JPS6387505U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6387505U JPS6387505U JP18263286U JP18263286U JPS6387505U JP S6387505 U JPS6387505 U JP S6387505U JP 18263286 U JP18263286 U JP 18263286U JP 18263286 U JP18263286 U JP 18263286U JP S6387505 U JPS6387505 U JP S6387505U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- laser
- reflected light
- inspected
- passed
- Prior art date
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- Granted
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- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例のレーザ外観検査
装置の概念図、第2図はこの考案のスリツトを示
す図、第3図は従来のスリツトを示す図、第4図
はレーザビームスポツトを示す図、第5図はレー
ザビームの光強度分布を示す図である。 11……He―Neレーザ、12……コリメー
タレンズ、13……ボール、14……集光レンズ
、15……スリツト板、16……光電子増倍管、
17……スリツト。
装置の概念図、第2図はこの考案のスリツトを示
す図、第3図は従来のスリツトを示す図、第4図
はレーザビームスポツトを示す図、第5図はレー
ザビームの光強度分布を示す図である。 11……He―Neレーザ、12……コリメー
タレンズ、13……ボール、14……集光レンズ
、15……スリツト板、16……光電子増倍管、
17……スリツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被検査物にレーザ光を照射するレーザ光源と、
上記被検査物からの反射光の一部分を通すスリツ
トと、上記スリツトを通つた反射光を光電変換す
る光電変換装置を備えたレーザ外観検査装置にお
いて、 上記スリツトは反射光スポツトの同一光強度部
を通す円弧状をしていることを特徴とするレーザ
外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18263286U JPH0542326Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18263286U JPH0542326Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6387505U true JPS6387505U (ja) | 1988-06-07 |
JPH0542326Y2 JPH0542326Y2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=31128611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18263286U Expired - Lifetime JPH0542326Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0542326Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP18263286U patent/JPH0542326Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0542326Y2 (ja) | 1993-10-26 |