JPS6361969A - 部品のハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分■チコ この発明は、部品の自動検査装置に組込まれて順次検査
対象の部品を測定部に供給し、検査終了後の部品を検査
結果に応じて排出する部品のハンドラに関し、特に、ジ
ャムとか、ピンの曲がりの発生が少ない分類機構を有す
るＩＣハンドラに関する。

［従来の技術］ 第１１図は、従来のＩＣハンドラの基本的な構成を示す
概要図である。

図中、Ａは、未検査のＩＣを収納して順次送り出すロー
ダ部であり、一般に、ＩＣマガジン１が積層されている
。このＩＣマガジンの１の内部には、連続的に、個々の
ＩＣが配列されている。

ＩＣマガジン１の中のＩＣは、予熱処理部Ｂに順次自重
にてガイドレールにより案内されて滑降しつつ所定の検
査条件に適合する温度に予備処理される。この場合の予
備処理としては、予熱と予冷等がある。

予熱処理部Ｂを通過したＩＣは、同様にガイドレールに
より案内されて測定部Ｃを順次垂直下方に自重降下しつ
つ、自動測定器（検査ヘッド、図示せず）によって検査
される。

そして、検査を終えたＩＣは、アンローダｉＷ＜Ｄに自
重滑降することになるが、その途中で、検査結果に応じ
て分類部Ｅによって分類されて振分られ、平行に設けら
れた複数のレーンを自重滑降して、アンローダ部りにセ
ットされている複数列のマガジン１ａ＋　　ｌｂ、１ｃ
＋　　ｌｅ、ｉｆ、１ｇ＋１ｈのいずれか１つに収納さ
れる。

［解決しようとする問題点］ このようにガイドレール上を自重により滑降し、降下し
て行く自然落下方式のものにあっては、加熱処理及び測
定処理等のためにＩＣ自体を押さえてその流れを止めた
り、落下方向に合わせてＩＣ自体の方向を転換すること
が必要となるため、ＩＣピンの曲がりとかジャムが発生
し易いという欠点がある。また、ガイドレールによるた
めに複数のＩＣを並列に検査する場合には、その数に対
応するガイドレールを並設しけなければならず、並列に
流れるＩＣ相互の制御タイミングが難しくなるとともに
、装置が大型化する欠点がある。

特に、分類部にあってＩＣピンの曲がりとかジャムが発
生すると分類結果に応じた振分の信頼性が低下する。こ
のようなことを回避するためにハンドリングアーム等に
よりピックアップして分類することも考えられるが、装
置が大きくなり、分類処理速度が遅いという問題がある
。

［発明の目的コ この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、ピン曲がりとかジャム率が少なく、検査結
果に従って確実に部品を分類することができる分類部を
有する部品のハンドラを提供するこ七を目的とする。

［問題点を解決するための手段コ コノような目的を達成するためのこの発明の部品のハン
ドラは、測定部による測定済みの部品を載置しほぼ水平
に移動させて測定結果に応じて分類する分類機構部と、
この分類機構部により分類された部品を収納する収納部
とを備えていて、分類部は、部品をほぼ水平に移動させ
る搬送機構と、この搬送機構の搬送路の片側に配置され
、この搬送路の而と平行な面内でかつ部品の移動方向に
対して直角となる方向で進退し、先端部の裏面側にはほ
ぼ垂直に下方に延びる段付き部分が形成されている部品
押出部材とを有していて、収納部はこの部品押出部材に
対応して搬送路を挟んで対峙して配置され、搬送路−に
にある部品を部品押出部材の段付き部分に当接して搬送
路から収納部に押出すというものである。

［作用］ このように測定後の部品をほぼ水平に移動させて、その
搬送路の両側に収納部及び部品押出部材を設けて、部品
を搬送方向に対して横断する方向に押出すようにしてい
るので、水平搬送過程において分類に対応する収納部分
へ部品を比較的速い速度で選択的に収納することができ
る。したがって、分類作業も水平状態のままで効率よく
行え、部品押出部材の先端部の裏面側にほぼ垂直に下方
に延びる段付き部分を形成しているので、搬送方向に対
して横断する方向に押出しても分類に対応する収納部分
に確実に部品を送り出すことができる。

その結果、ジャムとか、部品のビンの曲がりがほとんど
発生しないハンドラを実現でき、測定前においても同様
な水平搬送機構を採用すれば、部品が、終始、はぼ水″
−１ｚｇこ搬送する構成となることから、たとえ、部品
を並列処理しなけらばならない場合であっても、部品を
並列に載置するようにすれば、簡単に、複数個の部品を
同時に検査処理でき、装置自体の大きさもあまり大きく
せずに済む。

