JPS6364726A - ラミネ−タの加圧装置 - Google Patents
ラミネ−タの加圧装置Info
- Publication number
- JPS6364726A JPS6364726A JP20998786A JP20998786A JPS6364726A JP S6364726 A JPS6364726 A JP S6364726A JP 20998786 A JP20998786 A JP 20998786A JP 20998786 A JP20998786 A JP 20998786A JP S6364726 A JPS6364726 A JP S6364726A
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- JP
- Japan
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- pressure
- pressure roller
- roller
- machine frame
- rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000006260 foam Substances 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 1
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- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/0046—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
- B32B37/0053—Constructional details of laminating machines comprising rollers; Constructional features of the rollers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は回路基板、特に集積回路用基板を製造するた
めのフィルム貼付用加圧装置に関し、より具体的には気
泡排除にすぐれた機能を有する圧着ロールとこの圧着ロ
ールを付勢する補助加圧ロールを備えたラミネータの加
圧装置に係る。
めのフィルム貼付用加圧装置に関し、より具体的には気
泡排除にすぐれた機能を有する圧着ロールとこの圧着ロ
ールを付勢する補助加圧ロールを備えたラミネータの加
圧装置に係る。
従来の加圧装置は、特開昭５２−１４８７６号、同５６
−４９５９２号あるいは実開昭５７−４２７１号公報で
開示されているように対接させた２個の圧着ロール間に
基板とこの基板に添装された感光フィルムを導入して両
者を貼り合せる構造とされていた。また第７図示のよう
に、上部圧着ロール２の位置設置は上部枠８をシリンダ
装置ｌＯを介して上、下部ロール１．２の共通軸の直上
方向への移動によって行っていた。
−４９５９２号あるいは実開昭５７−４２７１号公報で
開示されているように対接させた２個の圧着ロール間に
基板とこの基板に添装された感光フィルムを導入して両
者を貼り合せる構造とされていた。また第７図示のよう
に、上部圧着ロール２の位置設置は上部枠８をシリンダ
装置ｌＯを介して上、下部ロール１．２の共通軸の直上
方向への移動によって行っていた。
基板上のパターンの微細化にともなって、既にレジスト
されたパターンを有する基板の場合］でも、あるいは露
光前の基板のいずれの場合でも基板と感光フィルムとの
貼合せに際して両者間に気泡の存在しないことが特に強
く要求されて来ている。
されたパターンを有する基板の場合］でも、あるいは露
光前の基板のいずれの場合でも基板と感光フィルムとの
貼合せに際して両者間に気泡の存在しないことが特に強
く要求されて来ている。
この発明は前記両者の貼合せに際して気泡の存在しない
ような製品を製造するための圧着手段と圧着ローラとを
提供しようとするものである。
ような製品を製造するための圧着手段と圧着ローラとを
提供しようとするものである。
この発明の基本的圧着手段を第１図により説明すれば次
の通りである。同図において２個の圧着ローラ１，２に
は補助加圧ローラ３，４がそれぞれ設けられている。な
お５は感光フィルム、ｂは基板、７は搬送ロールをそれ
ぞれ示す。
の通りである。同図において２個の圧着ローラ１，２に
は補助加圧ローラ３，４がそれぞれ設けられている。な
お５は感光フィルム、ｂは基板、７は搬送ロールをそれ
ぞれ示す。
またこの発明の特徴が上部圧着ローラを設けた上部機枠
８の固定装置に示されている。上部気枠８は軸９を中心
としてスイング運動するように空圧装置１０によって固
定されている。
８の固定装置に示されている。上部気枠８は軸９を中心
としてスイング運動するように空圧装置１０によって固
定されている。
この発明に用いられる圧着ローラ１，２はいずれも従来
の圧着ローラに比べて数分の−の大きさのものが使用さ
れている。その理由は気泡排除のための圧着ローラは基
板表面に対して線接触を行なわせることが有効であり、
このためには圧着ローラの直径を極めて小さくすること
によってその効果が増大するからである。
