CN101069095B - 超声波探伤方法和超声波探伤装置 - Google Patents

Abstract

用高分子膜(2)封住介质槽(1)的底面开口并密封(a)，对介质槽(1)的内部(4)减压并使高分子膜(2)吸附在介质槽(1)的底部(b)，一面对介质槽(1)的内部(4)减压，一面注入超声波传导介质(5)，使得至少浸渍超声波探头(3)的前端(c)，在使检查对象(6)和介质槽(1)相对移动并使检查对象(6)和上述高分子膜(2)接触的状态下，向介质槽(1)的内部施加更大的压力(d)，用超声波探头(3)来接收从所述超声波探头(3)发送并由检查对象反射的超声波来进行检查，从而能够容易地进行生产工序中的高分子膜(2)的更换，而且对于检查对象即使没有检查对象和其周围的空间，也能够进行很好的检查。

Description

超声波探伤方法和超声波探伤装置

技术领域

本发明涉及一种用干式来检查电子元器件等检查对象的超声波探伤方法。

背景技术

作为为了实现近来流行的小型、薄型的商品的一个方法，是为了减小安装面积，而不断增加具有BGA或CSP等背面电极的电子器件。当使用背面电极器件时，因为不能通过光学装置来观察接合部，所以需要保证品质的其它装置。

过去作为观察电子器件的内部的方法，有使用X射线的方法和超声波探伤方法。在使用X射线的方法中，虽然对于断线、短路、体积异常等的检查能得到很好的效果，但是不适于剥离等的接合部的检查。另外，在超声波探伤方法中，由于超声波在音响性质不同的部分产生反射，所以适用于剥离等的接合部检查，但是要将检查对象浸渍在作为超声波传导介质的液体中，再通过上述液体对检查对象进行超声波的发送接受，来进行探伤，但是存在的问题是，通过浸渍在液体中，检查对象的电极材料将作为离子溶解析出在上述液体中，从而可靠性降低，由于浸渍在液体中的性质，则无法在生产现场中实现。

另外，在(专利文献1)(专利文献2)中揭示了不将检查对象浸渍在液体中而进行检查的干式的超声波探伤方法。

专利文献1：特开2003—177117号公报

专利文献2：特开平11—304771号公报

在(专利文献1)中所述的干式超声波探伤方法中，因为使用只有底面用高分子膜封闭的、内部装有超声波传导介质的容器，并使上述高分子膜与检查对象压紧，再通过上述超声波传导介质和高分子膜将超声波向检查对象发送，然后接收反射波来进行探伤，所以与(专利文献1)相比，要面向的是生产工序中的全品检查等。但是，在生产工序中为了反复检查，而需要更换上述高分子膜，该结构难以实现对上述容器装拆上述高分子膜的自动化。

而且，在(专利文献1)中，为了改善上述高分子膜和检查对象的附着性，需要排出上述高分子膜和检查对象之间的空气的工序，对于检查对象需要能够压紧将检查对象和其周围气密的构件的空间，现状是对于安装密度高的基板等不能够实施。

在(专利文献1)中揭示了将管道作为检查对象的检查方法，但是不适用于像安装基板的电子器件那样需要精密检查的检查对象。

本发明的目的在于提供适用于像安装基板的电子器件那样需要精密检查的检查对象的超声波探伤装置。

发明内容

本发明的权利要求1中记载的超声波探身装置的特征在于：设置用高分子膜封闭底面并在内部装有超声波传导介质且密封了的介质槽、以及至少将前端浸渍在上述介质槽中装有的超声波传导介质中的超声波探头，使上述高分子膜吸附在介质槽的底部，同时使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，然后设定超声波探头和上述检查对象之间的距离，从而用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求2中记载的超声波探伤装置的特征在于：在权利要求1中设置有多个能够更换的超声波探头。

本发明的权利要求3中记载的超声波探伤装置的特征在于：设置用高分子膜封闭底面并在内部装有超声波传导介质且密封了的介质槽、以及至少将前端浸渍在上述介质槽中装有的超声波传导介质中的超声波探头，在上述介质槽的底面侧的端面设置开口的孔，并且利用上述孔的减压来吸附保持上述高分子膜，使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求4中记载的超声波探伤装置的特征在于：设置用高分子膜封闭底面并在内部装有超声波传导介质且密封了的介质槽、以及至少将前端浸渍在上述介质槽中装有的超声波传导介质中的超声波探头，使上述介质槽的前端比介质槽的底端细，再使该前端的部分覆盖上述高分子膜，并封闭介质槽的前端开口，使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求5中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，并使上述高分子膜吸附在介质槽的底部，一面将上述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，设定超声波探头和上述检查对象之间的距离，使得从上述超声波探头发送的超声波在检查对象位置上反射并用上述超声波探头接收，来进行检查。

