JPS6368291A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS6368291A JPS6368291A JP61211024A JP21102486A JPS6368291A JP S6368291 A JPS6368291 A JP S6368291A JP 61211024 A JP61211024 A JP 61211024A JP 21102486 A JP21102486 A JP 21102486A JP S6368291 A JPS6368291 A JP S6368291A
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- Japan
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- vibration
- laser
- laser beam
- mirror
- reflecting mirror
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- Pending
Links
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- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract 2
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ加工装置に関し、特に外部振動による
レーザ光路系の撮動を防振する機構に関するものである
。
レーザ光路系の撮動を防振する機構に関するものである
。
第２図はレーザ加工装置の全体構成図である。
図におりて、（１）はレーザ発振器であり、光振器、見
損制御装置、レーザガスを供給するプロア等を内蔵して
いる。（１ａ）はレーザ発振器（１）より射出され念レ
ーザ光を加工機側へ反射する反射ミラーを設置した第１
反射ミラー機構、（２）は光路ダクト、（８）はレーザ
加工機であり、光路ダクト（２）を通じて伝送されたレ
ーザ光を反射するミラー（３ａ）と、ミラー（３ａ）に
よって反射されたレーザ光を図示しない集光レンズ側に
反射する反射ミラーを設置し几第２反射ミラー機＃（３
１））等を具備している。（４）は加工機（８）のＮＯ
制御、並びレーザ発振器（１）を制御する制御盤である
。
損制御装置、レーザガスを供給するプロア等を内蔵して
いる。（１ａ）はレーザ発振器（１）より射出され念レ
ーザ光を加工機側へ反射する反射ミラーを設置した第１
反射ミラー機構、（２）は光路ダクト、（８）はレーザ
加工機であり、光路ダクト（２）を通じて伝送されたレ
ーザ光を反射するミラー（３ａ）と、ミラー（３ａ）に
よって反射されたレーザ光を図示しない集光レンズ側に
反射する反射ミラーを設置し几第２反射ミラー機＃（３
１））等を具備している。（４）は加工機（８）のＮＯ
制御、並びレーザ発振器（１）を制御する制御盤である
。
従来、上記の工うなレーザ加工装置において、光路系を
形成する第１．２反射ミラー機構（１ａ）。
形成する第１．２反射ミラー機構（１ａ）。
（３ｂ）、光路ダクト（２）、及びミラー（３ａ）を設
置する部位は、その質量を軽減させると共に、工作性に
優れているアルミニウム合金（ＪｒｓコードＡＣ−４Ｃ
−Ｔ６）を使用してい友。
置する部位は、その質量を軽減させると共に、工作性に
優れているアルミニウム合金（ＪｒｓコードＡＣ−４Ｃ
−Ｔ６）を使用してい友。
以上のように従来のレーザ加工装置における光路系部品
には吸振性を持たないアルミニウム合金を使用してい友
為、各反射ミラー機構内の反射ミラー、あるいはレーザ
加工機中の反射ミラーへはレーザ発振器中のブロアー駆
動用モータ、又は加工機駆動用モータの振動等が伝わっ
て振動を起こし、その為光軸が変位するなどして最終的
にワーク上へ正確なビーム照射をし得す、レーザ加工精
度に支障を来たす問題点があった。
には吸振性を持たないアルミニウム合金を使用してい友
為、各反射ミラー機構内の反射ミラー、あるいはレーザ
加工機中の反射ミラーへはレーザ発振器中のブロアー駆
動用モータ、又は加工機駆動用モータの振動等が伝わっ
て振動を起こし、その為光軸が変位するなどして最終的
にワーク上へ正確なビーム照射をし得す、レーザ加工精
度に支障を来たす問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためなされた
もので、光路系を外部振動から保護し得るレーザ加工装
置を提供することを目的とする。
もので、光路系を外部振動から保護し得るレーザ加工装
