JPS6367264U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6367264U JPS6367264U JP16270986U JP16270986U JPS6367264U JP S6367264 U JPS6367264 U JP S6367264U JP 16270986 U JP16270986 U JP 16270986U JP 16270986 U JP16270986 U JP 16270986U JP S6367264 U JPS6367264 U JP S6367264U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- film
- conductive
- belonging
- thin films
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の透視平面図、第２
図は別の実施例の透視平面図、第３図は第１図、
第２図に示した実施例の部分断面図である。 １１，１２：第一層目のＡｌ配線、２１，２２
：第二層目のＡｌ配線、３：シリコン基板、５：
ＣＶＤ酸化膜、７：コンタクトホール。
図は別の実施例の透視平面図、第３図は第１図、
第２図に示した実施例の部分断面図である。 １１，１２：第一層目のＡｌ配線、２１，２２
：第二層目のＡｌ配線、３：シリコン基板、５：
ＣＶＤ酸化膜、７：コンタクトホール。
Claims (1)
- 絶縁膜の両面にそれぞれ一列上に配置された複
数の平行帯状導電性薄膜の２組と、絶縁膜を貫通
する接続孔内に充填されて前記絶縁膜の一面上の
それぞれの組に属する導電性薄膜の端部および他
面上のそれぞれの組に属する導電性薄膜の端部間
を接続する導体とにより、螺旋状の２本の導電路
が形成されたことを特徴とする薄膜相互インダク
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16270986U JPS6367264U (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16270986U JPS6367264U (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367264U true JPS6367264U (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=31090232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16270986U Pending JPS6367264U (ja) | 1986-10-23 | 1986-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367264U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7167073B2 (en) | 2003-10-24 | 2007-01-23 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
-
1986
- 1986-10-23 JP JP16270986U patent/JPS6367264U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7167073B2 (en) | 2003-10-24 | 2007-01-23 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |