JPS6368825A - 光変調素子アレイ - Google Patents
光変調素子アレイInfo
- Publication number
- JPS6368825A JPS6368825A JP61211563A JP21156386A JPS6368825A JP S6368825 A JPS6368825 A JP S6368825A JP 61211563 A JP61211563 A JP 61211563A JP 21156386 A JP21156386 A JP 21156386A JP S6368825 A JPS6368825 A JP S6368825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- optical
- optical modulation
- adjacent
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 53
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 7
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は導波路光変調素子に係り、特にレーザプリンタ
に好適な光変調素子アレイに関する。
に好適な光変調素子アレイに関する。
従来の素子は「集積光学（発行元オーム社）」に記載の
ように単一の光変調部からなっている。
ように単一の光変調部からなっている。
すなわち、Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏａ結晶上に第２図中１，
２゜３．４で示すような、Ｔｉ拡散した先導波路を設け
、レーザ光９をレンズ８により光導波路に導く。
２゜３．４で示すような、Ｔｉ拡散した先導波路を設け
、レーザ光９をレンズ８により光導波路に導く。
光導波路１に導かれた単波光は２分岐光導波路２゜３に
分岐され、合流し先導波路４から出射する。
分岐され、合流し先導波路４から出射する。
光が分岐し、合流するまでの光導波路長が等しく設定さ
れていると、分岐したレーザ光の位相は合流点では等し
くなり、強い光強度のレーザ光が結晶から出射する。分
岐導波路部上には電極５，６が配置してあり、電極に電
圧を印加すると導波路部では図中Ｚ方向の電場が印加さ
れることになり、かつその方向はそれぞれの分岐した導
波路部では逆方向である。Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏａ結晶を
Ｚカット板とすると大きな電気光学定数ｒ３ｇを利用で
き、比較的低い電圧で分岐した導波光の合流点での光の
位相差はπに設定できる。
れていると、分岐したレーザ光の位相は合流点では等し
くなり、強い光強度のレーザ光が結晶から出射する。分
岐導波路部上には電極５，６が配置してあり、電極に電
圧を印加すると導波路部では図中Ｚ方向の電場が印加さ
れることになり、かつその方向はそれぞれの分岐した導
波路部では逆方向である。Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏａ結晶を
Ｚカット板とすると大きな電気光学定数ｒ３ｇを利用で
き、比較的低い電圧で分岐した導波光の合流点での光の
位相差はπに設定できる。
以上のように設定すると、分岐した導波光は合流すると
干渉し光強度が弱められる。以−１−が第２図に示した
素子の変調原理であり、マツハツエーンダー型導波路光
変調素子とも称せられる。
干渉し光強度が弱められる。以−１−が第２図に示した
素子の変調原理であり、マツハツエーンダー型導波路光
変調素子とも称せられる。
ところで、この技術は単一の光変調素子であり、複数個
アレイ化する時には多くの問題点が生じる。
アレイ化する時には多くの問題点が生じる。
すなわち、複数の光変調部へのレーザ光の導き方および
電圧が印加され、駆動された光変調部の隣りの光変調部
への電界のもれ等による誤動作の問題を解決しなければ
ならない。
電圧が印加され、駆動された光変調部の隣りの光変調部
への電界のもれ等による誤動作の問題を解決しなければ
ならない。
本発明の目的はこれら課題を解決し、良好に動作する光
変調素子アレイを実現することにある。
変調素子アレイを実現することにある。
」−記目的は、単一の光源からのレーザ光を複数個の光
変調部に導く光入力結合用導波層部とテーパーアレイ導
波路部を設けかつ、隣り合う光変調部の隣り合う分岐導
波路上に配置した電極を同電位とし駆動するあるいは、
隣り合う光変調部間に配置した電極をすべて同電位とす
ることにより達成される。、 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
変調部に導く光入力結合用導波層部とテーパーアレイ導
波路部を設けかつ、隣り合う光変調部の隣り合う分岐導
波路上に配置した電極を同電位とし駆動するあるいは、
隣り合う光変調部間に配置した電極をすべて同電位とす
ることにより達成される。、 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ＺカットＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏｓ結晶７ 、Ｊ：、 ニＴ
ｉ拡散した光導波路が設けられている。光入力結合用
導波層部１０にはグレーティング１１が設けられ、グレ
ーティング１１に一様に拡げられたレーザ光９が照射さ
れている。
ｉ拡散した光導波路が設けられている。光入力結合用
