JPS636888A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS636888A JPS636888A JP14960286A JP14960286A JPS636888A JP S636888 A JPS636888 A JP S636888A JP 14960286 A JP14960286 A JP 14960286A JP 14960286 A JP14960286 A JP 14960286A JP S636888 A JPS636888 A JP S636888A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- heater
- discharge
- laser apparatus
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- Pending
Links
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 5
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- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、軸流放電励起型のガスレーザ装置に関するも
のである。
のである。
従来の技術
第３図は直流放電励起炭酸ガスレーザ装置の概念図であ
シ、直流電源ｆの出力が一対のｔ衡２．３間に印加され
ると、放電空間４に直流放電が生じ、この放電は同空間
４に封入されているレーザ媒質ガス５を励起する。との
結果、全反射鏡６と部分透過鏡７からなる光共振器の閣
でレーザ発振が励起され、その発振光の一部がレーザ光
ｇとして上記部分透過鏡よシ取出される。
シ、直流電源ｆの出力が一対のｔ衡２．３間に印加され
ると、放電空間４に直流放電が生じ、この放電は同空間
４に封入されているレーザ媒質ガス５を励起する。との
結果、全反射鏡６と部分透過鏡７からなる光共振器の閣
でレーザ発振が励起され、その発振光の一部がレーザ光
ｇとして上記部分透過鏡よシ取出される。
なお上記レーザ媒質ガスは、プロア９によシ放電空間４
を数１０〜数１００ ｍ／ｓの速度で通過した後、熱交
換器１０で冷却され、再び上記放電空間４へ送り込まれ
る。ことで放電人力Ｗｍｐｕｔに対するガス温度の上昇
分ＪＴは ノ’ｆ＝ ＷｒＩ＠ｐｕｔ （１−η）／（Ｃｐり中入
’ ７６０） ”・・” （１）ただし η：レー
ザ発発効効 率ｐ：レーザガス比熱 ｐ ：標準状態のガス比重 ｓＩ：ガス流速 Ａ ：流路断面積 Ｐ ：ガス圧力 で与えられる。またレーザ出力Ｐｏは Ｐ、＝ （ＪＣＴ−’ −−−−−−（２）となシ、
ガス温度Ｔの２乗に反比例する。また真空ポンプ１１．
補給ガス１２によシガス媒質容器中ガスはリフレッシュ
されつつ一定圧に保たれている。
を数１０〜数１００ ｍ／ｓの速度で通過した後、熱交
換器１０で冷却され、再び上記放電空間４へ送り込まれ
る。ことで放電人力Ｗｍｐｕｔに対するガス温度の上昇
分ＪＴは ノ’ｆ＝ ＷｒＩ＠ｐｕｔ （１−η）／（Ｃｐり中入
’ ７６０） ”・・” （１）ただし η：レー
ザ発発効効 率ｐ：レーザガス比熱 ｐ ：標準状態のガス比重 ｓＩ：ガス流速 Ａ ：流路断面積 Ｐ ：ガス圧力 で与えられる。またレーザ出力Ｐｏは Ｐ、＝ （ＪＣＴ−’ −−−−−−（２）となシ、
ガス温度Ｔの２乗に反比例する。また真空ポンプ１１．
補給ガス１２によシガス媒質容器中ガスはリフレッシュ
されつつ一定圧に保たれている。
発明が解決しようとする問題点
上記＋１１ 、 ＋２式に示すように、実際にレーザを
発振させたときに、上記温度上昇分ＪＴとレーザ媒質ガ
ス周辺の熱容量できまる温度平衡時間（立ち上少時間）
が問題となる。
発振させたときに、上記温度上昇分ＪＴとレーザ媒質ガ
ス周辺の熱容量できまる温度平衡時間（立ち上少時間）
が問題となる。
すなわち、ガスレーザ装置を切断機、溶接機。
熱処理機等の那工機に応用する場合はレーザ出力の早い
立ち上）時間（高い安定度）が要求される。
立ち上）時間（高い安定度）が要求される。
ところが現状のガスレーザ装置にあっては。
立ち上り時間が長く、作業工程中で占有する率は高く、
安定度に問題があった。
安定度に問題があった。
問題点を解決するための手段及び作用
本発明は上記のととくかんがみなされたもので、レーザ
出力の立ち上少時間を早くしてレーザ装置としての安定
ｉｔ向上することができるようにしたガスレーザ装置を
提供しようとするものであシ、その構成は、レーザガス
を強制対流させ、放電励起によって発振せしめるガスレ
ーザ装置において、上記レーザガスの温度調整手段を有
する構成となってお）、温度調整手段を装置励起時に作
動させることＫよシ立ち上り時間が改善される。
出力の立ち上少時間を早くしてレーザ装置としての安定
ｉｔ向上することができるようにしたガスレーザ装置を
提供しようとするものであシ、その構成は、レーザガス
を強制対流させ、放電励起によって発振せしめるガスレ
ーザ装置において、上記レーザガスの温度調整手段を有
する構成となってお）、温度調整手段を装置励起時に作
動させることＫよシ立ち上り時間が改善される。
実施例
本発明の実施例上第１メ、第２図に基づいて説明する。
なおこの実施例において、第３図に示す従来例と同一部
材は同一符号を付して説明を省略する。
材は同一符号を付して説明を省略する。
プロア９の吐出側と放電空間４の上流側とを接続する通
路内にヒータｊ３が設けられている。
路内にヒータｊ３が設けられている。
表おこのヒータ１３は補給ガス１２の下流側に位置され
