JPWO2003044539A1 - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

基板上に形成された第１及び第２の固定電極と、この第１及び第２の固定電極上に対向して設けられ第１の弾性支持体によって基板に弾性支持され揺動可能な可動電極と、第２の弾性支持体によって基板に弾性支持され基板に対して垂直方向の加速度に応答して移動可能な質量体と、可動電極と質量体とを可動電極の揺動軸と所定距離離れた位置で連結する連結部と、を備え、第１の固定電極と可動電極とにより形成される第１の静電容量と、第２の固定電極と可動電極とにより形成される第２の静電容量の変化に基づき加速度の測定を行なう。これにより、耐衝撃性に優れ、信頼性が高い加速度センサを得ることができる。

Description

技術分野
本発明は、加速度センサに関し、特に耐衝撃性が優れ、信頼性が高い加速度センサに関するものである。
背景技術
第１６図は、例えば特開平５−１３３９７６号公報に開示されている従来の加速度センサの平面図であり、第１７図は第１６図のＧ−Ｇ線断面図である。
第１６図及び第１７図において、１０１は基板であり、基板１０２上には第１の検知電極１０２、第２の検知電極１０３及び駆動電極１０４が形成される。
１０５は可動電極であり、半導体材料１０６の枠内に、第１の検知電極１０２、第２の検知電極１０３及び駆動電極１０４と対向して設けられ、撓み部１０７によって撓み支持されており、その一方の端部（ここでは、第２の検知電極１０３側の端部）に重り１０８を有している。
金属コンタクト１０９はドープされている領域１１０まで酸化膜１１１を貫通して設けられており、そのドープ領域１１０は下方に延在して第１の検出電極１０２、第２の検出電極１０３及び駆動電極１０４の各々と接触している。
第１の検出電極１０２、第２の検出電極１０３及び駆動電極１０４は、別のガラス基板上に形成されてもよく、または、接合分離技術もしくは酸化膜分離技術により、半導体材料１０６内に形成されてもよい。第１７図における第１の検出電極１０２、第２の検出電極１０３及び駆動電極１０４は、ｐｎ接合分離埋込電極による場合を示している。
次に、このような従来の加速度センサにおける加速度の検出原理について説明する。第１８図は、従来の加速度センサの測定原理を説明する図である。
第１の検出電極１０２、第２の検出電極１０３及び可動電極１０５はいずれも導電性であり、互いに対向するように配置されているので、第１の検知電極１０２と可動電極１０５間、第２の検知電極１０３と可動電極１０５間でそれぞれ静電容量Ｃ１、Ｃ２が形成される。撓み部１０７によって弾性支持された可動電極１０５の一方の端部には重り１０８が形成されているために、半導体材料１０６の厚さ方向の加速度に対して敏感で、撓み部１０７を結ぶ軸の周りにねじれやすくなっている。すなわち、矢印１１２で示すように半導体材料１０６の厚さ方向の加速度が印加された場合に、可動電極１０５が撓み部１０７を結ぶ軸の周りにねじれる。この可動電極１０５のねじれによって、上記静電容量Ｃ１、Ｃ２のうち、Ｃ１側の電極間距離が大きくなり、Ｃ２側の電極間距離が小さくなる。したがって、静電容量Ｃ１の容量値が減少し、静電容量Ｃ２の容量値が増加する。この静電容量変化を差動検出することによって印加された加速度を測定することができる。加速度が印加される方向が矢印１１２と逆方向の場合は、上記と逆方向に可動電極１０５がねじれ、静電容量Ｃ１の容量値が増加し、静電容量Ｃ２の容量値が減少する。
このような従来の加速度センサは、加速度が印加された際に重り１０８に作用する慣性力を用いて、加速度を可動電極１０５のねじれ、更には、第１及び第２の検知電極１０２、１０３と可動電極１０５との間で形成される静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化に変換して、加速度を測定するように構成されている。したがって、第１８図に示されるように、加速度が印加された際の静電容量Ｃ１、Ｃ２を形成する第１及び第２の検知電極１０２、１０３と可動電極１０５との間の電極間距離の変化量ｄ１は、その構造上、重り１０８が設置された可動電極１０５の端部における変位量ｄ２よりも小さい。すなわち、加速度が印加された場合に重り１０８に作用する慣性力による加速度の可動電極の変位量への変換効率という観点では、従来の加速度センサにおいては、重り１０８の変位量ｄ２よりも大きな電極間距離の変位量ｄ１を得ることができない。したがって、検出回路側で検出可能なレベルの静電容量変化を得るのに必要な電極間距離の変化量よりも、更に大きな重りの変位量を必要とする。これは、撓み部１０７の剛性が必要以上に低下してしまうことを意味し、センサとして望ましくない検出軸方向以外の加速度に対する感度が発生したり、可動電極１０５が半導体材料１０６や基板１０１に接触する確率が高まって、センサの耐衝撃性や信頼性を低下させてしまうという課題があった。
