JPWO2004025363A1 - 波長変換モジュール - Google Patents
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Abstract
Description
「YAG/YLFとSHG(532nm)」は大出力用途(W級)として、Si基板等へのマーカ、TFT液晶のトリミングやリペアの市場が急速に拡大している。特にマーカはモバイル機器実装においてCSP(Chip Size Package)の需要が拡大しているため、特に、YAGと組み合わせたSHGレーザモジュールの適用が活発化している。
また、トリミング、リペア分野では、TFT液晶の表示欠陥を修復するリペア需要がTFT液晶増産を背景に急進している。
一方、低出力用途としては、計測機器、印刷機器、DNA分析等に応用されている。
青色(発振波長473nm)又は緑色(発振波長532nm)用のSHGレーザモジュールの従来構造を図4に示す(例えばレーザ研究 1998年12月P861−P866参照。)。
青色波長変換用SHGレーザモジュール25は、レーザ結晶としてYAG結晶21を、励起光源には発光幅50μm、最大出力500mWのワイドストライプ型半導体レーザ素子5を用いる。
前記半導体レーザ素子5から出射された半導体レーザ光をレンズ20を介してYAG結晶21内に集光し、該YAG結晶21から波長946nmの基本波をレーザ発振させる。ついでSHGデバイス22(PPMGLN:Periodically poled MgO−LiNdO3 crystal)によって波長を変換し、波長473nmの青色波長変換光を発生させ、エタロン23、ミラー24を経て出射される。
しかし、前述した従来技術では、基本波をレーザ発振させる時にYAG結晶21が発熱してしまい、その結果、YAG結晶21から出射される波長が設定波長からシフトするという問題があった。波長がシフトするとSHGレーザモジュールの出力が不安定になる。
また、現在、蛍光顕微鏡及び蛍光分析などのバイオ技術の発展とともに、蛍光励起のための安価な可視光(400nmから532nm)レーザが必要とされているが、それに適したレーザモジュールは実現されていない。
上記課題を解決するために、本発明の波長変換モジュールの第1の態様は、外部共振器と、半導体レーザモジュールと、前記半導体レーザモジュールからの出射光の波長を該出射光よりも短い波長に変換する波長変換デバイスを有する波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスは和周波(SFG)と第2高調波(SHG)を発生させる非線形結晶の少なくとも一方からなる波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスの和周波(SFG)発生素子及び第2高調波(SHG)発生素子はリッジ型光導波路構造でかつ周期分極反転をしている波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスの和周波(SFG)発生素子及び第2高調波(SHG)発生素子はプロトン交換型光導波路構造でかつ周期分極反転をしている波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記半導体レーザモジュールと前記波長変換デバイスは光ファイバにより光結合されている波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記外部共振器が前記光ファイバの一部に設けられている波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記光ファイバが偏波保持ファイバである波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換モジュールの出射光の波長が160〜1620nmである波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスから出射される光を第2の光ファイバに入射させる波長変換レーザモジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記半導体レーザモジュールのスペクトル線幅は、0.5MHzより広く、縦モードは1本以上の光を発振する波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスの周期分極反転の周期はチャープを付けた構造を有する波長変換モジュールである。
本発明の波長変換モジュールの他の態様は、前記波長変換デバイスと前記光ファイバはレンズを介さずバッティングで接続されている波長変換モジュールである。
図2は、実施例1の半導体レーザ素子の構造を示す。
