JP2010212564A - ガスレーザ発振装置とガスレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部でレーザガス4を放電する放電管5と、放電管5へレーザガス4を送風する送風手段となる送風機1と、レーザガス4を冷却するための熱交換器2a,2bと、放電管5と送風手段となる送風機1と熱交換器2a,2bを接続する配管3を備え、熱交換器2a,2bを迂回するバイパス15a,15bを設けたものである。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1について、図1を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態2について、図2を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態3について、図3を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態4について、図5を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態5について、図6を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態6について、図7を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態7について、図8を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態8について、図9を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態9について説明する。
以下、本発明の実施の形態10について、図11を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態11について説明する。
以下、本発明の実施の形態12について、図12を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態13について、図13を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態14について、図14を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態15について説明する。
以下、本発明の実施の形態16について、図15を用いて説明する。
2 熱交換器
3 配管
4 レーザガス
5 放電管
6 電極
7 電源
8 部分透過鏡
9 全反射鏡
10 供給器
11 調整装置
12 排出装置
13 圧力検出装置
14 制御部
15 バイパス
16 流量調整手段
17 温度検出装置
18 流量調整手段
19 不純物除去装置
20 ポケット型トラップ
21 流量調整信号線
22 放電電流検出装置
23 ガスレーザ発振装置
24 全反射鏡
25 集光手段
26 被加工物
27 放電制御部
28 レーザ光
Claims (15)
- 内部でレーザガスを放電する放電管と、前記放電管へ前記レーザガスを送風する送風手段と、前記レーザガスを冷却するための熱交換器と、前記放電管と前記送風手段と前記熱交換器を接続する配管を備え、前記熱交換器を迂回するバイパスを設け、前記バイパスに流量調整手段を設けた請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記配管内部を通過するレーザガスの温度を検出する温度検出装置を設け、前記温度検出装置の信号によりバイパスを通過するレーザガスの流量を前記流量調整手段で制御する請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記放電管から前記配管へのレーザガスの流出部分に前記温度検出装置を設けた請求項2記載のガスレーザ発振装置。
- 前記流量調整手段を前記バイパスおよび前記熱交換器と接続した配管の部分の双方に配置した請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記バイパスに、前記レーザガスに含まれている不純物の除去装置を設けた請求項4記載のガスレーザ発振装置。
- 前記不純物の除去装置として、メッシュ状のフィルタを用いた請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 前記メッシュ状のフィルタの開口径を150ミクロン以下とした請求項6記載のガスレーザ発振装置。
- 前記メッシュ状のフィルタの材質をステンレスとした請求項6または7記載のガスレーザ発振装置。
- 前記不純物の除去装置として、小部屋と前記小部屋に接続した管路からなるトラップ構造を用いた請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 通常運転時以外の場合は、前記熱交換器と接続した配管の部分に配置した流量調整手段を全閉とし、前記レーザガスの全流量が前記不純物の除去装置を通過する請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 前記放電管に設けた電極に接続した電源と、前記電源を制御する放電制御部を設け、前記放電制御部が前記電源に放電を開始するレーザ出力指令信号により、前記バイパスを通過する前記レーザガスの流量調整を前記流量調整手段で行う請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記放電管の内部で発生する放電の電流信号により、前記バイパスを通過する前記レーザガスの流量調整を前記流量調整手段で行う請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記熱交換器として、前記送風機の入口側と前記放電管との間に配置した熱交換器と、前記送風機の出口側と前記放電管との間に配置した熱交換器を備え、前記送風機の出口側と前記放電管との間に配置した熱交換器にのみに前記バイパスを配置した請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記熱交換器として、前記送風機と前記放電管の間に複数設け、前記送風機の出口側かつ前記放電管の最も近くに設けられている熱交換器のみに前記バイパスを配置した請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 請求項1から14のいずれかに記載のレーザ発振装置と、前記レーザ発振装置からのレーザ光を被加工物へ集光する集光手段とを有するガスレーザ加工機。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61231781A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
JPS636888A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
JPH0391274A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Fanuc Ltd | ガスレーザ発振器 |
JPH0846270A (ja) * | 1994-05-19 | 1996-02-16 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | ガスレーザ |
JPH10209125A (ja) * | 1997-01-21 | 1998-08-07 | Komatsu Ltd | 流体温度の制御装置及びその方法 |
JP2001057451A (ja) * | 1999-08-17 | 2001-02-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 炭酸ガスレーザ発振装置 |
JP2003110173A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振装置 |
JP2006261497A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | デバイス製造装置 |
JP2009117700A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Fanuc Ltd | ガス流路に流量調整弁を備えたガスレーザ装置 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61231781A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
JPS636888A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
JPH0391274A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Fanuc Ltd | ガスレーザ発振器 |
JPH0846270A (ja) * | 1994-05-19 | 1996-02-16 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | ガスレーザ |
JPH10209125A (ja) * | 1997-01-21 | 1998-08-07 | Komatsu Ltd | 流体温度の制御装置及びその方法 |
JP2001057451A (ja) * | 1999-08-17 | 2001-02-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 炭酸ガスレーザ発振装置 |
JP2003110173A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振装置 |
JP2006261497A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Canon Inc | デバイス製造装置 |
JP2009117700A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Fanuc Ltd | ガス流路に流量調整弁を備えたガスレーザ装置 |
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