［実施例コ 以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。

第１図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラ
の上部取外し平面図、第２図はその側面断面図、第３図
（ａ）及び（ｂ）はそのＩＣ収納ラックの説明図、第４
図（ａ）及び（ｂ）はそのローダ部の説明図、第５図は
、ローダ部からバケット搬送部へＩＣを供給するハンド
リング操作の説明図、第６図（ａ）及び（ｂ）はバケッ
ト搬送機構の側面断面図及び正面断面図、第７図（ａ）
。

（ｂ）及び（Ｃ）はバチ１．トの説明図、第８図はその
チェーンの説明図、第９図はその分類部の説明図、第１
０図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、分類部−の押出機構
の説明図である。

なお、これら各図において同一のものは同一の符号で示
す。

第１図〜第２図において、１０は、ＩＣノ為ノンドラあ
り、２はそのＩＣローダ部、３はＩＣローダ部からＩＣ
の供給を受け、ＩＣを収納して搬送するバケット搬送機
構部、４はバケ、ソト搬送機構部３の搬送路を包み込む
恒温槽、５は、ノクケ、ソト搬送機構部３から部品の供
給を受けて、その部品を検査する測定部、６は、検査後
のＩＣをノくケラト搬送機構部３から受けてほぼ水平搬
送し、検査結果に対応して収納部７のランクに収納する
分類部、８はローダ部２及び収納部７に装着され、検査
部品（ここではＩＣ）を収納するう、ンク、そして５ａ
は、測定部５に設けられ、ＩＣの電気的特性等を測定す
るテストヘッドである。

ここで、ローダ部２は、第１図及び第４図（ａ）に見る
ようにラック載置テーブル２１と、リニアフィーダ２２
、ピックアップアーム２３（第５図参照）、ラック載置
テーブル２１の下に設けられ、ラック載置テーブル２１
をヒ下移動させるエレベータ機構２４とを備えたＩＣＣ
ｌ−ド機構２０が複数並設（図では３個）されていて、
各ＩＣロード機構２０のそれぞれのラック装置テーブル
２１にはラック８がそれぞれ装着されている。

ラック８は、第３図（ａ）、（ｂ）に見るように、上下
方向に複数段積み上げられた複数のＩＣ収納溝８１，８
１．−・・が連続的に形成されていて、谷溝８１に個々
のＩＣ（ここではその例としてＰＧＡタイプのＩＣ，）
１イブリ・ソトＩＣ）９をそのピンが上側となるように
して溝方向及び上下方向に連続的に配列した形態で収納
している。

そして、第４図（ｂ）の断面図に見る押出し爪８２が爪
送り機構８３により溝８１に沿って部品−・個の福相当
分だけのピ、ソチで水（［方向に移動する。この爪８２
が移動する溝８１は、リニアフィーダ２２のレール２２
ａの送り面に一致する位置に位置付けられている。なお
、押出し爪８２の１ピッチ分の移動制御は、制御部（図
示せず）からの制御信号によりその送出の都度行われる
。また、爪送り機構８３は、第４図（ｂ）に見るように
、クランク状の押出し爪８２を挟持していて、第４図（
ａ）に見るよに、ベルト８５を介してプーリ８６により
駆動され、水平軸８４上をスライドして水平移動する。

そこで、バケット搬送部３側に供給されるＩＣ９は、押
出し爪８２の１ピッチ分の移動に従って先端側の１つが
、リニアフィーダ２２のレール２２ａ上に押出され、こ
のリニアフィーダ２２により、その先端のピックアップ
位置Ｐまで移送される。このことにより送出されたＩＣ
９が先端の部品ピックアップ待機位置にセ、ツトされる
。

ここで、ラック８は、ラック載置テーブル２１に着脱可
能に装７ｔされ、ラック載置テーブル２１がエレベータ
機構２４により上−ド移動されることによりラック８が
」ニド移動して、溝８１のＩＣ９がすべてυＦ出される
とその七の溝８１へと順次下個の溝８１からその底面が
リニアフィーダ２２のレール２２ａの送り面に一致する
位置に次々に位置決めされる。なお、２５．２５は、ラ
ック８の両端を縦に貫通している部品抜は落ち防止ピン
であって、吊り下げ保持されていて、その先端側がリニ
アフィーダ２２のレール２２ａの而に一致する位置に位
置付けられた溝８１を塞がない状態（部品抜は落ち防止
ピン２５の長さがそれに対応している）となっている。