図3は、実施例1の半導体レーザ素子の電流−光出力特性を示す。
図4は、従来のSHGレーザモジュールを示す。
図5は、本発明の実施形態2のSHGレーザモジュールを示す。
図6は、本発明の実施形態3のSHGレーザモジュールを示す。
図7は、外部共振器、半導体レーザモジュール、及び、SFG素子から構成される波長逓倍モジュールを示す。
図8は、半導体レーザモジュールとSFG発生素子から構成される波長逓倍モジュールを示す。
図9は、外部共振器、半導体レーザモジュール、及び、SFG発生素子とSHG発生素子から構成される波長逓倍モジュールを示す。
図10は、半導体レーザモジュール、及び、SFG発生素子とSHG発生素子から構成される波長逓倍モジュールを示す。
図11は、SFG素子とSHG素子の間が光ファイバにより光結合されているところを示す。
図12は、光ファイバが、偏波保存シングルモードファイバファイバである場合を示す。
図13は、波長逓倍モジュールから出射される光を、第2のファイバに入射させる場合の構成を示している。
図14は、和周波(SFG)発生素子が、リッジ型光導波路構造でかつ周期分極反転をしている場合を示している。
図15は、PPLNの周期分極反転の周期にチャープを付けた場合の、フォトマスク設計の一例を示す。
図16は、周期階調を施す場合の、フォトマスク設計の一例を示す。
図17は、高温状態で高電圧を印可して、導波路に分極を作る一例を示す。
図18は、接着剤を用いてPPLNと光ファイバを接続した場合の実施形態を示す。
図19にSFG、SHG理論によって計算した出力波形と実験値を示す。
図20にFBG無し488nm Blue Laserの構成を示す。
図21は、LDの制御温度を調節し、発振スペクトルをPPLNの位相整合波長(974nm)にあわせることを示している。(基本波)
図22は、図21に示す基本波から、SFG理論によって計算した出力スペクトルと実験値の比較を示す。
図23は、基本波の発信状態の安定さを示している。
図24は、基本波に同じLDを使い、FBG有りの場合と無しの場合についての比較を示す。
図25は、FBG無しとFBG有りの基本波をもとに、SFG計算した結果を示す。場合のLバンドの最長波長
発明を実施するために最良の形態
(実施の形態1)
実施の形態1では、半導体レーザモジュールの発振波長を安定させるために外部共振器としてFBGを用いている。
図1は、本発明の実施形態の波長変換レーザモジュール6を示す。半導体レーザモジュール1と波長変換デバイス3は、FBG2を有する偏波保持光ファイバ4で光結合させる。FBG2によって半導体レーザモジュール1から出射される光の波長は1つの縦モードで固定される。
波長変換レーザモジュール6の出力を変更するために、半導体レーザモジュール1の駆動電流を変更するが、FBG2によって波長が固定されているので、駆動電流を変更しても波長のシフトはない。よって波長変換レーザモジュール6の出力を安定して変更することができる。
波長変換デバイス3は偏波依存性があるので、光ファイバ4としては偏波保持ファイバを用いることが好ましい。
波長変換デバイス3から出射される第2高調波の出力を安定化させるために、SHGデバイス3はペルチェ素子8によって温度調整されることが望ましい。
波長変換デバイス3から出射される光は、短波長用シングルモード光ファイバ7に入射される。シングルモード光ファイバ7は、波長変換デバイス3から出射された光を効率よく伝播させることが出来る。また、用途がパワー伝送の場合は、波長変換デバイス3から出射される光を入射する光ファイバ7はシングルモードファイバに代えてマルチモードファイバを用いてもよい。
半導体レーザ素子5から出射される光の波長は976nmであった。この半導体レーザ素子5を図1に示す半導体レーザモジュール1に組み込み、波長変換レーザモジュール6を組み立てた。
波長変換デバイス3から出射される光の波長、すなわち波長変換レーザモジュール6から出射される光の波長は488nmであった。
実施例2の波長変換レーザモジュール6は、実施例1と同じ構造である。SHGデバイス3から出射される光の波長、すなわち波長変換レーザモジュール6から出射される光の波長は532nmであった。
実施例3の波長変換レーザモジュール6は、実施例1と同じ構造である。SHGデバイス3から出射される光の波長、すなわち波長変換レーザモジュール6から出射される光の波長は405nmであった。
このように、半導体レーザ素子5から出射される光の波長は、井戸層の材料、組成を変更することで800〜1200nmの範囲で任意に設計することができる。
また、FBG2を適宜設計することで、波長変換デバイス3に入射される光の波長を任意に固定することができる。
