JPS61164669A - 超微粒子スプレ−装置 - Google Patents
超微粒子スプレ−装置Info
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- JPS61164669A JPS61164669A JP60003162A JP316285A JPS61164669A JP S61164669 A JPS61164669 A JP S61164669A JP 60003162 A JP60003162 A JP 60003162A JP 316285 A JP316285 A JP 316285A JP S61164669 A JPS61164669 A JP S61164669A
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- Japan
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- nozzle
- bundled
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- film
- fine particles
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
- B05B7/08—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point
- B05B7/0884—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point the outlet orifices for jets constituted by a liquid or a mixture containing a liquid being aligned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/14—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas designed for spraying particulate materials
- B05B7/1481—Spray pistols or apparatus for discharging particulate material
- B05B7/1486—Spray pistols or apparatus for discharging particulate material for spraying particulate material in dry state
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、金属、非金属、樹脂などによる所望の物品の
表面に所定の模様、被膜を形成するに適する超微粒子ス
プレー装置に関する。
表面に所定の模様、被膜を形成するに適する超微粒子ス
プレー装置に関する。
（従来の技術）
従来の上記装置は、先に出願の特願昭５７−１９６０８
５号などに開示したように、超微粒子をキャリヤガスに
より搬送管を通じ圧送し、その先端に設けた１本のノズ
ル友り所定の被着面に、超微粒子を吹き付け、所望の点
、線、面などの超微粒子の付着体を成形することは公知
である。
５号などに開示したように、超微粒子をキャリヤガスに
より搬送管を通じ圧送し、その先端に設けた１本のノズ
ル友り所定の被着面に、超微粒子を吹き付け、所望の点
、線、面などの超微粒子の付着体を成形することは公知
である。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の上記超微粒子スプレー装置は、そのノズルにより
被着面に超微粒子を吹き付けて例えば線を描く場合、そ
の粒子自身の慣性で被着面 ゛に衝突しそのキャリヤ
ガスは外方へ拡がって逃げる傾向にあたるため、そのノ
ズルの口径が大きくなるとガスの周辺への流れのために
超微粒子がこれに伴い周辺に散乱しがちとなり、従って
画線がぼやける傾向となるので、通常その口径が１１１
１１程度以下好ましくは一般に０，２〜０．６麿のもの
を使用する。然るに、かかる口径のノズルにより画線が
明瞭に描けるのものの、広幅１履以上の広幅の線や縞模
様や、面状被膜などの形成には、そのノズルにより一本
の線を画いた後、ノズルを横方向にずらし且つ該画線に
重ねて線状に移行させることを順次繰り返して、所望の
幅の太線を描く必要があり、又被着面全面にその被膜を
つくることは極めて時間がかかり、作業が難儀であり、
非能率であり、又均−な厚さに得られないなどの不都合
がある。
被着面に超微粒子を吹き付けて例えば線を描く場合、そ
の粒子自身の慣性で被着面 ゛に衝突しそのキャリヤ
ガスは外方へ拡がって逃げる傾向にあたるため、そのノ
ズルの口径が大きくなるとガスの周辺への流れのために