また、加速度が印加される際に可動電極１０５が撓み部１０７の周りにねじれるようにするために、可動電極１０５上に重り１０８を設ける必要があるが、重り１０８を可動電極１０５の一端側にのみ設けるため、可動電極１０５の重心が撓み部１０７を結ぶ軸上に存在しないので、加速度が印加されていない場合の可動電極１０５の平衡性を得るのが困難である。すなわち、初期状態においてさえ可動電極１０５がねじれるために、可動電極１０５の平衡状態を維持しにくく、静電容量Ｃ１、Ｃ２の初期値を同一にするのが難しく、検出精度を低下させたり、検出特性の較正工程を複雑にするという課題もあった。
また、過大な加速度が印加された際に可動電極１０５が大きくねじれ、その端部が基板１０１に接触してセンサ構造体を破壊してしまうおそれがあった。
また、使用環境の温度変化などによって特性が変動してもこれを補正する手段がないので、使用環境によって得られる加速度に誤差が生じるという課題もあった。
また、その構造上、第１の検知電極１０２、第２の検知電極１０３及び駆動電極１０４を半導体材料１０６内の埋込電極として形成し、ドープ領域１１０を介して第１の検知電極１０２、第２の検知電極１０３及び駆動電極１０４と金属コンタクト１０９とを電気的に接続するするので、埋込電極としての第１の検知電極１０２、第２の検知電極１０３及び駆動電極１０４や、ドープ領域１１０などの半導体材料１０６内における深さが、加工技術の面から事実上制限されるので、上述の検出原理と相まって、可動電極１０５の変位量の設計自由度が低くなるとともに、加工方法が複雑で製造コストが上昇するという課題もあった。
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたものであり、検出軸方向の加速度を高感度に検出するとともに、可動部分の剛性を高めることによって他軸感度を抑制し、更に、信頼性を高めた加速度センサを得ることを目的とする。
また、本発明の別の目的は、設計自由度が高い構造を有する加速度センサを得ることである。
更に、別の目的は、過大な衝撃などが加えられた場合などでも破損しにくい耐衝撃性の強い加速度センサを得ることである。
更に、別の目的は、小型で、大量生産が可能で、安価な加速度センサを得ることである。
更に、別の目的は、３軸方向の加速度が検出可能な加速度センサを得ることである。
発明の開示
本発明に係る加速度センサは、基板上に形成された第１及び第２の固定電極と、この第１及び第２の固定電極上に対向して設けられ第１の弾性支持体によって基板に弾性支持され揺動可能な可動電極と、第２の弾性支持体によって基板に弾性支持され基板に対して垂直方向の加速度に応答して移動可能な質量体と、可動電極と質量体とを可動電極の揺動軸と所定距離離れた位置で連結する連結部と、を備え、第１の固定電極と可動電極とにより形成される第１の静電容量と、第２の固定電極と可動電極とにより形成される第２の静電容量の変化に基づき加速度の測定を行なうので、加速度が印加された際の可動電極の端部の変位量を質量体の変位量より大きくすることができる。すなわち、質量体の小さな変位で大きな検出容量変化が得られるので、ねじれ梁の剛性を必要以上に下げることなく加速度を高感度に検出する加速度センサを得ることができる。可動部分の剛性を高めることによって他軸感度を抑制し、耐衝撃性に優れ、信頼性が高い加速度センサを得ることができる。
また、可動電極を質量体で囲繞して両者の重心を一致させることにより、初期状態においても可動電極の平衡が維持され、第１の固定電極と可動電極間の静電容量と第２の固定電極と可動電極間の静電容量の初期値を同じにすることができるので、測定精度が安定し、較正工程も容易になる。
また、基板上に質量体と対向して設けられ、質量体との間に電圧印加することにより加速度センサの動作チェックを行なう自己診断電極を備えるので、加速度が印加されていない場合でも、自己診断電極と質量体との間に電圧印加することにより、これらの間に静電引力を発生させて質量体を強制的に駆動し、可動電極をねじれ梁を軸として揺動させることができるので、センサ構造体が破壊されていないか、その機能を自己診断することができる。
また、基板上に可動電極と対向して設けられ、可動電極との間に電圧印加することにより可動電極を所定位置に駆動する駆動電極を備えるので、駆動電極に印加する電圧を調整することによって印加加速度に応じて生じる可動電極のねじれを元に戻すサーボ型加速度センサとしても使用できる。したがって、検出特性が安定する上、可動電極と基板とが接触する可能性が極めて低くなり、信頼性の高い加速度センサを得ることができる。
