JPS649366B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS649366B2 JPS649366B2 JP3443184A JP3443184A JPS649366B2 JP S649366 B2 JPS649366 B2 JP S649366B2 JP 3443184 A JP3443184 A JP 3443184A JP 3443184 A JP3443184 A JP 3443184A JP S649366 B2 JPS649366 B2 JP S649366B2
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- ultrafine
- substrate
- gas
- coating film
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- Expired
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超微粒子を高速ガスの流れに乗せ
て、該超微粒子を基材面に吹き付け塗布し所定形
状の塗膜を形成する超微粒子塗膜の形成法に関す
る。
て、該超微粒子を基材面に吹き付け塗布し所定形
状の塗膜を形成する超微粒子塗膜の形成法に関す
る。
本願の発明者は先に上記に関する超微粒子塗膜
の形成法を提案した（特願昭57−196085号）。
の形成法を提案した（特願昭57−196085号）。
この方法において、その担持用ガスが超微粒子
中に巻き込まれ、その形成塗膜中にガスが残り、
基板へ強固に結着したその塗膜が得難い欠点があ
る。
中に巻き込まれ、その形成塗膜中にガスが残り、
基板へ強固に結着したその塗膜が得難い欠点があ
る。
本発明は、これを改善したもので、強固な超微
粒子塗膜を基板上に得られる超微粒子塗膜の形成
法を提案するもので、微細管を通る高速ガスの流
れに金属超微粒子を乗せ、該超微粒子を基板上に
吹き付け塗布し、所定形状の塗膜を形成する超微
粒子塗膜の形成法において、その担持搬送用ガス
を水素ガスとし、且つ基板を加熱し、使用する超
微粒子の融点以下であつて水素の拡散し得る温度
に保持した状態で該基板面に水素ガス担持の金属
超微粒子を吹き付けることを特徴とする。
粒子塗膜を基板上に得られる超微粒子塗膜の形成
法を提案するもので、微細管を通る高速ガスの流
れに金属超微粒子を乗せ、該超微粒子を基板上に
吹き付け塗布し、所定形状の塗膜を形成する超微
粒子塗膜の形成法において、その担持搬送用ガス
を水素ガスとし、且つ基板を加熱し、使用する超
微粒子の融点以下であつて水素の拡散し得る温度
に保持した状態で該基板面に水素ガス担持の金属
超微粒子を吹き付けることを特徴とする。
更に、好ましくは、このように超微粒子の塗膜
を形成した後も基板を加熱昇温する。然るとき
は、塗膜中に僅かに残り勝ちの水素ガスを追い出
すことができる。この場合、真空中又は不活性ガ
スを含む真空中で行なうことが一般である。
を形成した後も基板を加熱昇温する。然るとき
は、塗膜中に僅かに残り勝ちの水素ガスを追い出
すことができる。この場合、真空中又は不活性ガ
スを含む真空中で行なうことが一般である。
次に本発明の実施例につき説明する。
本発明は、金属超微粒子中に含まれる水素原子
は、他のガスに比し、比較的低温で容易に拡散し
表面にでてくる性質を有する。例えば、Ti，Ni，
Fe，Nbなどの金属超微粒子では300℃程度でこ
れに含有する水素を迅速に拡散排除できる。この
場合、比較的耐熱性の弱いガラス基板でも充分に
使用できるが、耐熱性が更に高い基板の場合は、
これ以上の高い温度に即ち、400℃，600℃，800
℃など適当な温度に加熱しておくことができるこ
とは勿論である。塗膜形成後の基板加熱において
も上記のように加熱して、塗膜や基板と反応しな
いガスを含む真空中で、或はかゝるガスを含まな
い真空中で基板を加熱することができ、これによ
り含有水素は更に減少する。加熱時間は長いほど
水素の拡散排除を行なうことができる。
は、他のガスに比し、比較的低温で容易に拡散し
表面にでてくる性質を有する。例えば、Ti，Ni，
Fe，Nbなどの金属超微粒子では300℃程度でこ
れに含有する水素を迅速に拡散排除できる。この
場合、比較的耐熱性の弱いガラス基板でも充分に
使用できるが、耐熱性が更に高い基板の場合は、
これ以上の高い温度に即ち、400℃，600℃，800
℃など適当な温度に加熱しておくことができるこ
とは勿論である。塗膜形成後の基板加熱において
も上記のように加熱して、塗膜や基板と反応しな
いガスを含む真空中で、或はかゝるガスを含まな
い真空中で基板を加熱することができ、これによ
り含有水素は更に減少する。加熱時間は長いほど
水素の拡散排除を行なうことができる。
実施例 １
平均粒径200ÅのNi超微粒子（かさ密度0.2ｇ／
cm2）30ｇを内容積１のガラス容器に入れ、該容
器の底部に外部のH2ガスボンベのガス源から流
量1.4／minのH2ガスを吹き込み、Ni超微粒子
を浮遊させH2ガスとNi超微粒子との混合状態を
つくる。該容器には、その上部に接続した内径
0.1mm、長さ１ｍの搬送管とその先端に交換自在
に取り付けた内径100μのノズルとを有し、該ノ
ズルは、外気と遮断した室内に臨み固定して設け
られ、ノズル先端と間隔0.5mmを存して350℃に加
熱保持されたガラス基板を移動可能台上に設け
る。この加熱基板面に該ノズルからH2ガス担持
のNi超微粒子を吹き付ける。基板は30mm／minで
移動せしめる。かくして、Ni超微粒子生成膜と
して、幅0.076mm、長さ52mm厚さ1μｍでそのかさ
密度は6.9ｇ／cm3（密度比78％）の水素ガスを含
有しない膜を得た。該膜の比抵抗（抵抗率）は
3.2×10-4Ω・cmで、膜と基板との付着強度及び
膜自身の強さも実用的に充分である。この膜を走
査型電子顕微鏡（SEM）で観察した所、Ni超微
粒子のつながりがち密で、Arキヤリヤーガスで
スプレーし、その直後に200℃にスポツト加熱し
て得たNi超微粒子膜に比し著しく空孔が小さく
観察された。
cm2）30ｇを内容積１のガラス容器に入れ、該容
器の底部に外部のH2ガスボンベのガス源から流
量1.4／minのH2ガスを吹き込み、Ni超微粒子
