JPWO2005092946A1 - ナフチレン系重合体及びその合成方法、並びにその用途 - Google Patents
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- 0 C*(C)c(c1ccccc11)ccc1Oc1ccc(C2(C3C(C4)CC2CC4C3)c(cc2)ccc2Oc2ccc(C(C)(C)C)c3c2cccc3)cc1 Chemical compound C*(C)c(c1ccccc11)ccc1Oc1ccc(C2(C3C(C4)CC2CC4C3)c(cc2)ccc2Oc2ccc(C(C)(C)C)c3c2cccc3)cc1 0.000 description 8
- PJZDFZVJFVSKIZ-UHFFFAOYSA-N CC(C=N)(c(cc1)ccc1OC)c(cc1)ccc1OC Chemical compound CC(C=N)(c(cc1)ccc1OC)c(cc1)ccc1OC PJZDFZVJFVSKIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZJBBFPYUGRIBC-UHFFFAOYSA-N COc1ccc(C(C2)(CC(C3)CC2C2)C32c(cc2)ccc2OC)cc1 Chemical compound COc1ccc(C(C2)(CC(C3)CC2C2)C32c(cc2)ccc2OC)cc1 UZJBBFPYUGRIBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGSQXIZYNREEMJ-UHFFFAOYSA-N COc1ccc(C2(C3C(C4)CC2CC4C3)c(cc2)ccc2OC)cc1 Chemical compound COc1ccc(C2(C3C(C4)CC2CC4C3)c(cc2)ccc2OC)cc1 NGSQXIZYNREEMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RASOMBIUQAAPQK-UHFFFAOYSA-N COc1ccc(C2(CCCCC2)c(cc2)ccc2OC)cc1 Chemical compound COc1ccc(C2(CCCCC2)c(cc2)ccc2OC)cc1 RASOMBIUQAAPQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
式(1)で表わされる脂環構造含有ナフチレン系重合体。【化58】[式中、R1は脂環式二官能性基、含ヘテロ原子脂環式二官能性基、又はこれらが組合わさった基、R2は単結合、−(CR32)m−、−O−、−S−、−NR3−、−CO−、−COO−、−NH−CO−、芳香族基、含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらが組合わさった基、R3はアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、芳香族基、シロキシ基含有基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらが組み合わさった置換基、R4はアルキル基、芳香族基、アルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらが組合わさった置換基、aは0〜6、mは1〜50、nは2〜100万である。]
Description
本発明は、電気・電子分野における低誘電材料、高強度材料、耐熱材料として有用な、新規なナフチレン系重合体及びその合成方法、並びにその用途に関する。
低誘電材料は、電機・電子部品における材料として、帯電や抵抗値上昇等の問題点を解消するために広く用いられている。低誘電材料は、経済性向上、誘電率低下以外に、発熱を伴う部分に用いられたり、薄膜として使用されることが多いため、耐熱性向上、強度向上等も同時に求められている。特に、低誘電材料は、半導体の層間絶縁膜材料として有用であり、低誘電率、高耐熱性、高強度、経済性を具備した材料の開発が活発に行われている。
低誘電材料の主な用途である半導体の層間絶縁膜材料としては、現在シロキサン系化合物が中心に用いられている。シロキサン系化合物は、主にケイ素、酸素から構成されている。分子の双極子モーメントが大きいほど誘電率は高くなるため、非共有電子対を多く有するシロキサン系化合物等は低誘電材料として不利である。しかし、今までは誘電率の要求値がk=4〜3程度であったため、強度、シリコンウエハに対する密着性のバランスから、シロキサン系化合物が用いられていた。
近年、半導体高性能化の要求から半導体回路幅の微細化が求められており、誘電率をさらに低くすることが必要になってきた。その際には、半導体チップ全体の強度や物理的ストレス等による絶縁破壊の問題も深刻になるため、薄膜としての強度も維持する必要がある。低誘電率化の観点からシロキサン系化合物は、無機シロキサン系化合物から有機シロキサン系化合物に、さらにコントロールされたナノメートルレベルの空孔の導入と技術が進展してきた。
しかし、さらなる低誘電率化に対応するには、空孔の導入量を増やすと強度の低下を招くことが問題になる。そこで有機系ポリマー等の新規材料が提案されてきたが、絶縁性、低誘電率と高強度に加えて、特に、半導体製造時にかかる熱負荷に耐える高耐熱性を具備する材料は見当たらない。また、特許文献1に例示されるボラジン−ケイ素系高分子のような有機/無機重合体も提案されているが、低誘電率、高強度、高耐熱性を具備するが、重合に必要なプラチナ触媒を除去する工程がないため、残留プラチナ原子により生じる絶縁破壊や低安定性の点で問題が残っている。
このように、従来公知の層間絶縁膜材料に見られる誘電率化のためにはナノメートルレベルの空孔導入量を増加する手法が取られているが、空孔導入量の増加は強度低下を引き起こす。即ち、強度低下を伴わず誘電率を低下させるのには限界がある。
そこで、本発明は、従来公知の低誘電材料を用いる層間絶縁膜材料への空孔導入量の増加により生ずる種々の問題点を解消し、空孔導入を必要としない層間絶縁膜材料として優れた低誘電材料、高強度材料、耐熱材料を提供することを目的とするものである。
現状のナノメートルレベルの空孔導入手法では、強度低下せずに誘電率を低下させるのには限界があるため、オングストロームレベルの空孔を導入する必要があり、それは原子レベルのサイズの空孔、即ち、分子間自由体積を増加させることに他ならない。そのような材料の具体的な構造として、本発明者らは、アダマンタン構造等の特定構造を導入することを考案し、その結果、誘電率低下、耐熱性向上、強度向上が可能となることを見出し、本発明を完成させた。
特開2002−359240号公報
そこで、本発明は、従来公知の低誘電材料を用いる層間絶縁膜材料への空孔導入量の増加により生ずる種々の問題点を解消し、空孔導入を必要としない層間絶縁膜材料として優れた低誘電材料、高強度材料、耐熱材料を提供することを目的とするものである。
現状のナノメートルレベルの空孔導入手法では、強度低下せずに誘電率を低下させるのには限界があるため、オングストロームレベルの空孔を導入する必要があり、それは原子レベルのサイズの空孔、即ち、分子間自由体積を増加させることに他ならない。そのような材料の具体的な構造として、本発明者らは、アダマンタン構造等の特定構造を導入することを考案し、その結果、誘電率低下、耐熱性向上、強度向上が可能となることを見出し、本発明を完成させた。
本発明によれば、以下のナフチレン系重合体等が提供される。
1.式(1)で表わされる脂環構造含有ナフチレン系重合体。
[式中、R1は、置換又は非置換の炭素数5〜50の脂環式二官能性基、置換又は非置換の炭素数4〜50の含ヘテロ原子脂環式二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数である。]
2.式(2)又は(3)で表わされるアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体。
[式中、R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。]
3.式(4)又は(5)で表わされるモノマーを重合する2に記載のアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成方法。
[式中、R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの二官能性基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。]
4.下記式(21)で表わされるナフチレン系重合体。
[式中、R10は、同一でも異なっていてもよく、置換又は無置換の下記式(22)に示される基、及び置換又は無置換の下記式(23)に示されるアダマンタン含有基、から選択される二官能性基であり、nは3〜100万の整数である。]
[式中、R101、R102は同一でも異なってもよく、水素、又は炭素数1〜20の直鎖又は分枝アルキル基であり、R101とR102は結合してモノシクロアルキル基を形成してもよく、R103は、シクロヘキシレン又は2価のアダマンタンであり、tは0又は1である。]
5.下記式(25)で表わされるモノマーを重合する4記載のナフチレン系重合体の合成方法。
[式中、R10は式(21)と同様である。]
6.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体が、部分的に水素化された部分水素化ナフチレン系重合体。
7.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
8.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
9.7に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
10.8に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
11.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
12.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
13.ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である11に記載の耐熱材料。
14.ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である12に記載の耐熱材料。
15.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる高強度材料。
16.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる高強度材料。
17.ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である15に記載の高強度材料。
18.ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である16に記載の高強度材料。
19.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる薄膜。
20.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる薄膜。
21.19に記載の薄膜を含む半導体装置。
22.20に記載の薄膜を含む半導体装置。
23.19に記載の薄膜を含む画像表示装置。
24.20に記載の薄膜を含む画像表示装置。
25.19に記載の薄膜を含む電子回路装置。
26.20に記載の薄膜を含む電子回路装置。
27.19に記載の薄膜を含む表面保護膜。
28.20に記載の薄膜を含む表面保護膜。
29.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
30.6に記載のナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
1.式(1)で表わされる脂環構造含有ナフチレン系重合体。
R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数である。]
2.式(2)又は(3)で表わされるアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体。
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。]
3.式(4)又は(5)で表わされるモノマーを重合する2に記載のアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成方法。
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。]
4.下記式(21)で表わされるナフチレン系重合体。
5.下記式(25)で表わされるモノマーを重合する4記載のナフチレン系重合体の合成方法。
6.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体が、部分的に水素化された部分水素化ナフチレン系重合体。
7.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
8.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
9.7に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
10.8に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
11.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
12.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
13.ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である11に記載の耐熱材料。
14.ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である12に記載の耐熱材料。
15.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる高強度材料。
16.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる高強度材料。
17.ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である15に記載の高強度材料。
18.ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である16に記載の高強度材料。
19.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる薄膜。
20.6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる薄膜。
21.19に記載の薄膜を含む半導体装置。
22.20に記載の薄膜を含む半導体装置。
23.19に記載の薄膜を含む画像表示装置。
24.20に記載の薄膜を含む画像表示装置。
25.19に記載の薄膜を含む電子回路装置。
26.20に記載の薄膜を含む電子回路装置。
27.19に記載の薄膜を含む表面保護膜。
28.20に記載の薄膜を含む表面保護膜。
29.1、2又は4に記載のナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
30.6に記載のナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
本発明によれば、新規なナフチレン系重合体と、優れた低誘電材料、耐熱材料、高強度材料を提供できる。本発明のナフチレン系重合体からなる低誘電材料、耐熱材料、高強度材料は、空孔導入をすることなしに層間絶縁膜材料として使用でき、ULSI等半導体の性能を飛躍的に向上させることができる。
本発明の第一実施形態である脂環構造含有ナフチレン系重合体は、式(1)で表わされる。
[式中、R1は、置換又は非置換の炭素数5〜50の脂環式二官能性基、置換又は非置換の炭素数4〜50の含ヘテロ原子脂環式二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−(SiR3 2)m−、−(OSiR3 2O)m−、−(SiR3O1.5)m−、−(GeR3 2)m−、−(SnR3 2)m−、−BR3―、−AlR3−、−NR3−、−PR3−、−AsR3−、−SbR3−、−O−、−S−、−Se−、−Te−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−OO−、−NH−CO−、アセチリデン基、エチリデン基、ボラジレン基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、エーテル基、チオエーテル基、エステル基、エポキシ基含有基、シリル基含有基、シロキシ基含有基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数である。]
R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−(SiR3 2)m−、−(OSiR3 2O)m−、−(SiR3O1.5)m−、−(GeR3 2)m−、−(SnR3 2)m−、−BR3―、−AlR3−、−NR3−、−PR3−、−AsR3−、−SbR3−、−O−、−S−、−Se−、−Te−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−OO−、−NH−CO−、アセチリデン基、エチリデン基、ボラジレン基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、エーテル基、チオエーテル基、エステル基、エポキシ基含有基、シリル基含有基、シロキシ基含有基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数である。]
R1上の置換基としては、例えば、メチル基、エチル基、シクロプロピル基、n−ブチル基、tert−ブチル基、アダマンチル基、ビアダマンチル基;ビニル基、イソプロペニル基、アリル基、エチニル基;フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナンスレニル基;メトキシ基、フェノキシ基、アダマンチルオキシ基、ビアダマンチルオキシ基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基;アダマンチルチオ基、ビニルチオ基;アクリロキシ基、メタクリロキシ基;トリメチルシリル基、トリフェニルシリル基;トリメチルシロキシ基;フッ素、トリフルオロメチル基、トリフルオロメトキシ基等が挙げられる。
R1の構造中には、二重結合が1つ以上含まれていてもよい。また、R1のR2との結合位置、R1上の置換基の置換位置は特に限定されない。
R2は、好ましくは、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基である。R2の置換位置は特に限定されない。
R2において、芳香族基の炭素数は、好ましくは6〜12である。具体的には、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基等が挙げられる。
含ヘテロ原子芳香族基の炭素数は、好ましくは5〜9である。具体的には、ピリジレン基、ピリミジレン基、キノリレン基等が挙げられる。
上記基が1種以上組み合わさって形成される基として、具体的には、置換又は非置換のオキシフェニレン基、フェニルピリジレン基等が挙げられる。
R2上の置換基としては、例えば、R1上の置換基と同様の基が挙げられる。
R2のR1との結合位置、R2上の置換基の置換位置は特に限定されない。
含ヘテロ原子芳香族基の炭素数は、好ましくは5〜9である。具体的には、ピリジレン基、ピリミジレン基、キノリレン基等が挙げられる。
上記基が1種以上組み合わさって形成される基として、具体的には、置換又は非置換のオキシフェニレン基、フェニルピリジレン基等が挙げられる。
R2上の置換基としては、例えば、R1上の置換基と同様の基が挙げられる。
R2のR1との結合位置、R2上の置換基の置換位置は特に限定されない。
R3は、好ましくは、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基である。
R3として、具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、シクロプロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルヘキシル基、n−デシル基、n−ドデシル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、ビアダマンチル基等の炭素数1〜20のアルキル基;ビニル基、イソプロペニル基、アリル基等の炭素数1〜20のアルケニル基;エチニル基等の炭素数1〜20のアルキニル基;フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナンスレニル基等の炭素数6〜20の芳香族基;メトキシ基、エトキシ基、アダマンチルオキシ基、ビアダマンチルオキシ基等の炭素数1〜20のアルコキシ基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基等の炭素数1〜20のアルケニルオキシ基、フェノキシ基;メチルチオ基、アダマンチルチオ基等の炭素数1〜20のアルキルチオ基、ビニルチオ基等の炭素数1〜20のアルケニルチオ基、フェニルチオ基;アセトキシ基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基等のエステル基;エポキシ基、エポキシメチル基等の炭素数1〜20のアルキルエポキシ基;シリル基、トリメチルシリル基、tert−ブチルジメチルシリル基等のトリアルキルシリル基、トリフェニルシリル基;シロキシ基、トリメチルシロキシ基、tert−ブチルジメチルシロキシ等のトリアルキルシロキシ基、トリフェニルシロキシ基;フッ素、トリフルオロメチル基等の炭素数1〜20のフッ素化アルキル基、ヘキサフルオロイソプロペニル基等の炭素数1〜20のフッ素化アルケニル基、トリフルオロメトキシ基等の炭素数1〜20のフッ素化アルコキシ基、ヘキサフルオロイソプロペノキシ基等の炭素数1〜20のフッ素化アルケニルオキシ基、ペンタフルオロフェニル基、p−トリフルオロメチルフェニル基、ペンタフルオロフェノキシ基、p−トリフルオロメチルフェノキシ基;ビニルアダマンチル基、ビニルアダマンチルオキシ基、ビニルビアダマンチルオキシ基等の上記の置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基が例示される。