導波層部１０にはグレーティング１１が設けられ、グレ
ーティング１１に一様に拡げられたレーザ光９が照射さ
れている。
グレーティング１１を照射したレーザ光９は導波層部に
導波される。光入力結合用導波層部１０を導波した光は
テーパーアレイ導波路部１２で分割され、入力光導波路
部１を通って複数の光変調部に導かれる。
導波される。光入力結合用導波層部１０を導波した光は
テーパーアレイ導波路部１２で分割され、入力光導波路
部１を通って複数の光変調部に導かれる。
テーパーアレイ導波路部１２の動作を第３図で説明する
。
。
図（ｂ）は（ａ）に示した切断面に沿った屈折率分布を
示す。
示す。
′Ｊ゛〕拡散した領域は高い屈折率をもち、非拡散領域
は低い屈折率をもつ。また拡散領域と非拡散領域との境
界は滑らかな屈折率分布をもっている。
は低い屈折率をもつ。また拡散領域と非拡散領域との境
界は滑らかな屈折率分布をもっている。
このため図（ａ）に示すようにテーパー領域に入射して
くる光線１５は上記した境界で滑らかにテーパ部内に閉
じこめられ、テーパー外部にもれることなく高効率に入
力光導波路部１に導かれる。
くる光線１５は上記した境界で滑らかにテーパ部内に閉
じこめられ、テーパー外部にもれることなく高効率に入
力光導波路部１に導かれる。
第１図において複数の光変調部の入力光導波路部１に導
かれた光は分岐光導波路部２，３に導かれ、合流し、出
力光導波路部４に達する。分岐光導波路部２，３には電
極５，６が配置され、ワイヤボンディング用電極パッド
１３から電圧が印加される。出力光導波路部４の結晶端
面付近ではテーパ状光導波路で拡い導波路１４になって
いる。
かれた光は分岐光導波路部２，３に導かれ、合流し、出
力光導波路部４に達する。分岐光導波路部２，３には電
極５，６が配置され、ワイヤボンディング用電極パッド
１３から電圧が印加される。出力光導波路部４の結晶端
面付近ではテーパ状光導波路で拡い導波路１４になって
いる。
これは結晶端面から出射する光は導波路が拡い場合、回
折で拡がる角度が狭くなり、外部光学系による光束のけ
られ等の問題が無くせるからである。
折で拡がる角度が狭くなり、外部光学系による光束のけ
られ等の問題が無くせるからである。
第１図に示す電極構造の動作原理を第４図に示す。
相隣り合う光変調部の隣り合う分岐光導波路部の上に設
けられろ電極５は電気的に短絡させた構造となっている
。このような構造をとると、相隣り合う光変調部間には
電界が発生せずある光変調部が電圧を印加され駆動され
ても、隣りの光変調部がそれに影響されないようにする
ことができる。
けられろ電極５は電気的に短絡させた構造となっている
。このような構造をとると、相隣り合う光変調部間には
電界が発生せずある光変調部が電圧を印加され駆動され
ても、隣りの光変調部がそれに影響されないようにする
ことができる。
このような電極構造を設定するために電極に印加する電
圧も差動駆動法を取る。すなわち、明点を発生させる時
隣り合う電極間の電位差を無くし、暗点を発生させる時
、隣り合う電極間に電位差を発生させる。
圧も差動駆動法を取る。すなわち、明点を発生させる時
隣り合う電極間の電位差を無くし、暗点を発生させる時
、隣り合う電極間に電位差を発生させる。
以下、駆動例を具体的に示す。
第４図に示すように出刃先導波路部４の結晶端面Ｍｌ、
Ｍ２・・・Ｍ６から出力したい光の分布を“１０１．１
０１０”とする。ただし、ここで１は光強度の明るいこ
と、０は光強度の暗いことを示す。
Ｍ２・・・Ｍ６から出力したい光の分布を“１０１．１
０１０”とする。ただし、ここで１は光強度の明るいこ
と、０は光強度の暗いことを示す。
この場合、Ｅｌ、Ｅ２・・Ｅ８に印加する電圧パターン
はｏ、ｏ、ｖ、ｖ、ｖ、ｏ、ｏ、ｖ、とする。
はｏ、ｏ、ｖ、ｖ、ｖ、ｏ、ｏ、ｖ、とする。
第４図（ｂ）は（ａ）図に示すＡ−Ａ’の結晶断面を示
す。電極５の下には分岐導波路２，３が有る。第４図（
ａ）に示したように電極５に電圧が印加されると、電圧
差のある導波路には２２で示す電気力線が主トこ生じ、
電圧差のない導波路には電気力線がほとんど生じない。
す。電極５の下には分岐導波路２，３が有る。第４図（
ａ）に示したように電極５に電圧が印加されると、電圧
差のある導波路には２２で示す電気力線が主トこ生じ、
電圧差のない導波路には電気力線がほとんど生じない。
導波路２，３に生じる電気力線の向きは主に結晶の厚み
方向であり、したがって図のように結晶の厚み方向をＺ
軸とするようなＺカットＬｉＮｂ０ａ結晶を用いると、
大きな電気光学定数ｒｇａを利用でき、小電圧で有効な
光変調が可能となる。
方向であり、したがって図のように結晶の厚み方向をＺ
軸とするようなＺカットＬｉＮｂ０ａ結晶を用いると、
大きな電気光学定数ｒｇａを利用でき、小電圧で有効な
光変調が可能となる。
第５図はＹカットＬ ｊ、Ｎｂ０Ｂ結晶を用いた本発明
の光変調素子アレイを示す。複数の光変調部はＺ方向に
配列されており、大きい電気光学係数ｒ８８を利用する
ために２方向に平行な電界を発生させる。この構造にお
いては隣り合う光変調部間に配置した電極２３をすべて
コモン電位たとえば０ボルトとし、分岐導波路間に設け
た電極２４（情報構成用電極と称する）に印加する電圧
で任意の光パターンと構成させる。２３’ 、２４’は
電圧を素子に供給するためのボンディングワイヤ用パッ
ドである。この構成では相隣り合う光変調部間にコモン
電位をもつ電極を設けたので、情報構成用電極２４に任
意の電圧パターンを与えても電磁シールド効果のため光
変調部に駆動された電界が隣りの光変調部にもれ出る大