ＩＣロード機構２０は、このようなラック８及びそのエ
レベータ機構２４、爪送り機構８３、そしてラック装着
状態検出／位置決めガイド機構２６等からなり、ここで
はローダ部２に３個並設されている。初期状態では、Ｉ
Ｃロード機構２０のラック８は、−層下の溝８１の底面
がレール２２ａの上面に一致していて、この溝８１から
ＩＣが送出されて、その溝８１が空になると、溝８１の
積み上げピッチ（１ピツチ）分だけ下げられる。

すなわち、あるラック８の溝８１のＩＣが空になった時
点で、ラック８は、エレベータ機構２４により下へと移
動してその上にある溝８１の底面がレール２２ａの−Ｌ
面の位置に位置付けられる。

さて、ラック８から送出されてリニアフィーダ２２のレ
ール２２ａの先端で待機しているＩＣ９は、第５図及び
第６図（ａ）に見るようにピックアップアーム２３の爪
２３１が開かれた状態で降下し、閉じられることにより
把持され、バケット搬送機構部３のバケット３１の各収
納位置までレール２２ａ上を移動して順次運ばれる。そ
して爪２３１が開かれてＩＣ９がそれぞれの収納開口部
３２にセットされる。ここで収納開口部３２は、１つの
バケット３１に４つ設けられていて、第６図（ａ）に示
すようにバケット３１の端から順次４個のＩＣ９が収納
開口部３２に収納されて行く。

したがって、ピックアップアーム２３のハンドリング時
間に合わせたタイミングでラック８から４個のＩＣ９が
一個一個間欠的に送出され、リニアフィーダ２２の先端
の待機位置Ｐに搬送されて、ピックアップアーム２３に
より順次リニアフィーダ２２から４個のＩＣ９が一個−
個取り−Ｌげられてバケット３１に個々に搬送される。

なお、２３２は、ピックアップアーム２３の爪２３１を
閉じる方向に付勢するばねであり、２３３．２３３及び
２３４．２３４は、爪２３１を開く方向に回動させるカ
ム面及びローラ、そして２３５．２３５は、爪２３１の
２つの各爪片の回動支点である。

このようして１つのバケット３１にＩＣ４個がセントさ
れると、バケット３１が１つ前へと進み、次の空のバケ
ツ）３１がリニアフィーダ２２に対応するＩＣ供給位置
に位置付けられる。ここで、あるＩＣロード機構２０の
ラック８のＩＣがすべて空になると、制御部からの制御
信号に応じてエレベータ機構２４が一ヒ昇制御されてラ
ック８が」−へと移動して元の初期状態に戻り、ピック
アップアーム２３が次のＩＣロード機構２０の位置へと
移動してそのＩＣロード機構２０のラック８からＩＣが
供給され、空になったラック８は、取り外される。そし
てＩＣが一杯詰まった新しいラック８が、取り外された
ＩＣロード機構２０に新たに装着される。

ところで、このバケット３１は、第６図（ａ）。

（ｂ）に見るように、複数個が所定間隔をおいて両端で
無端のチェーン３２　ａ、　３２　ｂにより連結されて
いる。そして第２図に見るように、このチェーン３２ａ
、３２ａがバケット搬送機構部３の両端に設けられたス
プロケット’３３ａ、３３ｂに咬み合って送られること
で順次搬送される。すなわち、これらはチェーン伝動機
構を構成している。

したがって、バケット３１は、チェーン３２ａ。

３２ｂに架は渡されて支持され、前側のスプロケッ）３
３ａが間欠的にモータ３４によりタイミングベルト３５
を介して駆動され、各バケット３１が所定のピッチで間
欠送りされる。

ここで、バケット３１は、熱伝導性のよい金属等の部材
、例えばアルミニウム等で構成されていて、その形状は
、第７図（ａ）に見るように、四角棒状のものであって
、４つの収納開口部３２が所定間隔おきに設けられてい
て、その両端には、チェーン３２ａ、３２ｂにねじピン
を介して固定され、そのためのねじ孔３１１，３１１，
３１２゜３１２が両端側面に開けられている。このバケ
ット３１は、これらのねじ孔３１１．３１２において、
第８図に見るチェーン３２ａ　（３２ｂ）を構成する各
リンク３２１に固定されていて、ブラケット３２２を介
してねじピンにより搬送面に対して収納開口部３２が垂
直に位置付けられるように固定される。

収納開口部３２は、第７図（ｂ）に見る同図（ａ）のＩ
−Ｉ断面図及び第７図（Ｃ）に見る同図前（ａ）の■−
■断面図に示されるように、二重に設けられた段付きの
くぼみ３１０と、このくぼみ３１０の両側に部品ハンド
リングアームの爪２３１が挿入される１字溝３１５とが
設けられていて、十字溝３１５はバケット３１を垂直に
貫通している。

