JPS6394312A - 自動搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えばクリーンルーム内において、半導体等
の半加工品であるウェハを所定の場所に無人で搬送する
ことができる自動搬送車に関する。

更來□□□孜専 電子部品等の製造工程中において被加工物を無人で移動
させる従来の自動搬送車は、例えば、第６図に示すよう
に、自動走行が可能な台車３１上に、複数枚のウェハ３
２が収納支持されたカセット３３を収納した搬送ボック
ス３４を２〜３個載置して、所定の搬送場所に無人で走
行し、到着すると前記カセット３３内のウェハ３２を一
括して下ろす構成にされたものである。

ところで、近年、ニーズの多様化に伴って、多品種少量
生産が盛んになり、多種類の電子部品を同時に製造する
ようになってきた。そのため、前記自動搬送車による一
回の搬送時に、カセット３３内に異なる種類のウェハ３
２を収容して一度に搬送させる場合がある。ところが、
該自動搬送車では、ウェハの１枚１枚を認識することが
できないので、同種類のウェハを最低限カセット単位に
揃えて搬送させなければならず、搬送に無駄な時間を要
する問題点があった。

本発明は、上述の問題点に鑑み、走行しながら各ウェハ
の情報を判読し、それぞれの所定の場所に搬送すること
ができる自動搬送車を提供することを目的とする。

ｒｏ　　侭を”ンするための 上記の目的を達成するため、本発明は、自動走行可能に
構成された台車と、前記台車によって所定の場所に搬送
されるウェハが装填されるとともに、該ウェハを台車上
又は台車内部で移動させることができるよう構成された
移動手段と、前記移動手段によって送られて到達したウ
ェハを所定の位置に合わせ、該ウェハに記載された情報
を読み取って判読するとともに、該判読情報を出力する
情報検出手段と、前記情報検出手段での情報検出が終了
したウェハを搬出して一時格納し、所定の場所で台車外
へ送り出す搬出手段と、を具備することを構成上の特徴
とする。

詐−ｍ− 上記構成によれば、自動走行する台車上で、搬送される
各ウェハの情報を読み取り、判読してその情報を出力す
ることができるので、例えばホストコンピュータ等と通
信を可能にしておけば、ウェハの１枚１枚を所定の場所
に配送することができる。

スー」１−桝 以下、本発明の一実施例を説明する。第１図は本発明に
係る自動搬送車の側面図、第２図は第１図の平面図であ
る０図中、１は、自動走行可能に構成された台車で、こ
の台車ｌ上にウェハＡが収容されるとともに、移動、判
別される順に、移動手段２、情報検出手段３及び搬出手
段４が設けられている。台車１は、予めプログラムされ
た順序、又は、適宜入力される情報によって、走行系が
制御ｎされ、所定の場所にウェハＡを配送する構成にさ
れている。この台車の上部１ａは、防振バネ１ｂに取付
けられたクッション付ローラ１ｃによって、上面がほと
んど振動すること無く走行する。移動手段２は、前記台
車１の上部に設けられた複数のウェハＡが収容されるエ
レベータ機構２８と、このエレベータ機構２ａからウェ
ハＡを１枚ずつ取り出して、情報検出手段３へ移動させ
る搬送ベルト２ｂとより構成されている。

情報検出手段３は、前記移動手段２の搬送ベル）２ｂに
よって送られてきたウェハＡを受は止め、ウェハＡに設
けられているオリチージョンフラット（以下ＯＦという
）を検知して位置決めを行なうＯＦ検知センサー３ａｓ
センタリングストッパ３ｂ及び押付ビン３Ｃと、ウェハ
Ａを吸着固定するチャック３ｄと、前記ＯＦ部分にレー
ザーマーカー等により書き込まれているウェハナンバー
等の情報を読み取るカメラ３ｅと、このカメラ３ｅから
送られてきた画像を処理して判読情報として出力する情
報判読装置３ｆとより構成されている。

搬出手段４は、前記移動手段２と略同様の構成であり、
情報検知の終了したウェハＡを運び出す搬送ベルト４ａ
と、送られたウェハＡを順に格納していくエレベータ機
構４ｂとより構成されている。

