JPS5987077A - 超微粒子の膜形成法 - Google Patents
超微粒子の膜形成法Info
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- JPS5987077A JPS5987077A JP19608582A JP19608582A JPS5987077A JP S5987077 A JPS5987077 A JP S5987077A JP 19608582 A JP19608582 A JP 19608582A JP 19608582 A JP19608582 A JP 19608582A JP S5987077 A JPS5987077 A JP S5987077A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
従来、超微粒子（代表的な粒子の大きさは、平Ｊθ粒径
として１００〜１０００Ａ）を用いて膜を形成する方法
としては、超微粒子を溶剤。
として１００〜１０００Ａ）を用いて膜を形成する方法
としては、超微粒子を溶剤。
バインダーなどに混合した粘性混練物としたのち、高分
子フィルム、ガラス板、セラミック板などの適当ｙ、（
ベース面に塗布し、乾燥、焼成してその１模を形成する
方法が、磁気記録体の磁性膜や導電膜の製法に用いられ
て公知であるが）その混合塗液を調整し、塗布、乾燥す
る作業は煩雑であり、且つ比較的長い時間を要し１又そ
の生成膜も、バインダーの混在により強度の大きい緻密
な膜が得られず、又その厚さや幅等が比較的大きくなる
ことが不可避である等の不都合をもたらす。
子フィルム、ガラス板、セラミック板などの適当ｙ、（
ベース面に塗布し、乾燥、焼成してその１模を形成する
方法が、磁気記録体の磁性膜や導電膜の製法に用いられ
て公知であるが）その混合塗液を調整し、塗布、乾燥す
る作業は煩雑であり、且つ比較的長い時間を要し１又そ
の生成膜も、バインダーの混在により強度の大きい緻密
な膜が得られず、又その厚さや幅等が比較的大きくなる
ことが不可避である等の不都合をもたらす。
本発明は、か＼る不都合を解消し、超微粒子のみから成
る極めて強度の大きい）換を簡単な方法で得ることがで
きると共に極めて小さい点や細い線から成る膜をも生成
し得る超微粒子の膜Ｊし成法を１１４供するもので、微
小孔ノズルより超微粒子を含むキャリヤーガスをベース
面に吹き付けその超微粒子をベース面に付着さＵその適
当な形状、ｊ７さの連続又は不連続に形成することを特
徴とする。
る極めて強度の大きい）換を簡単な方法で得ることがで
きると共に極めて小さい点や細い線から成る膜をも生成
し得る超微粒子の膜Ｊし成法を１１４供するもので、微
小孔ノズルより超微粒子を含むキャリヤーガスをベース
面に吹き付けその超微粒子をベース面に付着さＵその適
当な形状、ｊ７さの連続又は不連続に形成することを特
徴とする。
次に本発明の実施例を添付図面を参考に１９．明する。
金属又は合金、例えばＮｉ、 Ｏｏ、 Ｆｏ−Ｎｉ、
Ｆｏ−００等の単独又は、２種以上の混合から成る粒径
０、１〜０．ｏ １ ｐｍ（Ｄ超微粒子ａの適）、ｔ
’ｃ容Ｗｉ（１１内に入れると共に該容器ｔｌｌ内にＡ
ｒ、Ｈθなどの不活性ガス、ＩＮ、などの還元性ガスｒ
Ｎｔなどの非酸化性ガス等の適当な１わハ又は２種以
上を混合し７たガスをボンベ（２）よりその導管（３）
をその容棺子（１）の下向にキャリヤーガスｂとして吠
き込め、超微粒子ａを容器（１）内でガスｂで浮遊状態
に糾：持する。該容器（１）の上部に接続した搬送’＋
、’ｉ’ （４）を通ってその超微粒子ａの担持ガス０
は送られ、処理容器（５）内に導入された該搬送管（４
）の先端に接続した口径約ｏ、ｏ１．．．ｍ〜１ｍｍの
範囲の例えば０．１ｍｍの微小孔ノズル（６）の先端か
ら噴出させ１ｉＩｌ’ｆｆ当なベース例えばガラスノ、
（板のベース（７）面上にスプレーする。超微粒子ａは
ベース（７）面上にそのｎ６（出ガスの圧力で押しイζ
１けられ付３゛１堆積し適当な厚さのｉＹ（ｍ！顆粒子
みから戊る緻密な膜Ｂが生成する。
Ｆｏ−００等の単独又は、２種以上の混合から成る粒径
０、１〜０．ｏ １ ｐｍ（Ｄ超微粒子ａの適）、ｔ
’ｃ容Ｗｉ（１１内に入れると共に該容器ｔｌｌ内にＡ
ｒ、Ｈθなどの不活性ガス、ＩＮ、などの還元性ガスｒ
Ｎｔなどの非酸化性ガス等の適当な１わハ又は２種以
上を混合し７たガスをボンベ（２）よりその導管（３）
をその容棺子（１）の下向にキャリヤーガスｂとして吠
き込め、超微粒子ａを容器（１）内でガスｂで浮遊状態
に糾：持する。該容器（１）の上部に接続した搬送’＋
、’ｉ’ （４）を通ってその超微粒子ａの担持ガス０
は送られ、処理容器（５）内に導入された該搬送管（４
）の先端に接続した口径約ｏ、ｏ１．．．ｍ〜１ｍｍの
範囲の例えば０．１ｍｍの微小孔ノズル（６）の先端か
ら噴出させ１ｉＩｌ’ｆｆ当なベース例えばガラスノ、
（板のベース（７）面上にスプレーする。超微粒子ａは
ベース（７）面上にそのｎ６（出ガスの圧力で押しイζ
１けられ付３゛１堆積し適当な厚さのｉＹ（ｍ！顆粒子
みから戊る緻密な膜Ｂが生成する。
ノズル（６）とベース（７）向との間隔距離は、通常１
．５ｍｍ以下好ましくは、０．５１ｎｍ程度とする。か
くしで、そのノズル（６）を動かさない場合はそのノズ
ルｔＧＩ Ｌｌと同じ形状の点状の膜Ｂが得られ、ノズ
ル（６）を徐々に移動すればその口径と同じ幅の即ち０
．１１０ｍ径の線状の膜Ｂが７１ｔられる。ベース（７
）側を移動させても同様に０．１ｍｍ太さの線状膜が？
ＩＩられる。点状膜の大きさ、線状膜の大きさは１ノズ
ル（６）のし口径を適当に教えることに、Ｌり所望に得
られる。又ノズル（６）からのスプレーを連続的に行な
う代りに％ ｔ’＃続的に行なってもよく、例えば、−
足の時間間隔も以て間歇的スプレーを行なえば、一定の
距１作問隔をもつ点又は線から成る不連続の線状被膜が
得られる。又連続スプレー法と間歇スプレー法を組み合
わせることも出来、この場合同じ位１ｉ’ｌｌ上を移動
させれば、連続線と点線とが重なった栓様のＪｌ、？、
ができる。その他曲紳等を描き、適当な形状、イ４°）
様の膜を形成できる。又、而をもつ膜の彫ＩＪρはノズ
ル（６）を幅方向に往復ル１」シ乍ら下方へ移動さ」」
ることができる。ノズルの口径が０．０１〜１１１１ｍ
の範囲内で確実に強いガスＩＪ（にょリベース（７）曲
に所定形状の膜を強固に付着形成できる。勿１ｊｉｉガ
ス圧によっても異なり、ガス圧？Ｊ ｊ。２〜１．５鴇
の範囲が好ましい。第２図に上記の生１ｊ’４１１’ｔ
％ Ｅの各ｔ；（形状の例金示す。尚、膜形成に当り、
そのスプレー前に、ガス又はプラズマを用いて、ベース
（７１而を清浄しておくことが好ましい。その生成ｊ摸
Ｂの付着性を更に強固とするために、必要にＪｒＯじ、
赤外線スポット加熱装置（９）を設り、これによりベー
ス面を加熱しておいたものにスプレーするか、スプレー
後、ベースを力１１熱しｔｔｌ成結着を行なうようにし
てもよい。
．５ｍｍ以下好ましくは、０．５１ｎｍ程度とする。か
くしで、そのノズル（６）を動かさない場合はそのノズ
ルｔＧＩ Ｌｌと同じ形状の点状の膜Ｂが得られ、ノズ
ル（６）を徐々に移動すればその口径と同じ幅の即ち０
．１１０ｍ径の線状の膜Ｂが７１ｔられる。ベース（７
）側を移動させても同様に０．１ｍｍ太さの線状膜が？
ＩＩられる。点状膜の大きさ、線状膜の大きさは１ノズ
ル（６）のし口径を適当に教えることに、Ｌり所望に得
られる。又ノズル（６）からのスプレーを連続的に行な
う代りに％ ｔ’＃続的に行なってもよく、例えば、−
足の時間間隔も以て間歇的スプレーを行なえば、一定の
距１作問隔をもつ点又は線から成る不連続の線状被膜が
得られる。又連続スプレー法と間歇スプレー法を組み合
わせることも出来、この場合同じ位１ｉ’ｌｌ上を移動
させれば、連続線と点線とが重なった栓様のＪｌ、？、
ができる。その他曲紳等を描き、適当な形状、イ４°）
