JPS6380087U - - Google Patents

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JPS6380087U
JPS6380087U JP1986174120U JP17412086U JPS6380087U JP S6380087 U JPS6380087 U JP S6380087U JP 1986174120 U JP1986174120 U JP 1986174120U JP 17412086 U JP17412086 U JP 17412086U JP S6380087 U JPS6380087 U JP S6380087U
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laser beam
processing head
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laser
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Description

【図面の簡単な説明】
図はこの考案の一実施例によるレーザ加工装置
を示す概略構成図である。 １はレーザ発振器、２はレーザビーム、４は加
工ヘツド、５は集光レンズ、８は光センサ（輝度
検出手段）、９はサーボモータ（駆動手段）、１
０はコントローラ（制御手段）である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集光されたレーザビームを発する加工ヘツドを
    設け、該加工ヘツドの変位量を調整することによ
    り、レーザビームの焦点位置をワーク上に設定す
    るレーザ加工装置において、前記レーザビームが
    前記ワークに照射されたときに発するプラズマの
    輝度を検出する輝度検出手段と、前記加工ヘツド
    を一定方向に変位させる駆動手段と、前記輝度検
    出手段からの輝度出力が最大になるように前記駆
    動手段の制御を行なう制御手段とを備えたことを
    特徴とするレーザ加工装置。
JP1986174120U 1986-11-14 1986-11-14 Pending JPS6380087U (ja)

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JPS6380087U true JPS6380087U (ja) 1988-05-26

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994020256A1 (en) * 1993-03-08 1994-09-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam machine and focusing method therefor
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