そして、くぼみ３１０のうち上段の（ぼみ３１３と下段
のくぼみ３１４とは異なる大きさの部品の平面形状に対
応する開口をもって形成されていて、それぞれの開口が
表面まで延びていてる。第６図（ｂ）に見るように、こ
れら開口が上に向くようにチェーン３２　ａ、　　３２
　ｂに取付られる。そして上側のくぼみ３１３及び下側
のくぼみ３１４のいずれか一方に異なる種類のＩＣを収
納する。

具体的には、この実施例では、下段の（ぼみ３１４がＳ
ＯＪタイプのＩＣを収納するのに対応する大きさとなっ
ていて、上段のくぼみ３１３がＰＧＡタイプのＩＣ１特
にハイブリットＩＣを収納する大きさの収納部となって
いる。

なお、これらくぼみ３１３，３１４を貫通している十字
溝３１５は、これら（ぼみ３１３，３１４の中心にその
クロス点の中心がほぼ一致するように設けられ、後述す
る押さえピン３７がこのバケットに貫通するト字溝３１
５の下から進入して測定対象のＩＣ９を押さえて持ち上
げ、上へと抜ける。そのための押さえピン通過孔となる
。

さて、第１図、第２図に見るようにバケソｈｍ送機構部
３は、チェーン３２ａ、３２ｂも含めてバケットが恒温
槽４の中に収納され、恒温槽４の底部に設けられたヒー
タ４１により加熱される。

したがって、バケット３１に収納されたＩＣ９は、この
送り過程で所定の温度まで加熱される。

そして、第６図（ｂ）に見るように、測定部５の下まで
送られ、測定部５にバケット３１が位置したときに、間
欠送りの停止した状態に一致してスプロケッ）３３ａの
駆動が停止した状態において、この停止期間中の初期に
測定部５のバケット３１の下側に配置された直動カム３
６ａによるピン押、Ｌ機構３６によりチャック付き押さ
えピン３７が上へ駆動されて、各収納開口部３２を貫通
して測定部５側へとＩＣ９を把持して押上げ押付ける。

なお、このピン押−ヒ機構３６及び押さえピン３７はそ
れぞれ各収納開口部３２の下側に位置して４つ並設され
ていて、押さえピン３７の先端のチャック部分はピック
アップアームの爪２３と同様な形状となっている。

ここで、測定部５には、その天井側から下側に向けて固
定されたコンタクトユニット５１（又はソケット５１）
が各収納量［」部３２の位置に対応するように設けられ
ていて、第１図（ｂ）の点線で示すように前記押さえピ
ン３７により押上られたＩＣ９がこのコンタクトユニ・
ソトのコンタクトに接触して電気的に接続される。そし
てコンタクトユニット５１に結合されたテストへ・ノド
５ａにより押」−られ接触したＩＣ９の測定処理がなさ
れる。

このようにして、測定部５にＩＣ９が供給され、測定部
５により各ＩＣ９の測定が行われ、測定が終了した時点
でピン押上機構３６が直動カム３６ａの戻り移動により
下降作動して押さえピン３７が降下して、コンタクトユ
ニ、ノド５１との接続が解かれる。そして各ＩＣ９がバ
ケｙ　）　３１の元の収納開口部３２に戻される。なお
、この時点では、押さえピン３７の先端部のチャックは
、バケット３１の底面より下側に位置している。

その後、間欠送りの停止期間が終了して、次の送り状態
に入り、バケット３１がチェーン３２ａ。

３２ｂを介して次に送られる。そして次のノ（ケ・ソト
３１が測定部５の下に位置してコンタクトユニット５１
のコンタクトに次のＩＣ９の端子を接触させて、同様な
測定する。このようにしてＩＣの測定部５に対する供給
処理がなされる。

次に、測定の終了したＩＣ９は、再びバケット３１に収
納されて４つのＩＣがともに搬送され、１）；Ｉ側のス
プロケット３３ａの近傍にある部品ピックアップ位置に
来たときに、第９図に見るように、分類部６のピックア
ップアーム６１によりそれぞれの４個のＩＣ９がバケッ
ト３１から取出されて、ベルト８２ａ上に搬送される。