本发明的权利要求6中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在上述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使上述高分子膜吸附，注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求7中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将上述介质槽的内部进行减压，使上述高分子膜吸附在上述介质槽的底部，一面将上述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求8中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在上述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使上述高分子膜吸附，注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求9中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将上述介质槽的内部进行减压，使上述高分子膜吸附在上述介质槽的底部，一面将上述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在向上述介质槽内部注入超声波传导介质前或者注入后用酒精沾湿上述高分子膜，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求10中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在上述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使上述高分子膜吸附，注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在向上述介质槽内部注入超声波传导介质前或者注入后用酒精沾湿上述高分子膜，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求11中记载的超声波探伤装置的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将上述介质槽的内部进行减压，使上述高分子膜吸附在上述介质槽的底部，一边将上述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使表面用酒精沾湿了的上述检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头信息并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

本发明的权利要求12中记载的超声波探伤方法的特征在于：用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在上述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使上述高分子膜吸附，注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，在使检查对象和上述介质槽相对移动并使表面用酒精沾湿了的上述检查对象和上述高分子膜接触的状态下向上述介质槽的内部施加更大的压力，用上述超声波探头来接收从上述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

如果采用本发明的超声波探伤装置和超声波探伤方法，则能够实现对像安装基板的电子器件那样需要精密检查的检查对象采用干式、且适用于生产现场实施的超声波探伤检查。

附图说明

图1是本发明的(实施形态1)的超声波探伤方法的检查工序图。

图2是在同一实施形态中废弃损伤了的高分子膜的工序图。

图3是在同一实施形态中安装高分子膜的工序图。

图4是在同一实施形态中切除高分子膜的工序图。

图5是本发明的(实施形态2)的超声波探伤方法的检查工序图。

图6是本发明的(实施形态3)的超声波探伤方法的检查工序图。

图7是本发明的(实施形态4)的超声波探伤方法的检查工序图。

图8是本发明的(实施形态5)的超声波探伤方法的检查工序图。

图9是本发明的(实施形态6)的超声波探伤方法的检查工序图。

图10是本发明的(实施形态7)的超声波探伤方法的检查工序图。

图11是本发明的(实施形态8)的超声波探伤方法的检查工序图。

具体实施方式

下面，根据图1～图11所示的各实施形态来说明本发明的超声波探伤方法。

(实施形态1)

图1～图4表示本发明的(实施形态1)。

图1(a)～(d)表示超声波探伤的工序。

如图1(a)所示，超声波探伤装置具有：只有底面开放的介质槽1；封闭该介质槽1的上述底面的高分子膜2；以及安装在介质槽1中并能够自由移动的、且接收发送超声波的超声波探头3。作为高分子膜2可以使用硅橡胶系、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。其膜的厚度为数μm～数10μm。

当对介质槽1安装高分子膜2时，如图1(b)所示，使高分子膜2与介质槽2的底面压紧，同时将介质槽1的内部4与真空装置(未图示)连接，进行减压A并保持。

然后，一面继续介质槽1的内部4的上述减压A，一面如图1(c)所示，向介质槽1的内部4注入作为超声波传导介质的水5。该注入量为能够浸渍作为超声波探头3的超声波发送接收部的前端的分量。

在这样注入了水5的状态下，利用水5的重量，高分子膜2的中央向下侧膨胀。在这种状态下，如图1(c)至图1(d)所示，使载有检查对象的基板6的平台7沿着箭头B的方向上升，用介质槽1的底部来覆盖基板6的检查部位8的周围。通过高分子膜2与基板6压紧的介质槽1的高分子膜2沿着基板1的检查部位8发生弹性形变。

在该状态下，为了使得由超声波探头3发送来的超声波在基板6的检查部位8的目标深度的位置上发生反射，并用上述超声波探头接收，则调节并设定超声波探头和上述检查对象之间的距离，发射超声波，用超声波探头3接收在基板6的检查部位8上的反射超声波，并根据发送和接收的时间差来对检查部位8的目标位置的硬度的情况进行检查。

这样，由于通过减压A将高分子膜2吸附保持在介质槽1上，因此如图1(d)所示，仅通过高分子膜2使基板6与介质槽1的底部压紧，高分子膜2就沿着基板1的检查部位8发生弹性形变，高分子膜2完全无间隙地与检查部位8紧贴，由超声波探头3的前端发射出的超声波振动通过水5和高分子膜2而正确地达到检查部位8的目标深度，并通过高分子膜2和水5用超声波探头3来正确地接收。

