示す。
この実施の形態では、検査部位８に隣接して別部品２６が実装されている場合であっても、検査部位８に前記高分子膜２を密着させることができるように、前記媒体槽１の端面に凹部２７を予め形成したものである。

このように構成することによって、実装密度の高い基板６であっても検査できる。
（実施の形態５）
図８は本発明の（実施の形態５）を示す。

上記の各実施の形態において、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面の材質については言及していなかったが、この（実施の形態５）では媒体槽１の端面には、媒体槽１よりも弾性係数の高い弾性体２８が予め取り付けられている。

このように構成することによって、媒体槽１と高分子膜２との密着性が高まる。
（実施の形態６）
図９は本発明の（実施の形態６）を示す。

図９（ａ）では、高分子膜２が保持される前記媒体槽１の端面で開口した孔３０を形成しておき、この孔３０を真空ポンプ（図示せず）に接続して排気することによっても、媒体槽１と高分子膜２との密着性を高めることができる。また、高分子膜２を保持するために別の補持具によって保持していないのでコンパクトにできる。

具体的には、媒体槽１の底面開口を高分子膜２で閉塞して密閉し、孔３０を減圧Ａして前記高分子膜２を媒体槽１の底面開口に吸着させ、超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように水５を注入し、検査部位８に前記高分子膜を接触させた状態で前記媒体槽１の内部をそれまでより加圧し、前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する。

また、図９（ｂ）に示すように媒体槽１の先端３１を媒体槽１の基端よりも細くして、この先端３１の部分に高分子膜２を被せて、先端３１よりも上方位置において環状のバンド３２などで固定して媒体槽１の先端開口を閉塞するように構成することもできる。このように媒体槽１の先端３１を細くしたことによって、実装密度の高い基板６であっても検査部位８に高分子膜２を密着させて検査することができる。

（実施の形態７）
図１０は本発明の（実施の形態７）を示す。
図１０（ａ）に示す超音波探傷装置では、送受信周波数が互いに異なっている複数の超音波探触子３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・が予め用意されており、検査部位に応じて超音波探触子３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・のうちの何れを選択して前記媒体槽１に取り付けて検査を実行する。この構成によると、検査精度の向上を期待できる。

図１０（ｂ）に示す超音波探傷装置では、上記の各実施の形態のまたはその組み合わせによって構成された複数の超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃが設けられている。ここで、超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃは送受信周波数が互いに異なっている。検査工程では検査部位に応じて超音波探傷ユニット２９ａ，２９ｂ，２９ｃのうちの何れを選択して検査を実行するように運転プログラムが構成されている。

この構成によると、検査精度の向上とともに、超音波探傷ユニットの脱着工程をなくせるため、検査効率の向上を期待できる。
なお、上記の各実施の形態では、超音波探触子の取り付けられた超音波探傷ユニットに対して検査対象の基板６を移動させて検査状態を得たが、検査対象の基板６に対して超音波探触子の取り付けられた超音波探傷ユニットを移動させて検査状態を得ることもできる。このように、一方を他方に対して移動させて検査状態を得る運転プログラムの他に、両方を移動させて互いに接近させて前記検査状態を得ることもでき、検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査することができる。

（実施の形態８）
図１（ａ）〜（ｄ）に示した超音波探傷方法では、図１（ｂ）で媒体槽１の内部４を減圧し、次に図１（ｃ）では媒体槽１の内部４に超音波伝達媒体を注入し、さらに図１（ｄ）に示したように、検査部位８に高分子膜２を押し当てたが、この（実施の形態８）では図１１（ａ）〜（ｄ）に示すように、図１１（ｂ）と図１１（ｃ）の間に図１１（ｂ−１），図１１（ｂ−２）の工程が追加されている点だけが図１とは異なっている。この実施の形態では、検査対象８の表面の凹凸が原因の検査精度の低下を回避できる。

具体的には、図１１（ｂ−１）では、媒体槽１に取り付けが完了した高分子膜２を、アルコール３３に浸す。図１１（ｂ−２）では、媒体槽１に超音波伝達媒体としての水５が注入されて、高分子膜２の中央が下側に膨れる。高分子膜２に付いているアルコール３３は高分子膜２の中央に集まる。

この状態で、検査対象の基板６を載せたステージ７を図１１（ｃ）から（ｄ）に示すように矢印Ｂ方向に上昇させることによって、最初に、高分子膜２の中央に集まったアルコール３３が検査部位８の上面の中央に接触し、検査部位８の上面の中央の凹凸（図示せず）がアルコール３３で濡れる。これによって検査部位８の上面の中央部の凹部にアルコール３３が入る。ステージ７の上昇に伴って、検査部位８の上面の中央から外側に向かって高分子膜２が接触するに伴って、検査部位８の上面の中央部に供給された余分なアルコール３３が、検査部位８の外側に向かって押し広げられながら検査部位８の凹部に充填されることになり、検査部位８と高分子膜２の間に空気が残らない状態で密着する。検査部位８と高分子膜２の間から排除された余分なアルコール３３は、蒸発して基板６の上には残らないので、電気的性能に影響しない。