なお、ピックアップアーム６１は、ピックアップアーム
２３と同様な構成をしていて、６１１は、その爪である
。

ここで、前記ピックアップ６１がバケット３１の各収納
開口部３２に４つの各ＩＣをセットする作業時間及びこ
こでのバケット３１の各収納開口部３２から４つの各Ｉ
　、Ｃ９を取り出す作業時間は、前記測定部５のＩＣ／
ｌ！ｌＩ定中の時間より短い時間であり、ＩＣ９の測定
中であってバケット３１の送りが停止ヒしている間に行
われる。

さて、分類部６は、ピックアップアーム６１と、ベルト
搬送機構６２、分類数に対応する複数のＩＣ押出機構６
３とからなり、第１図、第９図に見るように、ベルト搬
送機構６２は、搬送方向に対して直角となる横方向に横
断する溝８２ｂの付いた溝付きのベルト８２ａを介して
いる。そしてこのベルトＥ３２ａの溝８２ｂにＩＣ９を
収納し、ＩＣ９を対応するラック８の位置において分類
に対応するＩＣ押出機構６３を作動してその押込みピン
８３ａを伸張させることでベルトの溝８２ｂを案内とし
てラック８の溝８１にＩＣ９を押込む。

このことでＩＣ９を検査結果に応じて分類する。

この場合、この溝付きのベルト６２ａに代えて、バケッ
ト３１の収納開口部３２の溝に対応するような横断溝を
持ったバケットを用いて搬送してもよい。この場合のバ
ケットは、バケット３１と同様にチェーンにより連結し
ても、また、ベルト上に直接固定してもよい。

一方、ベル）６２ａの搬送路を挟んで、複数のＩＣ押出
機構６３のそれぞれの反対側には、第９図に見るように
、分類に対応する各ＩＣを収納するラック８が複数配置
される収納部７が位置している。収納部７には、ローダ
部２のＩＣロード機構２０と同様な収納機構７０（第１
図参照）が設けられ、各収納機構７０は、ラック載置テ
ーブル（ラック載置テーブル２１と同様１図ホせず）と
、エレベータ機構（エレベータ機構２４と同様１図示せ
ず）とを備えていて、エレベータ機構は、このラック載
置テーブルを上下移動させる。各収納機構７０のラック
ｆ！ｌ装置テーブルには、例えば合格。

不合格、ＯＯ不良等又は測定特性別に検査結果に応じて
、結果対応に分類されたラック８，８，８゜・・・がそ
れぞれ装着されている。

第１０図（ａ）は、分類部６において、溝付きベル）６
２ａに代えてバケット６２０を用いたバケット搬送機構
による例を示してたものである。

第１０図（ａ）に見るように、バケット搬送機構６００
は、バケット搬送機構部３のバケット３１と同様にチェ
ーンで結合されたバケット６２０と、このチェーンを駆
動するチェーン伝動機構（図示せず）とからなるバケｙ
）搬送路６０１を有している。バケット６２０は、その
開口溝６２１にＩＣ９を収納して搬送するものであり、
開［１溝６２１が第７図（Ｃ）の断面図に見るような段
付きの溝となっている点でバケット３１と同様であるが
、底部６２２が閉塞されていて、開［］溝６２１がバケ
ット６２０の長手方向に貫通し、両側が開放状態となっ
ている点で相違し、しかも、１個のＩＣ９を収納する短
い形状のものである。

一方、分類部６のＩＣ押出機構６３は、各う。

り８の位置に対応してＩＣ９をバケッｌ−８２ＯＬから
ラック８の溝８１に押し込むものであり、この押し込み
動作をするのが、第９図、第１０図（ａ）及び（ｂ）に
見るＩＣ押出機構６３の押込みピン６３ａ、６３ａ、８
３ａ、ｅ　＊　４１である。

第１０図（ｂ）を参照してＩＣ押出機構６３のビン進退
動作を説明すると、押込みピン６３ａは、その後端部８
３ｂが、エアーシリンダとか［ＪＥｌ１７−ム機構等に
よる進退アクチュエータ６３１に結合されていて、進退
子るものである。押込みピン６３ａは、その軸の中程に
鍔６３２が設けられていて、鍔６３２によりばね６３３
の後端６３３ａが押されて押込みピン６３ａの前進とと
もにばね６３３も前進する。ばね６３３の先端側６３３
ｂは、押込みピン８３ａの軸６３４に嵌合するスリーブ
６３５に係合している。そこで、ばね６３３が前進する
と、それに伴ってスリーブ６３５も前進する。