因此，不需要如(专利文献1)等中所述的那样，为了改善上述高分子膜和检查对象之间的紧贴性，而进行排出上述高分子膜和检查对象之间的空气的工序，也不需要对检查对象设置能够压紧密封检查对象和其周围的构件的空间，适用于对于安装密度高的在线基板等的检查。

另外，考虑到由于反复的检查操作使高分子膜2受损等而降低检查结果的精度的情况，这时如图2(a)所示，如果在使其移动到废弃容器9上的状态下解除上述减压A，则使用完的高分子膜2由于水5的重量而从介质槽1的底部脱落，如图2(b)所示，与注入的水5一起落入废弃容器9之中。废弃容器9的内侧用网体10分成上下部分，水5通过网体10积存在废弃容器9的底部。使用完的高分子膜2用网体10来筛选，并残留在网体10上。

这样，为了不让使用完的高分子膜2等混入积存在废弃容器9中的水5中，将它吸上并能够在图1(c)的工序中再注入到介质槽1中。

图3(a)表示比图1(a)更具体的情况。

图3(a)的卷装体12是将利用硬纸13裱合的带状的高分子膜2卷起来而形成的，将从该卷装体12抽出来的带状体卷绕在卷轴14上，并在张紧的状态下间歇地沿着箭头15方向卷绕。16是操作台。

将介质槽1的底部压紧张力作用的状态下停止的带状体，在实施介质槽1的上述减压A而使其吸附保持在介质槽1上后，如图4(a)的箭头16所示，沿着上述介质槽1的外周使刀具17按压操作台16的一侧，将高分子膜2切割成所需要的形状，从而完成高分子膜2对介质槽1的安装。图3(b)表示切割了高分子膜1后的带状体。

另外，这里是使用刀具17从卷装体12将高分子膜2切割成所需要的形状，但是也可以如图4(b)所示，利用加热了的加热器18来使卷装体12的高分子膜2熔化而形成。

另外，也可以如图4(c)所示，在就要切割的前面位置上，经过剥离台19施加张力用卷绕轴20来卷绕卷装体12的硬纸13，而且同时通过上述卷轴14在施加张力的状态下仅仅卷绕卷装体12的带状高分子膜2，在施加张力的状态下将介质槽1的底部压紧停止了的切割位置的高分子膜2，在实施介质槽1的上述减压A并使其吸附保持在介质槽1上后，从背面侧如箭头21所示按压刀具22，沿着上述介质槽1的外周切割高分子膜2。

另外，介质槽1上的超声波探头3这样构成，使其通过运转控制部并根据上述基板6的设计CAD数据，在水平面内扫描移动，从而自动对检查部位8的检查范围内的全部区域进行检查。

(实施形态2)

图5表示本发明的(实施形态2)。

在图1(d)所示的(实施形态1)超声波探伤工序中，是将介质槽1的底部压紧在基板6上，高分子膜2与基板6的检查部位8紧贴，但是在该(实施形态2)中，在如图1(d)所示将介质槽1的底部压紧在基板6上以后，通过从穿通介质槽1的上部而设置的孔23注入空气C，向介质槽1内部施加更大的压力，从而更提高与高分子膜2的检查部位8的紧贴性，提高了检查精度。

另外，空气C注入的孔23的位置最好是比图1(c)的工序中向介质槽1注入的水5的水面24更上方的位置，这样由于在水5中不混入气泡，所以较好。

(实施形态3)

图6表示本发明的(实施形态3)。

在该实施形态中，在保持高分子膜2的上述介质槽1的端面上形成从外周延伸到内侧的底面部25，与上述各实施形态相比区别仅在于：增大与高分子膜2的接触面积，能够更确实地保持吸附。

(实施形态4)

图7表示本发明的(实施形态4)。

在该实施形态中，在上述介质槽1的端面上预先形成凹部27，这样即使在与检查部位8相邻安装了其它元器件26的情况下，也能够使上述高分子膜2紧贴在检查部位8上。

利用这样的结构，即使是安装密度高的基板6也能够检查。

(实施形态5)

图8表示本发明的(实施形态5)。

在上述各实施形态中，没有说明过保持高分子膜2的上述介质槽1的端面的材料，而在该(实施形态5)中，在介质槽1的端面上预先安装比介质槽1的弹性系数更高的弹性体28。

利用这样的结构，能够提高介质槽1和高分子膜2之间的紧贴性。

(实施形态6)

图9表示本发明的(实施形态6)。

在图9(a)中，在保持高分子膜2的上述介质槽1的端面形成开口的孔30，通过该孔30与真空泵(未图示)连接来排气，也能够提高介质槽1和高分子膜2之间的紧贴性。另外，由于为了保持高分子膜2而没有使用其它辅助工具来保持，则能够结构紧凑。