また、基板上に質量体と対向して補正電極を設けることにより、使用環境の温度変化などによって特性が変動してもこれを補正することができるので、使用環境によって得られる加速度に誤差が生じるのを防ぐことができる。
また、第１及び第２の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量を電圧に変換する第１の容量電圧変換器と、質量体と補正電極との間に形成される静電容量を電圧に変換する第２の容量電圧変換器と、第１の容量電圧変換器からの出力値と第２の容量電圧変換器からの出力値を演算する演算器とを備えるので、補正電極を用いて特性変動の補正を確実に行なうことができる。
また、基板の面内方向の加速度を測定する第２および第３の加速度センサを備えて、第２の加速度センサと第３の加速度センサとは互いに直交する方向の加速度に応答するように構成することにより、３軸方向の加速度を検出する加速度センサを得ることができる。
また、少なくとも可動電極、質量体、第１の梁、第２の梁及び第３の梁がポリシリコンにより一体形成されるので、加速度センサの製造を簡便に行なうことができる。また、可動部の質量を大幅に小さくすることができ、過大な加速度が印加された場合でもセンサ構造体が破壊されにくくなり、耐衝撃性を向上させることができる。
さらにまた、少なくとも可動電極、質量体、第１の梁、第２の梁及び第３の梁が単結晶シリコンにより一体形成されるので、加速度センサの製造を簡便に行なうことができる。また、可動電極や質量体の厚さの調整が容易であり、質量体の質量や静電容量を任意に設定できるなど、加速度センサの設計自由度を高くすることができる。
発明を実施するための最良の形態
実施の形態１．
第１図は本発明の実施の形態１の加速度センサの平面図である。第２図及び第３図は、それぞれ第１図におけるＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線断面を示す図である。これらの図を用いて本発明の実施の形態１の加速度センサの構造を説明する。１はシリコン基板であって、説明の簡単化のために図示は省略するが、好ましくはその表面に絶縁膜が形成されている。この絶縁膜としてはＬＰＣＶＤ法によって堆積された低応力の窒化シリコン膜などが適している。このようなシリコン基板１の上に第１の固定電極２、第２の固定電極３及び自己診断電極４が形成される。これら第１の固定電極２、第２の固定電極３及び自己診断電極４は、例えばＬＰＣＶＤ法によって堆積されたポリシリコン膜をエッチングすることによって同時に形成することができる。
５は可動電極であり、第１の固定電極２及び第２の固定電極３の上には間隔を隔ててこれらと対向するように配置される。可動電極５はその中心線Ａ−Ａ線に対して線対称であり、その一方の側（左側領域５ａ）が第１の固定電極２に、その他方の側（右側領域５ｂ）が第２の固定電極３に対向するように配置される。
６はねじれ梁であり、可動電極５の中心線Ａ−Ａ線上に設けられる。
ねじれ梁６となる部分の周りを開口することにより可動電極５とねじれ梁６とを一体形成できる。
可動電極５はねじれ梁６によりアンカー部７を介してシリコン基板１に弾性支持され、ねじれ梁６を軸として揺動するように構成される。このように構成することによって、第１の固定電極２と可動電極５とで形成される静電容量Ｃ１と、第２の固定電極３と可動電極５とで形成される静電容量Ｃ２とが差動容量を構成するようになる。
８は質量体であり、自己診断電極４の上に間隔を隔ててこれと対向するように配置され、可動電極５の周囲を間隔を隔ててとり囲んでいる
質量体８は支持梁９によりアンカー部１０を介してシリコン基板１に弾性支持され、シリコン基板１の厚さ方向の加速度に応じて移動可能であるように構成される。
１１は可動電極５と質量体８とを物理的に連結するリンク梁である。可動電極５と質量体８とは可動電極の中心線Ａ−Ａ線から所定距離離れた位置で可動電極の中心線を挟む両側のうち一方の側でのみリンク梁１１により連結される。第１図の例では、可動電極５の左側領域５ａのみがリンク梁１１で連結される。可動電極５と質量体８とは可動電極の両側２ヶ所で連結され、可動電極５の中心線から各リンク梁までの距離は等距離である。リンク梁１１は可動電極５の端部より中心線側に設けられる。
１２ａは可動電極５及び質量体８のシリコン基板１側に突出する微少な突起である。１２ｂは突起１２ａを設けることにより、突起１２ａが形成される面と反対側の面に形成される窪みである。
このように構成される実施の形態１の加速度センサの製造方法の一例について説明する。
