JPS6399148A

JPS6399148A - 静電チヤツク装置

Info

Publication number: JPS6399148A
Application number: JP24492286A
Authority: JP
Inventors: Takehiro Kawasaki; 川崎　健弘
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1986-10-15
Filing date: 1986-10-15
Publication date: 1988-04-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は静電チャック装置に係り、特に被処理物の保持
および離脱を容易に行うことを可能とした静電チャック
装置に関する。

（従来の技術）従来、被処理物のドライエツチング等の真空処理を行う
場合に、強制冷却した支持台上に誘電体膜で覆われた薄
膜状電極を密着させ、上記支持台と被処理物との間に電
位差を付与して上記被処理物を上記支持台上に静電的に
固定する静電チャック装置が多く用いられている。

第２図は従来の静電チャック装置を用いたドライエツチ
ング装置を示したもので、真空容器１の下面には、絶縁
部材２を介して支持台としての電極部材３が配置され、
この電極部材３の上面には、誘電体膜４で被覆された薄
膜状電極５が固着されている。上記電極部材３には、整
合回路６を介して高周波電源７が接続され、上記電極５
には、高周波遮断回路８を介して直流電源９が接続され
ており、この高周波遮断回路８と電極５との間には、絶
縁スペーサ１０が介設されている。また、上記電極部）
イ３の内部には、冷却機１１から送られる冷却水の水配
管１２が設けられており、上記真空容器１には、真空排
気装置１３および雰囲気ガス導入装置１４がそれぞれ接
続されている。

上記装置においては、電極５の上面に被処理物Ａを載置
し、真空容器１の内部を真空排気装置１３で排気すると
ともに、上記電極５に直流電圧を印加して被処理物Ａを
静電的に固定する。そして、真空容器１内が所定の圧力
に達したら、ガス導入装置１４によりＣＦ４等のガスを
導入しながら、高周波電圧を印加して被処理物Ａのエツ
チングを行うものである。

そして、被処理物Ａの処理が終了したら、各電源７，９
をＯＦＦにして被処理物Ａを取外すようになされるが、
電極５に静電気が帯電してしまうため被処理物Ａを容易
に取外すことができなくなってしまう。そのため、従来
から第３図および第４図に示すような被処理物の離脱装
置が開発されている。

第３図に示す装置は、電極部材３および上記電極５を貫
通する孔部１５を穿設し、この孔部１５に窒素等のガス
を適当な圧力で供給することにより、被処理物Ａをガス
圧力により剥離させるものである。

また、第４図に示す装置は、ばね１６により下方に付勢
されたプランジャ１７を窒素等のガスで上方に押し上げ
ることにより、プランジャ１７の上端を被処理物Ａの裏
面に当てて被処理物Ａを剥離させるものである。

（発明が解決しようとする問題点）しかし、上記第３図に示す装置は、被処理物Ａを剥離す
る際、窒素等のガスが真空容器内に混入し、不純物汚染
を引き起こすという問題を有している。また、上記第４
図に示す装置は、プランジャ１７の押し上げ力によって
は被処理物Ａを破損してしまうという問題を有しており
、さらに、いずれの装置においても十分な剥離効果を得
ることができなかった。

本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、被処理物
等を破損することなく、十分な剥離効果を得ることので
きる静電チャック装置を提供することを目的とするもの
である。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）］二記目的を達成するため本発明に係る静電チャック装
置は、支持台上に誘電体膜で被覆された電極を固着し、
この電極に直流電源を接続し、上記電極」−に被処理物
を載置して上記直流電源から高電圧を印加することによ
り、上記被処理物を静電的に固定する静電チャック装置
において、上記電極と直流電源との間に、上記直流電源
をＯＦＦにした後上記電極を接地電位に切換える切換え
装置を介設して構成されている。

（作　用）本発明によれば、被処理物の真空処理後、直流電源をＯ
ＦＦにするとともに、切換え装置により電極に残存する
電荷をアースに導くことにより、電極への帯電が除去さ
れ、したがって、容易に被処理物を剥離させることが可
能となる。