置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るレーザ加工装置は、レーザ光路系を構成
する各部品の一部を防振合金を使用して作成し几ことを
特徴とする。
する各部品の一部を防振合金を使用して作成し几ことを
特徴とする。
この発明によるレーザ加工装置に工れげ、光路系部品に
吸振性に優れた防振合金材を使用している為、各光路系
部品を取り付けた機材を介して、伝わって来る外部振動
を防振合金材で吸振することにより、反射ミラーへの振
動は阻止される。
吸振性に優れた防振合金材を使用している為、各光路系
部品を取り付けた機材を介して、伝わって来る外部振動
を防振合金材で吸振することにより、反射ミラーへの振
動は阻止される。
第１図（、）は第２図に図示された第１反射ミラー機構
（１＆）の拡大詳細図、第１図（ｂ）は（、）図の入方
向正面図である。ｗｃ１図（、）に示す如＜、Ｃ１１）
はミラーホルダーであり反射ミラー（２）を支持してい
る。又、α四も同様にミラーホルダーであり反射ミラー
α萄を支持している。邸）は発振器側よりのレーザ光を
反射ミラーα４へ導く光路ダクトをミラーホルダーへ接
続するペンドブロックであり防振合金材（例えば商品名
ジエンタロイ）で構成されている。αＧ）ハ反射ミラー
（功により反射されたレーザ光を加工機側へ導出する為
の光路ダクト（２）をミラーホルダー（２）へ接続する
ペンドブロックであり、同様防振合金材（例えば商品名
ジエンタロイ）で構成さｈている。負ηは各ペンドブロ
ック聾）、α６）を継ぐフランジ、Ｑ８：は各反射ミラ
ー（２）、０８）の間隔を調節するスペーサである。
（１＆）の拡大詳細図、第１図（ｂ）は（、）図の入方
向正面図である。ｗｃ１図（、）に示す如＜、Ｃ１１）
はミラーホルダーであり反射ミラー（２）を支持してい
る。又、α四も同様にミラーホルダーであり反射ミラー
α萄を支持している。邸）は発振器側よりのレーザ光を
反射ミラーα４へ導く光路ダクトをミラーホルダーへ接
続するペンドブロックであり防振合金材（例えば商品名
ジエンタロイ）で構成されている。αＧ）ハ反射ミラー
（功により反射されたレーザ光を加工機側へ導出する為
の光路ダクト（２）をミラーホルダー（２）へ接続する
ペンドブロックであり、同様防振合金材（例えば商品名
ジエンタロイ）で構成さｈている。負ηは各ペンドブロ
ック聾）、α６）を継ぐフランジ、Ｑ８：は各反射ミラ
ー（２）、０８）の間隔を調節するスペーサである。
以上のようＶＣ構成され九本発明のレーザ加工装置の反
射ミラー機構によれば、レーザ発振器（１）より射出さ
れたレーザ光を、反射ミラー０→に導く為の光路ダクト
ハ、防振合金材のペンドブロック（５）を介してミラー
ホルダー０８）と接続している。
射ミラー機構によれば、レーザ発振器（１）より射出さ
れたレーザ光を、反射ミラー０→に導く為の光路ダクト
ハ、防振合金材のペンドブロック（５）を介してミラー
ホルダー０８）と接続している。
又は上記反射ミラー０４により反射されたレーザ光は、
上側の反射ミラー（１２）によりレーザ加工機（８）側
へ偏向されるようになる。この偏向されたレーザ光をレ
ーザ加工機へ導出する光路ダクト（２）は、やニリ、防
振合金製のペンドブロックα６）を介してミラーホルダ
ー（１１）と接続されている。
上側の反射ミラー（１２）によりレーザ加工機（８）側
へ偏向されるようになる。この偏向されたレーザ光をレ
ーザ加工機へ導出する光路ダクト（２）は、やニリ、防
振合金製のペンドブロックα６）を介してミラーホルダ
ー（１１）と接続されている。
このように、反射ミラー（ロ）を支持しているミラーホ
ルダーｏ３）ｄ、防振合金材のペンドブロック邸）を介
してレーザ発振器（１）側より導びかれている光路ダク
トを引込んでいる。その為、次とえ光路ダクトが、レー
ザ発振器（１）内蔵のレーザガス供給用プロアの振動を
反射ミラー機構へ伝え友としても防振合金材のペンドブ
ロックにより振動は吸振されてミラーホルダー０（支）
に振動を云えることがない。
ルダーｏ３）ｄ、防振合金材のペンドブロック邸）を介
してレーザ発振器（１）側より導びかれている光路ダク
トを引込んでいる。その為、次とえ光路ダクトが、レー
ザ発振器（１）内蔵のレーザガス供給用プロアの振動を
反射ミラー機構へ伝え友としても防振合金材のペンドブ
ロックにより振動は吸振されてミラーホルダー０（支）
に振動を云えることがない。
あるいは、レーザ光をレーザ加工機（８）側へ偏向する
反射ミラー（２）を支持しているミラーホルダー（ロ）
の場合であっても、レーザ加工機（８）側の電動機撮動
を伝え得る光路ダクト（２）は防振合金材のペンドブロ
ックα６）を介してミラーホルダー（９）に接続されて
いる為、振動はミラーホルダー〇（１）へは伝わり得な