まず、シリコン基板１上に第１の固定電極２、第２の固定電極３及び自己診断電極４を形成する。これらの電極は、例えばＬＰＣＶＤ法によって堆積されたポリシリコン膜をエッチングすることによって同時に形成することができる。
次にＰＳＧ膜などを犠牲層として形成し、この犠牲層を所望の凹凸形状に加工する。この凹凸形状は、犠牲層上へのマスク形成と犠牲層のエッチングを繰り返して行なうことにより得ることができる。
その後、ポリシリコン膜を形成し、所望の形状にパターニングを行なう。その後、犠牲層を選択的にエッチング除去することにより、第１図に示される加速度センサが得られる。このとき、用いられるポリシリコン膜は低応力であり、かつ、厚さ方向に応力の分布がないことが望ましく、その厚さは典型的には２〜４μｍ程度である。
このような方法で加速度センサを製造することにより、形成する犠牲層の膜厚を変更することにより、第１の固定電極２及び第２の固定電極３と可動電極５との間の距離を任意に設計することができ、静電容量Ｃ１、Ｃ２を容易に変更することができる。また、質量体８に対応する位置における犠牲層の凹部の深さを変更することにより、質量体８の厚さ、すなわち重量、を任意に設計することができる。
また、可動電極５、ねじれ梁６、リンク梁１１、質量体８、支持梁９及びアンカー部７、１０の形成において、ポリシリコン膜の堆積及びエッチングを一括して行なうことができる。また、第１の固定電極２、第２の固定電極３、自己診断電極４の形成においても、ポリシリコンの堆積及びエッチングを一括して行なうことができる。また、シリコン基板１上に堆積したポリシリコン膜を加工するだけでよいので、複数の基板の張合わせが不要であり、製造工程が格段に少なく、大量生産も可能であり、製造コストを大幅に抑えることができる。また、小型化することもできる。
また、可動電極５、ねじれ梁６、リンク梁１１、質量体８、支持梁９などの可動部をすべてポリシリコン膜によって形成することにより、可動部の質量を大幅に小さくすることができるため、過大な加速度が印加された場合でもセンサ構造体が破壊されにくくなり、耐衝撃性を向上させることができる。
以上説明したような本発明の実施の形態１の加速度センサの典型的なサイズは、第１の固定電極２及び第２の固定電極３を２５０μｍ×５００μｍ、第１の固定電極２、第２の固定電極３と可動電極５との間隔は２μｍである。このとき、静電容量Ｃ１、Ｃ２の初期値を約０．５５ｐＦとすることができる。
次に、加速度の検出原理を第４図〜第７図を用いて説明する。第４図及び第５図は、シリコン基板面に対し垂直な方向（矢印２０の方向）の加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、それぞれ、第１図におけるＡ−Ａ線断面、Ｂ−Ｂ線断面を示す図である。また、第６図及び第７図は、シリコン基板面に対し垂直な方向（矢印２１の方向）の加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、それぞれ、第１図におけるＡ−Ａ線断面、Ｂ−Ｂ線断面を示す図である。
第４図及び第５図に示されるように、シリコン基板１に垂直な方向（矢印２０の方向）の加速度が印加された際に、質量体８には慣性力が作用する。質量体８は支持梁９によってシリコン基板１に垂直な方向に移動可能であるように弾性支持されているので、この慣性力によって印加された加速度と反対方向（矢印２１の方向）に変位する。可動電極５はその中心線Ａ−Ａより左側でリンク梁１１によって質量体８と物理的に連結されているので、質量体８の下側への変位によって可動電極５の左側領域５ａも下に押し下げられる。可動電極５はねじれ梁６によって弾性支持されているので、このようにその左側領域５ａが下に変位すると、シーソーのようにしてその右側領域５ｂが上に変位する。このような可動電極５のねじれ振動によって第１の固定電極５と可動電極５の左側領域５ａとの間で形成される静電容量Ｃ１は、電極間距離が狭くなるために容量値が増加する。一方、第２の固定電極３と可動電極５の右側領域５ｂとの間で形成される静電容量Ｃ２は、電極間距離が広くなるために容量値が減少する。この静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化を差動検出することで、印加された加速度を測定することができる。
実施の形態１の加速度センサにおいては、可動電極５と質量体８とを連結するリンク梁１１が可動電極５の中間部に設けられているので、第４図及び第５図に示されるように、加速度が印加された際の可動電極５の端部における変位量ｄ１を質量体８の変位量ｄ２より大きくすることができる。すなわち、質量体８の小さな変位で大きな検出容量変化が得られるので、ねじれ梁６の剛性を必要以上に下げることなく加速度を高感度に検出する加速度センサを得ることができる。したがって、信頼性も向上させることができる。