超微粒子がこれに伴い周辺に散乱しがちとなり、従って
画線がぼやける傾向となるので、通常その口径が１１１
１１程度以下好ましくは一般に０，２〜０．６麿のもの
を使用する。然るに、かかる口径のノズルにより画線が
明瞭に描けるのものの、広幅１履以上の広幅の線や縞模
様や、面状被膜などの形成には、そのノズルにより一本
の線を画いた後、ノズルを横方向にずらし且つ該画線に
重ねて線状に移行させることを順次繰り返して、所望の
幅の太線を描く必要があり、又被着面全面にその被膜を
つくることは極めて時間がかかり、作業が難儀であり、
非能率であり、又均−な厚さに得られないなどの不都合
がある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、かかる上記従来の欠点を解消し、被着面に能
率良く所望の幅の太線や縞模様、或は被膜面などを形成
し得る超微粒子スプレー装置を提供するもので、キャリ
ヤーガスにより無数の超微粒子を搬送管を通じ圧送しそ
の先端のノズルより所定の被着面に、超微粒子を吹ぎ付
け所定の超微粒子付着体を形成する超微粒子スプレー装
置において、少なくとも２本のノズルを集束せしめて束
状ノズルを構成して成る。
率良く所望の幅の太線や縞模様、或は被膜面などを形成
し得る超微粒子スプレー装置を提供するもので、キャリ
ヤーガスにより無数の超微粒子を搬送管を通じ圧送しそ
の先端のノズルより所定の被着面に、超微粒子を吹ぎ付
け所定の超微粒子付着体を形成する超微粒子スプレー装
置において、少なくとも２本のノズルを集束せしめて束
状ノズルを構成して成る。
（実施例）
第１Ａ図及び第１Ｂ図は、本発明実施の１例を示し、図
面で（１）は超微粉をキャリヤーガスと共に混合された
混合気体の容器とこれを圧送するための加圧ポンプに接
続された（図示しない）搬送管を示し、該搬送管（１）
の先端に多数本のノズル（２＞ （２）・・・を集束し
て束状ノズル（３）を設けた。
面で（１）は超微粉をキャリヤーガスと共に混合された
混合気体の容器とこれを圧送するための加圧ポンプに接
続された（図示しない）搬送管を示し、該搬送管（１）
の先端に多数本のノズル（２＞ （２）・・・を集束し
て束状ノズル（３）を設けた。
（４）は集束ノズル（３）を該搬送管（１）の先端に取
り付けた偏平な分配用基部を示す。更に詳細には、各ノ
ズルは例えば外径１顯、口径（内径）０．５厘のステン
レス製の筒体から成り、その集束状態は、そのノズル（
りの９本を幅方向に相互にすきまなく詰めて列へたもの
を前後方向に２列、互に違いに位置をすられたもので、
その横方向に９４Ｗｌの幅をもつ束状ノズル（３）とす
る。このように形成された本発明装ＨＡは、その下面の
ガ 、ラス板等の被着体Ｃを矢示の方向に移行せしめ乍
ら、該搬送管（１）を介し超微粒子を所定の被着面に付
き付けるときは、１度に第１Ｃ図のように、画線のはつ
きりした９顯幅の帯状膜Ｂを描くことができる。第２Ａ
図及び第２Ｂ図は、他の実施例を示し、該取看部（４）
にその幅方向に一定の間隔を存して３本づつのノズル（
２）を三角形状に集束した束状ノズル（３）を３群配設
したもので、これによれば、１度に第２Ｃ図の如き縞状
膜ａを形成することができる。第３図は、第２図の変形
例を示し、前列に３本づつの三角状に集束した束状ノズ
ル（３）を幅方向に一定間隔を存して３群と後列に同様
の２群の束状ノズル（３）を前列の幅方向の配設に対し
その間隔に対応する位置に幅方向に配設したもので、こ
のノズル装置を使用するとき、搬送管内を２分し、その
前列のものからは金属超微粒子を後列のものからは、セ
ラミック超微粒子を同時に被着面に吹き付けるときは、
第３図８示のように、金属帯状膜ｂ１とセラミック帯状
膜ｂ２とが交互に配列の縞状１１８が形成される。
り付けた偏平な分配用基部を示す。更に詳細には、各ノ
ズルは例えば外径１顯、口径（内径）０．５厘のステン
レス製の筒体から成り、その集束状態は、そのノズル（
りの９本を幅方向に相互にすきまなく詰めて列へたもの
を前後方向に２列、互に違いに位置をすられたもので、
その横方向に９４Ｗｌの幅をもつ束状ノズル（３）とす
る。このように形成された本発明装ＨＡは、その下面の
ガ 、ラス板等の被着体Ｃを矢示の方向に移行せしめ乍
ら、該搬送管（１）を介し超微粒子を所定の被着面に付
き付けるときは、１度に第１Ｃ図のように、画線のはつ
きりした９顯幅の帯状膜Ｂを描くことができる。第２Ａ
図及び第２Ｂ図は、他の実施例を示し、該取看部（４）
にその幅方向に一定の間隔を存して３本づつのノズル（
２）を三角形状に集束した束状ノズル（３）を３群配設
したもので、これによれば、１度に第２Ｃ図の如き縞状
膜ａを形成することができる。第３図は、第２図の変形
例を示し、前列に３本づつの三角状に集束した束状ノズ
ル（３）を幅方向に一定間隔を存して３群と後列に同様
の２群の束状ノズル（３）を前列の幅方向の配設に対し
その間隔に対応する位置に幅方向に配設したもので、こ
