JPS62155305U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62155305U JPS62155305U JP4410186U JP4410186U JPS62155305U JP S62155305 U JPS62155305 U JP S62155305U JP 4410186 U JP4410186 U JP 4410186U JP 4410186 U JP4410186 U JP 4410186U JP S62155305 U JPS62155305 U JP S62155305U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- lattice pattern
- light source
- detection element
- surface roughness
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
原理構成を示す図、第２図は投影パターンを示す
図、第３図及び第４図は本構成で得られる信号波
形例を示す図、第５図ないし第７図は信号検出方
法を示す図である。 １……縞パターンドラム、２……光源、３―１
，３―２……レンズ、４……検査体、５，１０，
１５……空間フイルタ、１１……増幅器、１３…
…整流器。
原理構成を示す図、第２図は投影パターンを示す
図、第３図及び第４図は本構成で得られる信号波
形例を示す図、第５図ないし第７図は信号検出方
法を示す図である。 １……縞パターンドラム、２……光源、３―１
，３―２……レンズ、４……検査体、５，１０，
１５……空間フイルタ、１１……増幅器、１３…
…整流器。
Claims (1)
- 光学式の表面粗さ検査装置において、回転する
光学的濃淡を有する格子状パターンと、この格子
状パターンを照明するための光源と、上記格子状
パターンを検査体表面に投影すると共にこの投影
された格子パターンを光学検出素子上に結像する
ための光学系と、上記光学検出素子の出力信号を
増幅・整流して空間周波数成分を検出する手段と
を具備したことを特徴とする表面粗さ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4410186U JPS62155305U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4410186U JPS62155305U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62155305U true JPS62155305U (ja) | 1987-10-02 |
Family
ID=30861587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4410186U Pending JPS62155305U (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62155305U (ja) |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP4410186U patent/JPS62155305U/ja active Pending
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