R3として、具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、シクロプロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、tert−ブチル基、2−エチルヘキシル基、n−デシル基、n−ドデシル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、ビアダマンチル基等の炭素数1〜20のアルキル基;ビニル基、イソプロペニル基、アリル基等の炭素数1〜20のアルケニル基;エチニル基等の炭素数1〜20のアルキニル基;フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナンスレニル基等の炭素数6〜20の芳香族基;メトキシ基、エトキシ基、アダマンチルオキシ基、ビアダマンチルオキシ基等の炭素数1〜20のアルコキシ基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基等の炭素数1〜20のアルケニルオキシ基、フェノキシ基;メチルチオ基、アダマンチルチオ基等の炭素数1〜20のアルキルチオ基、ビニルチオ基等の炭素数1〜20のアルケニルチオ基、フェニルチオ基;アセトキシ基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基等のエステル基;エポキシ基、エポキシメチル基等の炭素数1〜20のアルキルエポキシ基;シリル基、トリメチルシリル基、tert−ブチルジメチルシリル基等のトリアルキルシリル基、トリフェニルシリル基;シロキシ基、トリメチルシロキシ基、tert−ブチルジメチルシロキシ等のトリアルキルシロキシ基、トリフェニルシロキシ基;フッ素、トリフルオロメチル基等の炭素数1〜20のフッ素化アルキル基、ヘキサフルオロイソプロペニル基等の炭素数1〜20のフッ素化アルケニル基、トリフルオロメトキシ基等の炭素数1〜20のフッ素化アルコキシ基、ヘキサフルオロイソプロペノキシ基等の炭素数1〜20のフッ素化アルケニルオキシ基、ペンタフルオロフェニル基、p−トリフルオロメチルフェニル基、ペンタフルオロフェノキシ基、p−トリフルオロメチルフェノキシ基;ビニルアダマンチル基、ビニルアダマンチルオキシ基、ビニルビアダマンチルオキシ基等の上記の置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基が例示される。
好ましくは、R3は、メチル基、エチル基、シクロプロピル基、n−ブチル基、tert−ブチル基、アダマンチル基、ビアダマンチル基;ビニル基、イソプロペニル基、アリル基、エチニル基;フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナンスレニル基;メトキシ基、フェノキシ基、アダマンチルオキシ基、ビアダマンチルオキシ基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基;アダマンチルチオ基、ビニルチオ基;アクリロキシ基、メタクリロキシ基;トリメチルシリル基、トリフェニルシリル基;トリメチルシロキシ基;フッ素、トリフルオロメチル基、トリフルオロメトキシ基である。
R4の炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基の具体例及び好適例は、R3と同様である。また、これらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基としては、メチルシクロヘキシル基が例示される。
aは、好ましくは0〜4、より好ましくは0〜2の整数である。mは、好ましくは1〜30、より好ましくは1〜10の整数である。nは、好ましくは2〜10万、より好ましくは2〜1,000の整数である。尚、繰り返し単位の末端構造は特に限定されないが、例えば、1−ナフチル基、1−ナフチロキシ基である。
脂環構造含有ナフチレン系重合体の例として、式(2)又は(3)で表わされるアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体が挙げられる。
[式中、R2、R4、a、nは、式(1)と同様であり、bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、n’は、1〜10の整数である。]
bは、好ましくは0〜8、より好ましくは0〜2の整数である。n’は、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜3の整数である。
次に、脂環構造含有ナフチレン系重合体の合成方法について説明する。
式(1)、(2)、(3)の重合体は、それぞれ式(4)、(5)、(6)で表されるモノマーを重合して製造できる。好ましくは、酸化重合である。
式(1)、(2)、(3)の重合体は、それぞれ式(4)、(5)、(6)で表されるモノマーを重合して製造できる。好ましくは、酸化重合である。
式(4)、(5)、(6)のモノマーは、それぞれ式(7)、(8)、(9)で表わされる二官能性アダマンタン類又はその有機合成上の等価体から選択される一種類以上、及び、式(10)で表わされるナフタレン類、好ましくは、式(11)で表わされる1位に置換基Yを有するナフタレン類から選択される一種類以上の原料を用いて、脱水反応、Williamson反応、Ullmann反応、Mitsunobu反応等の従来公知の反応により合成することが可能である。
二官能性アダマンタン類として、具体的には、1,3−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン、1,3−ジヒドロキシアダマンタン、1,3−ジブロモアダマンタン、2,2−ジブロモアダマンタンが挙げられる。また、これらの有機合成上の等価体としては、2−アダマンタノン及びその2−アダマンタノンのアセタール等の二官能性アダマンタン類が挙げられる。さらに、これらにR4を1〜14個有する二官能性アダマンタン類が挙げられる。
ナフタレン類として、具体的には、1−ナフトール、1−クロロナフタレン、1−ブロモナフタレン、1−ヨードナフタレン、及び、これらにR4を1〜6個有するナフタレン類等が挙げられる。
上記モノマーの酸化重合法としては特に限定されないが、一般的に公知である、窒素ガス雰囲気下において塩化第二鉄の懸濁液中で実施する方法、トリフルオロ酢酸中、酸化バナジル化合物を触媒として、トリフルオロ酢酸無水物を脱水剤として用い、酸素ガスを導入する方法等が好適に使用できる。
本発明の第二実施形態であるナフチレン系重合体は下記式(21)で表される。
[式中、R10は、同一でも異なっていてもよく、置換又は非置換の下記式(22)に示される基、及び置換又は非置換の下記式(23)に示されるアダマンタン含有基から選択される二官能性基である。式中、nは3〜100万の整数である。]
R10は、式(21)に示される重合体において全て同一でもよく、また異なってもよい。即ち、この重合体はホモポリマーでもよくコポリマーでもよい。コポリマーの場合、好ましくは、置換又は非置換の式(22)で示される基の少なくとも一種と、式(23)で示される基の少なくとも一種を含むランダムコポリマーである。好ましくは二種からなるランダムコポリマーである。
式(21)のnは、好ましくは3〜10万、より好ましくは3〜1000の整数である
。尚、繰り返し単位の末端構造は特に限定されないが、例えば、1−ナフチル基、1−ナフチロキシ基である。
式(22)に含まれる下記式で示される基において、R101、R102がモノシクロアルキル基である場合、このモノシクロアルキル基は好ましくは炭素数が6〜20であり、より好ましくは炭素数が6〜14である。
式(21)のnは、好ましくは3〜10万、より好ましくは3〜1000の整数である
。尚、繰り返し単位の末端構造は特に限定されないが、例えば、1−ナフチル基、1−ナフチロキシ基である。
式(22)に含まれる下記式で示される基において、R101、R102がモノシクロアルキル基である場合、このモノシクロアルキル基は好ましくは炭素数が6〜20であり、より好ましくは炭素数が6〜14である。
式(22)、(23)の基に置換する置換基として、炭素数5〜20の芳香族炭化水素基、炭素数1〜20の直鎖状脂肪族炭化水素基、炭素数3〜20の分岐を有する直鎖状脂肪族炭化水素基、炭素数3〜20の環状脂肪族炭化水素基、これら置換基の任意位置に酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ケイ素原子、ホウ素原子から選ばれるヘテロ原子を含有してなる置換基、あるいはこれらの置換基のうち1種類が複数、あるいは2種以上が適宜組み合わさって形成される置換基等が挙げられる。置換位置は特に限定されない。置換数は0以上38以下の整数で、置換基は、同一でも異なってもよい。
置換又は非置換の式(22)、(23)は、好ましくは下記式に示される二官能性基である。
[式中、R11は同一でも異なってもよく、炭素数1〜10のアルキル基、又はシクロアルキル基であり、cは同一でも異なってもよく、0〜3の整数である。R101、R102、R103、tは式(22)と同様である。]
R11は好ましくは炭素数1〜6のアルキル基、シクロへキシル基又はアダマンチル基であり、cは好ましくは0〜2の整数である。
R11は好ましくは炭素数1〜6のアルキル基、シクロへキシル基又はアダマンチル基であり、cは好ましくは0〜2の整数である。
式(21)で示されるナフチレン系重合体は、部分水素化されていてもよい。
本発明のナフチレン系重合体は、重合体の水素化反応、あるいは、モノマーの水素化反応後の重合反応により、芳香族構造を部分的に脂肪族構造に変換することができる。好ましくは、式(21)に示されるナフタレン環を部分水素化する。水素化反応における水素化率は、0.1〜99%にすることができる。また、その水素化反応方法はラネーニッケル、活性炭担持貴金属触媒等従来公知の芳香環水素化触媒を使用すればよく、特に限定されない。
本発明のナフチレン系重合体は、重合体の水素化反応、あるいは、モノマーの水素化反応後の重合反応により、芳香族構造を部分的に脂肪族構造に変換することができる。好ましくは、式(21)に示されるナフタレン環を部分水素化する。水素化反応における水素化率は、0.1〜99%にすることができる。また、その水素化反応方法はラネーニッケル、活性炭担持貴金属触媒等従来公知の芳香環水素化触媒を使用すればよく、特に限定されない。
本発明の第一実施形態である式(1)に示される脂環構造含有ナフチレン系重合体も、本発明の第二実施形態と同様に、重合体の水素化反応、あるいは、モノマーの水素化反応後の重合反応により、芳香族構造を部分的に脂肪族構造に変換することができる。好ましくは、式(1)〜(3)に示されるナフタレン環を部分水素化する。
次に、本発明の第二実施形態であるナフチレン系重合体の製造方法について説明する。
式(21)の重合体は、下記式(25)で示されるモノマーを重合して製造できる。好ましくは酸化重合である。
式(21)の重合体は、下記式(25)で示されるモノマーを重合して製造できる。好ましくは酸化重合である。
式(25)のモノマーは、下記式(26)で表される二官能性化合物類から選択される一種類以上、及び、下記式(27)で表されるナフタレン類、好ましくは下記式(28)で表される1位に置換基Yを有するナフタレン類から選択される一種類以上の原料を用いて、脱水反応、Williamson反応、Ullmann反応、Mitsunobu反応等の従来公知の反応により合成することが可能である。
[式中、R10は式(21)と同様であり、X、Yは、水酸基、臭素、フッ素、塩素、ヨウ素等のエーテル合成反応において活性な置換基である。]
式(28)のナフタレン類は、具体的には1−ナフトール、1−クロロナフタレン、1−ブロモナフタレン、1−ヨードナフタレン、及び、これらに式(26)中のR10と同様の置換基を有するナフタレン類等が挙げられる。
上記モノマーの酸化重合法としては特に限定されないが、一般的に公知である方法が適用できる。その具体例として、窒素ガス雰囲気下において塩化第二鉄の懸濁液中で実施する方法、Cu錯体を触媒として用い酸素含有ガスを導入する方法、トリフルオロ酢酸中において酸化バナジル化合物を触媒、トリフルオロ酢酸無水物中を脱水剤として用いる酸素含有ガスを導入する方法等が好適に使用できる。
部分水素化重合体は、あらかじめ式(25)で示されるモノマーを水素化処理して、ナフタレン環を部分的に脂肪族環構造にしたモノマーを、酸化重合法を用いることにより得ることができる。また別法として、式(25)で示されるモノマーを酸化重合することにより得られた重合体をラネーニッケル、活性炭担持貴金属触媒等従来公知の芳香環水素化触媒を使用し、水素化処理する方法でも得ることができる。そのときの水素化率は0.1〜99%とすることができる。
本発明のナフチレン系重合体は、誘電率が低いため、様々な電気・電子部品の低誘電材料、特に半導体装置等に用いられる半導体用層間絶縁膜材料として使用できる。
半導体製造におけるULSI多層配線構造の層間絶縁膜材料には、誘電率、耐熱性、強度、基板密着性、安定性等の特性が必要とされる。これらの特性は、用いる多層配線の階層やデザインノードにより変化するため、具体的な値については一概に定義ができない。一般に誘電率等は低く、耐熱性、強度、基板密着性、安定性等は高くなることが望ましく、本発明のナフチレン系重合体は、これらの性質を具備するものである。層間絶縁膜材料は使用される目的や部位により要求性能が異なるため、誘電率、耐熱性、強度、基板密着性、安定性の内、最低一点を満たせば良い。
半導体製造におけるULSI多層配線構造の層間絶縁膜材料には、誘電率、耐熱性、強度、基板密着性、安定性等の特性が必要とされる。これらの特性は、用いる多層配線の階層やデザインノードにより変化するため、具体的な値については一概に定義ができない。一般に誘電率等は低く、耐熱性、強度、基板密着性、安定性等は高くなることが望ましく、本発明のナフチレン系重合体は、これらの性質を具備するものである。層間絶縁膜材料は使用される目的や部位により要求性能が異なるため、誘電率、耐熱性、強度、基板密着性、安定性の内、最低一点を満たせば良い。
本発明のナフチレン系重合体の誘電率は、その構造により変化するが、kの値として、3.0以下の範囲であり、好ましくは2.8以下、より好ましくは2.5以下、さらに好ましくは2.3以下である。ナフチル構造の立体反発による主鎖のねじれにより、双極子モーメントがランダム化し打ち消し合うため、分子全体としての双極子モーメントが低くなり、さらに、ナフチル構造の立体反発とねじれ構造より幾何学的に大きい分子間自由体積を具備するため、ポリフェニレン等の通常のポリアリーレンよりも低誘電率を示す。ナフチル構造の立体反発と双極子モーメントは、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により適宜調整できる。
本発明のナフチレン系重合体は、上述したように、誘電率が低いため、半導体装置の層間絶縁膜として好適に利用できるが、耐熱性が高い等他の特性にも優れるため、半導体装置、さらに、画像表示装置、電子回路装置等において、他の部材としても用いることができる。
また、本発明のナフチレン系重合体は、耐熱性が高いため、様々な電気・電子部品の耐熱材料として使用できる。
本発明の耐熱材料を用いれば、ULSI等半導体を始めとする様々な物品において、熱処理をしなくても耐熱性が付与される。この結果、性能や信頼性を飛躍的に向上させることが可能となる。
本発明の耐熱材料を用いれば、ULSI等半導体を始めとする様々な物品において、熱処理をしなくても耐熱性が付与される。この結果、性能や信頼性を飛躍的に向上させることが可能となる。
耐熱性の評価方法は、示差走査熱量計(DSC)、示差熱熱重量同時測定装置(TG/DTA)等の一般的な熱物性評価により行える。評価用サンプルの形状は、薄膜の状態でも、その前駆体である粉体やブロック状であっても、評価方法の際に用いる装置の制限の範囲内で適宜選択できる。耐熱温度としては以上の方法により求められたガラス転移温度、及び溶融温度又は熱分解開始温度(5%重量減少温度)のうちいずれか低い温度の2種類の温度により規定される。
ガラス転移温度は、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により変化するが、好ましくは300℃〜700℃の範囲、より好ましくは350℃〜700℃の範囲である。溶融温度又は熱分解開始温度のうちいずれか低い温度は、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により変化するが、好ましくは300℃〜700℃の範囲、より好ましくは350℃〜700℃の範囲である。本発明のナフチレン系重合体は、ナフタレン骨格並びに式(1)におけるR1及び式(21)におけるR10の構造等から、高耐熱性を有する。従って、本発明のナフチレン系重合体は、半導体回路用層間絶縁膜の他、耐熱材料として好適に利用できる。
ガラス転移温度は、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により変化するが、好ましくは300℃〜700℃の範囲、より好ましくは350℃〜700℃の範囲である。溶融温度又は熱分解開始温度のうちいずれか低い温度は、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により変化するが、好ましくは300℃〜700℃の範囲、より好ましくは350℃〜700℃の範囲である。本発明のナフチレン系重合体は、ナフタレン骨格並びに式(1)におけるR1及び式(21)におけるR10の構造等から、高耐熱性を有する。従って、本発明のナフチレン系重合体は、半導体回路用層間絶縁膜の他、耐熱材料として好適に利用できる。
また、本発明のナフチレン系重合体は、様々な電気・電子部品の高強度材料として使用できる。
本発明の高強度材料を用いれば、ULSI等半導体を始めとする様々な物品において、熱処理をしなくても高強度が付与される。この結果、性能や信頼性を飛躍的に向上させることが可能となる。
本発明の高強度材料を用いれば、ULSI等半導体を始めとする様々な物品において、熱処理をしなくても高強度が付与される。この結果、性能や信頼性を飛躍的に向上させることが可能となる。
強度は、主鎖構造、分子量、置換基の種類、置換位置、置換数により変化するが、ナノインデンテーション法によるハードネス(硬度)が好ましくは0.2GPa以上10GPa以下、及び/又はモジュラス(弾性率)が4GPa以上100GPa以下である。より好ましくは、ハードネスが0.25GPa以上8GPa以下、及び/又はモジュラスが5GPa以上80GPa以下である。
本発明のナフチレン系重合体は、半導体製造におけるULSI多層配線構造の層間絶縁膜材料としては充分な強度を有する。さらに、スピンコーティング法、CVD法等の方法により、厚さ10nm〜10μmの薄膜形成が可能であるため半導体回路用層間絶縁膜の他、高強度材料として好適に利用できる。
本発明のナフチレン系重合体は、半導体製造におけるULSI多層配線構造の層間絶縁膜材料としては充分な強度を有する。さらに、スピンコーティング法、CVD法等の方法により、厚さ10nm〜10μmの薄膜形成が可能であるため半導体回路用層間絶縁膜の他、高強度材料として好適に利用できる。
本発明のナフチレン系重合体は、洗浄、イオン交換樹脂処理、再沈殿、再結晶、精密ろ過、乾燥等の精製より、例えば、Fe3+、Cl−、Na+、Ca2+等のイオン性不純物、反応溶媒、後処理溶媒、水分等を除去することにより、その誘電率、耐熱性又は強度が向上する。
本発明のナフチレン系重合体は、アモルファス性であるため、厚さ10nm〜10μmの薄膜化が可能である。従って、耐熱性薄膜として、半導体装置、画像表示装置、電子回路装置、表面保護膜等に使用できる。尚、薄膜の膜厚は、エリプソメータ等による光学的膜厚測定、触針式膜厚測定器やAFM等による機械的膜厚測定が可能である。
薄膜の形成方法としては、スピンコート法、キャスト法、バーコート法、CVD法等の薄膜形成方法が好適に使用できる。薄膜形成条件は、置換基の種類、置換位置、置換数等により、溶媒に対する溶解度や、溶液粘度が異なるため、適宜設定する。溶液をこれらの方法により所望の表面に塗布した後、常圧下において溶媒の沸点を上回る温度で加熱、又は減圧下や乾燥ガス気流下において溶媒の沸点以下で加熱して溶媒を除去することにより、簡便に薄膜を形成できる。熱架橋材料において必要な溶媒除去後の高温下熱処理は必要ない。しかし、さらに、強度を上げる場合やその他の特性を調整する場合は、従来公知の架橋剤等の添加剤を適宜添加してもよい。
本発明のナフチレン系重合体からなる薄膜は、薄膜化後の高温での重合(熱キュア)が不要な上、化学構造も単純で安価な原料より製造できるため、従来用いられていたり、提案されたりしている熱硬化性有機系層間絶縁膜材料に対して経済的である上、熱硬化させるために必要な触媒や架橋剤を必要としないため、これらの残留がなく、層間絶縁膜材料として好適に使用できる。
また、本発明のナフチレン系重合体を、酢酸エチル、乳酸エチル等のエステル系、アニソール等のエーテル系、NMP、DMF等のアミド系、ニトロベンゼン、トルエン等の芳香族系、クロロホルム、ジクロロメタン、トリクロロエタン等のハロゲン系、DMSO等の有機溶媒に溶解させた塗料は、塗装面やプラスチック製品の表面に塗布して表面保護膜として使用できる。例えば、この塗料を塗装面やプラスチック製品の表面に塗布した後、有機溶媒を蒸発させると、塗装面保護膜又はプラスチックハードコート膜が形成できる。
本発明のナフチレン系重合体は、その優れた特性により、上記の用途の他、繊維や成形品等、様々な分野で好適に使用できる。例えば、シート、チューブ、フィルム、繊維、積層物、コーティング材、各種容器として使用したり、各種部品、例えば、機械部品、自動車部品(バンパー、フェンダー、エプロン、フードパネル、フェイシア、ローカーパネル、ロッカパネルレインフォース、フロアパネル、リアクオーターパネル、ドアパネル、ドアサポート、ルーフトップ、トランクリッド、フュェルリッド等の外装部品、インストルメントパネル、コンソールボックス、グローブボックス、シフトノブ、ピラーガーニッシュ、ドアトリム、ハンドル、アームレスト、ウインドルーバ、ヘッドレスト、シートベルト、シート等の内装部品、ディストリビュータキャップ、エアクリーナー、ラジエータタンク、バッテリーケース、ラジエータシュラウド、ウオッシャータンク、クーリングファン、ヒータケース等のエンジンルーム内部品、ミーラーボディー、ホイールカバー、トランクマット、ガソリンタンク等)、二輪車用部品(カウリング材、マフラーカバー、レグシールド等)、電気・電子部品(ハウジング、シャーシー、コネクター、プリント基板、プーリー、エアコン部品、タイプライター部品、ワードプロセッサー部品、カメラ部品、オフィスコンピューター関連部品、電話機関連部品、ファクシミリ関連部品、複写機関連部品等)等、の部品に使用できる。また、各種レンズ、プリズム、光ファイバー、光ディスク、液晶パネル等の各種光学機器用素材として有用である。
実施形態1
図1に、本発明のナフチレン系重合体からなる層間絶縁膜を含む半導体装置の一実施形態を示す。
この図に示すような半導体装置の一種である超大規模集積回路(ULSI)多層配線構造は、シリコンウエハ10、トランジスタ20、多層配線30、パッシベーション膜40を含む。多層配線30を多層化することにより、高集積化となる。多層配線30は、ハードマスク及び/又はバリヤメタル32を結合するCu配線34と、Cu配線34間にある層間絶縁膜36からなる。層間絶縁膜36は、本発明のナフチレン系重合体から構成されている。
この回路では、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の誘電率が低いため、配線加工サイズ(Cu配線34の間隔)が狭くなってもCu配線34間に電荷が寄生し難く配線遅延時間及び/又は消費電力を小さく抑えることができる。
また、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の耐熱性が高いため、微細加工、例えば、光リソグラフィー、エッチング、Cu配線形成、蒸着、スパッタリング等高温化にさらされるプロセスを経て半導体装置を製作する際に、熱による破壊、サイズ変動、ガス発生、変質等の問題を回避できる。
さらに、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の強度が高いため、微細加工、例えば、光リソグラフィー、エッチング、Cu配線形成、CMP(化学的機械的研磨)、蒸着、スパッタリング等により半導体装置を製作する際に、破壊、破損、剥がれ、めくれ等の問題を回避できる。
図1に、本発明のナフチレン系重合体からなる層間絶縁膜を含む半導体装置の一実施形態を示す。
この図に示すような半導体装置の一種である超大規模集積回路(ULSI)多層配線構造は、シリコンウエハ10、トランジスタ20、多層配線30、パッシベーション膜40を含む。多層配線30を多層化することにより、高集積化となる。多層配線30は、ハードマスク及び/又はバリヤメタル32を結合するCu配線34と、Cu配線34間にある層間絶縁膜36からなる。層間絶縁膜36は、本発明のナフチレン系重合体から構成されている。
この回路では、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の誘電率が低いため、配線加工サイズ(Cu配線34の間隔)が狭くなってもCu配線34間に電荷が寄生し難く配線遅延時間及び/又は消費電力を小さく抑えることができる。
また、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の耐熱性が高いため、微細加工、例えば、光リソグラフィー、エッチング、Cu配線形成、蒸着、スパッタリング等高温化にさらされるプロセスを経て半導体装置を製作する際に、熱による破壊、サイズ変動、ガス発生、変質等の問題を回避できる。
さらに、層間絶縁膜36を構成するナフチレン系重合体の強度が高いため、微細加工、例えば、光リソグラフィー、エッチング、Cu配線形成、CMP(化学的機械的研磨)、蒸着、スパッタリング等により半導体装置を製作する際に、破壊、破損、剥がれ、めくれ等の問題を回避できる。
本発明のナフチレン系重合体の有機溶媒に対する溶解性が、その構造により異なるため用いる有機溶媒の種類は一概に定義できないが、公知の有機溶媒あるいは有機溶媒と成り得る公知の有機化合物はいずれも好適に使用できる。その際のナフチレン系重合体又はナフチレン系共重合体濃度は同様に定義できないが0.01〜90%が一般的である。また、これらの重合体は単品でも複数の混合物でも良く、必要に応じて、添加剤等の第三成分を一種または複数種加えても良い。
[実施例]
[実施例]
本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。また、以下の例で使用した触媒、試薬は、市販の製品、又は公知文献記載の方法に従い調製したものである。
製造例1
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(10ミリリットル)が入った容量50ミリリットルのフラスコに、1,3−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン(1.26g、4ミリモル)を加えて溶解させた後、キノリン(10ミリリットル)を添加した。この溶液に炭酸カリウム(1.38g、10ミリモル)を加えた懸濁液をオイルバス中で150℃に加熱攪拌し、トルエンを留去するとともに系内に微量含まれる水を共沸除去した。室温に到達するまで放冷した後、銅粉末(0.026g、0.4ミリモル)と1−ブロモナフタレン(1.12ミリリットル、8ミリモル)を追加し、オイルバス中で190℃、42時間加熱攪拌した。室温に到達するまで放冷した後、塩化メチレン(20ミリリットル)を添加し、希塩酸(1N)で洗浄、次いでNaOH水溶液(3%)で洗浄した。塩化メチレンを減圧留去することにより濃縮し、メタノールを過剰量添加することにより再沈殿させ、濾過することにより粗生成物を得た。この粗生成物を塩化メチレン(2ミリリットル)に溶解させた後、シリカゲルカラムによるクロマトグラフィー(THF(テトラヒドロフラン):ヘキサン=1:5)により精製することにより、下記式に示す1,3−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンを得た(1.21g、収率55%)。構造は1H−NMR(図2)及び13C−NMR(図3)により確認した。
製造例1
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(10ミリリットル)が入った容量50ミリリットルのフラスコに、1,3−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン(1.26g、4ミリモル)を加えて溶解させた後、キノリン(10ミリリットル)を添加した。この溶液に炭酸カリウム(1.38g、10ミリモル)を加えた懸濁液をオイルバス中で150℃に加熱攪拌し、トルエンを留去するとともに系内に微量含まれる水を共沸除去した。室温に到達するまで放冷した後、銅粉末(0.026g、0.4ミリモル)と1−ブロモナフタレン(1.12ミリリットル、8ミリモル)を追加し、オイルバス中で190℃、42時間加熱攪拌した。室温に到達するまで放冷した後、塩化メチレン(20ミリリットル)を添加し、希塩酸(1N)で洗浄、次いでNaOH水溶液(3%)で洗浄した。塩化メチレンを減圧留去することにより濃縮し、メタノールを過剰量添加することにより再沈殿させ、濾過することにより粗生成物を得た。この粗生成物を塩化メチレン(2ミリリットル)に溶解させた後、シリカゲルカラムによるクロマトグラフィー(THF(テトラヒドロフラン):ヘキサン=1:5)により精製することにより、下記式に示す1,3−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンを得た(1.21g、収率55%)。構造は1H−NMR(図2)及び13C−NMR(図3)により確認した。
製造例2
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(10ミリリットル)が入った容量50ミリリットルのフラスコに、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン(1.26g、4ミリモル)を加えて溶解させた後、キノリン(10ミリリットル)を添加した。この溶液に炭酸カリウム(1.38g、10ミリモル)を加えた懸濁液をオイルバス中で150℃に加熱攪拌し、トルエンを留去するとともに系内に微量含まれる水を共沸除去した。室温に到達するまで放冷した後、銅粉末(0.026g、0.4ミリモル)と1−ブロモナフタレン(1.12ミリリットル、8ミリモル)を追加し、オイルバス中で190℃、42時間加熱攪拌した。室温に到達するまで放冷した後、塩化メチレン(20ミリリットル)を添加し、希塩酸(1N)で洗浄、次いでNaOH水溶液(3%)で洗浄した。塩化メチレンを減圧留去することにより濃縮し、メタノールを過剰量添加することにより再沈殿させ、濾過することにより粗生成物を得た。この粗生成物を塩化メチレン(2ミリリットル)に溶解させた後、シリカゲルカラムによるクロマトグラフィー(THF:ヘキサン=1:5)により精製することにより、下記式に示す2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンを得た(1.21g、収率55%)。構造は1H−NMR(図4)及び13C−NMR(図5)により確認した。
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(10ミリリットル)が入った容量50ミリリットルのフラスコに、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタン(1.26g、4ミリモル)を加えて溶解させた後、キノリン(10ミリリットル)を添加した。この溶液に炭酸カリウム(1.38g、10ミリモル)を加えた懸濁液をオイルバス中で150℃に加熱攪拌し、トルエンを留去するとともに系内に微量含まれる水を共沸除去した。室温に到達するまで放冷した後、銅粉末(0.026g、0.4ミリモル)と1−ブロモナフタレン(1.12ミリリットル、8ミリモル)を追加し、オイルバス中で190℃、42時間加熱攪拌した。室温に到達するまで放冷した後、塩化メチレン(20ミリリットル)を添加し、希塩酸(1N)で洗浄、次いでNaOH水溶液(3%)で洗浄した。塩化メチレンを減圧留去することにより濃縮し、メタノールを過剰量添加することにより再沈殿させ、濾過することにより粗生成物を得た。この粗生成物を塩化メチレン(2ミリリットル)に溶解させた後、シリカゲルカラムによるクロマトグラフィー(THF:ヘキサン=1:5)により精製することにより、下記式に示す2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンを得た(1.21g、収率55%)。構造は1H−NMR(図4)及び13C−NMR(図5)により確認した。
