WO2016143055A1 - 光加工ヘッドおよび3次元造形装置 - Google Patents

光加工ヘッドおよび3次元造形装置 Download PDF

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Abstract

 本発明の目的は、加工位置から離れた位置に配置されたセンサで、微弱光を確実に集光することである。光加工ヘッドであって、加工位置に照射する光を誘導する光誘導手段を備えた。光加工ヘッドは、一端が前記光誘導手段の先端近傍に配置され、他端が光検出手段に接続され、前記加工位置からの反射光を集光して前記光検出手段に伝送する光伝送手段をさらに備えた。また、光加工ヘッドは、光伝送手段を少なくとも1つ備えたことを特徴とする。

Description

光加工ヘッドおよび3次元造形装置
 本発明は、光加工ヘッドおよび3次元造形装置に関する。
 上記技術分野において、特許文献1には、加工位置から離れた位置にセンサを配置して、加工状態をモニタリングする技術が開示されている。
特許第5414645号公報
 しかしながら、上記文献に記載の技術では、加工位置から離れた位置に配置されたセンサでは、微弱光を集光することが困難であった。
 本発明の目的は、上述の課題を解決する技術を提供することにある。
 上記目的を達成するため、本発明に係る光加工ヘッドは、
 加工位置に照射する光を誘導する光誘導手段と、
 一端が前記光誘導手段の先端近傍に配置され、他端が光検出手段に接続され、前記加工位置からの反射光を集光して前記光検出手段に伝送する少なくとも1つの光伝送手段と、
 を備えたことを特徴とする。
 上記目的を達成するため、本発明に係る3次元造形装置は、
 上記光加工ヘッドを含むことを特徴とする。
 本発明によれば、加工位置から離れた位置に配置されたセンサであっても、微弱光を確実に集光することができる。
本発明の第1実施形態に係る光加工ヘッドの構成を示す図である。 本発明の第2実施形態に係る光加工ヘッドの構成を示す側面図である。 本発明の第2実施形態に係る光加工ヘッドの光ファイバーの配置を示す上面図である。 本発明の第3実施形態に係る光加工ヘッドの光ファイバーの部分拡大図である。
 以下に、本発明を実施するための形態について、図面を参照して、例示的に詳しく説明記載する。ただし、以下の実施の形態に記載されている、構成、数値、処理の流れ、機能要素などは一例に過ぎず、その変形や変更は自由であって、本発明の技術範囲を以下の記載に限定する趣旨のものではない。
 [第1実施形態]
 本発明の第1実施形態として光加工ヘッド100について、図1を用いて説明する。光加工ヘッド100は、加工位置からの反射光を検出して造形物の加工品質や加工状態をモニタリングする装置である。
 図1に示すように、光加工ヘッド100は、光誘導部101と、光伝送部102と、光検出部103とを含む。
 光誘導部101は、造形面上の加工位置110に図示しない光源から放射されたレーザービーム130などの光を誘導する。光伝送部102は、一端121が光誘導部101の先端近傍に配置されており、他端122が光検出部103に接続されている。光伝送部102は、加工位置110からの反射光120を集光して、光検出部103に伝送する。
 本実施形態によれば、加工位置から離れた位置にセンサを配置しても、光伝送部により微弱光を集光するので、微弱光を確実に集光することができる。
 [第2実施形態]
 次に本発明の第2実施形態に係る光加工ヘッド200について、図2乃至図4を用いて説明する。図2は、本実施形態に係る光加工ヘッド200の構成を説明するための側面図である。図3は、本実施形態に係る光加工ヘッド200の光ファイバー202の配置を説明するための上面図である。
 光加工ヘッド200は、ノズル201と、光ファイバー202と、光検出センサ203とを有する。
 ノズル201は、3次元造形物を造形するための積層材料である金属や樹脂などに対してレーザービーム230などの光を照射して、加工位置210に散布された積層材料を硬化させる。積層材料は、ノズル201から加工位置210に対して散布してもよく、また、ノズル201とは別の積層材料散布装置などから散布してもよい。
 さらに、ノズル201は、噴射ガス240をノズル201の噴射口から噴射して、ヒューム250などの異物がノズル201の内部に侵入するのを抑制する。
 ノズル201の内径は、数mm程度の大きさである。ノズル201の内径を大きくし過ぎると、噴射ガス240の噴射状態が悪くなり、ヒューム250の侵入を抑制するという効果を得られなくなる。
 このノズル201の内径の値は、積層材料を積層するというプロセスの観点から見れば妥当な値であるが、加工状態や加工品質をモニタリングするという観点から見るとノズル201の内径は大きければ大きいほどよい。しかし、内径を大きくし過ぎると、上述したように噴射ガス240の噴射状態が悪くなる。
 したがって、ノズル201の内径は、レーザービーム230のビーム径と、噴射ガス240の噴射量との関係で決定するのが好ましい。つまり、例えば、レーザービーム230と噴射ガス240とが干渉しないような内径とするのが好ましく、約3~5mm程度が好適な値となるが、この値には限定されない。
 光ファイバー202は、先端221がノズル201の先端付近に配置されている。したがって、光ファイバー202の先端221は、加工位置210からの距離が非常に近い位置に配置されることになる。これにより、光ファイバー202は、微弱な反射光220であっても確実に集光することができる。
 3次元造形物の品質管理をするためや、加工プロセス中の不具合の発生を検知するためには、たとえ微弱な反射光220であったとしても、これを検出して評価することが望ましい。そして、最終的に安定的な加工を実現するためにも、微弱な反射光220を検出して評価することは有利に作用する。
 そのためには、微弱な光を含むあらゆる反射光220を集めることが望ましく、これらの反射光220を集めるためには、光検出センサ203が加工位置210に近ければ近いほど有利である。
 しかしながら、通常、ノズル201の先端と加工位置210との間は狭いので、光検出センサ203を加工位置210の近くに置くことは物理的に不可能である。よって、加工位置210と光検出センサ203との間を補填するために、この位置に光ファイバー220を配置した。これにより、微弱な反射光220であっても確実に捕捉することができる。
 光ファイバー202の具体的な配置は、ノズル201の外周面である外壁211と、ノズル201の内周面である内壁212との間に設けられている。すなわち、光ファイバー202は、ノズル201の内部に組み込まれている。