実施例1において用いた半導体レーザ素子5の電流−光出力特性を図3に示す。光出力は駆動電流が500mAのとき300mWであった。図4に示す従来技術では、半導体レーザ素子5の光出力が500mWで、YAG結晶21からの光出力は数mWであり、波長変換デバイス22への入力は数mWである。一方、本発明では図3に示すような高出力の光を直接波長変換デバイス3に入力することができるので、投入パワーに対する波長変換レーザモジュール6のエネルギー変換効率がよい。
(実施の形態2)
実施の形態2を図5に示す。半導体レーザ素子5と波長変換デバイス3の両方を温度調整用のペルチェ8の上に設置する。このようにすると、ペルチェ8で半導体レーザ素子5と波長変換デバイス3の両方を同時に温度制御することができ、ペルチェ8への投入電力を低減することができる。
(実施の形態3)
実施の形態3を図6に示す。この波長変換レーザモジュール6は、半導体レーザ素子5専用のペルチェ8と波長変換デバイス専用のペルチェ8を具備する。このようにすると、半導体レーザ素子5と波長変換デバイス3を独立に温度制御することができるため、波長変換レーザモジュール6の出力はより安定する。
(その他の実施形態)
レーザモジュールのその他の実施形態を下記に説明する。
図7に、外部共振器、半導体レーザモジュール、及び、この半導体レーザモジュールからの出射光の波長をこの出射光よりも短い波長に変換する和周波(SFG)を発生させる非線形結晶から構成される波長逓倍モジュールを示す。
ここでいうSFG変換を起こす半導体レーザは、スペクトル線幅0.5MHzより広く縦モードは1本以上の光源を指す。ただし、縦モード2本以上の場合、縦モード間隔は任意に取ることができる。スペクトル線幅が0.5MHzより狭く縦モードは1本の場合、SFG変換の幅とSHG変換の幅が変わらない。また、光源としては、半導体レーザに限定されるものではない。
SFG素子は非線形光学結晶であり、この非線形結晶はLN、KN、BBOなどからなる。また、疑似位相整合によるSFG発生のために、非線形結晶に周期分極反転構造を施した。
図8は、半導体レーザモジュールと、この半導体レーザモジュールからの出射光の波長を、この出射光よりも短い波長に変換する和周波(SFG)を発生させる非線形結晶から構成される波長変換モジュールを示す。この実施形態に用いられる半導体レーザモジュール及びSFG素子は、図7に示される実施形態のものと原則的に同じものである。
図9は、外部共振器、半導体レーザモジュール、及び、この半導体レーザモジュールからの出射光の波長を、この出射光よりも短い波長に変換する和周波(SFG)発生素子と第2次高調波(SHG)を発生させる非線形結晶から構成される波長逓倍モジュールを示す。素子については、図9に示されるように、SHG素子+SFG素子となる場合と、SFG素子+SHG素子となる場合が考えられる。この実施形態に用いられる半導体レーザモジュール及びSFG、SHG素子は、図7に示される実施形態のものと原則的に同じものである。
図10は、半導体レーザモジュールとこの半導体レーザモジュールからの出射光の波長を、この出射光よりも短い波長に変換する和周波(SFG)発生素子と第2次高調波(SHG)を発生させる非線形結晶から構成される波長変換モジュールを示す。素子については、図10に示されるように、SHG素子+SFG素子となる場合と、SFG素子+SHG素子となる場合が考えられる。この実施形態に用いられる半導体レーザモジュール及びSFG、SHG素子は、図7に示される実施形態のものと原則的に同じものである。
上述の半導体レーザモジュール、和周波(SFG)発生素子、第2次高調波(SHG)発生素子は、光ファイバにより光結合されて波長変換モジュールとして所定の機能を発揮することができる。図11に示されるように、SFG素子とSHG素子の間も光ファイバにより光結合されている。
また、他の実施形態としては、上述の外部共振器が光ファイバの一部にもうけられている場合が考えられる。この外部共振器としては、Fiber Bragg Gratingタイプ、ファイバ内部に溝を入れフィルタ埋め込むタイプ、ファイバ端面にフィルタ張り付けるタイプ、ファイバ間にレンズを配置しその中にフィルタを入れるタイプ等の様々なタイプの適用が考えられる。
図12では、上述の光ファイバが、偏波保存シングルモードファイバファイバである場合を示す。レーザから出射する光の偏光方向を保持するために、偏波保持ファイバの偏波保持方向とレーザからの偏光方向を合わせる。その合わせた方向を、更に、次のデバイスであるSHG又はSFG素子又はSHG+SFG素子の結晶及び変換効率が最大になるための軸方向に合わせた構造をとることができる。
また、波長逓倍モジュールの出射光波長として、SFG結晶の透過波長を使うことも考えられる。この場合、主に基本波は、1064nm以下のLD及びDBRレーザを用いる。
