JPH02148782A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH02148782A JPH02148782A JP63301831A JP30183188A JPH02148782A JP H02148782 A JPH02148782 A JP H02148782A JP 63301831 A JP63301831 A JP 63301831A JP 30183188 A JP30183188 A JP 30183188A JP H02148782 A JPH02148782 A JP H02148782A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- laser
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- regulators
- perpendicularly
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/035—Aligning the laser beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関し、特にレーザビームの出射方
向の調整機構を内蔵したレーザ装置に関する。
向の調整機構を内蔵したレーザ装置に関する。
一般に、レーザ装置から出射されたレーザビームは外部
に接続されたビームベンダ等の光学系を介して所定箇所
に誘導され、加工、その他の用途に使用される。この場
合、レーザビームの出射方向は個々のレーザ装置によっ
て必ずしも一致しないために、レーザ装置の外部に設け
られた方向調整装置によってレーザビームの方向を調整
した後、上記したビームベンダ等に適正な径路で入射さ
せている。
に接続されたビームベンダ等の光学系を介して所定箇所
に誘導され、加工、その他の用途に使用される。この場
合、レーザビームの出射方向は個々のレーザ装置によっ
て必ずしも一致しないために、レーザ装置の外部に設け
られた方向調整装置によってレーザビームの方向を調整
した後、上記したビームベンダ等に適正な径路で入射さ
せている。
第３図に従来の方向調整機構の概念図を示す。
図において、５１はレーザ装置であり、５２ａのレーザ
ビームを出射する。レーザビーム５２ａは方向調整用ミ
ラー５３ａ及び５３ｂで反射され、レーザビーム５２ｂ
となってビームベンダｌＯに入射する。ここで、方向調
整用ミラー５３ａ及び５３ｂを適当な角度に調整するこ
とによって、レーザビーム５２ｂをビームベンダ１０に
適正な径路で入射させることができる。
ビームを出射する。レーザビーム５２ａは方向調整用ミ
ラー５３ａ及び５３ｂで反射され、レーザビーム５２ｂ
となってビームベンダｌＯに入射する。ここで、方向調
整用ミラー５３ａ及び５３ｂを適当な角度に調整するこ
とによって、レーザビーム５２ｂをビームベンダ１０に
適正な径路で入射させることができる。
そして、ベンダミラー１０ａで方向を変え、集光レンズ
１１、ノズル１２を通ってテーブル１４上のワーク１３
に照射される。
１１、ノズル１２を通ってテーブル１４上のワーク１３
に照射される。
しかし、このような方向調整用ミラー５３ａ及び５３ｂ
を設けると、これらによってレーザ出力が若干量吸収さ
れ効率が低下する。また、これらが外部に露出されてい
るために外気で汚染され、たびたびメンテナンスが必要
である。
を設けると、これらによってレーザ出力が若干量吸収さ
れ効率が低下する。また、これらが外部に露出されてい
るために外気で汚染され、たびたびメンテナンスが必要
である。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、簡
素な構成の方向調整機構を装置内部に備えたレーザ装置
を提供することを目的とする。
素な構成の方向調整機構を装置内部に備えたレーザ装置
を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、出射したレーザ
ビームを外部の光学系を介して所定箇所に誘導するよう
に構成されたレーザ装置において、 レーザ共振器ユニットの据え付け位置を移動させて、前
記レーザビームの出射方向を前記光学系の適正な径路に
入射するように調整する方向調整手段を備えたことを特
徴とするレーザ装置が、提供される。
ビームを外部の光学系を介して所定箇所に誘導するよう
に構成されたレーザ装置において、 レーザ共振器ユニットの据え付け位置を移動させて、前
記レーザビームの出射方向を前記光学系の適正な径路に
入射するように調整する方向調整手段を備えたことを特
徴とするレーザ装置が、提供される。
内蔵の方向調整機構によりレーザ共振器ユニットの据え
付け位置を移動させてレーザビームの出射方向を調整す
る。
付け位置を移動させてレーザビームの出射方向を調整す
る。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）に本発明の一実施例のレーザ装置
における方向調整機構の概念図を示す。
における方向調整機構の概念図を示す。
