JPS636811A - 磁石 - Google Patents

磁石

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Publication number
JPS636811A
JPS636811A JP15046886A JP15046886A JPS636811A JP S636811 A JPS636811 A JP S636811A JP 15046886 A JP15046886 A JP 15046886A JP 15046886 A JP15046886 A JP 15046886A JP S636811 A JPS636811 A JP S636811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnet
rare earth
film
plasma polymerization
earth iron
Prior art date
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Pending
Application number
JP15046886A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Ogawa
健一 小川
Teruo Suzuki
輝夫 鈴木
Kenzo Kato
健三 加藤
Hiroshige Ikeno
池野 広重
Matsuo Kishi
松雄 岸
Shohei Natori
名取 昭平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP15046886A priority Critical patent/JPS636811A/ja
Publication of JPS636811A publication Critical patent/JPS636811A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は希土類鉄系磁石の表面処理に関するものである
〔発明の概要〕
本発明はNd−Fe系磁石を始めとする希土類鉄系磁石
の安定した品質を得ることを目的として、磁石表面にプ
ラズマ重合を利用して、有機重合被膜、金属複合有機重
合被膜などの被膜を形成したもので、プラズマ重合を利
用することで、表面にち密でピンホールフリーでかつ硬
質の膜を形成し、耐食性が良好で、長期安定性にすぐれ
た磁気特性を保つことができるという利点を有する。
〔従来の技術〕
従来高エネルギー積磁石としては、5s−Co系磁石が
用いられてきたが、コスト、機械加工性、より高いエネ
ルギー積といった点で有利な希土類鉄系磁石が最近注目
され、なかでも原子百分率として8〜30%のR(但し
RはYを含む希土類元素の少なくとも一種)、2〜28
%のB、および残部Feおよび不可避不純物からなる組
成が効果的である。
ただし、希土類鉄系磁石はSm−Co系に比べ、耐食性
という面では劣り、種々の表面処理が検討されている状
況にある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
希土類鉄系磁石はSm−Co系と同じく焼結法により作
成され、また成分として鉄を含むため、耐薬品性、時に
酸、アルカリに弱く、湿式めっき等の表面処理では、酸
、アルカリ等による前処理あるいはめっき工程中に表面
が侵されたり、たとえめっきが出来ても、内部に侵入し
た薬品の影響により、内部腐食が発生したり、結晶粒間
が浸食されることで磁気特性の劣化が発生する。この磁
気特性の劣化は、時計のステップモータ用ロータ磁石を
例にとると、初期的には未処理に比べ10%程度低下し
、長期的にみるとさらに劣化が発生するという問題があ
った。また同時に機械的強度についても特性が劣化する
という問題が発生している。
本発明は、上記の欠点を除去し、耐食性、磁気安定性、
機械的強度にすぐれた希土類鉄系磁石を提供することを
目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するため、希土類鉄系磁石表面にプラ
ズマ重合により有機重合被膜、金属複合有機重合被膜な
どの被膜を形成するようにした。
〔作用〕
プラズマ重合による被膜形成では、七ツマ−が気相にお
いてポリマー生成中間体を形成し、それが基板上にデポ
ジットして基板上で重合膜を生成するプロセス、基板表
面あるいは基板表面に吸着したモノマーおよび2〜3量
体プラズマにより活性化されて重合するプロセスおよび
一度形成された重合体が再びプラズマによりエツチング
作用をうけて脱離するプロセスが複雑にからみあって、
高密度に網目構造を存する被膜が形成可能で薄い膜でも
ピンホールフリーであり、膜としても耐摩耗性、耐薬品
性にすぐれる性質がある。また気相での被膜形成のため
、微小すきまへのつきまわりにもすぐれる性質を有し、
さらにプラズマ重合時金属を蒸発させることにより金属
複合膜も可能で耐摩耗性等をさらに向上させることが出
来る。これを応用することにより、希土類鉄系磁石の耐
食性、磁気安定性、機械的強度を向上させるものである
〔実施例〕
以下実施例により本発明の詳細な説明する。
実施例−1 前記組成範囲のNd−Fe−B系の焼結磁石から作成し
た時計用ステップモータのロータを溶剤等による洗浄に
より清浄にした後、第2図に示すような内部電極型プラ
ズマ重合装置により、Arガスおよびアクリル酸メチル
モノマーを導入し、lXl0−’Torrで、13.5
6MHzの高周波電源ニテフラスマを発生させ、プラズ
マ重合を行い、ロータ上に0.5ミクロンのポリアクリ
ル酸メチル被膜を形成した。
このように形成したロータは第1図に示すように磁石の
結晶粒間の間隙も含め、均一に被膜が形成されており、
40℃、95%RHの恒温恒湿試験を100Hr行った
折、耐食性は問題なく、また磁気特性についても従来の
ような低下はみられず、長期安定性にもすぐれたもので
あった。
実施例−2 前記組成範囲のNd−Fe−B系の焼結磁石を高周波イ
オンブレーティング装置を使用して、装置内を5 xt
o−sTo r rまで排気し、アルゴンを導入してイ
オンボンバードを10分程行った後、エチレンモノマー
を導入し、抵抗加熱方式によるAIの蒸発を行いながら
、13.56MHzの高周波電力100Wを印加し、1
 xlo−”r o r rでプラズマ重合を行い、ポ
リエチレン重合膜中に細かいAIが一様に分布したAI
複合ポリエチレン重合膜を0.3ミクロン形成した。
この磁石においては、実施例−1と同様耐食性、磁気安
定性にすぐれ、かつAfを複合することで被膜強度も高
まり耐摩耗性にすぐれたものであった。
〔発明の効果〕
以上述べてきたように本発明によれば、ち密でピンホー
ルフリーの耐食性、耐摩耗性にすぐれたプラズマ重合膜
を希土類鉄性磁石表面に形成することにより、耐食性に
すぐれ、磁気特性の長期安定性が高くかつJa械的強度
にすぐれた磁石を提供することができる。
なお形成する重合膜は実施例に限らず、各種モノマー、
金属を使用出来る。特にプラズマ重合においては、あら
ゆる種類の有機化合物をモノマーとして利用できるとい
う利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による希土類鉄系磁石の部分断面図、第
2図は実施例−1で使用したプラズマ重合装置の断面図
である。 1・・・希土類鉄系磁石(ロータ) 2・・・プラズマ重合膜 3・・・真空槽     4・・・電極5・・・高周波
電源   6・・・バレル機構7・・・反応ガス導入口
 8・・・排気口以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 本発明の希土類鉄系磁石の部分断面図 第1図 m2図 区1 0発 明 者  岸     松  雄  東京都江東
区1−区1