製造例3
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(200ミリリットル)が入った容量1リットルのフラスコに、下記式に示すビスフェノール化合物
(76.8g、218ミリモル)を加えて溶解させた後、キノリン(500ミリリットル)を添加した。この溶液に炭酸カリウム(63.3g、458ミリモル)を加えた懸濁液をオイルバス中で150℃に加熱攪拌し、トルエンを留去するとともに系内に微量含まれる水を共沸除去した。室温に到達するまで放冷した後、銅粉末(1.44g、22.7ミリモル)と1−ブロモナフタレン(94.8g、458ミリモル)を追加し、オイルバス中で200℃、40時間加熱攪拌した。室温に到達するまで放冷した後、1N塩酸(2リットル)に投入し、沈殿した固体をろ別した。該固体を次いで1N塩酸、アセトンで洗浄した後、塩化メチレン溶液としてからメタノールに投入することにより再沈殿により精製することにより、下記式に示す化合物を得た(収率48%)。構造は1H−NMRにより確認した(図10)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
トルエン(200ミリリットル)が入った容量1リットルのフラスコに、下記式に示すビスフェノール化合物
製造例4
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率69%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図11)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例5
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率28%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図12)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例6
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率26%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図13)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例7
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率30%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図14)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例8
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率39%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図15)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例9
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
を使用した以外は、製造例3と同様の方法で合成し、下記式に示すモノマーを得た(収率70%)。構造は製造例1と同様に1H−NMRにより確認した(図16)。
[ナフチレン系重合体合成用モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに下記式に示すビスフェノール化合物
製造例10
[部分水素化重合体モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタンを用いることにより、2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン得た。次に、2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(26.0g、45ミリモル)、触媒としてラネーニッケル(8.2g)、溶媒としてテトラヒドロフラン(500ミリリットルを、容積約1リットルのオートクレーブに封入し、窒素ガス(3MPa)の導入と脱圧を4回繰り返し空気をパージするとともにリークチェックを行った後、水素ガス(4MPa)の導入と脱圧を3回繰り返し窒素をパージするとともにリークチェックを行った。その後、水素ガス(4MPa)を導入するとともに、オートクレーブを200℃に加熱することにより3時間水素添加反応を行った。冷却後、脱圧及び窒素置換した後、オートクレーブを開放し、内容物をろ過することにより触媒を分離した反応液を得た。反応液を減圧濃縮後、カラムクロマトグラフィーにより精製し、白色の粉体23.5gを得た。粉体の構造を1H−NMRにより確認した結果(図17)、下記式に示す2,2−ビス[4−(5,6,7,8−テトラヒドロ−1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンであることを確認した。
[部分水素化重合体モノマーの合成]
製造例3において、製造例3で用いたビスフェノール化合物の代わりに、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタンを用いることにより、2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン得た。次に、2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(26.0g、45ミリモル)、触媒としてラネーニッケル(8.2g)、溶媒としてテトラヒドロフラン(500ミリリットルを、容積約1リットルのオートクレーブに封入し、窒素ガス(3MPa)の導入と脱圧を4回繰り返し空気をパージするとともにリークチェックを行った後、水素ガス(4MPa)の導入と脱圧を3回繰り返し窒素をパージするとともにリークチェックを行った。その後、水素ガス(4MPa)を導入するとともに、オートクレーブを200℃に加熱することにより3時間水素添加反応を行った。冷却後、脱圧及び窒素置換した後、オートクレーブを開放し、内容物をろ過することにより触媒を分離した反応液を得た。反応液を減圧濃縮後、カラムクロマトグラフィーにより精製し、白色の粉体23.5gを得た。粉体の構造を1H−NMRにより確認した結果(図17)、下記式に示す2,2−ビス[4−(5,6,7,8−テトラヒドロ−1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンであることを確認した。
実施例1
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例1で合成した1,3−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(0.30g、0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すポリ{1,3−ビス[4−(1−ナフチルオキシ)フェニル]アダマンタン}を得た(0.27g、収率90%)。
[式中、nは3〜100万の整数である。以下同様である。]
構造は1H−NMR(図6)及び13C−NMR(図7)により確認した。さらにGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー、ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した(Mn=3500、Mw/Mn=2.29)。結果を表1に示す。
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例1で合成した1,3−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(0.30g、0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すポリ{1,3−ビス[4−(1−ナフチルオキシ)フェニル]アダマンタン}を得た(0.27g、収率90%)。
構造は1H−NMR(図6)及び13C−NMR(図7)により確認した。さらにGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー、ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した(Mn=3500、Mw/Mn=2.29)。結果を表1に示す。
実施例2
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例2で合成した2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(0.30g、0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すポリ{2,2−ビス[4−(1−ナフチルオキシ)フェニル]アダマンタン}を得た(0.27g、収率90%)。
構造は1H−NMR(図8)及び13C−NMR(図9)により確認した。さらにGPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した(Mn=3100、Mw/Mn=2.19)。結果を表1に示す。
[アダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例2で合成した2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタン(0.30g、0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すポリ{2,2−ビス[4−(1−ナフチルオキシ)フェニル]アダマンタン}を得た(0.27g、収率90%)。
実施例3
[ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例3で得られたモノマー(0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率81%)。
構造は1H−NMR(図18)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