具体来说，用高分子膜2封住并气密介质槽1的底面开口，对孔30进行减压A，使上述高分子膜2吸附在介质槽1的底面开口上，注入水5，使其至少能够浸渍超声波探头的前端，并在使上述高分子膜与检查部位8接触的状态下向上述介质槽1的内部施加更大的压力，再用上述超声波探头接收由上述超声波探头发送并由检查对象反射回来的超声波，来进行检查。

另外，也可以是如图9(b)所示的结构，即介质槽1的前端比介质槽1的底端更细，使高分子膜2覆盖在该前端31的部分上，并在比前端31更靠近上方的位置上固定环状的箍套32等，从而封住介质槽1的前端开口。这样通过使介质槽1的前端31变细，则即使是安装密度高的基板6，也能够使高分子膜2紧贴在检查部位8上，并进行检查。

(实施形态7)

图10表示本发明的(实施形态7)。

在如图10(a)所示的超声波探伤装置中，预先准备发送接收频率互不相同的多个超声波探头3a、3b、3c、…，对应检查部位来选择超声波探头3a、3b、3c、…中的某一个，并安装在上述介质槽1中实行检查。如果采用这样的结构，则能够期待提高检查精度。

在如图10(b)所示的超声波探伤装置中，设置根据上述各实施形态或它们的组合来形成的多个超声波探伤单元29a、29b、29c。这里，超声波探伤单元29a、29b、29c的发送接收频率互不相同。在检查工序中构成运转程序，从而根据检查部位来选择超声波探伤单元29a、29b、29c中的某一个并实行检查。

如果采用这样的结构，则能够提高检查精度，同时因为省掉了超声波探伤单元的装拆工序，所以能够期待提高检查效率。

另外，在上述各实施形态中，是相对于安装了超声波探头的超声波探伤单元使检查对象的基板6移动并得到检查状态，但是相对于检查对象的基板6使安装了超声波探头的超声波探伤单元移动也能够得到检查状态。这样，除了使一方相对于另一方移动而得到检查状态的运转程序以外，使两者移动并相互接近也能够得到上述检查状态，能够使检查对象和上述介质槽相对移动并使检查对象和上述高分子膜接触，并用上述超声波探头接收由上述超声波探头发送再由检查对象反射了的超声波，来进行检查。

(实施形态8)

在图1(a)～(d)所示的超声波探伤方法中，是在图1(b)中对介质槽1的内部4进行减压，然后在图1(c)中向介质槽1的内部4注入超声波传导介质，再如图1(d)所示，使高分子膜2与检查部位8压紧，但是在本(实施形态8)中，如图11(a)～(d)所示，与图1不同之处仅在于：在图11(b)和图11(c)之间附加了图11(b-1)、图11(b-2)的工序。在本实施形态中，能够避免由于检查对象8的表面凹凸而造成的检查精度降低。

具体来说，在图11(b-1)中，将安装在介质槽1上的高分子膜2浸渍在酒精33中。在图11(b-2)中，将作为超声波传导介质的水5注入介质槽1中，并使高分子膜2的中央向下膨胀。附着在高分子膜2上的酒精33聚集在高分子膜2的中央。

在该状态下，如图11(c)至(d)所示，沿箭头B方向使载有检查对象的基板6的平台7上升，从而最初聚集在高分子膜2中央的酒精33与检查部位8上面的中央接触，检查部位8上面的中央的凹凸(未图示)用酒精33来浸湿。通过这样将酒精33加入检查部位8上面的中央部的凹部。随着平台7的上升，从检查部位8的上面的中央向外侧与高分子膜2接触，提供给检查部位8上面的中央部的多余的酒精33向着检查部位8的外侧扩展，同时填充到检查部位8的凹部中，在检查部位8和高分子膜2之间不残留空气的状态下紧贴。因为从检查部位8和高分子膜2之间排出的多余的酒精33蒸发，不会残留在基板6上，所以不会对电性能产生影响。

这样，通过在检查部位8上附着酒精33，即使在检查部位8的表面上存在凹凸，也能够使高分子膜2紧贴在检查部位8上，与在检查部位8表面的凹部中残留空气的情况相比，能够提高检查精度。

另外，上述酒精33能够使用异丙醇、乙醇、甲醇等。

在图11(a)～(d)中，是在图11(b-1)中将已经安装在介质槽1上的高分子膜2浸渍在酒精33中，然后在图11(b-2)中将超声波传导介质注入到介质槽1中，但是关于这一点，即使在将高分子膜2安装在介质槽1上之后马上将超声波传导介质注入介质槽1中，然后将高分子膜2浸渍在酒精33中，接着在图11(c)、(d)的工序中使高分子膜2和检查部位8接触，也能够得到相同的效果。