きさは小さくすることが可能である。図中２５は結晶端
面から出射する変調された光を示す。
の光変調素子アレイを示す。複数の光変調部はＺ方向に
配列されており、大きい電気光学係数ｒ８８を利用する
ために２方向に平行な電界を発生させる。この構造にお
いては隣り合う光変調部間に配置した電極２３をすべて
コモン電位たとえば０ボルトとし、分岐導波路間に設け
た電極２４（情報構成用電極と称する）に印加する電圧
で任意の光パターンと構成させる。２３’ 、２４’は
電圧を素子に供給するためのボンディングワイヤ用パッ
ドである。この構成では相隣り合う光変調部間にコモン
電位をもつ電極を設けたので、情報構成用電極２４に任
意の電圧パターンを与えても電磁シールド効果のため光
変調部に駆動された電界が隣りの光変調部にもれ出る大
きさは小さくすることが可能である。図中２５は結晶端
面から出射する変調された光を示す。
第６図は第５図に示した光変調素子アレイにおいて電極
に印加される電圧と得られる光パターンとの関係を説明
するための図である。情報構成用電極２４にたとえば“
ｏｖｏｏｖｏｖ”を印加した例を示している。第６図（
ｂ）は第６図（ａ）におけるＢ−Ｂ′の断面図を示して
いる。電気力線２６は電圧■の印加された部分に発生し
、その電界は主に２方向に平行である。この場合、Ｅｔ
。
に印加される電圧と得られる光パターンとの関係を説明
するための図である。情報構成用電極２４にたとえば“
ｏｖｏｏｖｏｖ”を印加した例を示している。第６図（
ｂ）は第６図（ａ）におけるＢ−Ｂ′の断面図を示して
いる。電気力線２６は電圧■の印加された部分に発生し
、その電界は主に２方向に平行である。この場合、Ｅｔ
。
Ｅ２・・・Ｅ８に印加する電圧パターンはｏｏｖｖｖ。
Ｏｖｖとする。
第７図は第１図に示した素子を用いた光情報構成装置を
示す。半導体レーザ１８からの光をレンズ８でコリメー
トし、本発明の変調素子アレイに入射させる。素子アレ
イを出射する光は導波層の厚み方向に大きな角度でもっ
て出射するので、円筒レンズ１９で平行光とし、レンズ
２０で素子アレイが構成した光情報を所望の倍率で投影
する。
示す。半導体レーザ１８からの光をレンズ８でコリメー
トし、本発明の変調素子アレイに入射させる。素子アレ
イを出射する光は導波層の厚み方向に大きな角度でもっ
て出射するので、円筒レンズ１９で平行光とし、レンズ
２０で素子アレイが構成した光情報を所望の倍率で投影
する。
第５図の素子においては分岐導波路２，３が分岐してか
ら合流するまでの距離が等しい場合について説明した。
ら合流するまでの距離が等しい場合について説明した。
この場合は情報構成用電極２４がコモン電極２３と同電
位の時、明るい光強度が出力されるが、一方、電極２３
と２４が同電位のとき暗い光強度が出力される場合が便
利な時がある。
位の時、明るい光強度が出力されるが、一方、電極２３
と２４が同電位のとき暗い光強度が出力される場合が便
利な時がある。
この時には分岐導波路２，３が分岐してから合流するま
での距離の差をλ／２に設定すると良い。
での距離の差をλ／２に設定すると良い。
ただしここでλは導波光の実効的な光波長である。
本発明によれば小さな素子で大容量の光情報を構成でき
ることが可能となる。
ることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は従来の単
一の光変調素子を示す図、第３図はテーバアレイ主導波
路の動作を説明する図、第４図は第１図に示した電極構
造の動作を説明する図、第５図は第１図と異なる本発明
の光変調素子アレイを示す図、第６図は第５図に示した
電極構造の動作を説明する図、第７図は本発明の光変調
素子を用いた光情報構成装置の一実施例を示す図である
。 ■６図 ■Ｚ
一の光変調素子を示す図、第３図はテーバアレイ主導波
路の動作を説明する図、第４図は第１図に示した電極構
造の動作を説明する図、第５図は第１図と異なる本発明
の光変調素子アレイを示す図、第６図は第５図に示した
電極構造の動作を説明する図、第７図は本発明の光変調
素子を用いた光情報構成装置の一実施例を示す図である
。 ■６図 ■Ｚ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、２分岐光導波路と電極部からなるマツハツエーンダ
型波路光変調部を複数個並べ、単一の光源からのレーザ
光を該複数個の該光変調部に導く光入力結合用導波層部
と、テーパーアレイ導波路部とを設けたことを特徴とす
る光変調素子アレイ。 ２、特許請求の範囲第１項において、隣り合う光変調部
の隣り合う導波路上に配置した電極を同電位として駆動
することを特徴とする光変調素子アレイ。 ３、特許請求の範囲第１項において、隣り合う光変調素
子間に配置した電極をすべて同電位とすることを特徴と
する光変調素子アレイ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61211563A JPS6368825A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 光変調素子アレイ |
| US07/095,616 US4840447A (en) | 1986-09-10 | 1987-09-10 | Light modulating device array |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61211563A JPS6368825A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 光変調素子アレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6368825A true JPS6368825A (ja) | 1988-03-28 |