スリーブ６３５の先端側には、ＩＣ押さえ板６３６が固
着されていて、このＩＣ押さえ板６３６は、第１０図（
Ｃ）の１Ｚ面図で見るように水平方向で２つに先が割れ
たフォーク状をしている。そしてその中央より先端側に
位置する裏面側には、第１０（ｂ）に見る如く、はぼ垂
直に下方に延びる段付き部分６３６ａが形成されていて
、先端側が伏せたＬ字形状をしている。一方、スリーブ
６３５の上側には、支持板６３５ａが固定されていて、
スリーブ６３５の固定側とは反対側にあたる支持板６３
５ａのｌ一部にはもう１つのスリーブ６３５ｂが結合さ
れている。このスリーブ６３５ｂは、軸６３７に嵌合し
ていてこの軸６３７上をスライドするものであり、スリ
ーブ６３５を前後移動可能（進退可能）に軸６３７を介
して支承する。

また、進退アクチュエータ６３１と押さえピン６３ａの
後部６３ｂの固着部も軸６３７に嵌合してスライドする
スリーブ８３０に固定されている。

このことによりスリーブ６３５．スリーブ６３０等を介
して押込みピン８３ａが進退可能に支持されるものであ
る。

したがって、前記押込みピン６３ａが前進したときには
、ばね６３３を介してスリーブ６３５が軸６３７にガイ
ドされて前進する。そしてＩＣ押さえ板６３６を先頭と
して前進し、この前進に従ってＩＣ押さえ板６３６は、
バケット６２０の開口溝６２１に押込みビン６３ａ側の
開口から進入する。その結果、ＩＣ押さえ板６３６の股
部分６３６ａがＩＣ９の上部と進入側側面に当接してＩ
Ｃ９が上へとはね上がることなく押さえられる。

この状態でＩＣ９は、押込みピン６３ａの前進に伴って
バケット６２０の開［１溝６２１をラック８側へと股部
分６３６ａに押されてスライドして行く。やがて、バケ
ット６２０のラック８側の開口からガイド部材６３８の
溝へと案内され、ガイド部材６３８の溝を経てラック８
の溝８１の入口まで運ばれる。なお、ガイド部材６３８
は、バケット６２０と同様な溝構造となっている。しか
し、これは、ラック８に対応して設けられ、固定されて
いる点でバケット６２０とは相違する。

このようにして押込みピン６３ａとともに押さえ板６３
６がＩＣ９を押さえてラック８側にＩＣ９をスライドさ
せ、押さえ板６３６がラック８の入口手前の位置（二点
鎖線で示す状態）まで来たときに、スリーブ６３５ｂが
軸６３７を支持するブラケット６３９に当たり、これが
ストッパーとなって、押さえ板６３６の前進が停止Ｆす
る。その後、押込みピン６３ａがさらに前進すると、ば
ね６３３が圧縮されながら押込みピン６３ａだけが前進
して押込みピン６３ａの鍔部８３ｃの先に固定された押
しピン６３ｄの前進により押さえ板６３６の股部分６３
６ａに保持されたＩＣ９がラック８の溝８１へと押込ま
れる。ここに押しピン６３ｄも第１０図（Ｃ）に見る押
さえ板６３６と同様にフォーク状に先が割れた形状をし
ている。

このようにしてＩＣ９がラック８の溝８１へと押込まれ
、ＩＣ９の押込みが終了すると、進退アクチュエータ６
３１が後退状態となり（押込みピン６３ａが後退をはじ
め、まず、押しピン８３ｄの後退によりラック８の溝８
１から押しピン６３ｄが外へと出て、ラック８の入口１
手前の位置（二点鎖線で示す状態）となり、さらに後退
した時点で鍔部８３ｃがスリーブ６３５の前側に係合し
てスリーブ６３５を後退させる。このことによりスリー
ブ６３５は押込みピン８３ａと一体的に後退して図示す
る初期状態にまで戻る。

さて、検査結果に応じてバヶッｌ−８２０上を流れてき
たＩＣ９に対して、以上のようにして流れてきたタイミ
ングに合わせて対応する押込みピン６３ａを伸張作動さ
せて、検査結果に対応するラック８の位置に流れてきた
ＩＣ９をそれに対応するラック８の溝８１に押出して挿
入する。

なお、この場合、バケット搬送機構６００によるバケッ
ト６２０の送りは、押し込み動作タイミングに合わせて
バケット６２０の移動が一時的に停＋ｈする間欠送りの
搬送とし、押し込みはその停止ｌ−タイミングに合わせ
て行うようにする。