様の膜を形成できる。又、而をもつ膜の彫ＩＪρはノズ
ル（６）を幅方向に往復ル１」シ乍ら下方へ移動さ」」
ることができる。ノズルの口径が０．０１〜１１１１ｍ
の範囲内で確実に強いガスＩＪ（にょリベース（７）曲
に所定形状の膜を強固に付着形成できる。勿１ｊｉｉガ
ス圧によっても異なり、ガス圧？Ｊ ｊ。２〜１．５鴇
の範囲が好ましい。第２図に上記の生１ｊ’４１１’ｔ
％ Ｅの各ｔ；（形状の例金示す。尚、膜形成に当り、
そのスプレー前に、ガス又はプラズマを用いて、ベース
（７１而を清浄しておくことが好ましい。その生成ｊ摸
Ｂの付着性を更に強固とするために、必要にＪｒＯじ、
赤外線スポット加熱装置（９）を設り、これによりベー
ス面を加熱しておいたものにスプレーするか、スプレー
後、ベースを力１１熱しｔｔｌ成結着を行なうようにし
てもよい。
ベース（力としては、ガラス等のセラミック基板。
合成４’、７ｊ脂１−ブ、フィルム等、ｖＣ来の磁気記
録イ＋、＞ｎ′ＦＩｔ、Ｉｌｉ；ｉ等）７１１ ％ ｆ
、３ 機ｑ） 用途１／Ｃｊｒ、、： シ”’Ｃ各抑ノ
ものが使用できる。スプレーをＪｌ（ねてｆｊない、同
ｆ、＋ｉ又は異釉の超微粒子の２取又はそれ以上のＩＩ
（−Ｅ・’ｉ ＩＩＫに形成してもよい。又２ｆｌｉ１
以上の混合超徽私ン子と１抑又は２１３１＋以」二の混
合キャリヤーガスを使用して多元成分超微れｌ子１１’
；：に形成することも１１）来る。
録イ＋、＞ｎ′ＦＩｔ、Ｉｌｉ；ｉ等）７１１ ％ ｆ
、３ 機ｑ） 用途１／Ｃｊｒ、、： シ”’Ｃ各抑ノ
ものが使用できる。スプレーをＪｌ（ねてｆｊない、同
ｆ、＋ｉ又は異釉の超微粒子の２取又はそれ以上のＩＩ
（−Ｅ・’ｉ ＩＩＫに形成してもよい。又２ｆｌｉ１
以上の混合超徽私ン子と１抑又は２１３１＋以」二の混
合キャリヤーガスを使用して多元成分超微れｌ子１１’
；：に形成することも１１）来る。
月ｉ’、、’Ｈｌ’、Ｉは１ノズルやベースのｇ社中ン
虫９、（、ガス中のＡ１’ｉ ｒ：・ン私ン了・のｉ；
゛；１灯二、噴出ＥＩ（： ＱｊにＪニリｊ肉当に調節
されて？ｉ＋られる。膜のかさＶｉ’； Ｉｉ“（（気
孔率）は１、■ヤリャーガスのノズル部通５：：ｆ沌度
、１漠生成後の加熱榮ｆ／１などにより８１１９ｒｊで
き２１゜尚１ノズル（６）は固定又は移動１１イ！：に
設け、該処理容器に））内はイ・活性カスボンベ′（Ｉ
ｆｉｌにより純度＞９９．９９％の常圧Ａｒガスセｊの
雰囲気に保ち、ガラス板等のベース（７）は予めｌｉ！
ｉｔ ＞Ｊ４台又は移動台（乏３）」二Ｖこ１１之１６
シ、ベース（７）イ多ｙ１ノＪイ手長イ＃７（ＩＩ）に
連糸、”、し前後方向等に移動目在として実施すること
が一般である。
虫９、（、ガス中のＡ１’ｉ ｒ：・ン私ン了・のｉ；
゛；１灯二、噴出ＥＩ（： ＱｊにＪニリｊ肉当に調節
されて？ｉ＋られる。膜のかさＶｉ’； Ｉｉ“（（気
孔率）は１、■ヤリャーガスのノズル部通５：：ｆ沌度
、１漠生成後の加熱榮ｆ／１などにより８１１９ｒｊで
き２１゜尚１ノズル（６）は固定又は移動１１イ！：に
設け、該処理容器に））内はイ・活性カスボンベ′（Ｉ
ｆｉｌにより純度＞９９．９９％の常圧Ａｒガスセｊの
雰囲気に保ち、ガラス板等のベース（７）は予めｌｉ！
ｉｔ ＞Ｊ４台又は移動台（乏３）」二Ｖこ１１之１６
シ、ベース（７）イ多ｙ１ノＪイ手長イ＃７（ＩＩ）に
連糸、”、し前後方向等に移動目在として実施すること
が一般である。
ノズルの保持、固定、移動は、次に更に具体的な実施例
を説明する。
を説明する。
実施例１
平均粒径２００ＡのＮ１超微粒子（かさ密度ｏ、２ ｇ
／ｃ％） ５０９を内容積１１のガラス容器に入れ、該
容器の底ｓｖｃ外部のＡｒガスボンベ等のガス源から流
ｐ ２００ ｃｃ ／ ｍｌｎのＡｒガスヲ吹き込みＮ
１超微粒子を浮遊させＡｒガスとＮ１超微粒子との混合
状態をつくる。該容器にはその上部に接続した内径２ｍ
ｍ５長さ１１１）の搬送管とその先端に交換自在に取り