このように、アルコール３３を検査部位８に付けることによって、検査部位８の表面に凹凸があっても、高分子膜２を検査部位８に密着させることができ、検査部位８の表面の凹部に空気が残留する場合に比べて検査精度が向上する。

なお、前記アルコール３３としてはイソプロピルアルコール，エタノール，メタノールなどを使用することができる。
図１１（ａ）〜（ｄ）では、図１１（ｂ−１）で媒体槽１に取り付けが完了した高分子膜２を、アルコール３３に浸してから、図１１（ｂ−２）で媒体槽１に超音波伝達媒体が注入したが、この点については、媒体槽１に高分子膜２を取り付けた直後に媒体槽１に超音波伝達媒体が注入してから、高分子膜２をアルコール３３に浸し、その後に図１１（ｃ），（ｄ）の工程で高分子膜２と検査部位８とを当接させても同様の効果を期待できる。

（実施の形態９）
なお、図１１に示した（実施の形態８）では、図１１（ｂ−１）において高分子膜２をアルコールで濡らしたが、これは、高分子膜２をアルコールで濡らすのに代わって、高分子膜２に当接する検査部位８の表面にアルコールを供給して濡らしておいても、（実施の形態８）と同様の効果を期待できる。

本発明は生産工程中の検査対象を濡らすことなく正確な超音波探傷検査を実現することができ、各種の半導体装置を実装した電子基板のインライン検査に使用できる。

本発明の（実施の形態１）の超音波探傷方法の検査工程図 同実施の形態において損傷した高分子膜を廃棄する工程図 同実施の形態において高分子膜を装着する工程図 同実施の形態において高分子膜を切り抜く工程図 本発明の（実施の形態２）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態３）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態４）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態５）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態６）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態７）の超音波探傷方法の検査工程図 本発明の（実施の形態８）の超音波探傷方法の検査工程図

符号の説明

１ 媒体槽
２ 高分子膜
３ 超音波探触子
４ 媒体槽の内部
５ 水
６ 基板
７ ステージ
８ 検査部位
９ 廃棄容器
１０ 網体
１２ 巻装体
１３ 台紙
１４ リール
１７ カッター
１８ ヒータ
１９ 剥離台
２０ 巻き取りリール
２３ 孔
２５ 底面部
２７ 凹部
２８ 弾性体
３０ 孔

Claims (12)

1. 底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、
   前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させるとともに、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査するよう構成した超音波探傷装置。
2. 超音波探触子が複数あり、交換可能に設置されている請求項１記載の超音波探傷装置。
3. 底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、
   前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を設け、前記孔の減圧によって前記高分子膜を吸着保持し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成した
   超音波探傷装置。
4. 底面が高分子膜で閉塞され内部に超音波伝達媒体を収容して密閉した媒体槽と、
   前記媒体槽に収容された超音波伝達媒体に少なくとも先端が浸漬された超音波探触子とを設け、前記媒体槽の先端を媒体槽の基端よりも細くして、この先端の部分に前記高分子膜を被せて媒体槽の先端開口を閉塞し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査するよう構成した
   超音波探傷装置。
5. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記高分子膜を媒体槽の底部に吸着させ、
   前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信された超音波が検査対象位置において反射して前記超音波探触子で受信するように、超音波探触子と前記検査対象との距離を設定して検査する
   超音波探傷方法。
6. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、
   超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させて前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
   超音波探傷方法。
7. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、
   前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
   前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
   超音波探傷方法。
8. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、
   超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
   前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
   超音波探傷方法。
9. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、
   前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
   超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、
   検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
   前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
   超音波探傷方法。
10. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、
    超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
    超音波伝達媒体を前記媒体槽の内部に注入する前または注入した後に前記高分子膜をアルコールで濡らし、
    検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
    前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
    超音波探傷方法。
11. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽の内部を減圧して前記高分子膜を前記媒体槽の底部に吸着させ、
    前記媒体槽の内部を減圧しながら超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
    検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた前記検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
    前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
    超音波探傷方法。
12. 媒体槽の底面開口を高分子膜で閉塞して密閉し、前記媒体槽には底面側の端面で開口した孔を減圧して前記高分子膜を吸着させ、
    超音波探触子の少なくとも先端が浸漬されるように超音波伝達媒体を注入し、
    検査対象と前記媒体槽とを相対移動させて表面がアルコールで濡れた検査対象と前記高分子膜とを接触させた状態で前記媒体槽の内部をそれまでより加圧し、
    前記超音波探触子から送信して検査対象で反射した超音波を前記超音波探触子で受信して検査する
    超音波探傷方法。

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