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)希土類鉄系磁石において、その表面にプラズマ重
    合による有機重合被膜、金属複合有機重合被膜などの被
    膜を形成したことを特徴とする磁石。
  2. (2)前記希土類磁石が、原子百分率として8〜30%
    のR(但しRはYを含む希土類元素の少なくとも一種)
    、2〜28%のB、および残部Feおよび不可避不純物
    からなる特許請求の範囲第1項記載の磁石。
JP15046886A 1986-06-26 1986-06-26 磁石 Pending JPS636811A (ja)

Priority Applications (1)

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JP15046886A JPS636811A (ja) 1986-06-26 1986-06-26 磁石

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15046886A JPS636811A (ja) 1986-06-26 1986-06-26 磁石

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JPS636811A true JPS636811A (ja) 1988-01-12

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JP15046886A Pending JPS636811A (ja) 1986-06-26 1986-06-26 磁石

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02249205A (ja) * 1989-03-23 1990-10-05 Tdk Corp 高耐食性磁石
US5154978A (en) * 1989-03-22 1992-10-13 Tdk Corporation Highly corrosion-resistant rare-earth-iron magnets
CN1312361C (zh) * 2005-02-21 2007-04-25 湖北高科交通工程咨询有限公司 沥青砼钢桥面及其铺装方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5154978A (en) * 1989-03-22 1992-10-13 Tdk Corporation Highly corrosion-resistant rare-earth-iron magnets
JPH02249205A (ja) * 1989-03-23 1990-10-05 Tdk Corp 高耐食性磁石
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