付けた内径１０（ｌμのノズルとを有し、該ノズルは外
気と遮断した室内に臨み固定して設けられ、ノズル先端
と間ｌ勤０．５ ｍｍを存してガラス基板から成るベー
スを移動可能台上に固定して置き、予め室内は純度９９
．９９％以上の常圧Ａｒガスの雰囲気に予め保持してお
く。該ガラス基板は例えは、フーニングＩＮ Ｍｉｃｒ
ｏ ５ｌｉｄｅ幅２５ｍｍ５長さ７６ｍＩＩ！１厚さ１
ｍｍを使用する。該ベースはスプレーされる部分を含
む軸釣２ ｍｌ［ｌの表面を約５００ ”（に加熱器に
より加熱しその表面の水分などの付着物を予め除去する
。その後、前記のＮ１超微粒子を所定紹含有するキャリ
ヤーＡｒガスを２００ ｃｃ ／ｍｉｎの流Ｒ（でノズ
ルから噴出させ、且っぺ−７，ヲ５０ｍＩｎ ／ ｍｉ
ｎの４１度で移動させてガラス基板面上に細＋ｔｉｌ状
（Ｄ ス−ｙ’ レ−ｆｌｕを形成した。スプレーヲ止
め１ｆｆちに赤外線加熱のスポットを該膜面に当て′Ｃ
約２００ ’Ｃに加熱した。
／ｃ％） ５０９を内容積１１のガラス容器に入れ、該
容器の底ｓｖｃ外部のＡｒガスボンベ等のガス源から流
ｐ ２００ ｃｃ ／ ｍｌｎのＡｒガスヲ吹き込みＮ
１超微粒子を浮遊させＡｒガスとＮ１超微粒子との混合
状態をつくる。該容器にはその上部に接続した内径２ｍ
ｍ５長さ１１１）の搬送管とその先端に交換自在に取り
付けた内径１０（ｌμのノズルとを有し、該ノズルは外
気と遮断した室内に臨み固定して設けられ、ノズル先端
と間ｌ勤０．５ ｍｍを存してガラス基板から成るベー
スを移動可能台上に固定して置き、予め室内は純度９９
．９９％以上の常圧Ａｒガスの雰囲気に予め保持してお
く。該ガラス基板は例えは、フーニングＩＮ Ｍｉｃｒ
ｏ ５ｌｉｄｅ幅２５ｍｍ５長さ７６ｍＩＩ！１厚さ１
ｍｍを使用する。該ベースはスプレーされる部分を含
む軸釣２ ｍｌ［ｌの表面を約５００ ”（に加熱器に
より加熱しその表面の水分などの付着物を予め除去する
。その後、前記のＮ１超微粒子を所定紹含有するキャリ
ヤーＡｒガスを２００ ｃｃ ／ｍｉｎの流Ｒ（でノズ
ルから噴出させ、且っぺ−７，ヲ５０ｍＩｎ ／ ｍｉ
ｎの４１度で移動させてガラス基板面上に細＋ｔｉｌ状
（Ｄ ス−ｙ’ レ−ｆｌｕを形成した。スプレーヲ止
め１ｆｆちに赤外線加熱のスポットを該膜面に当て′Ｃ
約２００ ’Ｃに加熱した。
かくして、表面の活性状Ｆａ！ｔのいくらが残った！’
＋Ｊ ６／’ｖ、 ＊’ｉ子の生成ｊ模が得られ、その
幅は８０μｍ。
＋Ｊ ６／’ｖ、 ＊’ｉ子の生成ｊ模が得られ、その
幅は８０μｍ。
ｊ７さ１μｍ、かさ密度６．３９／ｃ：艷（密度比７１
％）抵ｊ冗征ｔｌ、２Ｘ１０ Ω−鍜であり、ベース
との付Ｓｃｔ性ＣＪ１付ｉｆ ＩＭにセロテープを貼り
付け、その後剥離する通称セロテープテストを２回実施
しだ・が剥離がＦｉ召められず、イｑ着９ｉ’ｌｊ度の
良好なことが（ｉｌｉｉ〜ｄされた。
％）抵ｊ冗征ｔｌ、２Ｘ１０ Ω−鍜であり、ベース
との付Ｓｃｔ性ＣＪ１付ｉｆ ＩＭにセロテープを貼り
付け、その後剥離する通称セロテープテストを２回実施
しだ・が剥離がＦｉ召められず、イｑ着９ｉ’ｌｊ度の
良好なことが（ｉｌｉｉ〜ｄされた。
本状は、超？ｊｌｉ粒子の膜を使用する′市子工秦その
他の分野に使用し、作梨簡１［１で又品質管理が容易で
、製造コストの低下が川（ＩｔＸとなる。
他の分野に使用し、作梨簡１［１で又品質管理が容易で
、製造コストの低下が川（ＩｔＸとなる。
実施例２
前記実施例１に従ってガラス基板上にＮ ｊ、超微粒子
の線状膜を付着形成後、その膜上…１に、同じ元素であ
るＮ１超微粒子を所定ｆｉｔ含有するキャリヤーＡｒガ
スを前記と同じ方法で吹き（＝Ｊけてその膜を重層形成
する。この場合、ノズル先端と基板面との間隔０．５ｍ
ｍは変えない。かくして同じ元素の２層から成る重Ｒ・
′１１模が得られる。
の線状膜を付着形成後、その膜上…１に、同じ元素であ
るＮ１超微粒子を所定ｆｉｔ含有するキャリヤーＡｒガ
スを前記と同じ方法で吹き（＝Ｊけてその膜を重層形成