図13は、上述の波長逓倍モジュールから出射される光を、第2のファイバに入射させる場合の構成を示している。
図14は、和周波(SFG)発生素子が、リッジ型光導波路構造でかつ周期分極反転をしている場合の実施形態を示している。図14に示すように、この素子は、薄く研磨した非線形結晶と接着剤(有機系又は無機系)とベース基板(非線形結晶もしくは線膨張係数が同程度のシリコン、ガラス又は結晶)からなる構造を有している。
上記において説明してきた本発明に係る波長変換モジュールの出力光の波長範囲としては、LBO結晶の最小透過波長である160nmから通信用で波長変換する場合のLバンドの最長波長である1620nmまでの範囲が考えられる。
次に、波長逓倍素子であるPPLN(Periodically Poled LiNbO3)について説明する。PPLNの周期分極は一定であり、周期が変換する波長を決定するため、効率よく波長変換するには、周期が揃っていることが重要である。しかし、一方で温度と波長のトレランスが非常に厳しくなる。従って、光源のモードホップ、PPLNの線膨張係数及び屈折率温度係数の影響があるため、超精密制御をしなければ使えないことになる。実用的には変換効率が若干下がっても問題はないので、温度と波長のトレランスを緩くする方法を採ることができおる。そのため、周期分極にバラツキを持たせることで解決する。
周期分極にバラツキを持たせる方法は、下記に示す3通りの方法が考えられる。第1の方法は、PPLNの周期分極反転の周期にチャープを付けた構造を有する場合である。周期チャープマスクを行い、例えば図15に示すフォトマスク設計を行なうことが考えられる。
また、周期階調を施すことも考えられる。フォトマスク設計を例えば、図16に示すように行なうことが考えられる。更に、導波路に分極を起こすことも考えられる。高温状態で高電圧を印可して分極を作る条件を操作して、実際の導波路に図17に示されるような分極を起こすことができる。
次に波長変換素子であるPPLNと光ファイバの接続について説明する。接続の構造としては、表1に示すようなレンズを使わない場合と、表2に示すようなレンズを使う場合が考えられる。
レンズを使う場合には、入力ファイバのNA(開口角)×コリメートレンズの焦点距離f1と、集光レンズの焦点距離f2×PPLNのNAが一致するように、入力ファイバとPPLNのNAを測定しf1,f2を選択する。同様に、出力ファイバのNA(開口角)×集光レンズの焦点距離f1と、コリメートレンズの焦点距離f2×PPLNのNAが一致するように、入力ファイバとPPLNのNAを測定しf1,f2を選択する。以上により、基本波とSH波のWARコートにすると出力が安定する。また、PPLNの入力側の面に基本波に対してAR、SH波は反射コートを施し、出力側はSH波に対してAR、基本波は反射コートを施したところ、SH波が非常に不安定であった。
次に、波長変換素子であるPPLNの固定方法について説明する。PPLNにも、溝加工は可能であるが、脆いため加工は困難である。従って、波長逓倍素子と光ファイバがレンズを介さずバッティングで接続する方法が有効である。また、波長逓倍素子と光ファイバがレンズを介さずバッティングで接続され、かつ光路に接着剤を使用していないこと実施形態も可能である。
次に、図18を用いて、接着剤を用いて接続した形態を示す。レンズを用いない場合には、キャピラリーに溝を付けて接続し、レンズを用いない場合には、レンズに溝を付ける形態を示す。接着剤は、紫外線硬化もしくは熱効果型が良い。
レンズを用いない場合、キャピラリーは、ガラス類(石英、ホウ珪酸ガラスなど)、セラミックス類(ジルコニアなど)、金属類(SUSなど)を使用することができる。特に、紫外線硬化接着剤を使う場合は、ガラス類の方が紫外線を透過するため良い。
レンズを用いる場合には、コリメートと集光レンズの固定には接着剤を用いる。但し、コリメートビームに掛からなければ溝を付けて同様な接着方法も可能である。また、他の方法としてパイプの内周とレンズ外周にメタライズし、パイプとレンズをハンダで固定しても良い。
(波長逓倍モジュールの実施例)
半導体モジュールと波長変換素子から構成される波長変換モジュールを用いて、その性能を実験で確認した。具体的には、FBG(Fiber Bragg Grating)を備えず、976LD(Semiconductor Laser Diode)の半導体と、PPLN(Periodically Poled Lithium Niobate)を用いたSFG(Sum Frequency Generation)素子で構成される青色レーザである。
そこで我々は、光増幅器の励起光源であるマルチモード発振する976nmLD(Laser Diode)と疑似位相整合によるPPLNを組み合わせて488nm青色レーザを開発した。