ニトロベンゼン(2.8ミリリットル)が入った容量20ミリリットルのフラスコに、製造例3で得られたモノマー(0.5ミリモル)を完全に溶解させた後、無水塩化第二鉄(0.21g、1.31ミリモル)を添加した。この懸濁液を室温下にて攪拌し、20時間反応させた。この重合溶液を酸性メタノールに投入することにより塩化第二鉄を含む鉄化合物を溶解させるとともに重合体を沈殿させた。この重合体を濾過し減圧乾燥した後、ジクロロメタン(5ミリリットル)に溶解させ均一溶液とした。この溶液をイオン交換樹脂(オルガノ株式会社製、アンバーライト15J−HG・DRY)を充填したカラム管に通過させた後、減圧濃縮した均一溶液をアセトン(20ミリリットル)に投入、濾過、減圧乾燥させることにより下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率81%)。
実施例4
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例4で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率46%)。
構造は1H−NMR(図19)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例4で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率46%)。
実施例5
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例5で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率75%)。
構造は1H−NMR(図20)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例5で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率75%)。
実施例6
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例6で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率75%)。
構造は1H−NMR(図21)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例6で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率75%)。
実施例7
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例7で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率82%)。
構造は1H−NMR(図22)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例7で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率82%)。
実施例8
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例8で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率29%)。
構造は1H−NMR(図23)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例8で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率29%)。
実施例9
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例9で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率78%)。
構造は1H−NMR(図24)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例9で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率78%)。
実施例10
[部分水素化重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例10で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率35%)。
構造は1H−NMR(図25)により確認し、GPC(ポリスチレン換算、移動相としてTHFを使用)により分子量を測定した。結果を表1に示す。
[部分水素化重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに製造例10で合成したモノマーを使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系重合体を得た(収率35%)。
実施例11
[ナフチレン系共重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに、製造例10記載の方法で得た2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンと製造例5で得られた9,9−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]フルオレンをそれぞれ0.25モルずつ使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系共重合体を得た(収率88%)。
[式中、n1とn2は、n1+n2=nの整数である。]
共重合体のモノマーシーケンスはランダムであり、その収率は95%であった。構造と分子量は、実施例1と同様に1H−NMR(図26)、GPCで確認した。結果を表1に示す。
[ナフチレン系共重合体の合成]
実施例3において、製造例3で合成したモノマーの代わりに、製造例10記載の方法で得た2,2−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]アダマンタンと製造例5で得られた9,9−ビス[4−(1−ナフトキシ)フェニル]フルオレンをそれぞれ0.25モルずつ使用した以外は、実施例3と同様に下記式に示すナフチレン系共重合体を得た(収率88%)。
共重合体のモノマーシーケンスはランダムであり、その収率は95%であった。構造と分子量は、実施例1と同様に1H−NMR(図26)、GPCで確認した。結果を表1に示す。
評価例1
実施例1にて合成した重合体を用い、濃度10wt%の1,1,2,2−テトラクロロエタン溶液を作成した。これを、スピンコーターを用いて3000rpm、100秒間回転させ、シリコンウェハ上に塗布し、80℃のホットプレート上にて5分間加熱することにより、粘着性の薄膜を形成した。この粘着性薄膜が形成したシリコンウェハを180℃にて300分加熱することにより、均一な表面形状の非粘着性薄膜を形成させた。この膜厚は、分光エリプソメトリー法により0.73μmと計測された。
また、円状金電極を薄膜面に、全面アルミニウム電極をシリコンウェハ面に蒸着することによりコンデンサを作成し、C−V測定を行うことにより誘電率を算出したところ、比誘電率kは2.1〜2.3と計測された。
また、示差熱重量同時測定装置を用いた測定により5%重量減少温度は515℃に観測され、示差走査熱量計を用いた測定によりガラス転位温度は観測されなかった。
ナノインデンテーション法により、ハードネス(硬度)は0.28GPa、弾性力を表わすモジュラスは6.3GPaと測定された。
各測定値を表1に示す。
以上の操作中、シリコンウェハからの膜の剥離は全く観測されず、基板密着性についても問題がなかった。
以上の結果から、この重合体は、半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料、高強度材料として好適に使用できることが証明された。
実施例1にて合成した重合体を用い、濃度10wt%の1,1,2,2−テトラクロロエタン溶液を作成した。これを、スピンコーターを用いて3000rpm、100秒間回転させ、シリコンウェハ上に塗布し、80℃のホットプレート上にて5分間加熱することにより、粘着性の薄膜を形成した。この粘着性薄膜が形成したシリコンウェハを180℃にて300分加熱することにより、均一な表面形状の非粘着性薄膜を形成させた。この膜厚は、分光エリプソメトリー法により0.73μmと計測された。
また、円状金電極を薄膜面に、全面アルミニウム電極をシリコンウェハ面に蒸着することによりコンデンサを作成し、C−V測定を行うことにより誘電率を算出したところ、比誘電率kは2.1〜2.3と計測された。
また、示差熱重量同時測定装置を用いた測定により5%重量減少温度は515℃に観測され、示差走査熱量計を用いた測定によりガラス転位温度は観測されなかった。
ナノインデンテーション法により、ハードネス(硬度)は0.28GPa、弾性力を表わすモジュラスは6.3GPaと測定された。
各測定値を表1に示す。
以上の操作中、シリコンウェハからの膜の剥離は全く観測されず、基板密着性についても問題がなかった。
以上の結果から、この重合体は、半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料、高強度材料として好適に使用できることが証明された。
評価例2
実施例2にて合成した重合体を用い、濃度5wt%の1,1,2,2−テトラクロロエタン溶液を作成した。これを、評価例1と同様にしてシリコンウェハ上に均一な表面形状の非粘着性薄膜を形成させた。この膜厚は、分光エリプソメトリー法により0.20μmと計測された。
さらに、評価例1と同様にして、誘電率、5%重量減少温度、硬度、モジュラスを測定した。示差走査熱量計を用いた測定によりガラス転位温度は観測されなかった。
各測定値を表1に示す。
以上の操作中、シリコンウェハからの膜の剥離は全く観測されず、基板密着性についても問題がなかった。
以上の結果から、この重合体は、半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料、高強度材料として好適に使用できることが証明された。
実施例2にて合成した重合体を用い、濃度5wt%の1,1,2,2−テトラクロロエタン溶液を作成した。これを、評価例1と同様にしてシリコンウェハ上に均一な表面形状の非粘着性薄膜を形成させた。この膜厚は、分光エリプソメトリー法により0.20μmと計測された。
さらに、評価例1と同様にして、誘電率、5%重量減少温度、硬度、モジュラスを測定した。示差走査熱量計を用いた測定によりガラス転位温度は観測されなかった。
各測定値を表1に示す。
以上の操作中、シリコンウェハからの膜の剥離は全く観測されず、基板密着性についても問題がなかった。
以上の結果から、この重合体は、半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料、高強度材料として好適に使用できることが証明された。
評価例3〜11