の圧着ローラに比べて数分の−の大きさのものが使用さ
れている。その理由は気泡排除のための圧着ローラは基
板表面に対して線接触を行なわせることが有効であり、
このためには圧着ローラの直径を極めて小さくすること
によってその効果が増大するからである。
この出願の発明者等は前記効果に着目して種々試作した
結果この発明の圧着ローラに対してローラ径の小径にと
もなって生ずる圧着力の長手方向の不均整を補助加圧ロ
ーラを用いることによって補償するようにした圧着手段
を発明したものである。
結果この発明の圧着ローラに対してローラ径の小径にと
もなって生ずる圧着力の長手方向の不均整を補助加圧ロ
ーラを用いることによって補償するようにした圧着手段
を発明したものである。
上部圧着ローラ２の位置設定を上部機枠８によってスイ
ング状に固定したので基板６に対して進行方向から順次
基板後方に圧着力が作用し、しかも基板の進行にともな
って生ずる上部圧着ロールの逃げがスムーズでバランス
が良い。
ング状に固定したので基板６に対して進行方向から順次
基板後方に圧着力が作用し、しかも基板の進行にともな
って生ずる上部圧着ロールの逃げがスムーズでバランス
が良い。
上、下の再圧着ローラ１，２にはいずれも補助加圧ロー
ラ３，４を設けたので圧着ローラの径を小径とした場合
でも基板に対して所望の圧着力を付与することができ、
しかも補助加圧ローラの長手方向長さを少なくともほぼ
圧着ローラと同長とさせることによって圧着ローラに対
して半径方向の均一分布の圧着力を作用させることがで
きる。
ラ３，４を設けたので圧着ローラの径を小径とした場合
でも基板に対して所望の圧着力を付与することができ、
しかも補助加圧ローラの長手方向長さを少なくともほぼ
圧着ローラと同長とさせることによって圧着ローラに対
して半径方向の均一分布の圧着力を作用させることがで
きる。
また、再圧着ローラを金属心材にシリコンゴム材の圧着
材を巻層した構造としたので基板表面の微細凹凸に対し
て圧着残面積の発生しない圧着面が得られる。
材を巻層した構造としたので基板表面の微細凹凸に対し
て圧着残面積の発生しない圧着面が得られる。
この発明の実施例を添付図面により説明すれば次のとお
りである。
りである。
第２図はこの発明に係る圧着装置の説明図で、図面中の
符号で第１図中と同一符号は同効部材を示す。
符号で第１図中と同一符号は同効部材を示す。
下両機枠１１には圧着ローラ１が所定位置に枢着されて
おり、このローラ１に対して３個の補助加圧ローラ３が
設けられている。また上部機枠８には圧着ローラ２が所
定位置に枢着されテオリこのローラ２に対して３個の補
助加圧ローラ４が設けられている。
おり、このローラ１に対して３個の補助加圧ローラ３が
設けられている。また上部機枠８には圧着ローラ２が所
定位置に枢着されテオリこのローラ２に対して３個の補
助加圧ローラ４が設けられている。
各圧着ローラ１，２に対する補助加圧ローラ３および４
の押圧態様は同一に構成されており、その態様は各圧着
ローラ１，２に対して各別に接する２個の補助加圧ロー
ラ３，４に対して相対接する他の１個の加圧ローラ３，
４を対称的に組合せた構造とされている。
の押圧態様は同一に構成されており、その態様は各圧着
ローラ１，２に対して各別に接する２個の補助加圧ロー
ラ３，４に対して相対接する他の１個の加圧ローラ３，
４を対称的に組合せた構造とされている。
また上記各補助加圧ローラ３．４および各圧着ローラ１
，２は、特に図示しないが、駆動軸を共通する補助加圧
ローラ３よりの駆動力を受けて駆動される。なお１２．
１３はそれぞれ駆動源を共有する補助加圧ローラ３より
の駆動力を上下部圧着ローラおよび補助加圧ローラに伝
達するための中間駆動車を示す。
，２は、特に図示しないが、駆動軸を共通する補助加圧
ローラ３よりの駆動力を受けて駆動される。なお１２．
１３はそれぞれ駆動源を共有する補助加圧ローラ３より
の駆動力を上下部圧着ローラおよび補助加圧ローラに伝
達するための中間駆動車を示す。
上部機枠８と下両機枠１１とは各圧着ローラ１．２より
所定距離離間した位置に設けたスイング軸９によってス
イング可能に枢着されている。このスイング作用は上部
機枠８の上端末にピストン杆を連結した空圧装置１０に
よって行なわれる。
所定距離離間した位置に設けたスイング軸９によってス
イング可能に枢着されている。このスイング作用は上部
機枠８の上端末にピストン杆を連結した空圧装置１０に
よって行なわれる。
各圧着ロール１，２に対する加熱手段は各補助加圧ロー
フ ３ 、４中に設けた加熱装Ｎ１４゜１５で行なわれ
る。
フ ３ 、４中に設けた加熱装Ｎ１４゜１５で行なわれ
る。
この発明に係る圧着を第３図により説明すれば次のとお
りである。
りである。
なお各圧着ローラは同一構造につき下部圧着ローラ１に
ついて説明し、他を省略する。
ついて説明し、他を省略する。
圧着ローラ１は第１図（ａ）に示すように、金属円柱１
６にシリコンゴム１７を巻着した構造とされており、補
助加圧ローラ３，４はいずれもステンレス等の金属円柱
１６′に金属メッキ１７を施し、金属メッキ表面の微細
孔中にテフロン材を含浸させた補強層１８が形成されて
いる。なお本実施例においては金属円柱径を２５ ｍ
／ ｍ 〜４０ ｍ ／ ｍテフロン厚を１５鉢とした