Family
ID=16607862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61211563A Pending JPS6368825A (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 | 光変調素子アレイ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4840447A (ja) |
| JP (1) | JPS6368825A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4979789A (en) * | 1989-06-02 | 1990-12-25 | Aura Systems, Inc. | Continuous source scene projector |
| US5428698A (en) * | 1990-12-20 | 1995-06-27 | The Secretary Of State For Defense In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Signal routing device |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0361152A3 (de) * | 1988-09-30 | 1991-01-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Erzeugung orthogonal zueinander polarisierter optischer Wellen aus einer zugeführten optischen Welle |
| US4934775A (en) * | 1989-01-18 | 1990-06-19 | Gte Laboratories Incorporated | Optical space switches using cascaded coupled-waveguide optical gate arrays |
| US5018813A (en) * | 1990-05-01 | 1991-05-28 | Eastman Kodak Company | Multichannel integrated optic modulator for laser printer |
| US5064264A (en) * | 1990-10-26 | 1991-11-12 | International Business Machines Corporation | Photorefractive materials |
| US5625284A (en) * | 1993-07-07 | 1997-04-29 | Tokin Corporation | Electric field sensor having sensor head with unbalanced electric field shield to shield branched optical waveguides against an applied electric field |
| US5835212A (en) * | 1996-10-18 | 1998-11-10 | Uniphase Telecommunications Products, Inc. | Variable chirp optical modulator using single modulation source |
| IL121138A (en) | 1997-06-23 | 2001-11-25 | Chiaro Networks Ltd | An integrated device for optical components for beam deflection |
| US6370284B1 (en) | 1999-12-22 | 2002-04-09 | Chiaro Networks Ltd. | Integrated optics beam deflectors and systems |
| EP1176439A1 (en) | 2000-07-11 | 2002-01-30 | Corning Incorporated | Tapped delay line based gain flattening filter |
| US6574380B2 (en) | 2000-07-11 | 2003-06-03 | Corning Incorporated | Tapped delay line-based configurable spectral filter with in-situ monitoring |
| US6760493B2 (en) * | 2001-06-28 | 2004-07-06 | Avanex Corporation | Coplanar integrated optical waveguide electro-optical modulator |
