JPS6387739A - プローバの誤差補正方法 - Google Patents

プローバの誤差補正方法

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JPS6387739A
JPS6387739A JP61233480A JP23348086A JPS6387739A JP S6387739 A JPS6387739 A JP S6387739A JP 61233480 A JP61233480 A JP 61233480A JP 23348086 A JP23348086 A JP 23348086A JP S6387739 A JPS6387739 A JP S6387739A
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  • Numerical Control (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はパターン認識技術を利用した誤差補正方法に係
り、特にウェハプローバの測定系等の処理に適用して有
効な誤差補正方法に関する。
［発明の技術的背景］ 一般に、プローバにおいてウェハを１チツプごと測定す
る場合などのように、所定ピッチａで同一パターンが繰
り返されている被測定物を例えばＸ／Ｙステージに塔載
してピッチａと同ピツチでＸ方向及び／又はＹ方向に駆
動しながら測定をする場合、パターンのピッチａと駆動
のピッチａ′が全く同じであれば被測定物をＸ方向に送
った（ＩＮＤＥＸするという）時に被測定物のパターン
と処理体（プローバであればプローブ針）とのずれは生
じないはずである。しかし、実際には機械的な誤差、′
／Ｓ定する温度により誤差等による駆動のピッチａ′と
パターンのピッチａとの間には誤差Δａが生じ、Ｎ回Ｉ
ＮＤＥＸするとΔａＸＮの累積誤差が生じる。又、ウェ
ハの場合、まれにはフォトリソグラフィー工程での焼き
付けゆがみ等でウェハ上のチップ１ケ１ケが必ずしも決
められたサイズにならないことがあり、その場合にもパ
ターンと処理体とにずれが生じる。ところで、このよう
な誤差への対応として従来ではウェハプローバの場合、
マイクロスコープあるいはマグネスケールによって所定
数のＩＮＤＥＸの累積誤差を測定し、この測定された誤
差の値に基き、■駆動モータのスクリューを振るか、あ
るいは■駆動モータの回転数を制御するという補正を行
っていた。駆動モータのスクリユーを振る方法というの
は第５図に示すようにＸレール２０に対し駆動モータＭ
のスクリュー２１を平行からななめに調整することによ
り、モータＭの回転はそのままでスクリューナツト２２
のＸ方向の移動量を補正するものであり、一方モータの
回転数を制御する方法はＩ　　ＩＮＤＥＸごとにモータ
の回転数を増減してＸ方向の移動量を補正するものであ
る。しかし、スクリューを振る方法は工数的に非常に手
数がかかるという欠点がある他。
これらの誤差補正方法はいずれもマイクロスコープある
いはマグネスケールによってズレ量を測定し、この値に
基き操作者が補正を行うものであるからズレの測定に多
くの時間と手間を要し、測定温度やウェハ材質等の条件
によって種々に変化するズレにはとうてい対応しきれな
いという難点がある。又、累積補正（累積誤差に基く補
正）を行っているのでフォトリソ工程でのズレなどの各
チップごとの突発的な誤差には対処できないという欠点
があった。
［発明の目的］ 本発明は上記従来の欠点を解消するためになされたもの
で、パターン認識技術を利用することにより、機械的な
誤差のみならず測定温度による誤差、被測定物に由来す
る誤差などの種々の可変の誤差に対応でき、短時間で容
易にそれらを補正することのできる誤差補正方法を提供
せんとするものである。
［発明の概要コ このような目的を達成するために本発明の誤差補正方法
は、所定ピッチで同一パターンが繰り返されている被測
定物を前記所定ピッチと同等のピッチで移動しながら処
理する際に、当該移動のピッチと前記所定ピッチとのず
れ量をパターン認識により認識し、該認識されたずれ量
に基き前記移動のピッチを補正することを特徴とする。
［発明の実施例コ 以下１本発明の誤差補正方法をウエハプローバに適用し
た１実施例を図面に基き説明する。第１図は被測定物と
してチップ（パターン）１が形成されたウェハ２を示し
、各チップｌはすべて同一同形に形成されており、Ｘ方
向及びＹ方向にそれぞれ所定のピッチで配列している。
このようなウェハ２は第２図に示すようなプローバのＸ
Ｙステー′ジ３のチャックトップ４上に塔載した後、Ｘ
ＹＸステージＸＹ方向とチップ配列のＸＹ方向とを合致
させ、更にＸＹＸステージＸＹ軸とウェハのストリート
２ａとの位置合わせ（アラインメントと言う）を行った
後、ＸＹＸステージ駆動し、１チツプ毎測定する。
測定は、チップ１に形成されたパッド（電極）と処理体
であるプローブ針５とを接触させてテストヘッド６によ