 光ファイバー202の先端221は、レーザービーム230による蒸気やヒューム250により汚れ、これを放置しておくと、経時変化により光ファイバー202が使えなくなる。
 そのため、本実施形態では、光ファイバー202をノズル201の内部に組み込んだ構成として、ヒューム250が付着することを抑制している。そして、光ファイバー202は、後端222が光検出センサ203に接続されている。
 光ファイバー202は、加工位置210で反射して、加工位置210から放射されるプラズマ光などの反射光220を集光する。光ファイバー202は、集光した反射光220を光ファイバー202の後端222側に接続された光検出センサ203まで伝送する。
 また、光ファイバー202は、レーザービーム230の光軸260に対して所定の角度(α)傾いている。これにより、ヒューム250などの異物が光ファイバー202の内部に侵入することを抑制できる。なお、光ファイバー202は、光軸260に対して平行、つまり、光軸260に対する傾きが0度であってもよい。
 光検出センサ203は、例えば、分光器などである。光検出センサ203は、可視光から1μmまでの広い波長領域の光を検出できるセンサであってもよいし、これとは反対に、特定の波長の光だけを検出するセンサであってもよい。
 例えば、検出対象の光が、レーザービーム230の反射光であれば、レーザービーム230と同じ1μm単位の波長領域の光を検出できるセンサであればよい。また、検出対象の光が、プラズマ発光による反射光であれば、700nm~900nmの波長領域の光を検出できるセンサであればよい。
 さらに、光検出センサ203は、例えば、光の波長を検出して、検出した波長に基づいて、加工位置210の温度などを測定するセンサや、リアルタイム検出ができるセンサが望ましい。
 このような光検出センサ203を用いることにより、温度、溶融時の状態を確認できる。積層プロセスの健全性を確認することもできる。また、様々な情報をフィードバックすることができる。これにより、レーザービーム230による加工中に加工品質をモニタリングすることもできる。
 さらに、微弱な反射光220を検出できるので、これらのデータを図示しない制御装置にフィードバックすることにより、レーザービーム230の出力(パワー)の細かい制御が可能となる。例えば、積層材料が溶融している所(加工位置210)の温度を1000~1100度に維持したい場合には次のような制御をする。
 検出した反射光220の波長から、加工位置210の温度が900度となっている場合には、レーザービーム230の出力(パワー)を上げて、加工位置210の温度を上昇させる制御をする。これとは反対に、加工位置210の温度が1100度以上となっている場合には、レーザービーム230の出力(パワー)を低下させて、加工位置210の温度を下降させる制御をする。
 また、光検出センサ203と光ファイバー202の後端222との間に、集光レンズなどの光学系をさらに設けてもよい。これにより、微弱な反射光220であっても、この追加の光学系によって、微弱光を増幅することができるので、光検出センサ203がより確実に検出することができる。
 図3は、本実施形態に係る光加工ヘッド200の光ファイバー202の配置を説明するための上面図である。図3(a)は、図2で説明したように、光ファイバー202がノズル201の外壁211と内壁212との間に組み込まれた構成を示している。これとは反対に、図3(b)に示したように、光ファイバー202が、ノズル201に組み込まれずに、ノズル201の外周面である外壁211に取り付けられてもよい。
 例えば、図示したように、ノズル201の内壁212または外壁211の全周に渡って、光ファイバー202を設ければ、指向性を有する光も検出することができる。また、光ファイバー202の数は特に限定されない。
 本実施形態によれば、加工位置210から離れた位置に光検出センサ203を配置しても、微弱光を確実に集光することができる。また、ノズル201の全周を囲むように光ファイバー202を配置したので、指向性のある反射光220であっても確実に検出することができる。したがって、検出データの精度と信頼性を向上させることができる。
 [第3実施形態]
 次に本発明の第3実施形態に係る光加工ヘッドの光ファイバーについて、図4を用いて説明する。図4は、本実施形態に係る光加工ヘッド200の光ファイバー400の部分拡大図である。光ファイバー400は、図2で示した光ファイバー202の先端部分と対応する。本実施形態に係る光ファイバー400は、上記第2実施形態と比べると、保護ガラスおよび集光ガラスを有する点で異なる。その他の構成および動作は、第2実施形態と同様であるため、同じ構成および動作については同じ符号を伏してその詳しい説明を省略する。
 図示したように、光ファイバー400を、光軸260に対して所定の角度(α)傾けることにより、ヒューム250などの異物が光ファイバー202の内部に侵入することを抑制している。
 光ファイバー400の先端221には、保護ガラス401が設けられている。例えば、レーザービーム230の出力(パワー)が大きく、ヒューム250や水蒸気などの異物が大量に発生した場合に、このような構成では光ファイバー400の内部への異物侵入の抑制効果が十分ではなくなる。このような場合に、保護ガラス401を設けておくと、異物侵入を効果的に抑制することができる。
 このように保護ガラス401を設けることにより、保護ガラス401がプロテクターの役割を果たし、汚れの付着や異物の侵入などを防止できる。
 さらに、光ファイバー400に集光用のマイクロレンズ402を設けて、光ファイバー400の集光性を高めることができる。これにより、さらに弱い微弱光であっても確実に検出することができる。
 本実施形態によれば、加工位置210から離れた位置に光検出センサ203を配置しても、微弱光を確実に集光することができる。また、ノズル201の全周を囲むように光ファイバー202を配置したので、指向性のある反射光220であっても確実に検出することができる。したがって、検出データの精度と信頼性を向上させることができる。
 なお、図示していないが、本実施形態に係る光加工ヘッド200は、3Dプリンタなどの3次元造形装置に用いることもできる。
 本実施形態によれば、光ファイバーに保護ガラスを設けたので、ヒューム250などの異物が光ファイバー400の内部に侵入することを防止できる。さらに、光ファイバー400に汚れが付着することを防止できる。また、集光レンズを設けたので、微弱光を確実に集光することができる。
 [他の実施形態]
 以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、それぞれの実施形態に含まれる別々の特徴を如何様に組み合わせたシステムまたは装置も、本発明の範疇に含まれる。