このようにして、検査結果に応じてＩＣ９を分類して収
納部７の各ラック８に収納して行く。

ところで、ＩＣ押さえ板６３６の先端部及び押しピン８
３ｄは、第１０図（Ｃ）で示したように２つに先が割れ
たフォーク形状をしている。これは、押さえ板６３６が
ラック８の人口手前の位置（二点鎖線で示す状＠）とな
ってときに、ラック８の人口側上部に配置された光学的
センサの発光器６４０の光がこのＩＣ押さえ板６３６の
先端部の割れ目を通り、ガイド部材６３８ｂに設けられ
た受光素子６４１に光を受光できるようにするためのも
のである。そして、押さえ板６３６がＩＣ９を保持して
いるときにのみこの光が遮られることによりＩＣ９が溝
８１に押込まれる状態にあるか否かを検出するものであ
る。

なお、第１０図（ｂ）のバケット８２０の下段の溝に配
置されたＩＣ９ａは、ＩＣ９とはサイズの相違するＩＣ
であって、サイズの相違するＩＣを分類するときには、
押込みピン８３ａは、下段の溝に合わせて下側の位置に
セットされる。

さて、このように検査結果に応じてＩＣを分類をする場
合に、水平搬送機構を設けて部品をほぼ水平に搬送し、
その搬送路の両側に収納部及びこれに対する部品を搬送
方向に対して横断する方向に押出す部品押出部材を設け
ておけば、水平搬送過程において分類に対応する収納部
の部分へ選択的に収納分類することができ、しかも、分
類作業が水平の状態のままで行える。

ここで、ラック８は、初期状態では、−層上の溝８１の
底面がバケット６２０の溝の段部の位置に一致していて
、谷溝８１にＩＣ９が収納されて一杯になるとドから上
へと各溝積み上げピッチ対応の１ピッチ分だけ押−１−
られる。すなわち、ロード機構２０の動作とは逆の動作
をする。したがって、あるラック８の溝８１にＩＣ９が
いっばいに収納された時点で、ラック８は、エレベータ
機構により上へと移動して１つＦの溝８１の底面がバケ
ット６２０の上面の位置に位置付けられる。

なお、先のエレベータ機構２４及び前記収納機構７０の
エレベータ機構の−Ｌ下動の作動制御及びそのタイミン
グ、ピンクアップアーム２３の爪２３１及びピックアッ
プアーム６１の爪６１１の開閉作動の制御及びそのタイ
ミング、そして前記押込みピン６３ａの進退作動制御及
びそのタイミング、そしてピン押上機構３６の直動カム
３８ａの往復作動制御及びそのタイミングとは、それぞ
れマイクロプロセッサを内蔵した制御部からの電気信号
により決定され、■制御されるものである。

ところで、リニアフィーダ２２のレール２２ａの溝は、
バケット３１の縦断面を示す第７図（Ｃ）と同様な段付
きの溝形状をしていて、その上段の溝がハイブリットＩ
ｃ等の部品に対応した開口幅となっており、下段の溝が
ＳＧＯ形ＩＣ専の部品に対応した開「１幅となっている
。したがって、ラック８をＩＣロード機構２０差し換え
るだけで、バケット３１に異なる部品を供給することが
でき、異なる部品を検査することが可能である。なお、
この場合、測定部のフンタクトユニット５１は、これら
異なる部品が接続できるようなものとなっているか、コ
ンタクトユニット５１をその都度測定部品に合わせて差
し換える。

以上説明してきたが、バケット搬送機構部の搬送機構及
び分類部の搬送機構は、チェーンに限定されるものでは
なく、ベルト等による、いわゆる無端巻掛は伝動機構を
使用することができる。また、このような巻掛は伝動機
構の他、平行四辺形のリンクを使用して水平のレール上
に載置してバケットを爪送りする水平送り機構でもよい
。また、ベルトに爪を設けてバケット又は部品を直接水
平送りするものであってもよい。なお特に、分類部にお
いてベルト搬送機構等を使用する場合には、押込みを行
う際に部品の方向ずれ又は回転を起こさないように、ベ
ルトの搬送面と平行な面内でかつベルトの移動方向に対
して垂直な方向、すなわち、実施例に示すように、ベル
トの真横方向にガイド溝を設けるか、部品の押出ガイド
となる突起部を設けるとよい。

実施例では、ＩＣ搬送機構部全体が恒温槽の中に配置さ
れているが、これは、全体を恒温槽の中に配置する必要
はなく、少なくともその搬送路の−・部が恒温槽の中で
あればよい。また、熱処理としてヒータによる加熱を−
Ｌげているが冷却であってもよいことはもちろんである
。

実施例では、爪送り機構によりラックから部品を外へと
送り出しているが、これは、ピンを出口の反対側から溝
に沿って挿入し、反対の出口側から押出すようにしても
よく、爪による送り機構に限定されるものではない。い
わゆる溝から部品を押出す押出機構ならばよい。