する。この場合、ノズル先端と基板面との間隔０．５ｍ
ｍは変えない。かくして同じ元素の２層から成る重Ｒ・
′１１模が得られる。
この第２層膜の形成を行なう場合１第１層膜を必要に応
じ予め１００°Ｃ程度に加熱しでおくことが好ましい。
じ予め１００°Ｃ程度に加熱しでおくことが好ましい。
このようにして形成された重層膜の特性は次の通りであ
った。
った。
線状１関の幅 ８０μｎ１
〃 厚さ ２μｍ
〃かさ密度 ６−２ｇ／ｃｆ （密度比７０％）〃
抵抗値 ６．３Ｘ１０ Ω−側 側御−スト付着性 良 膜層間の 〃 〃 尚必要に応じ、更に同様に１つ又はそれ以上のＨ１Δを
吠き付け１１を成し３重又はそれ以上の重層膜とするこ
とができ、このル、ｂ合も、Ｒ・１間の付着＃ｊｉｉ度
は大きく実用上差支えなが−った。
抵抗値 ６．３Ｘ１０ Ω−側 側御−スト付着性 良 膜層間の 〃 〃 尚必要に応じ、更に同様に１つ又はそれ以上のＨ１Δを
吠き付け１１を成し３重又はそれ以上の重層膜とするこ
とができ、このル、ｂ合も、Ｒ・１間の付着＃ｊｉｉ度
は大きく実用上差支えなが−った。
実施例３
ｉ’＋ｉＪ記実施例１に従ってガラス基板上１ｃＮｉ超
１・↓２舅守子の所定形状でＪ法の膜を形成し、次いで
平均粒子ｈ ７００ Ｌ）Ａｇｌｌｉ粒子（カサ密度１
゜ｏｇ／（Ｉｌリ １５０ ｙ を内容ｌｉＪ′ｔ １
１（７） カーｙ ス容器に入ＩＬ、ｒ：ｒｉ ’ｆ”
ｌ’ ｎｉｐのμ゛（音１５にｂＩＩ、）’＋ｌ ８０
０ ｃｃ Ａｎｉｎ ノＡ ｒガスヲ吹き込み、 Ａｇ
超微粒子を浮遊させたキャリヤーガスを内径２ｍｍ１長
さ１ｍのｆρ送９°ｆを介し内径１００μｍ ツノｘ
ルよＱｌｉき出さゼ、１１にノズルト前記膜との１７１
Ｋ Ｑ、 ８ ｍｍの間隔を存して、予め約１００°
Ｃに加熱されている該膜ｌＩ！ＩＩＫ吹き付は第２層膜
をスｌ（介ル成する。その後、このツノ（層膜上１ｈｉ
に赤外線加熱のスポットを当°Ｃ＼約１ｏ ｏ ’ｃ
Ｋ 加熱して、互Ｋ ！ｌ、ｉ桶の重層膜をｒけた。か
くして得たＭ（ｎｄ膜の特性は次の通りであった。
１・↓２舅守子の所定形状でＪ法の膜を形成し、次いで
平均粒子ｈ ７００ Ｌ）Ａｇｌｌｉ粒子（カサ密度１
゜ｏｇ／（Ｉｌリ １５０ ｙ を内容ｌｉＪ′ｔ １
１（７） カーｙ ス容器に入ＩＬ、ｒ：ｒｉ ’ｆ”
ｌ’ ｎｉｐのμ゛（音１５にｂＩＩ、）’＋ｌ ８０
０ ｃｃ Ａｎｉｎ ノＡ ｒガスヲ吹き込み、 Ａｇ
超微粒子を浮遊させたキャリヤーガスを内径２ｍｍ１長
さ１ｍのｆρ送９°ｆを介し内径１００μｍ ツノｘ
ルよＱｌｉき出さゼ、１１にノズルト前記膜との１７１
Ｋ Ｑ、 ８ ｍｍの間隔を存して、予め約１００°
Ｃに加熱されている該膜ｌＩ！ＩＩＫ吹き付は第２層膜
をスｌ（介ル成する。その後、このツノ（層膜上１ｈｉ
に赤外線加熱のスポットを当°Ｃ＼約１ｏ ｏ ’ｃ
Ｋ 加熱して、互Ｋ ！ｌ、ｉ桶の重層膜をｒけた。か
くして得たＭ（ｎｄ膜の特性は次の通りであった。
重層膜の幅 １１０μｍ
〃 厚さ ２・２μ
〃 抵抗値 ２．ｌＸ１０ Ω−−ベース面との付
着面 良 層間の 〃 〃 ／ｋｇ超徽粒子はガラス基板との付着性４ｊ比較的悪い
が、Ｎｉ超微粒子膜を介して付着させることにより、強
固に付着し、導電性の優れた膜に形成される。
着面 良 層間の 〃 〃 ／ｋｇ超徽粒子はガラス基板との付着性４ｊ比較的悪い
が、Ｎｉ超微粒子膜を介して付着させることにより、強
固に付着し、導電性の優れた膜に形成される。
この場合も、その上に更に１層又はそれ以上の超微粒子
膜を形成でき、３重又はそれ以上の重層膜に形成しても
よく、この場合、その他の適当な金属又はその合金の超
微粒子も適当に組み合わせた異種の重層膜とすることが
できる。
膜を形成でき、３重又はそれ以上の重層膜に形成しても
よく、この場合、その他の適当な金属又はその合金の超
微粒子も適当に組み合わせた異種の重層膜とすることが
できる。
実施例４
共１ｆｌｌｌ １個のノズルの基部に前記のＮ１超微粒