Claims (9)

  1.  加工位置に照射する光を誘導する光誘導手段と、
     一端が前記光誘導手段の先端近傍に配置され、他端が光検出手段に接続され、前記加工位置からの反射光を集光して前記光検出手段に伝送する少なくとも1つの光伝送手段と、
     を備えたことを特徴とする光加工ヘッド。
  2.  前記光伝送手段は、光軸に対して所定の角度傾いていることを特徴とする請求項1に記載の光加工ヘッド。
  3.  前記光伝送手段は、前記光誘導手段の外周面と内周面との間に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の光加工ヘッド。
  4.  前記光伝送手段は、前記光誘導手段を包囲するように配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光加工ヘッド。
  5.  前記光伝送手段は、前記一端に保護ガラスを設けたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光加工ヘッド。
  6.  前記光伝送手段は、前記一端に集光レンズを設けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光加工ヘッド。
  7.  前記光検出手段は、分光器であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光加工ヘッド。
  8.  前記光伝送手段は、光ファイバーであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光加工ヘッド。
  9.  請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光加工ヘッドを含むことを特徴とする3次元造形装置。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018219447A1 (de) * 2017-05-31 2018-12-06 Siemens Aktiengesellschaft Materialablegewerkzeug, insbesondere druckkopf für einen 3d-drucker, fertigungseinrichtung und verfahren zum additiven fertigen eines werkstücks
US20190118295A1 (en) * 2017-10-20 2019-04-25 Branson Ultrasonics Corporation Glowing Part And Tooling In Simultaneous Laser Plastics Welding
US11285563B2 (en) 2017-10-20 2022-03-29 Branson Ultrasonics Corporation Fiber feedback
JP6725572B2 (ja) * 2018-03-23 2020-07-22 株式会社アマダ レーザ加工機及びレーザ加工方法
US11014184B2 (en) * 2018-04-23 2021-05-25 Hitachi, Ltd. In-process weld monitoring and control