前記情報検出手段３のカメラ３ｅは、第３図に示すよう
に、ウェハＡの情報をコントラストを付けて明確化する
ための照明１１が取付けられており、対物レンズ１２を
通して取り入れた前記ウェハＡの画像を、ミラー１３を
介してＣＣＤイメージセンサ−１４に写す。そして、こ
のＣＣＤイメージセンサ−１４より出力される信号を更
に増幅回路１５で増幅して、次の情報判読装置３ｆに出
力するよう構成されている。前記情報判読装置３ｆは、
第４図に示すように、カメラ３ｅから出力された画像信
号を２値化し、１画面を水平・垂直方向に多数の画素に
分割する画面分割回路１６と、デジタルフィルターによ
ってノイズ除去を行なう前処理回路１７と、搬送ウェハ
Ａの移動時間を短縮する為、前記情報を一旦記憶する画
像メモリ１８と、予めＲＯＭ　（ｍ出し専用メモリ）等
に入れられている数字Ｏ〜９の各情報と、前記画像情報
とを比較するセグメント比較回路１９と、画像メモ１月
８及び比較回路１９の出力を判読し、判読した情報をホ
ストコンピュータ（不図示）へ無線送信するマイクロコ
ンピュータ２０とから構成される。ホストコンピュータ
では、前記情報に基づいて、積載しているウェハＡの配
送場所等の指示信号を折り返し送信し、該指示信号によ
って当該自動搬送車が移動してウェハＡを配送するか、
又は、加工装置側の条件を前もって準備させることがで
きる。なお、自動搬送車と前記ホストコンピュータとの
情報の授受は、ターミナルにおいてコネクタによって直
接交換することもできる。

上記のように、禾実施例の自動搬送車は、ウェハＡを積
載して移動中に、台車１上でカメラ３ｅにより１枚１枚
のウェハＡ情報を写し、判読することができるので、積
載したウェハＡに応じて配送することができ、１つのカ
セットに異種類のウェハＡを載せることができる。した
がって、搬送に要する時間を短縮して、効率良く作業を
進行させることができる。

第５図（ａ）、（ｂ）は、搬出手段４のエレベータ機構
４ｂの他の例の構成図であり、複数のエレベータ機構４
０を設け、図（ａ）においては、それらを並列に配置し
た例を示し、図（′ｂ）においては、搬送ベルト４ａの
端部から放射状に配置した例を示したものであり、搬送
ベル）４ａの端部中央には、搬送方向に対し直角方向に
移動させる補助ベルト４ｄを設けている。

なお、ウェハＡに記載する情報としては、数字や記号の
他、バーコードで記載されていても同様に判読が可能で
あり、このようなバーコードでは、処理回路を簡単に構
成できる利点がある。

又、情報検出手段によって判読された情報は、外部に設
けられたホストコンピュータ等の指示ニよることな（、
該自動搬送車内に設けたマイクロコンピュータによって
処理を行なう構成にすることもできる。

さらに、ウェハＡの収容、移動、判別等は、台車１の上
部で行なう例を示したが、該台車ｌの上部をフィルター
を備えたケース等で覆い、台車ｌの内部で上記の作業を
行なうよう構成することもでき、塵を嫌うウェハＡを完
全に保護して搬送を行なうことができる。

３浬Ｉと伽栗 上記のように、本発明の自動搬送車は、ウェハを積載し
て自動走行する移動中に、台車上または台車の内部で前
記ウェハの情報を読み取って判読し、該ウェハに対応し
た作業場所へ配送できる。

したがって、該自動搬送車には、異種類のウェハを混載
することができ、配送に要する時間を短縮して、作業効
率の向上に寄与する。また、配送されるウェハの情報が
予め判るので、加工装置等において対応する準備をして
おくことができ、製造効率の向上も図ることができ、生
産性が良くなることで製品コストの低減に貢献する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る自動搬送車の側面図、第２図は前
記自動搬送車の平面図、第３図は情報検出手段に設けら
れたカメラの概略構成図、第４図は情報検出手段を構成
するブロック図、第５図（ａ）、（ｂ）は搬出手段を構
成するエレベータ機構の他の実施例の構成図、第６図は
従来例の自動搬送車の側面図である。 １・・・台車、　　　　　　　２・・・移動手段、３・
・・情報検出手段、　　４・・・搬出手段、第１図 １Ｃ １・・・台車 ２・・・骨動８幾 ３・・傭ｈｔ虻投 第２図　　　　　４・・・搬鉄含役 ｅ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）自動走行可能に構成された台車と、 前記台車によって所定の場所に搬送されるウェハが収容
   されるとともに、該ウェハを台車上又は台車内部で移動
   させることができるよう構成された移動手段と、 前記移動手段によって送られて到達したウェハを所定の
   位置に合わせ、該ウェハに記載された情報を読み取って
   判読するとともに、該判読情報を出力する情報検出手段
   と、 前記情報検出手段での情報検出が終了したウェハを搬出
   して一時格納し、所定の場所で台車外へ送り出す搬出手
   段と、 を具備することを特徴とする自動搬送車