縦モードシングルの基本波で波長変換を行う場合、SHG(Second Harmonic Generation)理論での計算が一般的であるが、使用した基本波は、光通信用の半導体レーザであるため、波長ロックのためのFBG付きで半値全幅が約1nmのスペクトル幅がある。そのため、半値全幅が1nm程度のスペクトル幅においてもSHG(Second Harmonic Generation)光だけでなくSFG光が発生することが分かった。次に、我々はFBGを用いない半値全幅が約5nmのマルチモード発振する976nmLDでSFG理論によるシミュレーションを行い、PPLN設計波長とFBGのロッキング波長のずれによる位相整合条件のミスマッチを防ぎ、かつ実用的な488nm出力パワーが得られることを実験で確認した。
Martin M.Fejer[1]らは−QPM(Quasi Phase Matching)条件での第2次高調波の波長、温度等の特性と許容度を述べたが、彼らの理論は基本波をスペクトル幅の狭いsingle modeとして計算しているため一般的ではない。スペクトル幅のある基本波を用いる場合にはSFG理論を利用して計算すると実験値と一致する。入射光を各波長ごとに分割し(λ1,λ2,…λN)各々の波長に対応する光強度を(P1,P2,…PN)とする。SFGの原理によって任意な波長λiが全ての波長λjと結合して、波長λkが
である光を生じる。生じる光λkの光強度は基本波λiとλjの強度Pi,Pjとλiとλjの位相整合条件ΔSによって決まる。図19にSFG、SHG理論によって計算した出力波形と実験値を示す。実験で得たスペクトル(半値全幅0.113nm)に対しSHG理論による計算では、半値全幅0.003nmと線幅は狭くなるが、SFG理論計算による計算では半値全幅0.094nmと実験値に一致する。
基本波にFBG無しのLDを用いる場合、FBG有りに比べて、
1)LDチップを温度制御することで波長チューニングを行いPPLNの設計波長との調整が可能となる。
2)さらに構成する部品の簡素化ができる。
3)位相整合波長のピークパワーは下がるが和周波のため488nm出力はシンク関数ほど低下しない。
などが挙げられる。図20にFBG無し488nm Blue Laserの構成を示す。
(調整)
LDの制御温度を調節し、発振スペクトルをPPLNの位相整合波長(974nm)にあわせること(図21参照)で488nm output Powerの最適化が可能である。基本波が広帯域であるため、PPLN側の温度制御も必要としない。
基本波(図21参照)からSFG理論によって計算した出力スペクトルと実験値を比較する。図22に示す実験の488nmスペクトル結果からLDの温度制御により488nm output Powerの調整が可能なことがわかる(12deg最適)。またSFG理論による計算結果が実験値とスペクトル形状、半値全幅とも一致しSFG理論計算が正しいことがわかる。
(488nm出力の安定性)
FGB無し976nmLDの場合、その基本波の発信状態は不安定であり、時間と共に変化する。基本波の発信状態の不安定さは、そのまま488nm光出力の不安定さへと直結する。そこで我々はPPLN出力後の488nmPowerをモニタし、LD制御回路へフィードバック処理をかけることで、図23に示す通り488nm光出力の安定性がプラスマイナス5%以内であることを確認した。また、その時の488nm光出力の波長安定性は0.07nm以下であった。
(FBG付きとFBG無しの場合の比較)
基本波(図24参照)に同じLDを使い、FBG有りの場合と無しの場合について計算値、実験値とも比較する。
PPLNへの入射PowerはFBG有りが180mW、無しが208mWであるが、FBG無しの基本波ピークPowerはFBG有りの1/4程度である。この基本波をもとにSFG計算した結果を図25に示す。
表4に示すように、SFG理論による計算がFBG有り、無しの場合とも実験値と一致することが示されている。また、実験での出力Power比(FBG無し/有り)は25%、計算では27%であり、SFG理論による計算が実験値と一致する正しい値を与えることがわかる。
従って、FBGを用いない広帯域な基本波に対してSFG理論による計算が実験値と一致することを証明した。FBGを用いない976nmLDとPPLNを組み合わせることで、小型で出力4mW、光出力安定性±0.5%以内、波長安定性0.07nmの488nm青色レーザを供給できることが証明された。
(パワーモニタ)
ここで、光出力を測定してフィードバックコントロール等に適用できるパワーモニタの具体的な実施形態を説明する。
パワーモニタのひとつの実施形態としては、PPLNからの光の漏れを検出するものが考えられる。PPLNからは10%程度の光の漏れが生ずるので、PPLDの付近にPD素子を配置して、この漏れ光を測定することによって、出力を検出することができる。