印加された加速度の方向が上記と逆の方向の場合には、第６図及び第７図に示されるように質量体８の変位方向、可動電極５のねじれ方向、静電容量Ｃ１、Ｃ２の変化が上記説明と逆になるだけで、同様に加速度を測定できることは言うまでもない。
また、第１図のようにねじれ梁６と支持梁９とを直交するように配置することによって、シリコン基板１の面内方向の加速度に対して、質量体８及び可動電極５が移動しないように構成することができる。すなわち、センサとして望ましくない他軸加速度感度が発生しないようにすることができる。
また、可動電極５を質量体８で囲繞して両者の重心を一致させるようにしたので、初期状態においても可動電極５の平衡が維持され、検出容量Ｃ１、Ｃ２の初期容量値を同じにすることができるので、測定精度が安定し、較正工程も容易になる。
次に、自己診断機能について説明する。質量体８と対向するシリコン基板１上に自己診断電極４を設けているが、この自己診断電極４と質量体８との間に電圧を印加することによってこれらの間に静電引力を発生させ、質量体８を第４図、第５図のように下側へ変位させることができる。加速度が印加されていない場合でも、このように強制的に質量体８を変位させることによって、この質量体８とリンク梁１１で連結された可動電極５の左側領域５ａを下に、可動電極５の右側領域５ｂを上に変位させ、加速度が印加された場合と同様にして、静電容量Ｃ１及びＣ２に容量変化を発生させることができる。このようにして発生する容量変化を検出することで本発明による加速度センサが破壊されていないか、特性に変動がないかなど、その機能を自己診断することができる。
また、本実施の形態の加速度センサは、加速度センサの特性、信頼性を高めるために、さらに次のような工夫が施されている。
まず、第１点目は、第１図のようにねじれ梁６と支持梁９とが直交するように配置する点である。これによって、センサとして望ましくないシリコン基板平面内の加速度に対しての感度、すなわち、他軸加速度感度の抑制を図っている。
第２点目は、第１図〜第７図のように突起１２ａを適所に配置する点である。これによって、製造工程中の犠牲層除去工程で可動電極５や質量体８がシリコン基板１に付着して離れなくなってしまうことを防止する上、過大な加速度が印加されて可動電極５が大きくねじれた場合でも、可動電極５が第１の固定電極２あるいは第２の固定電極３に接触して短絡してしまうのを防いでいる。このような突起１２ａは可動電極５や質量体８を形成するポリシリコン膜を堆積する前に、その下面にある犠牲層にあらかじめ凹部を形成しておくことによって容易に形成することができる。
実施の形態２．
第８図は本発明による実施の形態２の加速度センサの平面図である。第９図及び第１０図は、それぞれ第８図におけるＣ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線断面を示す図である。
実施の形態２の特徴は、質量体８と対向してシリコン基板１上に設けられる自己診断電極４の横に補正電極３２を設けたこと、可動電極５と対向してシリコン基板１上に設けられる第１の固定電極２及び第２の固定電極３のそれぞれに近接して駆動電極３５、３６を設けたこと、及び、質量体８をシリコン基板１に弾性支持する支持梁として、折り曲げ部３７を有する支持梁３８を設け、アンカー部３９を介してシリコン基板１に弾性支持したことである。
第８図から第１０図において、第１図から第７図で示した符号と同じものは実施の形態１と同じまたは相当品を示す。
補正電極３２は温度変化などによる特性変動を補償するために設けられる電極である。加速度センサが使用される環境の温度が変化すると、加速度センサを構成する部材間の熱膨張係数の違いなどにより反りが発生して、静電容量Ｃ１及び静電容量Ｃ２が変動する場合がある。この静電容量Ｃ１及び静電容量Ｃ２の変動と質量体８と可動電極５とで形成する静電容量Ｃ３の変動は、同様の傾向を有することが多い。したがって、静電容量Ｃ３の変動を検出して、この変動に基づき静電容量Ｃ１、Ｃ２の変動を補正することができる。
第１１図は、本発明の実施の形態２の加速度センサにおける補正回路のブロック図である。
第１１図に示すように、静電容量Ｃ１、Ｃ２の変動を第１の容量電圧変換器４３によって電圧変換した出力値Ｖｓと、静電容量Ｃ３の変動を第２の容量電圧変換器４４によって電圧変換した出力値Ｖｒとを、電圧演算器４６を用いて、
Ｖｏｕｔ＝Ｖｓ−Ｋ・Ｖｒ
となるような演算処理を行うことによって、変動分のみを除去した出力値Ｖｏｕｔを得ることができる。ここでＫは補正係数である。