ものが用いられている。
６にシリコンゴム１７を巻着した構造とされており、補
助加圧ローラ３，４はいずれもステンレス等の金属円柱
１６′に金属メッキ１７を施し、金属メッキ表面の微細
孔中にテフロン材を含浸させた補強層１８が形成されて
いる。なお本実施例においては金属円柱径を２５ ｍ
／ ｍ 〜４０ ｍ ／ ｍテフロン厚を１５鉢とした
ものが用いられている。
圧着ローラに対する加熱と温度維持を補助加圧ローラに
よって行うようにしたので熱供給量が自由であり、圧着
ローラの温度を常に一定にさせることができる。
よって行うようにしたので熱供給量が自由であり、圧着
ローラの温度を常に一定にさせることができる。
また圧着ローラ自イ杢には加熱手段を必要としないので
、ローラ径をいか程にも小さくすることができる。
、ローラ径をいか程にも小さくすることができる。
第４図示のように、圧着ローラｌの径ｒを小さくするこ
とによって基板６の凹凸に対してローラ表面を線接触Ｐ
の連続軌跡として運動させることができるので、凹凸角
部との接触も良好となり、ローラの運動によって角部に
おける残留気泡ａの排出を完全に行うことができる。
とによって基板６の凹凸に対してローラ表面を線接触Ｐ
の連続軌跡として運動させることができるので、凹凸角
部との接触も良好となり、ローラの運動によって角部に
おける残留気泡ａの排出を完全に行うことができる。
なおローラ表面にはシリコンゴム層を設けたので更に上
記効果を完全に達成することができる。また補助加圧ロ
ーラにはテフロン含浸層を形成したので圧力伝達を均一
に行うことができる。
記効果を完全に達成することができる。また補助加圧ロ
ーラにはテフロン含浸層を形成したので圧力伝達を均一
に行うことができる。
この発明は第５図示のように、基板６の進入にともなっ
て上部圧着ローラには矢印のように軸９を中心とするス
イング方向への逃げ圧力が生ずるので基板６への押圧力
を漸増させるようにすることができ結果として均一圧力
を加えることができる。
て上部圧着ローラには矢印のように軸９を中心とするス
イング方向への逃げ圧力が生ずるので基板６への押圧力
を漸増させるようにすることができ結果として均一圧力
を加えることができる。
また圧着ローラ表面を基板６に対して進行方向から順次
線接触の連続とし、しかも線接触点で最大圧着力が発生
するので基板６と感光フィルム５間は常に気泡を排除す
るように維持されるので両者間には残留気泡の存在しな
いものとなる。
線接触の連続とし、しかも線接触点で最大圧着力が発生
するので基板６と感光フィルム５間は常に気泡を排除す
るように維持されるので両者間には残留気泡の存在しな
いものとなる。
圧着ローラに対して２方向よりの位置保持を行う同長の
補助加圧ローラを設けたことにより圧着ローラの偏位を
防止でき、しかもこの各ローラを１個の他のローラ゛に
ょって加圧するようにしたので、圧着ローラに対して半
径方向および長手方向の均等圧を維持することができ結
果として基板移動時（感光フィルムの貼付時）の偏向が
生じない。
補助加圧ローラを設けたことにより圧着ローラの偏位を
防止でき、しかもこの各ローラを１個の他のローラ゛に
ょって加圧するようにしたので、圧着ローラに対して半
径方向および長手方向の均等圧を維持することができ結
果として基板移動時（感光フィルムの貼付時）の偏向が
生じない。
この発明の他の実施例が第６図に示されている。この実
施例の場合は２組の圧着ローラ１゜１．２．２に５個の
補助加圧ローラを添装したもので、圧着ローラを２組に
することによって各圧着ローラ径を先の実施例のローラ
径よりも更に小径とすることができ、これによって更に
シャープな線圧力を基板上に加えることができる。また
各組の保有温度を異ならせることによって基板上への感
光フィルムの・貼付を更に完全なものとすることができ
る。
施例の場合は２組の圧着ローラ１゜１．２．２に５個の
補助加圧ローラを添装したもので、圧着ローラを２組に
することによって各圧着ローラ径を先の実施例のローラ
径よりも更に小径とすることができ、これによって更に
シャープな線圧力を基板上に加えることができる。また
各組の保有温度を異ならせることによって基板上への感
光フィルムの・貼付を更に完全なものとすることができ
る。
この発明は上記実施例に限定されることなく、例えば、
各圧着ロールの径および圧着ロール間の径の異同、巻着
層の厚さ等は基板表面の凹凸および感光フィルムの種類
によっていずれも任意に選択できるものである。
各圧着ロールの径および圧着ロール間の径の異同、巻着
層の厚さ等は基板表面の凹凸および感光フィルムの種類
によっていずれも任意に選択できるものである。
また、補助加圧ローラの数あるいは上下圧着ローラのそ
れぞれに対する補助加圧ローラの数の選択の有無は任意
に決定できるものである。
れぞれに対する補助加圧ローラの数の選択の有無は任意
に決定できるものである。
その上、貼付のための加熱手段として他の公知の加熱手
段が任意に採用できるものである。
段が任意に採用できるものである。
第１図はこの発明の基本的手段の要部説明、第２図はこ
の発明の加圧装置の要部側面図、第３図は圧着ロールお
よび補助加圧ロールの要部断面図、（ａ）は圧着ロール
（ｂ）は補助加圧ロールを示す、第４図、第５図は作用