| US20030231843A1 (en) * | 2002-06-13 | 2003-12-18 | Colombo Joseph G. | Fiber optic light compressor for a curing instrument |
| US8406580B2 (en) | 2010-07-28 | 2013-03-26 | Aidi Corporation | Planar lightwave fourier-transform spectrometer measurement including phase shifting for error correction |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US353A (en) * | 1837-08-15 | Daniel fitzgerald | ||
| US4364633A (en) * | 1980-03-14 | 1982-12-21 | Battelle Memorial Institute | Pairwise comparison device |
| JPS57168234A (en) * | 1981-04-09 | 1982-10-16 | Nec Corp | Optical analog-to-digital converter |
| JPS59226310A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-19 | Nec Corp | 光結合方式 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP61211563A patent/JPS6368825A/ja active Pending
-
1987
- 1987-09-10 US US07/095,616 patent/US4840447A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4979789A (en) * | 1989-06-02 | 1990-12-25 | Aura Systems, Inc. | Continuous source scene projector |
| US5428698A (en) * | 1990-12-20 | 1995-06-27 | The Secretary Of State For Defense In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Signal routing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4840447A (en) | 1989-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4340272A (en) | Light intensity modulator in an integrated optical circuit with feedback means | |
| JPS6368825A (ja) | 光変調素子アレイ | |
| JP3742477B2 (ja) | 光変調器 | |
| JPS6232425A (ja) | 光偏向器 | |
| US12025833B2 (en) | Optical waveguide element | |
| JPH10260328A (ja) | 光変調素子 | |
| EP0491038B1 (en) | Multichannel integrated optics modulator for laser printer | |
| JPH03150509A (ja) | 導波路基板と光ファイバの接続方法及び該方法の実施に使用する紫外光遮断機能付き反射防止膜 | |
| JPH0281005A (ja) | 導波路型光デバイス | |
| JP2016057526A (ja) | 光入出力装置およびその制御方法 | |
| JP2001350046A (ja) | 集積型光導波路素子 | |
| US20050068645A1 (en) | Reflective adjustable optical deflector and optical device employing the same | |
| JPS585718A (ja) | 集積光導波路による情報記録装置 | |
| JPH0434505A (ja) | 光導波路型デバイスとその製造方法 | |
| JPH05249419A (ja) | 光導波路型光デバイス | |
| JPS59131909A (ja) | 光記録ヘツド | |
| US4750815A (en) | Method and apparatus for generating optical information | |
| JPH1144867A (ja) | 光変調器モジュール | |
| JPH02136822A (ja) | 光変調器 | |
| JPH06250131A (ja) | 光制御素子 | |
| JPH04225332A (ja) | 波長変換変調器 | |
| JPH04242728A (ja) | 光偏向素子の動作方法 | |
| JPH0381740A (ja) | 光制御回路 | |
| GB1592050A (en) | Thin film electro-optic waveguide device | |
| JPS60177318A (ja) | 変調光源 |