ている。また上記放電空間４の下流側とプロア９の吸引
側とを接読する通路内で、かつ熱交換器１０の上流側に
ガス温度検出器１４が設けられている。上記ヒータ１３
はガス温度検出器１４の検出温度に基づいて制御装置１
５にて制御されるようになっている。
ている。また上記放電空間４の下流側とプロア９の吸引
側とを接読する通路内で、かつ熱交換器１０の上流側に
ガス温度検出器１４が設けられている。上記ヒータ１３
はガス温度検出器１４の検出温度に基づいて制御装置１
５にて制御されるようになっている。
第２図（４）は運転開始からの時間ｔとガス温度Ｔとの
関係を示す。プレヒートがない場合の特性は図中１で示
すようにな）、長い立ち上少時間ｔｏで熱平衡温度Ｔｏ
に達する。ここでヒータ１３を加熱して図中すに示すよ
うにプレヒートを予設定時ｒ′Ｔ！ＵｔＩＩだけ施すこ
とによシ、立ち上シ特性は図中Ｃに示すようになシ、早
い立ち上少時間ｔ１で熱平衡温度ＴｏＫ達する。
関係を示す。プレヒートがない場合の特性は図中１で示
すようにな）、長い立ち上少時間ｔｏで熱平衡温度Ｔｏ
に達する。ここでヒータ１３を加熱して図中すに示すよ
うにプレヒートを予設定時ｒ′Ｔ！ＵｔＩＩだけ施すこ
とによシ、立ち上シ特性は図中Ｃに示すようになシ、早
い立ち上少時間ｔ１で熱平衡温度ＴｏＫ達する。
このときの時間ｔとレーザ出力Ｐとの関係ｔ−ｉ第２第
２冫田示す、最終静定出力Ｐ０に対しプレヒートなしの
場合はｄで示すようになり、またプレヒートした場合は
ｅで示すようになシ、立ち上少時間は１ｏからｔ８へ改
善される。。
２冫田示す、最終静定出力Ｐ０に対しプレヒートなしの
場合はｄで示すようになり、またプレヒートした場合は
ｅで示すようになシ、立ち上少時間は１ｏからｔ８へ改
善される。。
上記プレヒートの予設定時１′８１ｔＨはレーザ各出力
に対して最短立ち上夛時間に対する最適値であシ、制御
装置の中でプログラム化されている。
に対して最短立ち上夛時間に対する最適値であシ、制御
装置の中でプログラム化されている。
また上記ヒータ１３と併用あるいは単独に上記熱交換器
１０の交換能力を低下させることによシ同じ効果を得る
ことができる。
１０の交換能力を低下させることによシ同じ効果を得る
ことができる。
なお上記ヒータ１３の取付位置は放電空間４の上流側通
路の内側でも外側でもよい、また空間４で放電は交流放
電でもよい。
路の内側でも外側でもよい、また空間４で放電は交流放
電でもよい。
発明の効果
本発明によれば、ヒータ１３を用いることによシレーザ
出力の立ち上少時間を早めることができる。このことは
レーザ加工機として工業的意義が大きい。
出力の立ち上少時間を早めることができる。このことは
レーザ加工機として工業的意義が大きい。
第１図は本発明の実施例を示す概念図、第２図の（４）
は時間とガス温度の関係を示す線図、［Ｂｌは時間とレ
ーザ出力の関係を示す線図、第３図は従来例を示す概念
図である。 ４は放電空間％９はプロア、■２は補給ガス、１３はヒ
ータ、１５は制御装置。
は時間とガス温度の関係を示す線図、［Ｂｌは時間とレ
ーザ出力の関係を示す線図、第３図は従来例を示す概念
図である。 ４は放電空間％９はプロア、■２は補給ガス、１３はヒ
ータ、１５は制御装置。
Claims (1)
- レーザガスを強制対流させ、放電励起によつて発振せし
めるガスレーザ装置において、上記レーザガスの温度調
整手段を有することを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14960286A JPS636888A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14960286A JPS636888A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636888A true JPS636888A (ja) | 1988-01-12 |
Family
ID=15478791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14960286A Pending JPS636888A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636888A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990010519A1 (en) * | 1989-03-09 | 1990-09-20 | Fanuc Ltd | Laser output control system |
| JP2010212564A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | ガスレーザ発振装置とガスレーザ加工機 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP14960286A patent/JPS636888A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990010519A1 (en) * | 1989-03-09 | 1990-09-20 | Fanuc Ltd | Laser output control system |
| JP2010212564A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | ガスレーザ発振装置とガスレーザ加工機 |
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