JPS63170705U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63170705U JPS63170705U JP6385087U JP6385087U JPS63170705U JP S63170705 U JPS63170705 U JP S63170705U JP 6385087 U JP6385087 U JP 6385087U JP 6385087 U JP6385087 U JP 6385087U JP S63170705 U JPS63170705 U JP S63170705U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- conversion element
- inspected
- laser
- transmission window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す全体側面図、
第２図は第１図の矩形状光電変換素子を示す斜視
図である。第３図は公知の光学的表面粗度検出要
領を示す原理図、第４図は第３図の光電変換素子
を示す平面図、第５図は研削加工面による輝度分
布図、第６図は第３図における光電変換素子の出
力信号処理回路図である。 １…被検材、２…レーザー光源、３…レーザー
光、４…レンズ系、５ａ，５ｂ…５ｎ…光電変換
素子、６…増幅器、７…演算器、８…演算装置、
１０…矩形状光電変換素子。
第２図は第１図の矩形状光電変換素子を示す斜視
図である。第３図は公知の光学的表面粗度検出要
領を示す原理図、第４図は第３図の光電変換素子
を示す平面図、第５図は研削加工面による輝度分
布図、第６図は第３図における光電変換素子の出
力信号処理回路図である。 １…被検材、２…レーザー光源、３…レーザー
光、４…レンズ系、５ａ，５ｂ…５ｎ…光電変換
素子、６…増幅器、７…演算器、８…演算装置、
１０…矩形状光電変換素子。
Claims (1)
- 適当なスポツト径を有するレーザー光源を被検
面に照射し、その反射光の輝度分布を光電変換素
子を介して求めるようにした光学的粗度検査装置
において、上記光電変換素子の中央部にレーザー
スポツト光の透過窓を設け、レーザースポツト光
を上記透過窓を通して被検面に照射し、上記被検
面からの反射光の輝度分布を上記光電変換素子に
より検出することを特徴とする表面粗度検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6385087U JPS63170705U (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6385087U JPS63170705U (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63170705U true JPS63170705U (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=30899464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6385087U Pending JPS63170705U (ja) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63170705U (ja) |
-
1987
- 1987-04-27 JP JP6385087U patent/JPS63170705U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63170705U (ja) | ||
| JPS63170706U (ja) | ||
| JPS6295849U (ja) | ||
| JPH03117749U (ja) | ||
| JPS6423145A (en) | Optical appearance inspection device | |
| JPH02118252U (ja) | ||
| JPH0327343U (ja) | ||
| JPS63175854U (ja) | ||
| JPS62189889U (ja) | ||
| JPH01162659U (ja) | ||
| JPH0365945U (ja) | ||
| JPS61199661U (ja) | ||
| JPS6253349U (ja) | ||
| JPH0354912U (ja) | ||
| JPS6244244U (ja) | ||
| JPH02133656U (ja) | ||
| JPH02122346U (ja) | ||
| JPS63159757U (ja) | ||
| JPH0224367U (ja) | ||
| JPS6232600U (ja) | ||
| JPS62195752U (ja) | ||
| JPS6199021U (ja) | ||
| JPS59113707U (ja) | 鏡面体の表面検査装置 | |
| JPH0441651U (ja) | ||
| JPS62155305U (ja) |