りチップの電気的特性を測定するものである。
ここでＸＹステージ３は公知のものであるが簡単に説明
すると、第３図に示すようにチャックトップ４をＸ方向
に摺動自在に支承するＸレール７゜Ｘレール７をＹ方向
に摺動自在に支承するＹレール８．Ｘステージに連結さ
れるスクリューナツト９と係合するスクリュー１０を駆
動するＸ＄１！ｌ駆動モータＭ１及びスクリュー１０に
連結されたスクリューナツト１１と係合するスクリュー
１２を駆動するＹ軸駆動モータＭ２とから成り、Ｘ軸駆
動モータＭ１を駆動することによってスクリュー１０を
回転させてスクリューナツト９に連結されるチャックト
ップ４をＸレール７に沿って移動させると共に、Ｙ軸駆
動モータＭ２を駆動することによってスクリュー１２を
回転させてスクリューナツト１１に連結されるスクリュ
ーｌＯをＹ方向に移動させ、もってチャックトップ４を
Ｙレール８に沿って移動させるものである。
パターン認識を実現する手段としてのＴＶカメラ１３は
アラインメントをするためのアラインメントステージ（
図示せず）か、又はテストヘッド６とインサートリング
１４（・プローブカードを固定しである）との間に設置
する。すでにパッドとプローブ針の位置合わせ用として
インサートリング上にＴＶカメラを設置したプローバも
開発されているのでそのＴＶカメラをそのまま利用する
こともできる。
次に、このような構成のプローバにおける誤差（チップ
幅と駆動ピッチとのずｊＬ）補正方法について説明する
。
一般にフォトリソグラフィー工程での焼付けゆがみ等で
生じるチップサイズのバラ付きは稀であるので、ここで
はＸ方向（Ｙ方向）の累積誤差を認識する方法について
述べる。
まず、チャックトップ４に温度をかける場合には温度が
定常状態になった後ウェハを塔載したチャックトップ４
をＸ方向に決められたｆｆ１（約−列分）駆動し、その
出発地点Ｂ（第１図）と終点ＣのＴＶカメラに映った像
（第４図（ａ）、（ｂ））を比較し、そのズレＸｏをパ
ターン認識装＠１５で認識する。ＣＰＵ１６はこのズレ
ＪｉＸｏとＸ方向へＩＮＤＥＸ数（木刀では７）に基き
Ｉ　ＩＮＤＥＸ当りのズレ量Ｘ（＝Ｘｏ／７）を求め、
これによりＸ＠駆動モータＭ１の回転量を制御し補正す
る。Ｙ方向についても同様に補正を行う。このようにし
てＸ軸駆動モータＭ１及びＹ軸駆動モータＭ２の回転量
を補正した後に測定を開始する。これによりプローブ針
５とウェハ２上のチップ１のパッドとは常に同じ位置で
接触し安定した測定が行われる。
尚、本実施例においては累積補正について述べたが、製
造過程においてチップサイズのバラ付きが予想される場
合は、１チツプ毎にパターン認識→モータ回転制御を行
う、この場合の誤差補正は測定と並行して行うことが望
ましく、従ってＴＶカメラはインサートリング上に設置
しておく必要がある。
本発明の誤差補正法は上記実施例に限定されるものでは
なくウェハプローバのみならず、検査、ステッパなどの
露光処理などＸＹステージを持った各種装置に適用する
ことができる。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明の誤差補正方
法においてはパターン認識技術を利用しているので同一
パターンが所定ピッチで形成された被測定物を処理体に
対し所定ピッチと同等のピッチで移動していく時、生じ
つる各パターンと処理体とのずれを多大な手間や時間を
かけることなく正確且つ簡単に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は被測定体としてのウェハを示す図、第２図はプ
ローパの構成図、第３図はＸＹステージの概略図、第４
図（ａ）及び（ｂ）はパターン認識による画偉を示す図
、第５図は従来の誤差補正方法を示す図である。 １・・・・・・・・・・ウェハ（被測定物）２・・・・
・・・・・・チップ（パターン）３・・・・・・・・・
・ＸＹステージ ４・・・・・・・・・・プローブ（測定体）６・・・・
・・・・・・テストヘッド（測定体）１３・・・・・・
・・ＴＶカメラ（パターン認識装置）１５・・・・・・
・・パターン認識装置代理人　弁理士　　守　谷　−雄 第１図 ｆＩ！Ｊ２図 第３図 第４図 第５図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 所定ピッチで同一パターンが繰り返されている被測定物
    を前記所定ピッチと同等のピッチで移動しながら処理す
    る際に、当該移動のピッチと前記所定ピッチとのずれ量
    をパターン認識により認識し、該認識されたずれ量に基
    き前記移動のピッチを補正することを特徴とする誤差補
    正方法。
JP61233480A 1986-09-30 1986-09-30 プローバの誤差補正方法 Expired - Lifetime JPH07123135B2 (ja)

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