JPS60181278A - 超微粒子塗膜の形成法 - Google Patents

超微粒子塗膜の形成法

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JPS60181278A
JPS60181278A JP3443184A JP3443184A JPS60181278A JP S60181278 A JPS60181278 A JP S60181278A JP 3443184 A JP3443184 A JP 3443184A JP 3443184 A JP3443184 A JP 3443184A JP S60181278 A JPS60181278 A JP S60181278A
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JP
Japan
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ultrafine
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hydrogen
ultrafine particles
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JP3443184A
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English (en)
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JPS649366B2 (ja
Inventor
Chikara Hayashi
林　主税
Seiichirou Gashiyuu
賀集　誠一郎
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Japan Science and Technology Agency
Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
Original Assignee
Research Development Corp of Japan
Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan
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Publication date
Application filed by Research Development Corp of Japan, Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan filed Critical Research Development Corp of Japan
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Publication of JPS649366B2 publication Critical patent/JPS649366B2/ja
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、超微粒子を高速ガスの流れに乗せて、該超微
粒子を基材面に吹き付は塗布し所定形状の塗膜を形成す
る超微粒子塗膜の形成法に関する。
本願の発明者は先に上記に関する超微粒子塗膜の形成法
を提案した（特願昭５７−１９６０８５号）。
この方法において、その担持用ガスが超微粒子中に巻き
込まれ、その形成塗膜中にガスが残り、基板へ強固に結
着したその塗膜が得難い欠点がある。
本発明は、こｉを改善したもので、強固な超微粒子塗膜
を基板上に得らねる超微粒子塗膜の形成法を提案するも
ので、微細管を通る高速ガスの流れに金属超微粒子を乗
せ、該超微粒子を基板上に吹き付は塗布し、所定形状の
塗膜を形成する超微粒子塗膜の形成法において、その担
持搬送用ガス會水素ガスとし、且つ基板を加熱し使用す
る超微粒子の水素の拡散係数に応じて拡散し得る温度に
保持した状態で該基板面に水素ガス担持の金属超微粒子
を吹き付けることを特徴とする。
更に、好ましくは、このように超微粒子の塗膜を形成し
た後も基板を加熱昇温する。然るときは、塗膜中に僅か
に残り勝ちの水素ガスを追い出すことができる。この場
合、真空中又は不活性ガスを含む真空中で行なうことが
一般である。
次に本発明の実施例につき説明する。
本発明は、金属、超微粒子中に含まわる水素原子は、他
のガスに比し、比較的低温で容易に拡散し表面にでてぐ
る性質を有する。例えば、Ｔ１１Ｎ　ｉ＋　Ｆ　ｅ　＊
　Ｎ　ｂなどの金属超微粒子では：（ＯＯ℃程度でこれ
に含有する水素を迅速に拡散排除できる。この場合、比
較的耐熱性の弱いガラス基板でも充分に使用できるが、
耐熱性が更に高い基板の場合に、これ以上の高い温度に
即ち、４００℃、６００℃、８００℃など適当な温度に
加熱しておくことができることは勿論である。
塗膜形成後の基板加熱においても上記のように加熱して
、塗膜や基板と反応しないガスを含む真空中で、或はか
＼るガスを含まない真空中で基板を加熱することができ
、これにより含有水素は更に減少する。加熱時間は長い
ほど水素の拡散排除を行なうことができる。