のノズル装置を使用するとき、搬送管内を２分し、その
前列のものからは金属超微粒子を後列のものからは、セ
ラミック超微粒子を同時に被着面に吹き付けるときは、
第３図８示のように、金属帯状膜ｂ１とセラミック帯状
膜ｂ２とが交互に配列の縞状１１８が形成される。
次に本発明の超微粒子スプレー装置を適用した膜形成装
置を第４図につき説明する。前記第１図示の束状ノズル
（３）を備えた本発明超微粒子スプレー装置Ａを使用し
た例で、該装置１Ａの基部（４）から後方に延びる内径
５履の搬送管（１）は、調整弁（！９を介して超微粒子
／キャリヤガスの混合容器（６）内に接続する。該混合
容器（６）は水素ボンベ（７）に導管（８）を介して接
続している。（９）は、該導管（８）内に介入した調節
弁を示す。該混合容器（６）内には予めＮｉから成る超
微粒子を適当量充填しておく。
置を第４図につき説明する。前記第１図示の束状ノズル
（３）を備えた本発明超微粒子スプレー装置Ａを使用し
た例で、該装置１Ａの基部（４）から後方に延びる内径
５履の搬送管（１）は、調整弁（！９を介して超微粒子
／キャリヤガスの混合容器（６）内に接続する。該混合
容器（６）は水素ボンベ（７）に導管（８）を介して接
続している。（９）は、該導管（８）内に介入した調節
弁を示す。該混合容器（６）内には予めＮｉから成る超
微粒子を適当量充填しておく。
このように構成した膜形成装置の作動は次の通りである
。
。
水素ボンベ（７）より所定の圧力で水素ガスを混合容器
（６）内に０．２ｊｌ／秒の速度で流入せしめ、Ｘｉ超
微粒子マスを浮遊させその混合気をつくり、該搬送管（
１）内にキシリヤガスの流速１０１／秒の流れに乗せて
分配用基部に流入分配させその先端の束状ノズル（３）
より噴出せしめる。このとき各ノズル（り内では５０−
７秒に流速は増加して噴出される。か（して束状ノズル
（３）よりその下面に設けた１方へ移動するガラスなど
の被着物基板Ｃに勢よくスプレー付着せしめるときは、
その束状ノズル（３）の幅に等しい幅をもつ広幅のＮｉ
超微粒子の集積膜Ｂが形成される。この場合、束状ノズ
ル（３）の先端と基板Ｃ面との間隔は１．５Ｂｍｍに保
持する。スプレー開始と同時に基板Ｃを０．５１／秒の
速度で移動すると、幅９履厚さ４履のＸｉ膜厚が形成さ
れる。この膜は、スプレー加工のみで密度比５０％の基
板面に強固に付着した状態に得られる。
（６）内に０．２ｊｌ／秒の速度で流入せしめ、Ｘｉ超
微粒子マスを浮遊させその混合気をつくり、該搬送管（
１）内にキシリヤガスの流速１０１／秒の流れに乗せて
分配用基部に流入分配させその先端の束状ノズル（３）
より噴出せしめる。このとき各ノズル（り内では５０−
７秒に流速は増加して噴出される。か（して束状ノズル
（３）よりその下面に設けた１方へ移動するガラスなど
の被着物基板Ｃに勢よくスプレー付着せしめるときは、
その束状ノズル（３）の幅に等しい幅をもつ広幅のＮｉ
超微粒子の集積膜Ｂが形成される。この場合、束状ノズ
ル（３）の先端と基板Ｃ面との間隔は１．５Ｂｍｍに保
持する。スプレー開始と同時に基板Ｃを０．５１／秒の
速度で移動すると、幅９履厚さ４履のＸｉ膜厚が形成さ
れる。この膜は、スプレー加工のみで密度比５０％の基
板面に強固に付着した状態に得られる。
前記の膜形成装置の該スプレー装置ｆＡは、前記の第２
図や第３図示の型式の束状ノズル（３）或は図示しない
がこれら以外の本発明に従った各種の集束状態に設計し
た各種の束状ノズルに代えて使用できる。又膜形成装置
を２つ使用し、従って本発明の２種の型式の束状ノズル
を、併用するようにしてもよい。
図や第３図示の型式の束状ノズル（３）或は図示しない
がこれら以外の本発明に従った各種の集束状態に設計し
た各種の束状ノズルに代えて使用できる。又膜形成装置
を２つ使用し、従って本発明の２種の型式の束状ノズル
を、併用するようにしてもよい。
第５図は、第２図示の本発明スプレー装置Ａを使用し、
基板Ｃ面に輪状の膜を形成する場合を示すが、この場合
、超微粒子を真空蒸発装置で生成した直後のものを該ス
プレー装置Ａを介してスプレーしてその縞模様を形成し
たものである。即ち、上記第１実施例の混合容器（６）
内に予め作成された超微粒子をチャージしたものをスプ
レーするに代え、該搬送管（１）の基部を超微粉生成室
（ＩＱに導入しておく。Ｃｔｔは蒸発させるべきＮ１な
どの蒸発させるべき原料（１２１を収容する加熱容器、
ａ３は加熱用電源、（１４は圧力計を示す。
基板Ｃ面に輪状の膜を形成する場合を示すが、この場合
、超微粒子を真空蒸発装置で生成した直後のものを該ス
プレー装置Ａを介してスプレーしてその縞模様を形成し
たものである。即ち、上記第１実施例の混合容器（６）
内に予め作成された超微粒子をチャージしたものをスプ
レーするに代え、該搬送管（１）の基部を超微粉生成室
（ＩＱに導入しておく。Ｃｔｔは蒸発させるべきＮ１な
どの蒸発させるべき原料（１２１を収容する加熱容器、
ａ３は加熱用電源、（１４は圧力計を示す。