このように、基板１上に質量体８と対向して補正電極３２を設けることにより、使用環境の温度変化などによって特性が変動してもこれを補正することができるので、使用環境によって得られる加速度に誤差が生じるのを防ぐことができる。
また、駆動電極３５、３６は可動電極５のねじれを抑制し、本加速度センサをサーボ型として使用する場合に用いる電極である。すなわち、印加された加速度によって可動電極５がねじれ梁６の周りにねじれて静電容量Ｃ１、Ｃ２に不平衡が生じた場合に、この不平衡量をフィードバックし、不平衡量に応じた電圧を駆動電極３５あるいは駆動電極３６に印加することによって、可動電極５とこれら駆動電極３５あるいは駆動電極３６との間に生じる静電引力で可動電極５のねじれを元の平衡な位置に戻す。この平衡な位置に戻すために駆動電極３５あるいは駆動電極３６に印加した電圧に基づき加速度を求めることができる。
このようなサーボ型として使用することで、可動電極５がシリコン基板１に接触することによる動作不良あるいは破損を防止し、信頼性を向上することができる。
また、上記のように支持梁として、折り曲げ部３７を有する折り曲げ梁３８を用いることにより、ポリシリコン膜の残留応力が存在する場合であっても支持梁にかかる軸力を緩和し、座屈を防止することができる。
実施の形態３．
第１２図は本発明の実施の形態３の加速度センサの平面図である。第１３図及び第１４図は、それぞれ第１２図におけるＥ−Ｅ線、Ｆ−Ｆ線断面を示す図である。
実施の形態１、２においては、シリコン基板１上にポリシリコン膜で各種電極を形成したが、実施の形態３においてはガラス基板上に金属薄膜や単結晶シリコンで各種電極を形成している点が大きく異なる。
第１２図から第１４図において、５１はガラス基板であって、その上には第１の固定電極５２、第２の固定電極５３、自己診断電極５４、補正電極５５及び駆動電極５６、５７が、アルミニウム、あるいは、金などの金属薄膜で形成されている。第１の固定電極５２、第２の固定電極５３及び駆動電極５６、５７の上には間隔を隔ててこれらと対向するように可動電極５８が設けられている。可動電極５８はねじれ梁５９によりアンカー部６０を介してガラス基板５１に弾性支持されており、ねじれ梁５９を軸として揺動するようになっている。また、自己診断電極５４、補正電極５５の上には間隔を隔ててこれと対向するように質量体６１が配置されている。質量体６１は支持梁６２によりアンカー部６３を介してガラス基板５１に弾性支持されており、ガラス基板５１の基板面に対して垂直な方向の加速度に応じて移動可能であるように構成される。更に、質量体６１はリンク梁６４によって可動電極５８と物理的に連結されている。
可動電極５８、ねじれ梁５９、質量体６１、支持梁６２、リンク梁６４及びアンカー部６０、６３は単結晶シリコンにより一体形成される。
このように構成される実施の形態３の加速度センサの製造方法の一例について説明する。
まず、ガラス基板５１上に第１の固定電極５２、第２の固定電極５３、自己診断電極５４、補正電極５５、及び駆動電極５６、５７を形成する。これらの電極は、金属薄膜の堆積及びエッチングを一括して行ない同時形成することができる。
次に単結晶シリコン基板を加工して可動電極５８、ねじれ梁５９、質量体６１、支持梁６２、リンク梁６４及びアンカー部６０、６３を形成する。
箪結晶シリコン基板のアンカー部６０，６３に対応する部分の裏面側にマスクを形成し、単結晶シリコン基板をエッチングする。このエッチングは、例えばＤＲＩＥ法（ディープ反応性イオンエッチング法）などの方法によって、エッチング部の単結晶シリコン基板の厚さ、すなわち質量体の厚さが所望の厚さになるまで続ける。
次に、アンカー部６０，６３及び質量体６１に対応する部分の裏面側にマスクを形成し、単結晶シリコン基板をエッチングする。このエッチングは、例えばＤＲＩＥ法などの方法によって、エッチング部の単結晶基板の厚さ、すなわち可動電極５８の厚さが所望の厚さになるまで続ける。
次に、このマスクを除去後、アンカー部６０，６３の裏面側をガラス基板に貼り付ける。可動電極５８、ねじれ梁５９、質量体６１、支持梁６２、リンク梁６４及びアンカー部６０、６３に対応する部分の表面側にマスクを形成し、表面側から単結晶シリコン基板をエッチングすることにより単結晶シリコン基板を貫通させることにより、これらの各部位を形成することができ、上述した実施の形態３の加速度センサを得ることができる。
このように実施の形態３の加速度センサは、可動電極５８、ねじれ梁５９、質量体６１、支持梁６２、リンク梁６４及びアンカー部６０、６３を単一の単結晶基板を加工することにより作製することができる。
このように、エッチングを２段階で行なうことにより、質量体６１を厚く、可動電極５８を薄くすることができる。これによって、質量体６１の質量を大きくとれるので高感度化できるとともに、可動電極５８とガラス基板５１との間の距離を大きくとることができるので可動電極５８がガラス基板５１に接触しにくくし、耐衝撃性や信頼性を向上させることができる。
また、実施の形態３の加速度センサは、その製造を簡便に行なうことができるとともに、可動電極や質量体の厚さの調整が容易であり、質量体の質量や静電容量を任意に設定できるなど、加速度センサの設計自由度を高くすることができる。
尚、上記説明はエッチングを２段階で行なうものであるが、エッチングを１段階で行なってもよい。この場合には、質量体６１と可動電極５８の厚さは同じになるが、製造工程を簡略化できるという利点がある。
実施の形態４．
第１５図は本発明の実施の形態４の加速度センサの平面図である。
実施の形態４の加速度センサは、実施の形態１で述べたシリコン基板１の基板面に対して垂直な方向の加速度を検出する加速度センサに加えて、シリコン基板１の面内方向の加速度を検出する第２及び第３の加速度センサを備えるものである。
第１５図において、７０はシリコン基板１に対して垂直な方向（Ｚ軸方向）の加速度を検出する第１の加速度センサ、８０はシリコン基板１に対して水平な方向（Ｘ軸方向）の加速度を検出する第２の加速度センサ、９０はシリコン基板１に対して水平な方向であり、かつＸ軸方向に対して直交する方向（Ｙ軸方向）の加速度を検出する第３の加速度センサである。第１５図において、第１図から第７図と符号が同じものは、実施の形態１と同じまたは相当品を示す。
第１の加速度センサ７０としては、実施の形態１の加速度センサと同様のものが用いられる。なお、第１の加速度センサ７０として、実施の形態２乃至３の加速度センサを用いてもよい。
次に、第２の加速度センサ８０について説明する。
８１は質量体であり、その両端は、Ｘ軸に対して垂直方向に延びる４本の支持梁８２に接続されており、これらの支持梁８２は、シリコン基板１上に、間隔を隔てて設けられ、アンカー部８３によりシリコン基板に固定されている。このように質量体８１は支持梁８２によりシリコン基板１に弾性支持されており、Ｘ軸方向（矢印８８の方向）の加速度に応答して変位する。また、質量体８１は、Ｘ軸に対して垂直方向に延びる櫛歯状の可動電極８４を多数有している。ここでは、簡単のために極少数しか例示していない。
これらの櫛歯状の可動電極８４と対向するように固定電極８５、８６が設けられる。固定電極８５、８６の各々は、アンカー部８７を介してシリコン基板１に固定される。また質量体８１がＸ軸方向に変位する際に、各固定電極８５、８６が対向する可動電極８４との間隔のうち、一方の間隔が狭くなり、他方の間隔が広くなるように固定電極８５、８６が設けられる。
固定電極８５と可動電極８４とで静電容量Ｃ４を、固定電極８６と可動電極８４とで静電容量Ｃ５を形成しており、静電容量Ｃ４とＣ５は可動電極８４を共通とする差動容量を構成している。
この静電容量Ｃ４、Ｃ５の変化を差動検出することで、印加されたＸ軸方向の加速度を測定することができる。
次に、第３の加速度センサ９０について説明する。第３の加速度センサ９０を構成する、質量体９１、支持梁９２、アンカー部９３、可動電極９４、固定電極９５、９６は、第２の加速度センサに対して直交する方向に配置する点を除けば、第２の加速度センサと同様に構成される。
固定電極９５と可動電極９４との間で静電容量Ｃ６が、固定電極９６と可動電極９４との間で静電容量Ｃ７が形成され、静電容量Ｃ６とＣ７は可動電極９４を共通とする差動容量を構成している。
この静電容量Ｃ６、Ｃ７の変化を差動検出することで、印加されたＹ軸方向（矢印９８の方向）の加速度を測定することができる。
以上のように、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の加速度に応答して変位可能な質量体を有する容量式加速度センサを併設することによって１個のセンサチップで３軸方向の加速度を検出する加速度センサを得ることができる。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明にかかる加速度センサは、耐衝撃性が優れ、信頼性が高い加速度センサとして用いるのに適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施の形態１の加速度センサの平面図である。
第２図は、本発明の実施の形態１の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第１図のＡ−Ａ線断面を示す図である。
第３図は、本発明の実施の形態１の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第１図のＢ−Ｂ線断面を示す図である。