実施例１ 平均粒径２００ＸのＮｉ超微粒子（かさ＠度０、２　Ｖ
　／　ｔｒｉ　）　３０　ｔを内容積１ｔのガラス容器
に入力、該容器の底部に外部のＨ２ガスボンベのガス源
から流量１．４ｔ／ｍのＨ２ガスを吹き込み、Ｎｉ超微
粒子を浮遊させ）ｈガスとＮｉ超微粒子との混合状態を
つくる。該容器には、その上部に接続した内径０．１．
　ｗＩＩ＋、長さ１ｒｎの搬送管とその先端に交換自在
ｖｃｉ（ｙシイ１けた内径１（］０μのノズルとを有し
、該ノズルは、外気と遮断した室内に臨み固定して設け
られ、ノズル先端と間隔０．５簡を存して３５０℃に加
熱保持されたガラス基板ｆ：移動可能台上に設ける。こ
の加熱基板面に該ノズルからＨ２ガス担持のＮｉ　超微
粒子を吹き付ける。基板は３０　ｍｍ／　ｍで移動せ（
−める。かぐして、Ｎｉ　超微粒子生成膜として、幅０
．０７６ｍ、長さ５２■厚さ１μｍでそのかさ密矩は６
．９　ｆ　／　ｏｔｌ　（督反比７８チ）の水素ガスを
含有しない膜を得た。該膜の比抵抗（抵抗率）は３．２
　Ｘ　１０−’Ω・備で、膜と基板との付着強度及び膜
自身の強さも実用的に充分である。この膜を走査型成子
顕微鏡（ＳＥＭＩで観察した所、Ｎｉ　超微粒子のつな
がりから密で、Ａｒ　キャリヤーガスでスプレーし、そ
の直後に２００℃にスポット加熱して得たＮｉ　超微粒
子膜に比し著しく空孔が小さく観察された。
実施例２ 実施例１で生成したスライドグラス上のＮｉ　超微粒子
膜を真空加熱炉内に装入し、３　Ｘ　１０−’トール（
０，０４Ｐａ）　の圧力下で３５０℃に加熱し３０分保
持した。間膜の形状、特性は幅０、０７４　Ｗ％長さ５
２ｗ１厚さ１μｍでそのかさ密度は７．２ｆ／ｄ（密度
比８１係）であった。
膜の比抵抗は１．７　Ｘ　１０−’Ω・口であった。こ
の比抵抗レベルは、バルク材に比べ約１桁程度であり、
貴金属以外の金属超微粒子を出発材料としてペースト式
で作成した塗膜に比し非常に優れた特性を有１−でいた
。例えば、Ａｇ系ペーストは、塗布後加熱乾燥Ｃ２００
℃、１時間）後２〜４　Ｘ　１０−’Ω・ｍの比抵抗で
ある。更にこの比抵抗を下げるためには、６００〜８０
０℃の高温焼付を要しガラス基板の使用は無理である。
このように本発明によるときは、キャリヤーガスとして
水素ガスを使用し、水素ガスを拡散するに足る加熱した
基板上に該水素ガスに担持した超微粒子をスプレーする
ようにしたので、その生成膜に水素ガスの除去されたち
密な金柄膜を得ることができる効果を有する。
特許出願人　真空冶金株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、　微細管を通る高速ガスの流れに金属超微粒子を乗
    せ、該超微粒子を基板上に吹き付は塗布し、所定形状の
    塗膜を形成する超微粒子塗膜の形成法において、その相
    持搬送用ガスを水素ガスとし、且つ基板を加熱し使用す
    る超微粒子の水素の拡散係数に応じて拡散し得る温度に
    保持した状態で該基板面に水素ガス担持の金属超微粒子
    を吹き付けることを特徴とする超微粒子塗膜・の形成法
    。
JP3443184A 1984-02-27 1984-02-27 超微粒子塗膜の形成法 Granted JPS60181278A (ja)

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JP3443184A JPS60181278A (ja) 1984-02-27 1984-02-27 超微粒子塗膜の形成法

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JPS60181278A true JPS60181278A (ja) 1985-09-14
JPS649366B2 JPS649366B2 (ja) 1989-02-17

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ID=12414026

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JP3443184A Granted JPS60181278A (ja) 1984-02-27 1984-02-27 超微粒子塗膜の形成法

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4848332A (ja) * 1971-09-30 1973-07-09
JPS5511197A (en) * 1978-07-07 1980-01-25 Certels Ltd Metal plate treatment

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4848332A (ja) * 1971-09-30 1973-07-09
JPS5511197A (en) * 1978-07-07 1980-01-25 Certels Ltd Metal plate treatment

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JPS649366B2 (ja) 1989-02-17

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