該生成室（１０は、導管（Ｉｓ）を介してその導管（＋
５１の基端は調節弁Ｇｅを介して水素ガスなどのキャリ
ヤガスボンベ（７）に接続され、該導管（＋５１により
分岐した分岐管０７）は、調節弁■を介し真空ポンプ（
図示しない）に接続した。
５１の基端は調節弁Ｇｅを介して水素ガスなどのキャリ
ヤガスボンベ（７）に接続され、該導管（＋５１により
分岐した分岐管０７）は、調節弁■を介し真空ポンプ（
図示しない）に接続した。
このように構成した膜形成装置により次のように実施す
る。
る。
先ず、真空ポンプにより生成室ａＧ内の空気を除去した
後、真空ポンプの作動を止め弁■を閉じた後、加熱電源
ａ３により例えば金属塊原料ａδを加熱蒸発させる。こ
の状態で水素などの還元又は不活性ガスボンベ（７）の
弁ａｅを開きガスを生成室ａＯ内に圧送し、その生成超
微粒子マスをこれにより混合搬送して該搬送管（１）内
を０．２１７秒のガス流員として供給し、その先端の本
発明装置の３群の束状ノズル（３）よりその下方の０．
５ｍ／秒で移動する被着物の表面に吹き付ければ、この
各群の束状ノズル（３）に応じた３条のテープ状の超微
粒子の被膜す、ｂ、ｂから成る被１１Ｂが一挙に形成す
ることができる。
後、真空ポンプの作動を止め弁■を閉じた後、加熱電源
ａ３により例えば金属塊原料ａδを加熱蒸発させる。こ
の状態で水素などの還元又は不活性ガスボンベ（７）の
弁ａｅを開きガスを生成室ａＯ内に圧送し、その生成超
微粒子マスをこれにより混合搬送して該搬送管（１）内
を０．２１７秒のガス流員として供給し、その先端の本
発明装置の３群の束状ノズル（３）よりその下方の０．
５ｍ／秒で移動する被着物の表面に吹き付ければ、この
各群の束状ノズル（３）に応じた３条のテープ状の超微
粒子の被膜す、ｂ、ｂから成る被１１Ｂが一挙に形成す
ることができる。
第６図は、第５図の大気中での被膜成形に代えて、真空
中での被膜形成を本発明装＠Ａを備えた被膜形成装置を
示す。この装置において、ａ９は、本発明装置を収容し
た真空生成室、■は、該生成室Ｑ９に接続した必要に応
じ室０９内に供給される水素、アルゴンなどのガスボン
ベ、■はその接続管■に介入した調節弁、■は、生成室
０！Ｄより導出の真空ポンプ（図示しない）に接続され
る導管、［相］は該導管のに介入の弁を示す。
中での被膜形成を本発明装＠Ａを備えた被膜形成装置を
示す。この装置において、ａ９は、本発明装置を収容し
た真空生成室、■は、該生成室Ｑ９に接続した必要に応
じ室０９内に供給される水素、アルゴンなどのガスボン
ベ、■はその接続管■に介入した調節弁、■は、生成室
０！Ｄより導出の真空ポンプ（図示しない）に接続され
る導管、［相］は該導管のに介入の弁を示す。
本装置の作動により、真空生成室ａ９内は例えば３トー
ルとし、超微粒子生成室００内は１５．５トールに保持
する。かくして、そのスプレーされた超微粒子は大気に
さらされることなく被着面に付着されて所定の縞状模様
のパターン被膜を形成する。超微粒子は、金ＩＩ（合金
を含む）の他その酸化物、ちっ化物、炭化物、セラミッ
クなどの無機質合成樹脂などの有機物など種々のものが
使用でき、通常１０〜１０００人の粒径のものである。
ルとし、超微粒子生成室００内は１５．５トールに保持
する。かくして、そのスプレーされた超微粒子は大気に
さらされることなく被着面に付着されて所定の縞状模様
のパターン被膜を形成する。超微粒子は、金ＩＩ（合金
を含む）の他その酸化物、ちっ化物、炭化物、セラミッ
クなどの無機質合成樹脂などの有機物など種々のものが
使用でき、通常１０〜１０００人の粒径のものである。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、超微粒子スプレー用ノ
ズルとして、複数本のノズルを集束せしめて束状ノズル
としたスプレー装置に構成したので、そのスプレーによ
り太い線、或は面状の膜を迅速に能率良く被着面に形成
できる効果を有する。
ズルとして、複数本のノズルを集束せしめて束状ノズル
としたスプレー装置に構成したので、そのスプレーによ
り太い線、或は面状の膜を迅速に能率良く被着面に形成
できる効果を有する。
第１Ａ図は、本発明装置の１例の側面図、第１Ｂ図はそ
の上面図、第１Ｃ図はその生成膜の１部の平面図、第２
Ａ図は変形例の側面図、第２８図はその正面図、第２Ｃ
図はその生成膜の１部の正面図、第３Ａ図は、更に他の
変形例の正面図、第３Ｂ図はその生成膜の１部の上面図
、第４図、第５図、第６図は夫々本発明装置を備えた膜
生成装置の線図を示す。 （１）・・・搬送管 （乃・・・ノズル（３
）・・・束状ノズル Ａ・・・本発明装置ＢＳｂ
−・・生成膜 特許出願人 新技術開発事業団 第１Ａ図 第１Ｃ図 第３Ａ図 Ａ； 第２Ａ図
の上面図、第１Ｃ図はその生成膜の１部の平面図、第２
Ａ図は変形例の側面図、第２８図はその正面図、第２Ｃ
図はその生成膜の１部の正面図、第３Ａ図は、更に他の
変形例の正面図、第３Ｂ図はその生成膜の１部の上面図