実施例3〜11にて合成した重合体のテトラクロロエタン溶液を作成し、この溶液をシリコンウェハ上にスピンコーターを用いて塗布し、粘着性の薄膜を形成した。この粘着性薄膜が形成したシリコンウェハを250℃にて60分加熱することにより非粘着性薄膜を形成させた。この薄膜の誘電率は水銀プローブ法により、耐熱性は示差熱重量同時測定装置を用いた5%重量減少温度により、薄膜強度はナノインデンテーション法の硬度と弾性率により、薄膜の表面形状の均一性は反射分光膜厚計を用いて求めた平均表面粗さにより評価した。結果は表1に示す。
実施例3〜11にて合成した重合体のテトラクロロエタン溶液を作成し、この溶液をシリコンウェハ上にスピンコーターを用いて塗布し、粘着性の薄膜を形成した。この粘着性薄膜が形成したシリコンウェハを250℃にて60分加熱することにより非粘着性薄膜を形成させた。この薄膜の誘電率は水銀プローブ法により、耐熱性は示差熱重量同時測定装置を用いた5%重量減少温度により、薄膜強度はナノインデンテーション法の硬度と弾性率により、薄膜の表面形状の均一性は反射分光膜厚計を用いて求めた平均表面粗さにより評価した。結果は表1に示す。
また、目視観察した結果、シリコンウェハ上に形成した薄膜に欠陥は見らなかった。さらに、以上の操作中にシリコンウェハからの膜の剥離は全く観測されなかったことから、基板密着性についても問題がなかった。以上の結果から半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料又は高強度材料として好適に使用できることが証明された。
比較例1
評価例3において、実施例3にて合成した重合体の代わりに、下記式に示す市販のポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレンオキシド)(アルドリッチ社製)
を用いた以外は評価例3と同様に薄膜を作製した。作成した薄膜について、評価例3と同様に評価を行った。結果を表1に示す。
尚、表面には彗星状欠陥が観察されたが、平均表面粗さはこれを除いて評価した。
評価例3において、実施例3にて合成した重合体の代わりに、下記式に示す市販のポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレンオキシド)(アルドリッチ社製)
尚、表面には彗星状欠陥が観察されたが、平均表面粗さはこれを除いて評価した。
以上の結果から、この重合体は、半導体用層間絶縁膜材料、耐熱材料、高強度材料としては不充分なものであることが証明された。
本発明のナフチレン系重合体は、電気・電子分野における低誘電材料、高強度材料、耐熱材料等として有用である。
Claims (30)
- 式(1)で表わされる脂環構造含有ナフチレン系重合体。
R2は、同一でも異なってもよく、単結合、−(CR3 2)m−、−O−、−S−、−NR3−、−(C=O)−、−(C=O)O−、−NH−CO−、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、置換又は非置換の炭素数4〜20の含ヘテロ原子芳香族基から選ばれる二官能性基、又はこれらの基が1種以上組み合わさって形成される基であり、
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数である。] - 式(2)又は(3)で表わされるアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体。
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基、又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
nは、2〜100万の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。] - 式(4)又は(5)で表わされるモノマーを重合する請求項2に記載のアダマンタン構造含有ナフチレン系重合体の合成方法。
R3は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数1〜20のアルケニル基、炭素数1〜20のアルキニル基、置換又は非置換の炭素数6〜20の芳香族基、フッ素含有基、ボラジル基又はこれらの置換基が2種以上組み合わさって形成される置換基であり、
R4は、同一でも異なってもよく、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20の芳香族基、炭素数1〜20のアルコキシ基、シリル基、シロキシ基、フッ素含有基、又はこれらの置換基が1種以上組み合わさって形成される置換基であり、
aは、同一でも異なってもよく、0〜6の整数であり、
bは、同一でも異なってもよく、0〜14の整数であり、
mは、1〜50の整数であり、
n’は、1〜10の整数である。] - 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体が、部分的に水素化された部分水素化ナフチレン系重合体。
- 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
- 請求項6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる低誘電材料。
- 請求項7に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
- 請求項8に記載の低誘電材料からなる半導体用層間絶縁膜材料。
- 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
- 請求項6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる耐熱材料。
- ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である請求項11に記載の耐熱材料。
- ガラス転移温度が300℃以上又は観測されず、溶融温度又は熱分解開始温度のいずれか低い温度が300℃以上である請求項12に記載の耐熱材料。
- 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる高強度材料。
- 請求項6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる高強度材料。
- ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である請求項15に記載の高強度材料。
- ハードネスが0.2GPa以上、及び/又はモジュラスが4GPa以上である請求項16に記載の高強度材料。
- 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体からなる薄膜。
- 請求項6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体からなる薄膜。
- 請求項19に記載の薄膜を含む半導体装置。
- 請求項20に記載の薄膜を含む半導体装置。
- 請求項19に記載の薄膜を含む画像表示装置。
- 請求項20に記載の薄膜を含む画像表示装置。
- 請求項19に記載の薄膜を含む電子回路装置。
- 請求項20に記載の薄膜を含む電子回路装置。
- 請求項19に記載の薄膜を含む表面保護膜。
- 請求項20に記載の薄膜を含む表面保護膜。
- 請求項1、2又は4に記載のナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
- 請求項6に記載の部分水素化ナフチレン系重合体を有機溶媒に溶解させた塗料。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004092169 | 2004-03-26 | ||
JP2004092169 | 2004-03-26 | ||
PCT/JP2005/003635 WO2005092946A1 (ja) | 2004-03-26 | 2005-03-03 | ナフチレン系重合体及びその合成方法、並びにその用途 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005092946A1 true JPWO2005092946A1 (ja) | 2008-02-14 |
Family
ID=35056149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006511414A Withdrawn JPWO2005092946A1 (ja) | 2004-03-26 | 2005-03-03 | ナフチレン系重合体及びその合成方法、並びにその用途 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2005092946A1 (ja) |
TW (1) | TW200604240A (ja) |
WO (1) | WO2005092946A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008007537A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-01-17 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 脂環式置換基含有芳香族系化合物の製造方法及び低誘電材料 |
JP2008201982A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 多環脂環式化合物を前駆体物質とする薄膜、及びその製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6268072B1 (en) * | 1999-10-01 | 2001-07-31 | Eastman Kodak Company | Electroluminescent devices having phenylanthracene-based polymers |
JP2004217677A (ja) * | 2003-01-09 | 2004-08-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | 低誘電率ポリマー |
-
2005
- 2005-03-03 WO PCT/JP2005/003635 patent/WO2005092946A1/ja active Application Filing
- 2005-03-03 JP JP2006511414A patent/JPWO2005092946A1/ja not_active Withdrawn
- 2005-03-25 TW TW094109490A patent/TW200604240A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005092946A1 (ja) | 2005-10-06 |
TW200604240A (en) | 2006-02-01 |
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