また、実施例では、多段に溝を有するラックを使用して
いるが、段は１段のものであってもよく、部品を収納す
る容器はどのようなものでもよいが、好亥しくは、いわ
ゆるＬ部が塞さがれているような溝を持つものが収納し
た部品が容器からこぼれ落ちないのでよい。

さらに、この発明では、取り扱う部品がＩＣに限定され
るものではないことももちろんである。

「発明の効果コ 以」二の説明から理解できるように、この発明にあって
は、測定後の部品をほぼ水平に移動させて、その搬送路
の両側に収納部及び部品押出部材を設けて、部品を搬送
方向に対して横断する方向に押出すようにしているので
、水平搬送過程において分類に対応する収納部分へ部品
を比較的速い速度で選択的に収納することができる。し
たがって、分類作業も水平状態のままで効率よく行え、
部品押出部材の先端部の裏面側にほぼ垂直に下方に延び
る段付き部分を形成しているので、搬送方向に対して横
断する方向に押出しても分類に対応する収納部分に確実
に部品を送り出すことができる。

その結果、ジャムとか、部品のピンの曲がりがほとんど
発生しないハンドラを実現でき、測定前においても同様
な水平搬送機構を採用すれば、部品が、終始、はぼ水平
に搬送する構成となることから、たとえ、部品を並列処
理しなけらばならない場合であっても、部品を並列に載
置するようにすれば、簡単に、複数個の部品を同時に検
査処理でき、装置自体の大きさもあまり大きくせずに済
む。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラ
の上部取外し平面図、第２図はその側面断面図、第３図
（ａ）及び（ｂ）はそのＩＣ収納ラックの説明図、第４
図（ａ）及び（ｂ）はそのローダ部の説明図、第５図は
、ローダ部からバケット搬送部へＩＣを供給するハンド
リング操作の説明図、第６図（ａ）及び（ｂ）はバケッ
ト搬送機構の側面断面図及び正面断面図、第７図（ａ）
。 （ｂ）及び（Ｃ）はバケットの説明図、第８図はそのチ
ェーンの説明図、第９図はその分類部の説明図、第１０
図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、分類部の押出機構の説
明図、第１１図は、従来のＩＣハンドラの外観図である
。 １・・・ＩＣハンドラ、２・・・ＩＣローダ部、３・・
・バケット搬送部、４・・・恒温槽、５・・・測定ｆｆ
ｌ＜、６・・・分類部、７・・・収納部、８・・・測定
部、８・・・ラック、９・・・ＩＣ，１０・・・ＩＣハ
ンドラ、２０・・・ＩＣロード機構、 ２１・・・ラック載置テーブル、 ２２・・・リニアフィーダ、２３・・・ピックアップア
ーム、２４・・・エレベータ機構、３１・・・バケット
、３２・・・収納開口部、８１・・・溝。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定部による測定済みの部品を載置しほぼ水平に
   移動させて測定結果に応じて分類する分類機構部と、こ
   の分類機構部により分類された部品を収納する収納部と
   を備え、前記分類部は、部品をほぼ水平に移動させる搬
   送機構と、この搬送機構の搬送路の片側に配置され、こ
   の搬送路の面と平行な面内でかつ前記部品の移動方向に
   対して直角となる方向で進退し、先端部の裏面側にはほ
   ぼ垂直に下方に延びる段付き部分が形成されている部品
   押出部材とを有し、前記収納部はこの部品押出部材に対
   応して前記搬送路を挟んで対峙して配置され、前記搬送
   路上にある部品を前記部品押出部材の段付き部分に当接
   して前記搬送路から前記収納部に押出すことを特徴とす
   る部品のハンドラ。
2. （２）収納部は部品押出部材に対応して搬送路を挟んで
   対峙して配置され、前記搬送路に対峙する面側には検出
   光が垂直方向に照射される上下方向に配置された発光素
   子と受光素子からなる光学センサを有し、前記搬送路上
   にある部品を前記部品押出部材の段付き部分により前記
   搬送路から前記収納部に押出し、前記部品が押出された
   否かを前記光学センサにより検出することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の部品のハンドラ。
3. （３）搬送機構は、間欠送りにより部品を移動させるも
   のであり、それぞれバケットを有していて、このバケッ
   トに搬送する部品を収納する特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の部品のハンドラ。
4. （４）バケットは両端に配置されたチェーン伝動機構の
   チェーンに架橋固定されて水平方向に送られるものであ
   り、前記複数の各収納部は異なる形状の部品を収納する
   段付き溝を備えていることを特徴とする特許請求の範囲
   第３記載の部品のハンドラ。