、第４図、第５図、第６図は夫々本発明装置を備えた膜
生成装置の線図を示す。 （１）・・・搬送管 （乃・・・ノズル（３
）・・・束状ノズル Ａ・・・本発明装置ＢＳｂ
−・・生成膜 特許出願人 新技術開発事業団 第１Ａ図 第１Ｃ図 第３Ａ図 Ａ； 第２Ａ図
Claims (1)
- キャリヤーガスにより無数の超微粒子を搬送管を通じ圧
送しその先端のノズルより所定の被着面に、超微粒子を
吹き付け所定の超微粒子付着体を形成する超微粒子スプ
レー装置において、少なくとも２本のノズルを集束せし
めて束状ノズルを構成して成る超微粒子スプレー装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60003162A JPS61164669A (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 | 超微粒子スプレ−装置 |
| US06/791,491 US4657187A (en) | 1985-01-14 | 1985-10-25 | Ultrafine particle spraying apparatus |
| EP85114528A EP0187913B1 (en) | 1985-01-14 | 1985-11-15 | Ultrafine particle spraying apparatus |
| DE8585114528T DE3572449D1 (en) | 1985-01-14 | 1985-11-15 | Ultrafine particle spraying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60003162A JPS61164669A (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 | 超微粒子スプレ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164669A true JPS61164669A (ja) | 1986-07-25 |
| JPH0323218B2 JPH0323218B2 (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=11549658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60003162A Granted JPS61164669A (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 | 超微粒子スプレ−装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4657187A (ja) |
| EP (1) | EP0187913B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61164669A (ja) |
| DE (1) | DE3572449D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002001207A (ja) * | 2000-05-02 | 2002-01-08 | Boc Group Inc:The | 改良された冷ガスダイナミックスプレイ方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK163886C (da) * | 1988-05-04 | 1992-09-07 | Ole Jensen | Apparat til paafoering af pudsmateriale |
| US5194128A (en) * | 1989-07-12 | 1993-03-16 | Thermo Electron Technologies Corporation | Method for manufacturing ultrafine particles |
| US5062936A (en) * | 1989-07-12 | 1991-11-05 | Thermo Electron Technologies Corporation | Method and apparatus for manufacturing ultrafine particles |
| US5874134A (en) * | 1996-01-29 | 1999-02-23 | Regents Of The University Of Minnesota | Production of nanostructured materials by hypersonic plasma particle deposition |
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