また、パワーモニタのその他の実施形態として、PPLNの出射側にカップラー等の分岐部を配置させて、所定の(例えば全体の数パーセント)パワーを分岐させ、この分岐路の終端にPD素子を配置させて出力を検出することもできる。
また、パワーモニタのその他の実施形態として、PPLNの出射側にレンズ等が配置された空間結合部分にPD素子を配置させ、その散乱光(レンズ端面による反射光)等を測定することも可能である。
また、上述の実施形態のPD素子の前に、更に、測定対象光のみを透過させる、(もしくは測定対象光以外を反射させる)光フィルタを配置させることも可能である。これは、上述のどの実施形態に適用が可能である。
(フォトニック結晶ファイバの適用)
本発明の波長変換モジュールにおいては、光ファイバとしてフォトニック結晶ファイバ(フォーリーファイバ)を用いることができる。
フォトニック結晶ファイバは、フォトニックバンドギャップ(PBG:Photonic Band Cap)の原理を用いて光を閉じ込めて成立させる光ファイバである。より具体的に言えば、フォトニック結晶ファイバは、光の波長と同程度の周期構造を持ち比較的大きな屈折率変化がある媒質においては、特定の波長の光はこの媒質中を経過できるが、異なる波長の光は浸入できずに跳ね返されるというPBG原理を用いた光ファイバである。
特に、このフォトニック結晶ファイバをPPLNの入射側と出射側に配置させると、光結合効率がSMFよりも良好になるという効果を有する。それは、PPLN内での光の角度の広がりに対し、フォトニック結晶ファイバの方が受光効率がよいからである。
以上のように、本発明により、半導体レーザ素子の駆動電流を変化させても半導体レーザモジュールの発振波長が安定にすることができ、その結果出力が安定なSHGレーザモジュール、または出力を安定して変化させることができるSHGレーザモジュールを提供することができる。
また、半導体レーザモジュールとSFG発生素子を組み合わせることにより、出力の安定した波長逓倍モジュールを供給することができる。
更に、この波長逓倍モジュールに、SHG発生素子を組み合わせたり、外部共振器としてFBGを組み合わせたり可能であり、様々な機器構成によって安定した出力を得ることができる。
Claims (12)
- 外部共振器と、半導体レーザモジュールと、前記半導体レーザモジュールからの出射光の波長を該出射光よりも短い波長に変換する波長変換デバイスを有する波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスは和周波(SFG)と第2高調波(SHG)を発生させる非線形結晶の少なくとも一方からなるクレーム1に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスの和周波(SFG)発生素子及び第2高調波(SHG)発生素子はリッジ型光導波路構造でかつ周期分極反転をしているクレーム2に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスの和周波(SFG)発生素子及び第2高調波(SHG)発生素子はプロトン交換型光導波路構造でかつ周期分極反転をしているクレーム2に記載の波長変換モジュール。
- 前記半導体レーザモジュールと前記波長変換デバイスは光ファイバにより光結合されているクレーム1又は2に記載の波長変換モジュール。
- 前記外部共振器が前記光ファイバの一部に設けられているクレーム1、2又は5の何れか1に記載の波長変換モジュール。
- 前記光ファイバが偏波保持ファイバであるクレーム1,2,5又は6の何れか1に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換モジュールの出射光の波長が160〜1620nmであるクレーム1,2及び5から7の何れか1に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスから出射される光を第2の光ファイバに入射させるクレーム1,2及び5から8の何れか1に記載の波長変換レーザモジュール。
- 前記半導体レーザモジュールのスペクトル線幅は、0.5MHzより広く、縦モードは1本以上の光を発振するクレーム1,2及び5から9の何れか1に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスの周期分極反転の周期はチャープを付けた構造を有するクレーム1,2及び5から10の何れか1に記載の波長変換モジュール。
- 前記波長変換デバイスと前記光ファイバはレンズを介さずバッティングで接続されているクレーム1,2及び5から11の何れか1に記載の波長変換モジュール。
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