JP4687657B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
中でも、レーザ加工装置の生産性を決定付ける加工系の速度向上においては、加工ヘッド数の増加(基板1枚あたり複数の加工ヘッド、すなわち複数に分岐したレーザにより同時加工を行う)、移動テーブル(XYテーブル)の速度・応答性向上、レーザビーム走査部の速度向上がなされてきた(例えば特許文献1参照)。
ガルバノスキャナ12のスキャンエリア内の加工が終了すると、XYテーブル67が移動し、載置部65に保持された被加工物66の未加工エリアがガルバノスキャナ12の加工範囲へ入るように動作し、加工を再開する。これらの加工・移動を繰り返し、ガルバノスキャナ12の加工エリアよりも大きな被加工物66を加工する。
(実施の形態1)
次に、図1を用いて本発明の具体的な形態について説明する。
(実施の形態2)
次に図2を用いて本発明の第2の実施の形態について説明する。
(実施の形態3)
次に図3を用いて本発明の第3の実施の形態について説明する。
(実施の形態4)
次に図4を用いて本発明の第4の実施の形態について説明する。
(実施の形態5)
次に図5を用いて本発明の第5の実施の形態について説明する。
12x xガルバノモータ
12y yガルバノモータ
12a、12b ガルバノミラー
13、23、33、43、53 第1のフレーム
24、34、54 第1のスペーサ
35、55 第2のフレーム
36、56 第2のスペーサ
47x、47y、57x、57y 第3のスペーサ
Claims (5)
- レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光と被照射物の間に配置し、かつ前記レーザ光の照射位置を変更するミラーと前記ミラーを駆動するモータを有したガルバノ装置と、前記ガルバノ装置を保持する保持部と、前記保持部を取り付ける第1のフレームを備え、前記保持部を鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ材料を用いて、直交する2個のガルバノモータを搭載可能な形状とした、レーザ加工装置であって、
鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ前記材料として、鉄を主原料として2〜10重量%のアルミニウムを配合した合金を使用するレーザ加工装置。 - レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光と被照射物の間に配置し、かつ前記レーザ光の照射位置を変更するミラーと前記ミラーを駆動するモータを有したガルバノ装置と、前記ガルバノ装置を保持する保持部と、前記保持部を取り付ける第1のフレームを備え、前記保持部と第1のフレームとの間に、鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ材料にて形成され、直交する2個のガルバノモータを搭載可能な形状とした保持部とフレームの間で振動伝播を吸収する、第1のスペーサを配置したレーザ加工装置であって、
鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ前記材料として、鉄を主原料として2〜10重量%のアルミニウムを配合した合金を使用するレーザ加工装置。 - 前記保持部を第1のフレームと挟持する第2のフレームを設け、前記保持部と第2のフレームの間に、鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ材料にて形成され、直交する2個のガルバノモータを搭載可能な形状とした保持部とフレームの間で振動伝播を吸収する第2のスペーサを配置した請求項2記載のレーザ加工装置。
- 前記ガルバノモータと保持部の間に、鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ材料にて形成され、直交する2個のガルバノモータを搭載可能な形状とした保持部とフレームの間で振動伝播を吸収する、第3のスペーサを配置した請求項1から3のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 鉄鋼あるいはステンレスで形成された構造部材に比べて高い振動減衰特性をもつ材料として、鉄を主原料として2〜10重量%のアルミニウムを配合した合金を使用する請求項3または4に記載のレーザ加工装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007016024A JP4687657B2 (ja) | 2007-01-26 | 2007-01-26 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008178902A JP2008178902A (ja) | 2008-08-07 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4687657B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6368291A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH01195415A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Konica Corp | 光学ベースの取付構造 |
JPH02271136A (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビーム走査機構の支持構造 |
JPH0732183A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Co2レーザ加工装置 |
JPH09197320A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-31 | Konica Corp | レーザ露光装置 |
JPH11245068A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
-
2007
- 2007-01-26 JP JP2007016024A patent/JP4687657B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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JPS6368291A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
JPH01195415A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Konica Corp | 光学ベースの取付構造 |
JPH02271136A (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビーム走査機構の支持構造 |
JPH0732183A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Co2レーザ加工装置 |
JPH09197320A (ja) * | 1996-01-12 | 1997-07-31 | Konica Corp | レーザ露光装置 |
JPH11245068A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
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