(实施形态9)

另外，在如图11所示的(实施形态8)中，是在图11(b-1)中用酒精浸湿了高分子膜2，但是这里也可以向与高分子膜2接触的检查部位8的表面上提供酒精来浸湿，以代替用酒精来浸湿高分子膜2，这样也可以得到与(实施形态8)同样的效果。

工业上的实用性

本发明不用浸湿生产工序中的检查对象，而能够实现正确的超声波探伤检查，并且能够用于安装了各种半导体装置的电子基板的在线检查。

Claims (12)

1.一种超声波探伤装置，其特征在于，

设置有介质槽和超声波探头，

所述介质槽中，用高分子膜封闭底面的开口而密封所述介质槽，使内部减压，将所述高分子膜吸附在所述底面，并在所述内部注入了超声波传导介质，

所述超声波探头至少将前端浸渍在所述介质槽中装有的超声波传导介质中，

同时使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触，然后设定所述超声波探头和所述检查对象之间的距离，使得从所述超声波探头发送的超声波经由所述高分子膜后在检查对象位置处反射，再经由所述高分子膜后用所述超声波探头来接收，来进行检查。

2.如权利要求1中所述的超声波探伤装置，其特征在于，

设置有多个能够更换的超声波探头。

3.一种超声波探伤装置，其特征在于，

设置有介质槽和超声波探头，

所述介质槽中，用高分子膜封闭底面的开口而密封所述介质槽，使内部减压，将所述高分子膜吸附在所述底面，并使在底面侧的端面开口的孔减压，使所述高分子膜吸附保持在所述底面而密封所述介质槽，在所述内部注入了超声波传导介质，

所述超声波探头至少将前端浸渍在所述介质槽中装有的超声波传导介质中的超声波探头，

使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触，设定所述超声波探头和所述检查对象之间的距离，使得从所述超声波探头发送的超声波经由所述高分子膜后在检查对象位置处反射，再经由所述高分子膜后用所述超声波探头来接收，来进行检查。

4.一种超声波探伤装置，

设置有介质槽和超声波探头，

所述介质槽中，用高分子膜封闭底面的开口而密封所述介质槽，使内部减压，将所述高分子膜吸附在所述底面，并在所述内部注入了超声波传导介质，

所述超声波探头至少将前端浸渍在所述介质槽中装有的超声波传导介质中，

其特征在于，

使所述介质槽的前端比介质槽的底端细，再使该前端的部分覆盖所述高分子膜，并封闭所述介质槽的前端开口，

使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触，设定所述超声波探头和所述检查对象之间的距离，使得从所述超声波探头发送的超声波经由所述高分子膜后在检查对象位置处反射，再经由所述高分子膜后用所述超声波探头来接收，来进行检查。

5.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，并使所述高分子膜吸附在介质槽的底部，

一面将所述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触，设定超声波探头和所述检查对象之间的距离，使得从所述超声波探头发送的超声波在检查对象位置上反射并用所述超声波探头接收，来进行检查。

6.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在所述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使所述高分子膜吸附，注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触，用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

7.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将所述介质槽的内部进行减压，使所述高分子膜吸附在所述介质槽的底部，

一面将所述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

8.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在所述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使所述高分子膜吸附，

注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

9.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将所述介质槽的内部进行减压，使所述高分子膜吸附在所述介质槽的底部，

一面将所述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在向所述介质槽内部注入超声波传导介质前或者注入后用酒精沾湿所述高分子膜，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

10.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在所述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使所述高分子膜吸附，

注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在向所述介质槽内部注入超声波传导介质前或者注入后用酒精沾湿所述高分子膜，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

11.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，将所述介质槽的内部进行减压，使所述高分子膜吸附在所述介质槽的底部，

一边将所述介质槽的内部减压，一面注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使表面用酒精沾湿了的所述检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头信息并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

12.一种超声波探伤方法，其特征在于，

用高分子膜封住介质槽的底面开口并密封，在所述介质槽中将底面侧的端面上开口的孔减压，使所述高分子膜吸附，

注入超声波传导介质，使得至少浸渍超声波探头的前端，

在使检查对象和所述介质槽相对移动并使表面用酒精沾湿了的所述检查对象和所述高分子膜接触的状态下向所述介质槽的内部施加更大的压力，

用所述超声波探头来接收从所述超声波探头发送并由检查对象反射的超声波，来进行检查。

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