JPS6381936A - ボンデイングツ−ル - Google Patents

ボンデイングツ−ル

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JPS6381936A
JPS6381936A JP61226024A JP22602486A JPS6381936A JP S6381936 A JPS6381936 A JP S6381936A JP 61226024 A JP61226024 A JP 61226024A JP 22602486 A JP22602486 A JP 22602486A JP S6381936 A JPS6381936 A JP S6381936A
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JP
Japan
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capillary
bonding
bonding arm
arm
section
Prior art date
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Pending
Application number
JP61226024A
Other languages
English (en)
Inventor
Soichi Nagano
長野　宗一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Priority to JP61226024A priority Critical patent/JPS6381936A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ボンディング技術さらには超音波ボンディン
グ技術忙関するものである。
〔従来の技術〕
超音波ワイヤボンディングについては、特開昭５７−１
６６０４２号公報に記載されている。第３図に示すよう
に超音波発振器１を取り付けたホーン２の先端部にボン
ディングワイヤ３を挿通するキャピラリ４を固設するよ
うになっている。そして、超音波振動を与えつつ、ボン
ディングすべき電極またはリード上にボンディングワイ
ヤを圧着し接続するものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、上述した技術においては次のような問題点が
あることを本発明者は見い出した。すなわち、ボンディ
ングアーム１からキャピラリ先端までの長さが、キャピ
ラリ交換等の際に微妙に変動するため、キャピラリ先端
における超音波振動幅を一定にする調整が非常に困難で
あった。
本発明の目的はボンディングアームに対してボンディン
グツールを一定位置に取付けできる技術を提供するもの
である。
本発明の他の目的は、安定したボンディングを行なえる
技術を提供するものである。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
〔問題点を解決するための手段〕
本題において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、ボンディングツールにボンディングアームに
対する位置規定用の突部を形成するものである。
〔作用〕
上記した手段によれば、ボンディングツールの上部に突
部な設けることにより、ボンディングアームに前記突部
が当接するので、ボンディングアームに対してボンディ
ングツールを一定位置に取付けできるものである。
〔実施例〕
第１図は本発明の一実施例であるキャピラリの斜視図、
第２図は第１図のキャピラリを用いたワイヤボンダの主
要部断面図である。
キャピラリ１は円筒状の例えばセラミック製のキャピラ
リ本体２と、前記キャピラリ本体２の中心軸に対して垂
直方向に突出したつば状の突部３と、キャピラリ１がボ
ンディングアーム４に取付だときに回転しないための回
転止め部５と、ボンディングワイヤ６を挿通するための
貫通孔７を有している。また、本実施例では、キャピラ
リ１のつば３状の突部と嵌合する凹部８をボンディング
アーム４の先端部に形成し、被ポンディ／グ体（例えば
半導体チップ上の電極、リードフレーム等）Ｋ対してキ
ャピラリ１が垂直に当接できるよう釦なっている。なお
、キャピラリ８はこの状態で図示しない手段によりボン
ディングアーム４に固定保持されている。
次に本実施例について作用効果を説明する。
（１）キャピラリに突部を形成することにより、突部が
ボンディングアームに対してストッパーとして作用する
ので、キャピラリ先端からボンディングアームまでの距
離を容易に規定できるという効果が得られる。
（２）キャピラリの上部に、前記キャピラリの中心軸に
対して面方向が直交するつば状の突部を形成することＫ
より、キャピラリ先端からボンディングアームまでの距
離を規定できると共に、角度をも規定できるという効果
が得られる。
（３）　　（１）あるいは（２）　Ｋより常にキャピラ
リ先端からボンディングアームまでの距離を一定にでき
るので、キャピラリ交換を即座に行なえ作業性が向上す
る効果が得られる。
（４）　　（１）あるいは（２１Ｋより、常にキャピラ
リ先端からボンディングアームまでの距離を一定にでき
るので、同質、同型のキャピラリであれば所定の超音波
出力を印加すればキャピラリ先端での振幅を一定にでき
、−様なボンダビリティが得られるという効果が得られ
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、突部の形状
は、ボンディングアームに対して位置規定できるのであ
ればどのような形状であっても良い。また、突部をキャ
ピラリ先端から同距離に複数カ所に設けても良い。さら
には、ボンディングアーム側に位置決め用の突起を設け
、ボンディングツール側に前記突起と嵌合する凹部な設
けて位置決めしても良い。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となりた利用分野であるネイルヘッドワイヤ
ボンディングに用いるキャピラリについて適用したが、
超音波ワイヤポンディングで用いるウェッジあるいはベ
レットボンディングで用いるコレットにも適用できる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものたよっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、ボンディングアームからボンディングツール
先端までの距離を容易に一定に保てるという効果が得ら
れるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例であるキャピラリの斜視図、 第２図は第１図のキャピラリを用いたワイヤボンダの要
部断面図、 第３図は従来のワイヤボンダの概略説明図である。 １・・・キャピラリ、２・・・キャピラリ本体、３・・
・突部、４・・・ポンディングアーム、５・・・回転止
め部、６・・・ボンディンギワイヤ、７・・・貫通孔、
８・・・凹部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、ボンディングアームの先端部に配設されボンディン
    グワイヤを挿通する貫通孔を有するボンディングツール
    において、前記ボンディングツールの外部に、前記ボン
    ディングアームに対する位置規定のための突部が形成さ
    れていることを特徴とするボンディングツール。
JP61226024A 1986-09-26 1986-09-26 ボンデイングツ−ル Pending JPS6381936A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61226024A JPS6381936A (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ボンデイングツ−ル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61226024A JPS6381936A (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ボンデイングツ−ル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6381936A true JPS6381936A (ja) 1988-04-12

Family

ID=16838588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61226024A Pending JPS6381936A (ja) 1986-09-26 1986-09-26 ボンデイングツ−ル

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JP (1) JPS6381936A (ja)

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