第４図は、本発明の実施の形態１の加速度センサにおいて、加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、第１図のＡ−Ａ線断面を示す図である。
第５図は、本発明の実施の形態１の加速度センサにおいて、加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、第１図のＢ−Ｂ線断面を示す図である。
第６図は、本発明の実施の形態１の加速度センサにおいて、加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、第１図のＡ−Ａ線断面を示す図である。
第７図は、本発明の実施の形態１の加速度センサにおいて、加速度が印加された際の動作状態を示す図であり、第１図のＢ−Ｂ線断面を示す図である。
第８図は、本発明の実施の形態２の加速度センサの平面図である。
第９図は、本発明の実施の形態２の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第８図のＣ−Ｃ線断面を示す図である。
第１０図は、本発明の実施の形態２の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第８図のＤ−Ｄ線断面を示す図である。
第１１図は、本発明の実施の形態２の加速度センサにおける補正回路のブロック図である。
第１２図は、本発明の実施の形態３の加速度センサの平面図である。
第１３図は、本発明の実施の形態３の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第１２図のＥ−Ｅ線断面を示す図である。
第１４図は、本発明の実施の形態３の加速度センサの断面の構造を示す図であり、第１２図のＦ−Ｆ線断面を示す図である。
第１５図は、本発明の実施の形態４の加速度センサの平面図である。
第１６図は、従来の加速度センサの平面図である。
第１７図は、従来の加速度センサの断面図であり、第１６図のＧ−Ｇ線断面図である。
第１８図は、従来の加速度センサの断面図で、第１６図のＧ−Ｇ線断面に対応し、加速度が印加された際の動作状態を示す図である。

Claims (9)

1. 基板上に形成された第１及び第２の固定電極と、この第１及び第２の固定電極上に対向して設けられ第１の弾性支持体によって上記基板に弾性支持され揺動可能な可動電極と、第２の弾性支持体によって上記基板に弾性支持され上記基板に対して垂直方向の加速度に応答して移動可能な質量体と、上記可動電極と上記質量体とを上記可動電極の揺動軸と所定距離離れた位置で連結する連結部と、を備え、
   上記第１の固定電極と上記可動電極とにより形成される第１の静電容量と、上記第２の固定電極と上記可動電極とにより形成される第２の静電容量の変化に基づき加速度の測定を行なう加速度センサ。
2. 可動電極が質量体で囲繞され、可動電極の重心と質量体の重心とが一致するように構成されてなる請求項１記載の加速度センサ。
3. 基板上に質量体と対向して設けられ、質量体との間に電圧印加することにより加速度センサの動作チェックを行なう自己診断電極を備えてなる請求項１記載の加速度センサ。
4. 基板上に可動電極と対向して設けられ、可動電極との間に電圧印加することにより可動電極を所定位置に駆動する駆動電極を備えてなる請求項１記載の加速度センサ。
5. 基板上に質量体と対向して設けられ、質量体との間に形成される静電容量に基づき第１及び第２の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量を補正する補正電極を備えてなる請求項１記載の加速度センサ。
6. 第１及び第２の固定電極と可動電極との間に形成される静電容量を電圧に変換する第１の容量電圧変換器と、質量体と補正電極との間に形成される静電容量を電圧に変換する第２の容量電圧変換器と、上記第１の容量電圧変換器からの出力値と上記第２の容量電圧変換器からの出力値を演算する演算器と、を備えてなる請求項第５項記載の加速度センサ。
7. 基板の面内方向の加速度を測定する第２及び第３の加速度センサをさらに備え、上記第２の加速度センサと上記第３の加速度センサとは互いに直交する方向の加速度に応答するように構成されてなる請求項１〜６のいずれか１項に記載の加速度センサ。
8. 少なくとも可動電極、質量体、第１の弾性支持体、第２の弾性支持体及び連結部がポリシリコンにより一体形成されてなる請求項１記載の加速度センサ。
9. 少なくとも可動電極、質量体、第１の弾性支持体、第２の弾性支持体及び連結部が単結晶シリコンにより一体形成されてなる請求項１記載の加速度センサ。

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