子搬送管とＯｒ超微粒子搬送管とを共通に接Ｗｅ ｂだ
。
子搬送管とＯｒ超微粒子搬送管とを共通に接Ｗｅ ｂだ
。
即ち、平均粒径５００ＡのＯｒ超微粒子（かさ密度ｏ、
ｂｇ／ｃｆｆｌ）を所定量大れたガラス容器と、該容器
の底部にＡｒガスボンベよりアルゴンガスを吹き込み、
そのＯｒ超微粒子との混合状態をつくり、そのキャリヤ
ーガスを該容器の上部に接続した内径２ｍｍ１長さ１ｍ
の搬送管を介し４００ｃｃ ／ ｍｔｎの流速でその先
端のノズル基部に送給されるようにする１方、同じノズ
ル基部に接続されたＮ１超微粒子搬送管を介し、平均粒
径１００Ａ（かさ密度ｇ／ｅｃ）のＮ１超微粒子を２０
０ ｃｃ／ ｍｉｎの流速で該ノズル基部に送給される
ようにし、かくしてノズルの先端から所定の割合で配合
されたＯｒとＮ１混合超倣粒子がガラス基板面上に吹き
イずけられてその混合Ｊ１７１４微粒子から成る所定形
状の膜が付着形成されるようにした。
ｂｇ／ｃｆｆｌ）を所定量大れたガラス容器と、該容器
の底部にＡｒガスボンベよりアルゴンガスを吹き込み、
そのＯｒ超微粒子との混合状態をつくり、そのキャリヤ
ーガスを該容器の上部に接続した内径２ｍｍ１長さ１ｍ
の搬送管を介し４００ｃｃ ／ ｍｔｎの流速でその先
端のノズル基部に送給されるようにする１方、同じノズ
ル基部に接続されたＮ１超微粒子搬送管を介し、平均粒
径１００Ａ（かさ密度ｇ／ｅｃ）のＮ１超微粒子を２０
０ ｃｃ／ ｍｉｎの流速で該ノズル基部に送給される
ようにし、かくしてノズルの先端から所定の割合で配合
されたＯｒとＮ１混合超倣粒子がガラス基板面上に吹き
イずけられてその混合Ｊ１７１４微粒子から成る所定形
状の膜が付着形成されるようにした。
この場合ノズルの先端と基板向の間隔を０．７ｍｍとし
、ガラス板の移動速度を３０ ｍｍ ／ ｍｔｎとし、
その吹き付は前に、基板のスプレーされる部分を含む軸
釣２．ｍｍの表面を約５００℃に加熱しておき、吹き付
は終了直後その生成膜上回に赤外線加熱のスポットを当
て＼約２００°Ｃに加熱する。かくして得られた膜特性
は下記の通りであった。
、ガラス板の移動速度を３０ ｍｍ ／ ｍｔｎとし、
その吹き付は前に、基板のスプレーされる部分を含む軸
釣２．ｍｍの表面を約５００℃に加熱しておき、吹き付
は終了直後その生成膜上回に赤外線加熱のスポットを当
て＼約２００°Ｃに加熱する。かくして得られた膜特性
は下記の通りであった。
膜の幅 ９０μｍ
〃厚さ １６８μｍ
成分比（重量比） Ｎｉ４！１−Ｏｒ５５抵抗＠
５．２×１０ ０−鑞ベース面との付着性
良 上記のスプレー膜成分比は、使用ガス流量の調節で適当
に変えることができ、膜の電気抵抗を適当に変えること
ができる。
５．２×１０ ０−鑞ベース面との付着性
良 上記のスプレー膜成分比は、使用ガス流量の調節で適当
に変えることができ、膜の電気抵抗を適当に変えること
ができる。
実施例５
実施例５の共通のノズルによる吹き付けに変え、各別の
ノズルを併設して、その夫々から同時に基板に吹き付け
れば、平面上に平行する互に接し或は所定の間隔を存す
る複数種の膜が同時に得られる。
ノズルを併設して、その夫々から同時に基板に吹き付け
れば、平面上に平行する互に接し或は所定の間隔を存す
る複数種の膜が同時に得られる。
尚１上記のいづれの実施例も、Ａｒガス等の不活性雰囲
気の処理容器内で行なった場合であるが、大気中でも実
施できる。この場合は、予め金属超微粒子を徐酸化処理
するのが一般である。
気の処理容器内で行なった場合であるが、大気中でも実
施できる。この場合は、予め金属超微粒子を徐酸化処理
するのが一般である。
このように本発明によるときは、超微粒子をキャリヤー
ガスに混合し小孔ノズルより吹き出させ、これをベース
面に吹き付けるようにしたので、ベース面にその超微粒
子膜を所定の形状。
ガスに混合し小孔ノズルより吹き出させ、これをベース
面に吹き付けるようにしたので、ベース面にその超微粒