い。
反射ミラー（２）を支持しているミラーホルダー（ロ）
の場合であっても、レーザ加工機（８）側の電動機撮動
を伝え得る光路ダクト（２）は防振合金材のペンドブロ
ックα６）を介してミラーホルダー（９）に接続されて
いる為、振動はミラーホルダー〇（１）へは伝わり得な
い。
尚、上記実施例では各ペンドブロック邸）、α６）のみ
に防振合金を適用したが、反射ミラー機構の他の部分に
適用しても同様な効果が期待できる。
に防振合金を適用したが、反射ミラー機構の他の部分に
適用しても同様な効果が期待できる。
以上のようにこの発明によれば、レーザ発振器よりレー
ザ加工機側に結ばれるレーザ光光軸を形成するレーザ光
路系部品に防振合金を使用し几ことで、外部からの振′
＃ｔＪＪは防振合金により吸振され光軸を正確に結ぶ為
の反射ミラーには外部振動は伝わらず、その結果、常に
レーザ光の伝送精度を保持し得ると共に、被加工物上に
照射されるレーザ光の照点精度は保たれレーザ加工精度
を保持し７得る効果がある。
ザ加工機側に結ばれるレーザ光光軸を形成するレーザ光
路系部品に防振合金を使用し几ことで、外部からの振′
＃ｔＪＪは防振合金により吸振され光軸を正確に結ぶ為
の反射ミラーには外部振動は伝わらず、その結果、常に
レーザ光の伝送精度を保持し得ると共に、被加工物上に
照射されるレーザ光の照点精度は保たれレーザ加工精度
を保持し７得る効果がある。
第１図（、） 、 （１））はペンドブロック（ロ）、
α６）に防振合金を使用した反射ミラー機構の側面図、
及びＡ方向より見比正面図、第２図はレーザ加工装置の
全体構成図である。
α６）に防振合金を使用した反射ミラー機構の側面図、
及びＡ方向より見比正面図、第２図はレーザ加工装置の
全体構成図である。
Claims (1)
- レーザ発振器のレーザ光射出点よりレーザ加工機の加工
ヘッド先端のレーザ光集光レンズに光軸を結ぶように光
路系を、レーザ発振器より射出されたレーザ光を入射し
、レーザ加工機側へ反射する第１反射ミラー機構と、該
反射ミラー機構より光路ダクトを通じてレーザ加工機側
へ反射されたレーザ光を加工ヘッド側へ屈折する反射ミ
ラーと、屈折されたレーザ光をレーザ光集光レンズへ反
射する第２反射ミラー機構とから形成したレーザ加工装
置において、上記光路系の少なくとも第１及び第２反射
ミラー機構及び反射ミラーの設置部を防振合金で形成し
たことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61211024A JPS6368291A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61211024A JPS6368291A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6368291A true JPS6368291A (ja) | 1988-03-28 |
Family
ID=16599091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61211024A Pending JPS6368291A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6368291A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004074251A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
| JP2008178902A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置 |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP61211024A patent/JPS6368291A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004074251A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
| JP2008178902A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置 |
| JP4687657B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2011-05-25 | パナソニック株式会社 | レーザ加工装置 |
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