JPS6390030A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、メッキ法、スパッタ法、蒸着法、イオンプレ
ーテインク法等の方法により、基板上に作製された磁気
記録用連続磁性金属膜の耐食性向上に関するものである
。

〔従来の技術〕

磁気記録に用いる記録媒体として、従来、磁性粉を基板
上に塗布したものが用いられてきたが、最近、高密度記
録が可能な記録媒体としてＣ０−Ｎｉスパッタ膜や％ｃ
ｏ−ｐメッキ膜等のいわゆる連続磁性金属膜を用いた磁
気記録媒体が実用化されつつある。

しかしながら、これら連続磁性金属膜は腐食されやすい
という欠点を有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来、この腐食の問題を解決するためには、昭和６０年
度電子通信学会総合全国大会講演論文集１−１９９に述
べられているように、Ｃｒ等の高耐食性金属を含有した
磁性膜を用いるか、特願昭４７−１７２５３号に述べら
れているように、空気中熱酸化により表面酸化膜を設け
る方法が提案されている。

しかしながら、高耐食性金属を含有せしめた磁性膜は飽
和磁束密度が小さくなるため、再生出力が小さい。また
、空気中熱酸化により設けた表面酸化膜は緻密ではない
ため高耐食性を得るためには、酸化膜の膜厚を厚くしな
ければならず、このため再生出力とくに高密度記録時の
再生出力が低下する。

本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなくし、再生
出力が大きく、シかも耐食性に秀れた連続磁性金属膜を
製造する方法を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者等は、連続磁性金属薄膜を有機溶媒に浸漬させ
、該溶媒中に強制的に空気あるいは酸素を導入すること
により薄くかつ緻密な酸化膜を形成できることを見出し
た。

なお、このようにして製造した磁性膜の機械的強度を向
上させるためには、該磁性膜上にさらにカーボン膜等の
保護膜分設けることも有効である。

〔作用〕

本発明による酸化膜は従来の空気酸化による酸化膜にく
らべて耐食性に秀れ、しかも薄いために、従来問題であ
った連続磁性金属薄膜の高密度記録時の再生出力の低下
を減少せしめることが可能となる。

〔実施例〕

以下１本発明を実施例により具体的に説明する。

実施例１ 外径１３０ｆｌφ、内径４０ｍφ、厚さ１．９　ｗｍの
ｋｔ円板上に、厚さ１５μｍのＮｉＰ膜を設けたものを
基板として用い、この基板上に厚さ０．２μｍＣｒ膜を
設けた後、厚さ０．０６μｍのＣｏｙｏＮｉ３ｏ　膜を
作製した。これら薄膜の作製法はともにマグネトロンス
パッタ法を用いた。用いたターゲットの直径は２００ｏ
＋φであり、スパッタ時のＡｒ圧は５ｍＴｏｒｒ％スパ
ッタ電力は１ｋＷとした。

つぎに、第１図に示すように、上記のようにして作製し
た円板１をトルエン溶液２中に浸漬させガス導入管３よ
り１００ｍｔ／ｍｉｎの流量で空気をトルエン溶液中に
吹き込んだ。なお、空気吹込み中は、円板１を３　Ｏｒ
ｐｍの速度で回転させた。

トルエン中空気酸化を行なわない試料と、トルエン中空
気酸化を行った試料の膜厚方向のオージェ分析を行い１
両者を比較した結果、酸化膜厚は〜５０人であることが
わかった。

また、トルエン中空気酸化を行なわない試料とトルエン
中空気酸化を行った試料をともに温度６０Ｃ１相対湿度
９０チの雰囲気中に２００時間放置し、飽和磁化の変化
を調べたところ、トルエン中空気酸化を行なわない試料
は飽和磁化が１５チ減少したが、トルエン中空気酸化を
行った試料は飽和磁化の変化が全くなかった。

つぎに、トルエン中空気酸化を行った円板に、さらにマ
グネトロンスパッタ法により０．０２μｍのカーボン膜
を設けた。

このように、基板上にａ　Ｃｒ膜ＣｏｙｏＮｉｓｏ膜。

トルエン中空気酸化膜およびカーボン膜を設けた磁気記
録媒体と、ギャップ長０．２μｍ、）ラック幅１００μ
ｍ、巻数１２ターンのＭ　ｎ　７．　ｎフェライトヘッ
ドを用い、ヘッド浮上量０．２０μｍ、ヘッド−媒体量
相対速度２０　ｍ　／９ｅＯで記録再生実験を行った。

この結果、記録周波数０．１　Ｍ　Ｈｚにおける再生出
力は、２に２０ｍＶｐｐであり＊　Ｉ）ｇｏは２１　ｋ
ｆｃｉであった。この円板を３ケ月間室内放置後測定し
た誤答率は７Ｘ１０−”であった。

比較例１ 実施例１と同一材質、同一形状の基板上に膜厚０．２μ
ｍのＣｒ膜を設けた後、膜厚０．０６μｍのＣ０ｔｏＮ
４ｓｏ膜を作製した。さらに膜厚０．０２μｍのカーボ
ン膜を設けた。これら薄膜の作製条件は実施例１に述べ
たものと同じである。

このようにして作製した記録媒体と実施例１で用いたの
と同じヘッドを用い、実施例１と同じ条件で測定したと
ころ、記録周波数０．１　Ｍ　Ｈｚにおける再生出力は
２．２３ｍＶ、、であり、ＤｇＯは２２ｋｆｃｉであっ
た。

この円板を３ケ月間室内放置後測定した後の誤答率は３
Ｘ１０’であった。

比較例２ 実施例１と同一材質、同一形状の基板上に膜厚０．２μ
ｍのＣｒ膜を設けた後、膜厚０．０６μｍのＣ０７６Ｎ
ｉｌ（１膜を作製した。つぎにこの円板を。

空気中で３００Ｃに加熱し、そのまた１時間放置した。

その後、実施例１と同一の方法で表面酸化膜の測定を行
ったところ、膜厚は０．２２μｍであった。この試料を
温度６０Ｃ１相対湿度９０チの条件下に２００ｈｒ放置
しても、飽和磁束密度の低下は認められなかった。ただ
し、表面酸化の際温度や時間を変化させ１表面酸化膜厚
を０．１５μｍとした場合には、飽和磁束密度は約１０
チ低下した。

つぎに＊　００７０　Ｎ　１　ｓｏ膜を表面酸化した円
板上に実施例１と同様に膜厚０．０２μｍのカーボン膜
を設けた。この円板と実施例１の磁気ヘッドを用い実施
例１の条件で記録再生実験を行ったところ。

０、１　Ｍ　Ｈｚでの再生出力は１．４８　ｍ　Ｖ　Ｐ
　Ｆであり、Ｄｓｏはｌ　４　ｋｆｃｉであった。この
円板を３ケ月間室内放置後測定した後の誤答率は６Ｘ１
０−８であった。

〔発明の効果〕

以上述べてきたように１本発明によると、再生出力、記
録密度特性をほとんど劣化させることなく、耐食性に秀
れた記録媒体を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明において用いた１表面酸化膜作製装置
の概略図である。 １・・・記録媒体、２・・・有機溶媒、３・・・空気ま
たは酸素ガス導入管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板上に作製した連続磁性金属膜を有機溶媒中に浸
   漬させ、該溶媒に空気あるいは酸素を強制的に導入する
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。