（実施例）以下、本発明の実施例を第１図を参照して説明し、第２
図乃至第４図と同一部分には同一符号を付してその説明
を省略する。

第１図は本発明の一実施例を示したもので、本実施例に
おいては、直流電源９と高周波遮断回路８との間に電磁
開閉器１８が介設されており、この電磁開閉器１８およ
び直流電源９には、それぞれコンピュータ等の制御装置
１９．１９が接続されている。上記電磁開閉器１８は、
上記制御装置１つにより直流電源９側と接地側とを切換
えるようになされ、上記直流電源９は、制御装置１９に
より０Ｎ−ＯＦＦ制御され、各制御装置１９゜１９は、
連動するようになされている。

また、」二足電極５および電極部材３を貫通する孔部２
０が穿設され、この孔部２０には、バルブ２１を介して
窒素ガス導入管２２および真空排気管２３がそれぞれ接
続されている。

本実施例においては、電極５上に被処理物Ａを載置し、
上記バルブ２１を真空排気管２３側に切換えて被処理物
Ａの裏面を減圧状態に保つとともに、直流電源９により
高電圧を電極５に印加して、被処理物Ａを静電的に固定
する。その後、電極部材３に高周波電圧を印加して被処
理物Ａのエツチング等の処理が行われる。このとき、真
空容器１内は、所定のガス雰囲気圧力に保持されている
。

そして、被処理物Ａの真空処理が終了したら、高周波電
源７をＯＦＦにし、同時に制御装置１９の動作により直
流電源９をＯＦＦにするとともに、電磁開閉器１８を接
地側に切換えて電極５に残存する電荷をアースに導く。

このとき、直流電圧９を遮断してから電磁開閉器１８を
動作させるまでの時間は少なくとも０，１秒以上確保し
、上記アースに導く時間は少なくとも１秒以上とする。

その後、バルブ２１を切換えて、窒素ガス導入管２２か
ら所定圧力の窒素ガスを被処理物Ａの裏面に供給するこ
とにより、被処理物Ａは電極５から容易に剥離される。

したがって、本実施例においては、電極に残存する電荷
を確実に除去することができ、被処理物を簡単かつ確実
に剥離することが可能となる。しかも、電極に対する直
流電源とアースとの切換えを制御装置により自動的に行
なうので、装置の操作性および安全性を高めることがで
きる。

なお、上記電極をアースする場合の切換え装置は、−に
記電磁開閉器に限定されるものではなく、機械式あるい
はエアーにより駆動されるスイッチを用いるようにして
もよい。

〔発明の効果〕

以」二述べたように本発明に係る静電チャックは、電極
と直流電源との間に切換え装置を介設し、直流電源をＯ
ＦＦにした後電極に残存する電荷をアースに導くように
しているので、電極の帯電により剥がれにくかった被処
理物を極めて容易に剥離させることが可能となる。しか
も、機械的な操作等が不要であるので、被処理物を損傷
させることなく、確実にかつ安全に被処理物の離脱を行
うことができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略構成図、第２図は
従来の静電チャック装置を適用した真空処理装置を示す
構成図、第３図および第４図はそれぞれ従来の被処理物
の離脱装置を示す縦断面図である。１・・・真空容器、４・・・誘電体膜、５・・・電極、
７・・・高周波電源、９・・・直流電源、１８・・・電
磁開閉器、１つ・・・制御装置。

Claims

【特許請求の範囲】

支持台上に誘電体膜で被覆された電極を固着し、この電
極に直流電源を接続し、上記電極上に被処理物を載置し
て上記直流電源から高電圧を印加することにより、上記
被処理物を静電的に固定する静電チャック装置において
、上記電極と直流電源との間に、上記直流電源をＯＦＦ
にした後上記電極の電荷を接地電位に切換える切換え装
置を介設したことを特徴とする静電チャック装置。