説明図、第６図は他の実施例の要部側面図、第７図は従
来例の側面図。 図中の符号は； １．２・・・圧着ロール、３，４・・・補助加圧ロール
５・・・感光フィルム、８・・・上部機枠、９・・・ス
イング軸、１０・・・空圧装置、１１・・・下両機枠、
をそれぞれ表わす。 以上 特許出願人 株式会社 エムΦニコー代理□人 弁
理士 大 塚 貞 次第７図
の発明の加圧装置の要部側面図、第３図は圧着ロールお
よび補助加圧ロールの要部断面図、（ａ）は圧着ロール
（ｂ）は補助加圧ロールを示す、第４図、第５図は作用
説明図、第６図は他の実施例の要部側面図、第７図は従
来例の側面図。 図中の符号は； １．２・・・圧着ロール、３，４・・・補助加圧ロール
５・・・感光フィルム、８・・・上部機枠、９・・・ス
イング軸、１０・・・空圧装置、１１・・・下両機枠、
をそれぞれ表わす。 以上 特許出願人 株式会社 エムΦニコー代理□人 弁
理士 大 塚 貞 次第７図
Claims (3)
- （１）下部機枠に枢着した下部圧着ローラとこの下部圧
着ローラに対接して位置設定される上部圧着ローラとで
形成されるラミネータの加圧装置において、上部圧着ロ
ーラを枢着した上部機枠を、前記両ローラより所定巾離
間した位置に設けた軸を支点とするスイング運動を行な
わせるように位置設定したことを特徴とするラミネータ
の加圧装置。 - （２）特許請求の範囲第１項に記載された上、下圧着ロ
ーラのいずれか一方または両方に複数個の補助加圧ロー
ラを添装したことを特徴とするラミネータの加圧装置。 - （３）特許請求の範囲第１項のラミネータの加圧装置に
おいて、上、下両機枠にそれぞれが対接するように２組
の圧着ローラを設け、しかもこれ等の各圧着ローラのい
ずれか１組または２組、または上、下部あるいは両部圧
着ローラに複数個の補助加圧ローラを添装したことを特
徴とするラミネータの加圧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20998786A JPS6364726A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | ラミネ−タの加圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20998786A JPS6364726A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | ラミネ−タの加圧装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364726A true JPS6364726A (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=16581984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20998786A Pending JPS6364726A (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 | ラミネ−タの加圧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364726A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5080010A (en) * | 1988-09-07 | 1992-01-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Pressure roller device |
| US5282415A (en) * | 1990-07-27 | 1994-02-01 | Windmoller & Holscher | Device for supporting a pressure roll |
| JPH06315980A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Seiji Machida | フィルムラミネータとそれに使用する加圧ローラ |
-
1986
- 1986-09-05 JP JP20998786A patent/JPS6364726A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5080010A (en) * | 1988-09-07 | 1992-01-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Pressure roller device |
| US5282415A (en) * | 1990-07-27 | 1994-02-01 | Windmoller & Holscher | Device for supporting a pressure roll |
| JPH06315980A (ja) * | 1993-05-07 | 1994-11-15 | Seiji Machida | フィルムラミネータとそれに使用する加圧ローラ |
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