第１図（ａ）は装置を上方向から見た図であり、１は筐
体の外郭を示す。２は放電管、３はリア鏡、４は出力鏡
であり、これらはりシネ−タブレート５ａ及び５ｂによ
って固定され、共振器台６に取り付けられ、共振器ユニ
ット７を構成している。
体の外郭を示す。２は放電管、３はリア鏡、４は出力鏡
であり、これらはりシネ−タブレート５ａ及び５ｂによ
って固定され、共振器台６に取り付けられ、共振器ユニ
ット７を構成している。
８ａ及び８ｂは筐体１のフレーム１ａに固定された方向
調整器であり、これらによって共振器ユニット７を床面
に対し水平方向に移動させることができる。例えば、方
向調整器８ａ及び８ｂを同量動かすと共振器ユニット７
が８０ａ及び８０ｂに示すように移動し、この結果、出
力鏡４より出射されるレーザビーム９は床面に対し平行
移動する。
調整器であり、これらによって共振器ユニット７を床面
に対し水平方向に移動させることができる。例えば、方
向調整器８ａ及び８ｂを同量動かすと共振器ユニット７
が８０ａ及び８０ｂに示すように移動し、この結果、出
力鏡４より出射されるレーザビーム９は床面に対し平行
移動する。
一方、これら方向調整器の片側のみを動かした場合には
、レーザビーム９の水平方向の出射角度を変えることが
できる。１０はレーザビーム９をワーク１３に誘導する
ためのベンダである。
、レーザビーム９の水平方向の出射角度を変えることが
できる。１０はレーザビーム９をワーク１３に誘導する
ためのベンダである。
第１図（ｂ）は第１図（ａ）の側面図である。
なお、本図では第１図（ａ）の方向調整器８ａ及び８ｂ
が省略されている。図において、８ｃ及び８ｄはフレー
ム１ａに固定された方向調整器であり、これらによって
共振器ユニット７を床面に対し垂直方向に移動させるこ
とができる。例えば、方向調整器８Ｃ及び８ｄを同量動
かすと共振器ユニット７が８０ｃ及び８０ｄに示すよう
に移動し、この結果、出力鏡４より出射されるレーザビ
ーム９は床面に対し垂直移動する。一方、これら方向調
整器の片側のみを動かした場合には、レーザビーム９の
垂直方向の出射角度を変えることができる。
が省略されている。図において、８ｃ及び８ｄはフレー
ム１ａに固定された方向調整器であり、これらによって
共振器ユニット７を床面に対し垂直方向に移動させるこ
とができる。例えば、方向調整器８Ｃ及び８ｄを同量動
かすと共振器ユニット７が８０ｃ及び８０ｄに示すよう
に移動し、この結果、出力鏡４より出射されるレーザビ
ーム９は床面に対し垂直移動する。一方、これら方向調
整器の片側のみを動かした場合には、レーザビーム９の
垂直方向の出射角度を変えることができる。
このように方向調整器８ａ〜８ｄを調整することによっ
て、出力鏡４より出力されたレーザビーム９はベンダ１
０に適正な径路で入射させることができる。そして、レ
ーザビーム９はペンダミラー１０ａで方向を変え、集光
レンズ１１で集光され、１２のノズルからワーク１３に
照射される。
て、出力鏡４より出力されたレーザビーム９はベンダ１
０に適正な径路で入射させることができる。そして、レ
ーザビーム９はペンダミラー１０ａで方向を変え、集光
レンズ１１で集光され、１２のノズルからワーク１３に
照射される。
１４はワーク１３を固定するテーブルである。
第２図（ａ）に方向調整器８Ｃの構造の詳細、第２図（
ｂ）にその側面図を示す。なお、その他の方向調整器８
ａ、８ｂ及び８ｄも同様の構造である。図において、方
向調整器８ｃのブロック２０はフレーム１ａに固定され
、ねじ穴２０ａと貫通穴２０ｂを有している。ねじ穴２
０ａには調整用ねじ２１がねじ込まれる。なお、調整用
ねじ２１にはマイクロメータ等が使用され、微調整が可
能である。他方、貫通穴２０ｂにはロック用ねじ２２が
挿入され、共振器台６のねじ穴６ａにねじ込まれる。す
なわち、調整用ねじ２１によって共振器台６の位置を調
整した後、ロック用ねじ２２を締めつけることによって
共振器台６がその位置で固定される。
ｂ）にその側面図を示す。なお、その他の方向調整器８
ａ、８ｂ及び８ｄも同様の構造である。図において、方
向調整器８ｃのブロック２０はフレーム１ａに固定され
、ねじ穴２０ａと貫通穴２０ｂを有している。ねじ穴２
０ａには調整用ねじ２１がねじ込まれる。なお、調整用
ねじ２１にはマイクロメータ等が使用され、微調整が可
能である。他方、貫通穴２０ｂにはロック用ねじ２２が
挿入され、共振器台６のねじ穴６ａにねじ込まれる。す
なわち、調整用ねじ２１によって共振器台６の位置を調
整した後、ロック用ねじ２２を締めつけることによって
共振器台６がその位置で固定される。
以上説明したように本発明では、レーザ共振器ユニット
の据え付け位置を移動させることによってレーザビーム
の出射方向を調整するようにしたので、外部に方向調整
用ミラーを設ける必要がない。したがって、レーザ出力
の効率が向上し、保守作業も簡略化される。
の据え付け位置を移動させることによってレーザビーム
の出射方向を調整するようにしたので、外部に方向調整
用ミラーを設ける必要がない。したがって、レーザ出力
の効率が向上し、保守作業も簡略化される。
第１図（ａ）は本発明の一実施例のレーザ装置における
方向調整機構の概念図、 第１図（ｂ）は第１図（ａ）の側面図、第２図（ａ）は
方向調整器の構造の詳細図、第２図（ｂ）は第２図（ａ
）の側面図、第３図は従来の方向調整機構の概念図であ
る。 １・−・−・−−一−−−−−・−レーザ装置の筐体１
ａ−−−−−−・−一一一−−〜・固定用フレーム６
−−−−−−−−・−・・−共振器台７−・−−−−−
−−−ｍ−・・−共振器ユニット８ａ〜８ｄ・・−−−
−−−一−−−−・一方向調整器９−・・・・・・−−
−−一一レーザビーム１０−・・−−−−−−−・・・
ビームベンダ１１−−一−・・−・−一一−−−−集光
レンズ１２・−・・−一−−−・・−ノズル １３−・−・・・・−−一−−−−ワーク２０・−・−
・−・−ブロック ２１−−−−−−−−−・−・調整用ねし２２−−−−
−−−−−−−−−−一ロツク用ねし第２図（０）
方向調整機構の概念図、 第１図（ｂ）は第１図（ａ）の側面図、第２図（ａ）は
方向調整器の構造の詳細図、第２図（ｂ）は第２図（ａ
）の側面図、第３図は従来の方向調整機構の概念図であ
る。 １・−・−・−−一−−−−−・−レーザ装置の筐体１
ａ−−−−−−・−一一一−−〜・固定用フレーム６
−−−−−−−−・−・・−共振器台７−・−−−−−
−−−ｍ−・・−共振器ユニット８ａ〜８ｄ・・−−−
−−−一−−−−・一方向調整器９−・・・・・・−−
−−一一レーザビーム１０−・・−−−−−−−・・・
ビームベンダ１１−−一−・・−・−一一−−−−集光
レンズ１２・−・・−一−−−・・−ノズル １３−・−・・・・−−一−−−−ワーク２０・−・−
・−・−ブロック ２１−−−−−−−−−・−・調整用ねし２２−−−−
−−−−−−−−−−一ロツク用ねし第２図（０）
Claims (2)
- （１） 出射したレーザビームを外部の光学系を介して
所定箇所に誘導するように構成されたレーザ装置におい
て、 レーザ共振器ユニットの据え付け位置を移動させて、前
記レーザビームの出射方向を前記光学系の適正な径路に
入射するように調整する方向調整手段を備えたことを特
徴とするレーザ装置。 - （２） 前記方向調整手段は前記レーザビームの平行移
動及び出射角度の調整を三次元的に行うことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301831A JPH02148782A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63301831A JPH02148782A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148782A true JPH02148782A (ja) | 1990-06-07 |
Family
ID=17901683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63301831A Pending JPH02148782A (ja) | 1988-11-29 | 1988-11-29 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02148782A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6486447B1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| CN112045299A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 株式会社迪思科 | 激光振荡器支承工作台及其调整方法、激光加工装置 |
-
1988
- 1988-11-29 JP JP63301831A patent/JPH02148782A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6486447B1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| WO2019102632A1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-05-31 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| JP2019096813A (ja) * | 2017-11-27 | 2019-06-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| CN112045299A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | 株式会社迪思科 | 激光振荡器支承工作台及其调整方法、激光加工装置 |
| JP2020199509A (ja) * | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 株式会社ディスコ | 発振器載置台、レーザー加工装置及び発振器載置台の調整方法 |
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