子膜を所定の形状。
厚さに生成でき、従来の超（吸粒子を）（インダーと混
合したものをベース面に塗布する方法に比し、筒中且つ
安価に膜の形成ができ、又微細な点、線等の膜の形成に
有利である等の効果を有する。
合したものをベース面に塗布する方法に比し、筒中且つ
安価に膜の形成ができ、又微細な点、線等の膜の形成に
有利である等の効果を有する。
第１図は不法を実施する１例の線図、第２図は各種形状
の膜の平面図を示す。 （１）・・・若 器 （４）・・・搬送管ｔ（
ｉ）・・・ノ ズル （刀・・・ベース特Ｗｒ出
願人 新技術開発事業団 仝 上 林 主 税 外２名
の膜の平面図を示す。 （１）・・・若 器 （４）・・・搬送管ｔ（
ｉ）・・・ノ ズル （刀・・・ベース特Ｗｒ出
願人 新技術開発事業団 仝 上 林 主 税 外２名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、微小孔ノズルより超微粒子を含むキャリヤーガスを
ベース面に吹き付けそのｃｉ微粒子をベースｍｊに付着
させ、その適当な形状、厚さの連続又は不連続に形成す
ることを特徴とする超微粒子の膜形成法。 ２、微小孔ノズルより１種の超微粒子を含むキャリヤー
ガスをベース面に吹き付け、その超微粒子から成る膜を
ベース面に付着形成した後、その膜面上に、同じ超微粒
子又はこれとは’Ａ′ｔ！Ｒの超微粒子を含むキャリヤ
ーガスを吹き付けその超微粒子がら成る膜を重層形成し
、少くとも２層から成る重層膜を形成することを特徴と
する超微粒子の膜形成法。 ＆ 微小孔ノズルより２種又はそれ以上の異種の混合超
微粒子を含む１種又は′２種以上のキャリヤーガスをベ
ース面に吹き付け、その混合４’ｉ ｆｎ’Ｖｌ、粒子
から成る膜をベース面に付着形成することを特徴とする
超微粒子の膜形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19608582A JPS5987077A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 超微粒子の膜形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19608582A JPS5987077A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 超微粒子の膜形成法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987077A true JPS5987077A (ja) | 1984-05-19 |
Family
ID=16351954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19608582A Pending JPS5987077A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 超微粒子の膜形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987077A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4657187A (en) * | 1985-01-14 | 1987-04-14 | Research Development Corporation Of Japan | Ultrafine particle spraying apparatus |
| US7175921B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-02-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7255934B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50148443A (ja) * | 1974-05-18 | 1975-11-28 | ||