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58143745A (ja) * 1982-02-19 1983-08-26 三菱電機株式会社 レ−ザ光誤照射防止装置
JPS6380087U (ja) * 1986-11-14 1988-05-26
JPH05212568A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置およびその集光レンズ高さ制御方法
JP2008546536A (ja) * 2005-06-27 2008-12-25 インスパイアー アーゲー フューア メカトロニシェ プロダクションズュステーム ウント フェルティグングステヒニク 3d生成プロセスでの3次元物体を製造するための方法およびデバイス
JP2009125756A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
JP2010201489A (ja) * 2009-03-05 2010-09-16 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接方法、およびレーザ溶接装置
JP2012006036A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Nishihara Denshi:Kk 欠陥電極検出装置
JP2012512031A (ja) * 2008-12-17 2012-05-31 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 溶接装置および溶接方法
JP2013233593A (ja) * 2013-07-22 2013-11-21 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工装置
JP5414645B2 (ja) 2010-09-29 2014-02-12 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP2015013292A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 三菱電機株式会社 レーザ加工機の加工ヘッド

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3245846C2 (de) 1981-12-28 1986-05-28 Mitsubishi Denki K.K., Tokio/Tokyo Sicherheitsvorrichtung für ein chirurgisches Laserstrahlgerät
US4689485A (en) * 1982-09-25 1987-08-25 Renishaw Plc Optoelectronic displacement measuring apparatus using color-encoded light
US4594504A (en) * 1983-09-08 1986-06-10 Rosemount Inc. Light modulation sensor in a vortex shedding flowmeter
DE3824048A1 (de) * 1988-07-15 1990-05-03 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlung
US5045668A (en) 1990-04-12 1991-09-03 Armco Inc. Apparatus and method for automatically aligning a welding device for butt welding workpieces
JP2743667B2 (ja) * 1991-11-15 1998-04-22 澁谷工業株式会社 レーザ加工機
DE69219101T2 (de) 1992-02-03 1997-07-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laserbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Höhe des Kondensor
JP2683874B2 (ja) 1994-07-29 1997-12-03 長崎県 レーザ溶接の溶接状態検出方法と装置
JP4297399B2 (ja) * 2000-02-29 2009-07-15 株式会社アマダ ピアス穴貫通認識装置及びその認識方法
IL169641A0 (en) * 2005-07-12 2009-02-11 Sialo Lite Ltd Device and system for root canal treatment
JP5440499B2 (ja) * 2008-07-16 2014-03-12 住友電気工業株式会社 レーザ加工装置及びその加工方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58143745A (ja) * 1982-02-19 1983-08-26 三菱電機株式会社 レ−ザ光誤照射防止装置
JPS6380087U (ja) * 1986-11-14 1988-05-26
JPH05212568A (ja) * 1992-02-03 1993-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置およびその集光レンズ高さ制御方法
JP2008546536A (ja) * 2005-06-27 2008-12-25 インスパイアー アーゲー フューア メカトロニシェ プロダクションズュステーム ウント フェルティグングステヒニク 3d生成プロセスでの3次元物体を製造するための方法およびデバイス
JP2009125756A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
JP2012512031A (ja) * 2008-12-17 2012-05-31 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 溶接装置および溶接方法
JP2010201489A (ja) * 2009-03-05 2010-09-16 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接方法、およびレーザ溶接装置
JP2012006036A (ja) * 2010-06-24 2012-01-12 Nishihara Denshi:Kk 欠陥電極検出装置
JP5414645B2 (ja) 2010-09-29 2014-02-12 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP2015013292A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 三菱電機株式会社 レーザ加工機の加工ヘッド
JP2013233593A (ja) * 2013-07-22 2013-11-21 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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