を浮遊させH2ガスとNi超微粒子との混合状態を
つくる。該容器には、その上部に接続した内径
0.1mm、長さ１ｍの搬送管とその先端に交換自在
に取り付けた内径100μのノズルとを有し、該ノ
ズルは、外気と遮断した室内に臨み固定して設け
られ、ノズル先端と間隔0.5mmを存して350℃に加
熱保持されたガラス基板を移動可能台上に設け
る。この加熱基板面に該ノズルからH2ガス担持
のNi超微粒子を吹き付ける。基板は30mm／minで
移動せしめる。かくして、Ni超微粒子生成膜と
して、幅0.076mm、長さ52mm厚さ1μｍでそのかさ
密度は6.9ｇ／cm3（密度比78％）の水素ガスを含
有しない膜を得た。該膜の比抵抗（抵抗率）は
3.2×10-4Ω・cmで、膜と基板との付着強度及び
膜自身の強さも実用的に充分である。この膜を走
査型電子顕微鏡（SEM）で観察した所、Ni超微
粒子のつながりがち密で、Arキヤリヤーガスで
スプレーし、その直後に200℃にスポツト加熱し
て得たNi超微粒子膜に比し著しく空孔が小さく
観察された。
実施例 ２
実施例１で生成したスライドグラス上のNi超
微粒子膜を真空加熱炉内に装入し、３×10-4トー
ル（0.04Pa）の圧力下であ350℃に加熱し30分保
持した。同膜の形状、特性は幅0.074mm、長さ52
mm、厚さ1μｍでそのかさ密度は7.2ｇ／cm3（密度
比81％）であつた。膜の比抵抗は1.7×10-4Ω・
cmであつた。この比抵抗レベルは、バルク材に比
べ約１桁程度であり、貴金属以外の金属超微粒子
を出発材料としてペースト式で作成した塗膜に比
し非常に優れた特性を有していた。例えば、Ag
系ペーストは、塗布後加熱乾燥（200℃、１時間）
後２〜４×10-4Ω・cmの比抵抗である。更にこの
比抵抗を下げるためには、600〜800℃の高温焼付
を要しガラス基板の使用は無理である。
微粒子膜を真空加熱炉内に装入し、３×10-4トー
ル（0.04Pa）の圧力下であ350℃に加熱し30分保
持した。同膜の形状、特性は幅0.074mm、長さ52
mm、厚さ1μｍでそのかさ密度は7.2ｇ／cm3（密度
比81％）であつた。膜の比抵抗は1.7×10-4Ω・
cmであつた。この比抵抗レベルは、バルク材に比
べ約１桁程度であり、貴金属以外の金属超微粒子
を出発材料としてペースト式で作成した塗膜に比
し非常に優れた特性を有していた。例えば、Ag
系ペーストは、塗布後加熱乾燥（200℃、１時間）
後２〜４×10-4Ω・cmの比抵抗である。更にこの
比抵抗を下げるためには、600〜800℃の高温焼付
を要しガラス基板の使用は無理である。
このように本発明によるときは、キヤリヤーガ
スとして水素ガスを使用し、水素ガスを拡散する
に足る加熱した基板上に該水素ガスに担持した超
微粒子をスプレーするようにしたので、その生成
膜に担持搬送用ガスの除去されたち密な金属膜を
得ることができる効果を有する。
スとして水素ガスを使用し、水素ガスを拡散する
に足る加熱した基板上に該水素ガスに担持した超
微粒子をスプレーするようにしたので、その生成
膜に担持搬送用ガスの除去されたち密な金属膜を
得ることができる効果を有する。
Claims (1)
- １ 微細管を通る高速ガスの流れに金属超微粒子
を乗せ、該超微粒子を基板上に吹き付け塗布し、
所定形状の塗膜を形成する超微粒子塗膜の形成法
において、その担持搬送用ガスを水素ガスとし、
且つ基板を加熱し、使用する超微粒子の融点以下
であつて水素の拡散し得る温度に保持した状態で
該基板面に水素ガス担持の金属超微粒子を吹き付
けることを特徴とする超微粒子塗膜の形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3443184A JPS60181278A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 超微粒子塗膜の形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3443184A JPS60181278A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 超微粒子塗膜の形成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60181278A JPS60181278A (ja) | 1985-09-14 |
| JPS649366B2 true JPS649366B2 (ja) | 1989-02-17 |
Family
ID=12414026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3443184A Granted JPS60181278A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 超微粒子塗膜の形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60181278A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2148779A1 (de) * | 1971-09-30 | 1973-04-05 | Aeg Elotherm Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum aufbringen eines ueberzuges aus metallischem werkstoff |
| EP0007721A1 (en) * | 1978-07-07 | 1980-02-06 | Certels Limited | Method of treating metal plate |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP3443184A patent/JPS60181278A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60181278A (ja) | 1985-09-14 |
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