| JPS52948A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-06 | Hideaki Natori | Method for spray coating with resin powder |
| JPS52103443A (en) * | 1976-02-26 | 1977-08-30 | Canada Wire & Cable Co Ltd | Method and paapparatus for continuous powder supplying |
| JPS56130261A (en) * | 1980-03-18 | 1981-10-13 | Ashiko Kk | Painting method |
-
1982
- 1982-11-10 JP JP19608582A patent/JPS5987077A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50148443A (ja) * | 1974-05-18 | 1975-11-28 | ||
| JPS52948A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-06 | Hideaki Natori | Method for spray coating with resin powder |
| JPS52103443A (en) * | 1976-02-26 | 1977-08-30 | Canada Wire & Cable Co Ltd | Method and paapparatus for continuous powder supplying |
| JPS56130261A (en) * | 1980-03-18 | 1981-10-13 | Ashiko Kk | Painting method |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4657187A (en) * | 1985-01-14 | 1987-04-14 | Research Development Corporation Of Japan | Ultrafine particle spraying apparatus |
| US7175921B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-02-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7255934B2 (en) | 2000-10-23 | 2007-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
| US7318967B2 (en) | 2000-10-23 | 2008-01-15 | Toto Ltd. | Composite structure body and method and apparatus for manufacturing thereof |
| US7338724B2 (en) | 2000-10-23 | 2008-03-04 | Toto Ltd. | Composite structure body and method for manufacturing thereof |
| US7632353B2 (en) | 2000-10-23 | 2009-12-15 | Toto Ltd. | Apparatus for forming a composite structure body |
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